JPS6039182Y2 - レ−ザ−加工装置 - Google Patents
レ−ザ−加工装置Info
- Publication number
- JPS6039182Y2 JPS6039182Y2 JP1980056509U JP5650980U JPS6039182Y2 JP S6039182 Y2 JPS6039182 Y2 JP S6039182Y2 JP 1980056509 U JP1980056509 U JP 1980056509U JP 5650980 U JP5650980 U JP 5650980U JP S6039182 Y2 JPS6039182 Y2 JP S6039182Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- shutter
- laser beam
- laser processing
- resonator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Description
【考案の詳細な説明】
本考案は、レーザービームを共振器から発射し、光学系
を用いてビームを集束して、ビームの集束位置で被照射
物体を加工処理する装置に関するものであり、ビームの
集束位置を容易に検出できるようにすることを目的とす
る。
を用いてビームを集束して、ビームの集束位置で被照射
物体を加工処理する装置に関するものであり、ビームの
集束位置を容易に検出できるようにすることを目的とす
る。
第１図は一般的なレーザー加工装置を示す図で、１はレ
ーザー発振を起こすための共振器であり、発振したレー
ザービーム２は、反射鏡４と出力半透過鏡３の間で共振
し、レーザービームの一部１′は出力半透過鏡３を通し
て、共振器本体５から取り出される。
ーザー発振を起こすための共振器であり、発振したレー
ザービーム２は、反射鏡４と出力半透過鏡３の間で共振
し、レーザービームの一部１′は出力半透過鏡３を通し
て、共振器本体５から取り出される。
共振器本体から出たレーザービーム１′はビームの引導
筒６内を通って、光学的なビーム屈曲装置７を用いて、
加工処理を行なう場所の方向へ曲げられる。
筒６内を通って、光学的なビーム屈曲装置７を用いて、
加工処理を行なう場所の方向へ曲げられる。
ビーム屈曲装置７は、反射鏡あるいはプリズムなどの光
学系から戒っている。
学系から戒っている。
屈曲されたレーザービーム１′はビーム集束装置８で被
照射物体９の上に集束される。
照射物体９の上に集束される。
ビーム集束装置８はレンズや曲率鏡などの光学系と、時
にはレーザービームの熱を吸収出来る冷却機構をもった
部分品から戊っている。
にはレーザービームの熱を吸収出来る冷却機構をもった
部分品から戊っている。
第２図は、レーザービームの集束装置８をビームが通過
した後のビームの集束位置被照射物体９との関係を示す
図で、ａは相対的にアンダーフォーカスの位置、ｂは丁
度フォーカスが正しくなった位置、Ｃは相対的にオーバ
ーフォーカスの状態を示すものである。
した後のビームの集束位置被照射物体９との関係を示す
図で、ａは相対的にアンダーフォーカスの位置、ｂは丁
度フォーカスが正しくなった位置、Ｃは相対的にオーバ
ーフォーカスの状態を示すものである。
第３図は第２図の３種類の位置の状態における被照射位
置でのレーザービーム輝点の形を示すもので、従来は、
正常なフォーカス付近でビーム集束装置を適当に動かし
、試行しながら正常なフォーカスを取っていた。
置でのレーザービーム輝点の形を示すもので、従来は、
正常なフォーカス付近でビーム集束装置を適当に動かし
、試行しながら正常なフォーカスを取っていた。
しかしながら、輝点の輝度自身が数百ｆｔ−：［、と非
常に強いために輝点の形状ａ、 ｂ、 ｃの差異が判別
しにくく、且つ状態ａ。
常に強いために輝点の形状ａ、 ｂ、 ｃの差異が判別
しにくく、且つ状態ａ。
Ｃの輝点が同じ形状であるため、輝点形状から照射物体
とビーム集束位置の関係を一意的に決定することができ
ないという欠点があった。
とビーム集束位置の関係を一意的に決定することができ
ないという欠点があった。
本考案はこのような欠点を解消するためになされたもの
である。
である。
第４図はレーザービームの集束点位置を容易に検出出来
るようにした２つ以上の微小孔のあいたシャッターを備
えたレーザー加工装置の一部を示す図であり、７，８は
それぞれ第１図のビーム屈曲装置７と集束装置８と同じ
である。
るようにした２つ以上の微小孔のあいたシャッターを備
えたレーザー加工装置の一部を示す図であり、７，８は
それぞれ第１図のビーム屈曲装置７と集束装置８と同じ
である。
シャッター１０は駆動部品１３に固定されており、シャ
ッターの駆動方法としては、部品１３を平行移動したり
、ある水平面で回転することにより、レーザービーム１
′を遮断することが出来る。
ッターの駆動方法としては、部品１３を平行移動したり
、ある水平面で回転することにより、レーザービーム１
′を遮断することが出来る。
ビームシャッター１０は第５図のようにレーザービーム
１′のほぼ周辺に位置する、なるべく中心から離れた位
置に、形状や大きさの異なる２種類以上の穴１１．１２
があけられている。
１′のほぼ周辺に位置する、なるべく中心から離れた位
置に、形状や大きさの異なる２種類以上の穴１１．１２
があけられている。
同図では便宜上２つの穴をあけた場合について示しであ
る。
る。
第６図は、ビームシャッター１０をビーム光路１′の途
中に入れて、ビームの集束位置を検出している時の図で
ある。
中に入れて、ビームの集束位置を検出している時の図で
ある。
図中ａ、 ｂ、 ｃはビームの集束位置に対する被照射
物体の相対的位置を示している。
物体の相対的位置を示している。
第７図は、第６図の被照射物体の位置ａ、 ｂ。
Ｃに対応した輝点の変化を示すものである。
図中ａはアンダーフォーカス、ｂはフォーカス、Ｃはオ
ーバーフォーカスの状態を示す。
ーバーフォーカスの状態を示す。
このように２種類以上の形状の異なる微小孔のあいたシ
ャッターを用いることにより、輝点自身を数＋ｆｔ−Ｌ
以下の低い輝度にすることにより、まぶしくないので、
目での集束の様子が容易に観察出来る。
ャッターを用いることにより、輝点自身を数＋ｆｔ−Ｌ
以下の低い輝度にすることにより、まぶしくないので、
目での集束の様子が容易に観察出来る。
また本考案では微小孔の形は異っているので、輝点の強
度を比較することにより、被照射物体がビーム集束位置
にない時、被照射物体とビーム集束位置との相対関係が
一意的に求まる。
度を比較することにより、被照射物体がビーム集束位置
にない時、被照射物体とビーム集束位置との相対関係が
一意的に求まる。
なお、本考案において、第７図のようにビーム輝点の形
状あるいは輝点の強弱を人間の目で判断した場合の実施
例について述べたが、輝点の形状あるいは強弱を光電素
子で検出して被照射物体の相対的位置を検出することも
可能である。
状あるいは輝点の強弱を人間の目で判断した場合の実施
例について述べたが、輝点の形状あるいは強弱を光電素
子で検出して被照射物体の相対的位置を検出することも
可能である。
第１図はレーザー加工装置の概略図、第２図は第１図の
要部拡大図、第３図は第２図におけるビーム集束状態説
明図、第４図は本考案の一実施例におけるレーザー加工
装置の概略構成図、第５図は本考案に使用されるシャッ
ターの平面図、第６図および第７図は本考案の動作説明
図である。 １・・・・・・共振器、３・・・・・・出力半透過鏡、
４・・・・・・反射鏡、７・・・・・・ビーム屈曲装置
、８・・・・・・ビーム集束装置、１０・・・・・・シ
ャッター １１．１２・・・・・・穴。
要部拡大図、第３図は第２図におけるビーム集束状態説
明図、第４図は本考案の一実施例におけるレーザー加工
装置の概略構成図、第５図は本考案に使用されるシャッ
ターの平面図、第６図および第７図は本考案の動作説明
図である。 １・・・・・・共振器、３・・・・・・出力半透過鏡、
４・・・・・・反射鏡、７・・・・・・ビーム屈曲装置
、８・・・・・・ビーム集束装置、１０・・・・・・シ
ャッター １１．１２・・・・・・穴。
Claims (1)
- レーザービームを発射するレーザー共振器と、被照射物
体を加工処理するように前記レーザー共振器から発射さ
れるレーザービームを集束する集束手段と、前記レーザ
ー共振器と集束手段との間、あるいは集束手段中におけ
るレーザービーム光路に挿入可能なシャッターとを具備
し、前記シャッターは２つ以上の形状大きさの少なくと
もいずれかが異なる微小孔を有し、前記シャッター挿入
時には前記レーザー共振器から発射されるレーザービー
ムは前記微小孔を通過することを特徴とするレーザー加
工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980056509U JPS6039182Y2 (ja) | 1980-04-23 | 1980-04-23 | レ−ザ−加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1980056509U JPS6039182Y2 (ja) | 1980-04-23 | 1980-04-23 | レ−ザ−加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56156484U JPS56156484U (ja) | 1981-11-21 |
| JPS6039182Y2 true JPS6039182Y2 (ja) | 1985-11-22 |
Family
ID=29651073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1980056509U Expired JPS6039182Y2 (ja) | 1980-04-23 | 1980-04-23 | レ−ザ−加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6039182Y2 (ja) |
-
1980
- 1980-04-23 JP JP1980056509U patent/JPS6039182Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56156484U (ja) | 1981-11-21 |
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