JPS6038914A - 表面波フイルタ - Google Patents
表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPS6038914A JPS6038914A JP14773483A JP14773483A JPS6038914A JP S6038914 A JPS6038914 A JP S6038914A JP 14773483 A JP14773483 A JP 14773483A JP 14773483 A JP14773483 A JP 14773483A JP S6038914 A JPS6038914 A JP S6038914A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- dielectric
- sio2
- wave filter
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、テレビジョン受像機やビデオテープレコーダ
のＶＩＰ回路等に用いる表面波フィルタに関するもので
ある。
のＶＩＰ回路等に用いる表面波フィルタに関するもので
ある。
従来例の構成とその問題点
従来のこの種の表面波フィルタは第１図、第２図に示す
ように、ガラス基板等の絶縁基板１の表面に正負１組よ
りなるアルミニウムの櫛形電極２゜３．２’、３’を複
数対配置（図では２対）し、その上にＺｎＯをスパッタ
リング蒸着して圧電膜４を配置し、さらにその上にアル
ミニウムの導電膜５゜６′を配置して表面波フィルタを
構成していた。
ように、ガラス基板等の絶縁基板１の表面に正負１組よ
りなるアルミニウムの櫛形電極２゜３．２’、３’を複
数対配置（図では２対）し、その上にＺｎＯをスパッタ
リング蒸着して圧電膜４を配置し、さらにその上にアル
ミニウムの導電膜５゜６′を配置して表面波フィルタを
構成していた。
しかしながら、上記のような構成では、櫛形電極２ 、
３ 、２’ 、 ３’間隔１ｏ数ｌに対し、櫛形電極と
導電膜６，５′との間隔が数ｌのために静電気耐圧が低
く、櫛形電極と導電膜間での短絡不良が発生する原因と
なっていた。
３ 、２’ 、 ３’間隔１ｏ数ｌに対し、櫛形電極と
導電膜６，５′との間隔が数ｌのために静電気耐圧が低
く、櫛形電極と導電膜間での短絡不良が発生する原因と
なっていた。
発明の目的
本発明は、上記のような欠点を解消し、製品の品質向上
と高性能の表面波フィルタを提供しようとするものであ
る。
と高性能の表面波フィルタを提供しようとするものであ
る。
発明の構成
そのための構成として本発明は、表面に正負１組よりな
る櫛形電極を複数対形成した絶縁基板の上に圧電膜を形
成し、その圧電膜の上に誘電物質よりなる膜を形成し、
さらにその誘電物質よシなる膜の上に導電膜を形成した
ものであり、櫛形電極と導電膜との間隔を広げ、耐電圧
を向上したものである。
る櫛形電極を複数対形成した絶縁基板の上に圧電膜を形
成し、その圧電膜の上に誘電物質よりなる膜を形成し、
さらにその誘電物質よシなる膜の上に導電膜を形成した
ものであり、櫛形電極と導電膜との間隔を広げ、耐電圧
を向上したものである。
以下本発明の一実施例について第３図の図面にそって説
明する。なお、第１図、第２図と同一部分には同一番号
を付し説明を省略する。
明する。なお、第１図、第２図と同一部分には同一番号
を付し説明を省略する。
すなわち、本発明においては、圧電膜４と導電膜６，５
′との間に８１０２等の誘電物質よりなる膜６を形成し
たものである。誘電物質よりなる膜らは、主に５ｉ０２
を使用するが、このＳｉＯ’２は化学的に非常に安定し
た物質であるために、外気の悪影響を受けにくく、静電
気耐圧レベルの向上が図れるとともに安定した品質を確
保できる。そして例えばこのＳ ｉ０２の膜厚を１声以
上にすることによって静電気耐圧レベル（下限値）を初
期値の２倍以上に改善できる。第４図はそれを示してい
る。
′との間に８１０２等の誘電物質よりなる膜６を形成し
たものである。誘電物質よりなる膜らは、主に５ｉ０２
を使用するが、このＳｉＯ’２は化学的に非常に安定し
た物質であるために、外気の悪影響を受けにくく、静電
気耐圧レベルの向上が図れるとともに安定した品質を確
保できる。そして例えばこのＳ ｉ０２の膜厚を１声以
上にすることによって静電気耐圧レベル（下限値）を初
期値の２倍以上に改善できる。第４図はそれを示してい
る。
なお、Ｓｉ ０２は圧電特性を有していないのでこの膜
を設けたことによる電気特性への影響はほとんどない。
を設けたことによる電気特性への影響はほとんどない。
発明の効果
以上のように本発明による表面波フィルタは、圧電膜と
導電膜との間に誘電物質よりなる膜を形成したため、静
電気耐圧（下限値）を従来品と比較して向上させること
ができだものであり、その産業性は大なるものである。
導電膜との間に誘電物質よりなる膜を形成したため、静
電気耐圧（下限値）を従来品と比較して向上させること
ができだものであり、その産業性は大なるものである。
第１図は従来の表面波フィルタの平面図、第２図は第１
図のＡ−に線断面図、第３図は本発明による一実施例の
表面波フィルタの断面図、第４図は誘電膜厚に対する静
電気耐圧の特性図である。 １・・・・・・絶縁基板、２，３．２’、３’・・・・
・・櫛形電極、４・・・・圧電膜、５，６′・・・・・
・導電膜、６・・・・・・誘電物質よりなる膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名刀
１ 図 第 ２ 図 第３図 第４図 誘引！／ｉｌ−”’
図のＡ−に線断面図、第３図は本発明による一実施例の
表面波フィルタの断面図、第４図は誘電膜厚に対する静
電気耐圧の特性図である。 １・・・・・・絶縁基板、２，３．２’、３’・・・・
・・櫛形電極、４・・・・圧電膜、５，６′・・・・・
・導電膜、６・・・・・・誘電物質よりなる膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名刀
１ 図 第 ２ 図 第３図 第４図 誘引！／ｉｌ−”’
Claims (3)
- （１）表面に正負１組よシなる櫛形電極を複数対形成し
た絶縁基板の上に圧電膜を形成し、その圧電膜の上に誘
電物質よシなる膜を形成［７、さらにその誘電物質より
なる膜の上に導電膜を形成した表面波フィルタ。 - （２）誘電物質よりなる膜の厚さが１／１以上である特
許請求の範囲第（１）項記載の表面波フィルタ。 - （３）誘電物質がＳｉ ０２である特許請求の範囲第（
１）項まだは第（２）項記載の表面波フィルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14773483A JPS6038914A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14773483A JPS6038914A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6038914A true JPS6038914A (ja) | 1985-02-28 |
Family
ID=15436931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14773483A Pending JPS6038914A (ja) | 1983-08-11 | 1983-08-11 | 表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6038914A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0237208A2 (en) * | 1986-03-12 | 1987-09-16 | Nortel Networks Corporation | SAW device with apodized IDT |
-
1983
- 1983-08-11 JP JP14773483A patent/JPS6038914A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0237208A2 (en) * | 1986-03-12 | 1987-09-16 | Nortel Networks Corporation | SAW device with apodized IDT |
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