JPS603428A - 過給式多気筒内燃機関 - Google Patents
過給式多気筒内燃機関Info
- Publication number
- JPS603428A JPS603428A JP58111592A JP11159283A JPS603428A JP S603428 A JPS603428 A JP S603428A JP 58111592 A JP58111592 A JP 58111592A JP 11159283 A JP11159283 A JP 11159283A JP S603428 A JPS603428 A JP S603428A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- piston
- supercharging
- port
- discharge port
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
- F02B29/00—Engines characterised by provision for charging or scavenging not provided for in groups F02B25/00, F02B27/00 or F02B33/00 - F02B39/00; Details thereof
- F02B29/02—Other fluid-dynamic features of induction systems for improving quantity of charge
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01L—CYCLICALLY OPERATING VALVES FOR MACHINES OR ENGINES
- F01L3/00—Lift-valve, i.e. cut-off apparatus with closure members having at least a component of their opening and closing motion perpendicular to the closing faces; Parts or accessories thereof
- F01L3/20—Shapes or constructions of valve members, not provided for in preceding subgroups of this group
- F01L3/205—Reed valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
- F02B23/00—Other engines characterised by special shape or construction of combustion chambers to improve operation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02F—CYLINDERS, PISTONS OR CASINGS, FOR COMBUSTION ENGINES; ARRANGEMENTS OF SEALINGS IN COMBUSTION ENGINES
- F02F3/00—Pistons
- F02F3/28—Other pistons with specially-shaped head
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02T—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO TRANSPORTATION
- Y02T10/00—Road transport of goods or passengers
- Y02T10/10—Internal combustion engine [ICE] based vehicles
- Y02T10/12—Improving ICE efficiencies
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はに複数の気筒のうち一部の気筒を、他の燃焼用
気筒に対する吸入空気圧縮用の過給用気筒に構成した多
気筒内燃機関に関するものである。
気筒に対する吸入空気圧縮用の過給用気筒に構成した多
気筒内燃機関に関するものである。
このように複数の気筒のうち一部の気筒を他の燃焼用気
筒に対する過給用気筒にした多気筒機関は特開昭５１−
９１４１６号公報及び特開昭５２−７６５１７＝公報等
によって提案されている。
筒に対する過給用気筒にした多気筒機関は特開昭５１−
９１４１６号公報及び特開昭５２−７６５１７＝公報等
によって提案されている。
そしてこの種の多気筒内燃機関において、過給用気筒に
よる過給効果を高めるには、過給用気筒における体積効
率（行程容積に対する新規空気の吸入容積の割合）を向
上することが必要であって、体積効率を向上するには、
過給用気筒のピストンが上死点にあるときのシリンダ容
積つまり隙間容積を出来る丈小さくしなければならない
。
よる過給効果を高めるには、過給用気筒における体積効
率（行程容積に対する新規空気の吸入容積の割合）を向
上することが必要であって、体積効率を向上するには、
過給用気筒のピストンが上死点にあるときのシリンダ容
積つまり隙間容積を出来る丈小さくしなければならない
。
しかし、前記両公報の先行技術のものは、過給用気筒に
おけるシリンダ室への空気の吸入ポート及びシリンダ室
からの空気の吐出ポートの全容積が、ピストン上死点の
ときのシリンダ容積の加算される形態になっているから
、その隙間容積が大きくて体積効率が低い点に問題があ
った。
おけるシリンダ室への空気の吸入ポート及びシリンダ室
からの空気の吐出ポートの全容積が、ピストン上死点の
ときのシリンダ容積の加算される形態になっているから
、その隙間容積が大きくて体積効率が低い点に問題があ
った。
本発明は、このように複数の気筒のうち一部の気筒を、
他の燃焼用気筒に対する過給用気筒に構成した多気筒内
燃機関において、その過給用気筒におけるピストンの頂
面に、当該ピストンが上死点にあるとき吸入ポート及び
吐出ポート内に侵入してこれら吸入ポート及び吐出ポー
トの容積を縮少するようにした突起部を設けることによ
り、隙間容積を小さく、従って体積効率を向上するよう
ｌ乙したものである。
他の燃焼用気筒に対する過給用気筒に構成した多気筒内
燃機関において、その過給用気筒におけるピストンの頂
面に、当該ピストンが上死点にあるとき吸入ポート及び
吐出ポート内に侵入してこれら吸入ポート及び吐出ポー
トの容積を縮少するようにした突起部を設けることによ
り、隙間容積を小さく、従って体積効率を向上するよう
ｌ乙したものである。
以下本発明を、３気筒機関に適用した場合の実施例につ
いて説明すると、図において（１）は、第１気筒（２）
及び第３気筒（４）を４サイクルの燃焼用気筒とし、第
２気筒（３）を２サイクルの過給用気筒とした列型３気
筒機関を示し、第１及び第３気筒（２） （４）には吸
気弁（５） （６）付き吸気ポート（７） （８）と排
気弁（９）αυ付き排気ポート０υα４を備え、また、
第２気筒（３）には吸入ポートＱ３と吐出ポートＱ４）
とを備えている。
いて説明すると、図において（１）は、第１気筒（２）
及び第３気筒（４）を４サイクルの燃焼用気筒とし、第
２気筒（３）を２サイクルの過給用気筒とした列型３気
筒機関を示し、第１及び第３気筒（２） （４）には吸
気弁（５） （６）付き吸気ポート（７） （８）と排
気弁（９）αυ付き排気ポート０υα４を備え、また、
第２気筒（３）には吸入ポートＱ３と吐出ポートＱ４）
とを備えている。
この場合吸入ポートα３と吐出ポートａ＜とは、機関（
１）のシリンダヘッドＱ■と機関（１）の甲面視におい
てその長手中心線０Ｑに対して左右両側の部位に分けて
設けられ、吸入ポートα■の一端は機関（１）のシリン
ダヘッドθ０における一側面α力にρ開口する→方他端
はシリンダヘッドａＯの下面ｏ窃において第２気筒（３
）のシリンダ室内に開口し、吐出ポートα蜀の一端はシ
リンダヘッド０＄の他側面（１８）に開口する一方、他
端はシリンダヘッドαつの下面θ９）においてシリンダ
室内に開口している。
１）のシリンダヘッドＱ■と機関（１）の甲面視におい
てその長手中心線０Ｑに対して左右両側の部位に分けて
設けられ、吸入ポートα■の一端は機関（１）のシリン
ダヘッドθ０における一側面α力にρ開口する→方他端
はシリンダヘッドａＯの下面ｏ窃において第２気筒（３
）のシリンダ室内に開口し、吐出ポートα蜀の一端はシ
リンダヘッド０＄の他側面（１８）に開口する一方、他
端はシリンダヘッドαつの下面θ９）においてシリンダ
室内に開口している。
前記第１気筒（２）及び第３気筒（４）のピストンは同
時に同一位相で上下動するが、第２気筒（３）のピスト
ン翰は第１及び第３気筒のピストンとは正反対に上下動
するようにクランク角で１８００ｆれている一方、第１
気筒（２）と第３気筒（４）とは、第１気筒（２）が爆
発行程のとき第３気筒（４）が吸気行程となるようｌこ
点火順序がクランク角で３６０ ｏずれており、第２気
筒（３）の最初の圧縮行程のとき第３気筒（４）が吸気
行程で、第２気筒（３）の次の圧縮行程のとき第１気筒
（２）が吸気行程であり鼠且っ第２気筒（３）における
行程容積は第１及び第３気筒（２） （４）に対する過
給に必要な容積に設定されている。
時に同一位相で上下動するが、第２気筒（３）のピスト
ン翰は第１及び第３気筒のピストンとは正反対に上下動
するようにクランク角で１８００ｆれている一方、第１
気筒（２）と第３気筒（４）とは、第１気筒（２）が爆
発行程のとき第３気筒（４）が吸気行程となるようｌこ
点火順序がクランク角で３６０ ｏずれており、第２気
筒（３）の最初の圧縮行程のとき第３気筒（４）が吸気
行程で、第２気筒（３）の次の圧縮行程のとき第１気筒
（２）が吸気行程であり鼠且っ第２気筒（３）における
行程容積は第１及び第３気筒（２） （４）に対する過
給に必要な容積に設定されている。
ｔ２１）は吸気用のエアクリーナで、該エアクリーナ１
２］）を吸気通路（イ）を介して前記第２気筒（３）の
吸入ポー）０３１Ｌこ接続する一方、第２気筒（３）の
吐出ボーＬ０４）を脈動消去用のサージタンク（ハ）と
気化器（ハ）等ノ燃料供給手段とをａｕえた過給通路（
ハ）を介して、前記第１気筒（２）の吸気ポート（７）
及び第３気筒（４）の吸気ポート（８）に接続する。
また、第１及び第３気筒（２） （４）の排気ポートα
υαつには排気マニホールド（ハ）が接続されている。
２］）を吸気通路（イ）を介して前記第２気筒（３）の
吸入ポー）０３１Ｌこ接続する一方、第２気筒（３）の
吐出ボーＬ０４）を脈動消去用のサージタンク（ハ）と
気化器（ハ）等ノ燃料供給手段とをａｕえた過給通路（
ハ）を介して、前記第１気筒（２）の吸気ポート（７）
及び第３気筒（４）の吸気ポート（８）に接続する。
また、第１及び第３気筒（２） （４）の排気ポートα
υαつには排気マニホールド（ハ）が接続されている。
（イ）は第２気筒（３）に対する逆止弁型の吸入弁を示
し、該吸入弁に）は、山形断面状の弁取付部材（ハ）と
、該弁数４」部材（ハ）にこれに穿設の矩形窓孔（イ）
を塞ぐようにねじ曽等にて固着した板ばね製のリード板
０υとからなり、この吸入弁（イ）を吸入ポートａ３に
そのリード板０υが吸入ポートｏ３内に位置するように
取付ける一方翫第２気筒（３）における吐出ポートα荀
に、同じく山形断面形状の弁取付部材（至）にその窓孔
■を塞ぐように板ばね製のリード板に）を固着して成る
逆止弁型の吐出弁０りを取付ける。
し、該吸入弁に）は、山形断面状の弁取付部材（ハ）と
、該弁数４」部材（ハ）にこれに穿設の矩形窓孔（イ）
を塞ぐようにねじ曽等にて固着した板ばね製のリード板
０υとからなり、この吸入弁（イ）を吸入ポートａ３に
そのリード板０υが吸入ポートｏ３内に位置するように
取付ける一方翫第２気筒（３）における吐出ポートα荀
に、同じく山形断面形状の弁取付部材（至）にその窓孔
■を塞ぐように板ばね製のリード板に）を固着して成る
逆止弁型の吐出弁０りを取付ける。
そして−前記第２気筒（３）におけるピストン翰の頂面
には、当該ピストン（ホ）が上死点に来たとき、前記吸
入ポート０３内及び吐出ポート（１４）内に挿入するよ
うにした突起部（ト）（ロ）を設けて成るものである。
には、当該ピストン（ホ）が上死点に来たとき、前記吸
入ポート０３内及び吐出ポート（１４）内に挿入するよ
うにした突起部（ト）（ロ）を設けて成るものである。
この構成において、第２気筒（３）におけるピストン（
イ）の上昇動による最初の圧縮行程のときに第３気筒（
４）が吸気行程で、第２気筒（３）の次の圧縮行程のと
き第１気筒（２）が吸気行程であるから、エアクリ〜す
ｉ２υから第２気筒（３）に吸入され当該第２気筒（３
）において圧縮された加圧望見は、第１気筒（２）と第
３気筒（４）とに交互に吸気されるのであり、なおこの
場合、第１気筒（２）及び第３気筒（４）への吸入空気
に燃料を供給するだめの気化器（ハ）等の燃料供給手段
を、過給用の第２気筒（３）より下流側に設けておけば
飄気化器（ハ）よって供給された燃料は、過給用の第２
気筒（３）を通過することなく、燃焼用の第１気筒（２
）及び第３気筒（４）番とおくられるのである。
イ）の上昇動による最初の圧縮行程のときに第３気筒（
４）が吸気行程で、第２気筒（３）の次の圧縮行程のと
き第１気筒（２）が吸気行程であるから、エアクリ〜す
ｉ２υから第２気筒（３）に吸入され当該第２気筒（３
）において圧縮された加圧望見は、第１気筒（２）と第
３気筒（４）とに交互に吸気されるのであり、なおこの
場合、第１気筒（２）及び第３気筒（４）への吸入空気
に燃料を供給するだめの気化器（ハ）等の燃料供給手段
を、過給用の第２気筒（３）より下流側に設けておけば
飄気化器（ハ）よって供給された燃料は、過給用の第２
気筒（３）を通過することなく、燃焼用の第１気筒（２
）及び第３気筒（４）番とおくられるのである。
そして、前記過給用第２気筒（３）の圧縮行程の終りに
おいて、そのピストン（ホ）の頂面に設けた突起部（ト
）（ロ）が、吸入ポート０■内及び吐出ポー） （１４
１内Ｉこ各々挿入されて、吸入ポートα免及び吐出ポー
トα→の内容積を縮少するから、ピストン（イ）の上死
点での隙間容積は、両突起部（至）に）が吸入ポート０
３内及び吐出ポート（１４１内に挿込される容積だけ小
さくなって体積効率が向上するのである。 なお、この
場合、前記実施例のように吐出ポートθΦにも逆止弁型
の吐出弁０■を設けておけば、前記隙間容積に、燃焼用
の第１及び第３気筒（２）（４）への過給通路（２）の
容積が加算されることを防止できる。
おいて、そのピストン（ホ）の頂面に設けた突起部（ト
）（ロ）が、吸入ポート０■内及び吐出ポー） （１４
１内Ｉこ各々挿入されて、吸入ポートα免及び吐出ポー
トα→の内容積を縮少するから、ピストン（イ）の上死
点での隙間容積は、両突起部（至）に）が吸入ポート０
３内及び吐出ポート（１４１内に挿込される容積だけ小
さくなって体積効率が向上するのである。 なお、この
場合、前記実施例のように吐出ポートθΦにも逆止弁型
の吐出弁０■を設けておけば、前記隙間容積に、燃焼用
の第１及び第３気筒（２）（４）への過給通路（２）の
容積が加算されることを防止できる。
第３図は他の実施例を示し、このものは前記第２気筒（
３）における吸入ポートα■及び吐出ポートα→が第２
気筒（３）のシリンダ室内に開口する部分において吸入
ポート０３と吐出ポートα弔とを区画する区画壁部（ハ
）を、シリンダヘッドαつの下面０９）まで延長するこ
となく、シリンダヘッド０のの下面０９より適宜寸法０
だけ凹み形成したものである。
３）における吸入ポートα■及び吐出ポートα→が第２
気筒（３）のシリンダ室内に開口する部分において吸入
ポート０３と吐出ポートα弔とを区画する区画壁部（ハ
）を、シリンダヘッドαつの下面０９）まで延長するこ
となく、シリンダヘッド０のの下面０９より適宜寸法０
だけ凹み形成したものである。
このように構成すると、吸入ポートαａから流入する空
気の一部が区画壁部（至）をシリンダヘッド００の下面
０９）から凹ませた部分を通って吐出ポートα荀側に矢
印■で示すように吹き抜けると共にシリンダ室内での方
向変換がゆるやかになって、吸入ポートα□□□と吐出
ポートα榎との間流れ抵抗が少なくなへ るから、この分だけ新規空気量が多くなって体積効率が
向上するのである。
気の一部が区画壁部（至）をシリンダヘッド００の下面
０９）から凹ませた部分を通って吐出ポートα荀側に矢
印■で示すように吹き抜けると共にシリンダ室内での方
向変換がゆるやかになって、吸入ポートα□□□と吐出
ポートα榎との間流れ抵抗が少なくなへ るから、この分だけ新規空気量が多くなって体積効率が
向上するのである。
しかし、このように吸入ポートＯＪと吐出ポートθΦと
の区画壁部（ハ）をシリンダヘッドＱつの下面Ｑ９）よ
り凹み形成した場合、この凹ませた分だけ隙間容積が大
きくなるが、この点を回避するにはピストン（イ）の頂
面を第３図に二点鎖線で示すように中高状Ｇ［相］に構
成すれば良い、すなわち、ピストン（イ）の頂面を中高
状Ｇ［相］に構成することにより、隙間容積は前記中高
部ｂｓの容積だけ縮少できるから一区画壁部（ト）を凹
み形成したことによる隙間容積の増大を回避できること
に加えて、隙間容積を更に小さくすることができるので
ある。
の区画壁部（ハ）をシリンダヘッドＱつの下面Ｑ９）よ
り凹み形成した場合、この凹ませた分だけ隙間容積が大
きくなるが、この点を回避するにはピストン（イ）の頂
面を第３図に二点鎖線で示すように中高状Ｇ［相］に構
成すれば良い、すなわち、ピストン（イ）の頂面を中高
状Ｇ［相］に構成することにより、隙間容積は前記中高
部ｂｓの容積だけ縮少できるから一区画壁部（ト）を凹
み形成したことによる隙間容積の増大を回避できること
に加えて、隙間容積を更に小さくすることができるので
ある。
なお、前記実施例は３気筒機関における中央の第２気筒
（３）を過給用気筒にした場合であったが、第１気筒（
２）又は第３気筒（４）を過給用気筒に、他の気筒な燃
焼用気筒にしても良く、また−４気筒又は６気筒機関等
の多気筒機関に対しても同様に適用できることはいうま
でもない。
（３）を過給用気筒にした場合であったが、第１気筒（
２）又は第３気筒（４）を過給用気筒に、他の気筒な燃
焼用気筒にしても良く、また−４気筒又は６気筒機関等
の多気筒機関に対しても同様に適用できることはいうま
でもない。
以上の通り本発明は、複数の気筒のうち一部の気筒を、
他の燃焼用気筒に対する過給用気筒に構成した多気筒内
燃機関において、前記機関のシリンダヘッド過給用気筒
における吸入ポート及び吐出ポートをこれら両ボートが
シリンダヘッドの下面に開口するように設ける一方、前
記過給用気筒におけるピストンの頂面には、当該ピスト
ンが上死点のとき前記吸入ポート及び吐出ポート内に挿
入するようにした突起部を設けたことを特徴とするもの
で、過給用気筒における隙間容積を、前記両突起部に縮
少できて、体積効率を向上できるから、それだけ過給用
気筒の行程容積を小さくできて機関の小型、軽量化でき
ると共に、機関−の出力を向上できる効果を有する。
他の燃焼用気筒に対する過給用気筒に構成した多気筒内
燃機関において、前記機関のシリンダヘッド過給用気筒
における吸入ポート及び吐出ポートをこれら両ボートが
シリンダヘッドの下面に開口するように設ける一方、前
記過給用気筒におけるピストンの頂面には、当該ピスト
ンが上死点のとき前記吸入ポート及び吐出ポート内に挿
入するようにした突起部を設けたことを特徴とするもの
で、過給用気筒における隙間容積を、前記両突起部に縮
少できて、体積効率を向上できるから、それだけ過給用
気筒の行程容積を小さくできて機関の小型、軽量化でき
ると共に、機関−の出力を向上できる効果を有する。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は平面図、第２図
は第１図のロー■視拡大断面図、第３図は他の実施例の
第２図と同じ箇所の断面図である。 （１）・・・ＩＪ 関、（２＞ （３）（４）・・・気
筒、ｏｏ・・・シリンダヘッド、（ホ）・・・ヒストン
、ａＱ・・・吸入ポート、ＯＪ・・・吐出ポルト、θｅ
・・・シリンダヘッド面、（イ）（ロ）・・・突起部、
（イ）・・・吸入弁鼠０望・・・吐出弁、（ハ）・・・
区画壁部。 特許出願人 ダイハツ工業株式会社９、−７代 理 人
弁理士 石 井 暁 夫゛′〜二（）、ン′
は第１図のロー■視拡大断面図、第３図は他の実施例の
第２図と同じ箇所の断面図である。 （１）・・・ＩＪ 関、（２＞ （３）（４）・・・気
筒、ｏｏ・・・シリンダヘッド、（ホ）・・・ヒストン
、ａＱ・・・吸入ポート、ＯＪ・・・吐出ポルト、θｅ
・・・シリンダヘッド面、（イ）（ロ）・・・突起部、
（イ）・・・吸入弁鼠０望・・・吐出弁、（ハ）・・・
区画壁部。 特許出願人 ダイハツ工業株式会社９、−７代 理 人
弁理士 石 井 暁 夫゛′〜二（）、ン′
Claims (3)
- （１）、複数の気筒のうち一部の気筒を、他の燃焼用気
筒に対する過給用気筒に構成した多気筒内燃機関におい
て、０１１記機関のシリンダヘッドに過給用気筒におけ
る吸入ポート及び吐出ポートをこれら両ポートがシリン
ダヘッドの下面に開口するように設ける一方、前記過給
用気筒におけるピストンの頂面には、当該ピストンが上
死点のとき前記吸入ポート及び吐出ポート内に挿入する
ように突起部を設けたことを特徴とする過給式多気筒内
燃機関。 - （２）、吸入ポート及び吐出ポートがシリンダヘッド下
面に開口する部分において吸入ポートと吐出ポートとを
区画する区画壁部を、シリンダヘッドの下面より凹み形
成したことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の過
給式多気筒内燃機関。 - （３）。過給用気筒におけるピストンの頂面を中高状に
構成したことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の
過給式多気筒内燃機関。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58111592A JPS603428A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 過給式多気筒内燃機関 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58111592A JPS603428A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 過給式多気筒内燃機関 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS603428A true JPS603428A (ja) | 1985-01-09 |
Family
ID=14565266
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58111592A Pending JPS603428A (ja) | 1983-06-20 | 1983-06-20 | 過給式多気筒内燃機関 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS603428A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443773U (ja) * | 1990-08-06 | 1992-04-14 | ||
| US5820261A (en) * | 1995-07-26 | 1998-10-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a rapid thermal processing system |
-
1983
- 1983-06-20 JP JP58111592A patent/JPS603428A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0443773U (ja) * | 1990-08-06 | 1992-04-14 | ||
| US5820261A (en) * | 1995-07-26 | 1998-10-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a rapid thermal processing system |
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