JPS6041046U - Ｉｃチツプ動作テスト用治具 - Google Patents

Ｉｃチツプ動作テスト用治具

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Publication number
JPS6041046U
JPS6041046U JP13307083U JP13307083U JPS6041046U JP S6041046 U JPS6041046 U JP S6041046U JP 13307083 U JP13307083 U JP 13307083U JP 13307083 U JP13307083 U JP 13307083U JP S6041046 U JPS6041046 U JP S6041046U
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JP
Japan
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probe
probes
fixed
movable
input
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Pending
Application number
JP13307083U
Other languages
English (en)
Inventor
兼子　隆
沢田　雅彦
Original Assignee
住友電気工業株式会社
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Filing date
Publication date
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Priority to JP13307083U priority Critical patent/JPS6041046U/ja
Publication of JPS6041046U publication Critical patent/JPS6041046U/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案のＩＣチップ動作テスト用治具の一実施
例の構成図、第２図は第１図に示すものの部分的拡大図
、第３図は切替スイッチの回路構成を示す図である。 図面中、１はウェハ、２はＩＣチップ、３は金属端子群
、４は固定探針群、５は固定探針用保支器、６はケーブ
ル、７はＩＣチップ動作テスト用治具の本体、８は移動
探針、９はケーブル、１０は切替スイッチ群、１１は入
力保護回路、１２は　　。 入力信号発生装置、１３は出力装置である。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ウェハ上に形成されたＩＣチップ単体の周辺に配置され
    た入出力パッドの金属端子に弾性的にかつ電気的に接触
    する固定探針群と、手動操作で上記ＩＣチップの所定回
    路部分に選択的にかつ電気的に接触する単独あるいは複
    数本の移動探針と、上記固定探針群を固定し、各探針毎
    に接続されたリード線を収容するケーブルを導出する固
    定探針用保支器と、上記移動探針を装備し、上記移動探
    針毎に接続されたリード線を収容するケーブルを導出す
    る移動探針用保支器と、上記二つのケーブルが結合され
    、上記一定及び移動探針毎に設けられ、各探針を高電位
    端子、低電位端子、入力端子及び出力端子のいずれかに
    選択的に接続する切替スイッチを備えた切替スイッチ装
    置と、上記入力端子と外部入力信号発生装置の間に設置
    された入力保護回路と、上記出力端子に接続され、出力
    信号を観測する出力装置からなることを特徴とするＩＣ
    チップ動作テスト用治具。
JP13307083U 1983-08-30 1983-08-30 Ｉｃチツプ動作テスト用治具 Pending JPS6041046U (ja)

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JP13307083U JPS6041046U (ja) 1983-08-30 1983-08-30 Ｉｃチツプ動作テスト用治具

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Publication Number Publication Date
JPS6041046U true JPS6041046U (ja) 1985-03-23

Family

ID=30300305

Family Applications (1)

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JP13307083U Pending JPS6041046U (ja) 1983-08-30 1983-08-30 Ｉｃチツプ動作テスト用治具

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