JPS6033892A - レ−ザ加工機 - Google Patents
レ−ザ加工機Info
- Publication number
- JPS6033892A JPS6033892A JP58141662A JP14166283A JPS6033892A JP S6033892 A JPS6033892 A JP S6033892A JP 58141662 A JP58141662 A JP 58141662A JP 14166283 A JP14166283 A JP 14166283A JP S6033892 A JPS6033892 A JP S6033892A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- oscillator
- laser output
- plate
- rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ぼ、レーザ共振器内にブリュースタ窓を設置しこ
ｆ１４１回転制御すること／Ｃニジ加工に最適な直線偏
ｉ’に得るレーザ加工機に関するものである０ 従来、レーザ分用いて平板材料全切断する場合、その材
料の移動７同とその材料上の一点に集光されるレーザ出
力の′直昇の偏元号同を一致させることにより、最も切
断幅が狭く切断面もなめらかで、しかも加工速度の大き
なレーザ切断が行えることが知らｈている。レーザ加工
方向と集ｉされたレーザ出力の偏元号同のなす角度ＩＣ
工り、加工可能な速度が変化し、また加工精度の良否が
左右さｈる０ 従来の２枚の鏡のみで構成される最も簡単なレーザ共振
器構造から得られるレーザ出力は、偏光方向の定まらな
いいわゆる無偏元レーザで、加工方向／Ｃ対して加工性
能？一定にすることができない。−万、折り返し共振器
構造から得られるレーザ出力に、偏光方向が一方向に固
定されてしまい、たまたまこわと同方向ｌこ加工する場
合に最適な条件となるがそれ以外の方向でに加工条件が
悪化する。そこでこのようなＭｌａ偏元レーザの欠点全
解消するためにやむを得ずレーザ共振器外に設置さｈた
位相遅延鏡により円偏光に変換し、加工方向を問わず加
工条件が一定ｆｃなるようにしている。
ｆ１４１回転制御すること／Ｃニジ加工に最適な直線偏
ｉ’に得るレーザ加工機に関するものである０ 従来、レーザ分用いて平板材料全切断する場合、その材
料の移動７同とその材料上の一点に集光されるレーザ出
力の′直昇の偏元号同を一致させることにより、最も切
断幅が狭く切断面もなめらかで、しかも加工速度の大き
なレーザ切断が行えることが知らｈている。レーザ加工
方向と集ｉされたレーザ出力の偏元号同のなす角度ＩＣ
工り、加工可能な速度が変化し、また加工精度の良否が
左右さｈる０ 従来の２枚の鏡のみで構成される最も簡単なレーザ共振
器構造から得られるレーザ出力は、偏光方向の定まらな
いいわゆる無偏元レーザで、加工方向／Ｃ対して加工性
能？一定にすることができない。−万、折り返し共振器
構造から得られるレーザ出力に、偏光方向が一方向に固
定されてしまい、たまたまこわと同方向ｌこ加工する場
合に最適な条件となるがそれ以外の方向でに加工条件が
悪化する。そこでこのようなＭｌａ偏元レーザの欠点全
解消するためにやむを得ずレーザ共振器外に設置さｈた
位相遅延鏡により円偏光に変換し、加工方向を問わず加
工条件が一定ｆｃなるようにしている。
しかしながら加工方向と被加工物上の一点に集光ざわた
レーザ出力の偏元号同と全一致させるのが最適であるこ
とに前述した通りである。
レーザ出力の偏元号同と全一致させるのが最適であるこ
とに前述した通りである。
本発明に、レーザ共撮器内にブリュースタ窓を設置し、
こｆｌに工９得らｈる直線偏光の被加工物上での方向が
被加工物を載置移動させるＸ−Ｙテーブルの移動方間と
一致するようにレーザ光軸を軸としてブリュースタ窓を
回転制御し、加工に最適な条件′ｆｃ得ようとするもの
である。
こｆｌに工９得らｈる直線偏光の被加工物上での方向が
被加工物を載置移動させるＸ−Ｙテーブルの移動方間と
一致するようにレーザ光軸を軸としてブリュースタ窓を
回転制御し、加工に最適な条件′ｆｃ得ようとするもの
である。
次丸本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
図は本発明の一実施例を示すもので、ｌはレーザ発振器
、２汀レーザ出力を集光しンズｒｃ導く光学系（ビーム
ベンダー）、３に導かわたレーザ出力を被加工物上の一
点に集光するための集光レンズ、４ａ被加工物、５に被
加工物４を載置しＸ−Ｙ方向へ任意移動可能なＸ−Ｙテ
ーブル、６ばＸ−Ｙテーブル５を移動させる制御装置で
ある。レーザ発振器１ぼ、元軸２１／Ｃ対しブリュース
タ角をなして設置された透過性光学板７と出力鏡１１と
、全反射鏡１２と、レーザ媒質１３と全含み、光学板７
は、元生板回転制御機講８ ＩＣよって元軸２１全軸と
して回転できるよう／：なっている。
、２汀レーザ出力を集光しンズｒｃ導く光学系（ビーム
ベンダー）、３に導かわたレーザ出力を被加工物上の一
点に集光するための集光レンズ、４ａ被加工物、５に被
加工物４を載置しＸ−Ｙ方向へ任意移動可能なＸ−Ｙテ
ーブル、６ばＸ−Ｙテーブル５を移動させる制御装置で
ある。レーザ発振器１ぼ、元軸２１／Ｃ対しブリュース
タ角をなして設置された透過性光学板７と出力鏡１１と
、全反射鏡１２と、レーザ媒質１３と全含み、光学板７
は、元生板回転制御機講８ ＩＣよって元軸２１全軸と
して回転できるよう／：なっている。
レーザ発振器ｌを発したレーザ′ｙｒ：、ぼ光学系２を
介して集光レンズ３に導がり、被加工物４上の一点九果
光照射される。被加工物４ば、制御装置６によりその移
動方間が制御さｈｆｃｘ−’ｙＹテーブル５上に載置さ
れている０Ｘ−Ｙテーブル５の移動方間が制御Ｒ４ｊｅ
６Ｃよって決定さｈると、制御装置６はＸ−Ｙテーブル
５の移動方図信号を光学板７０回転制御機檜８へ供給す
る。この信号を受けた回転制御機構８に、被加工物４上
の集光点における電界の偏光方向がＸ−Ｙテーブル５の
移動方間と常に一致する工う光学板７全回転させる。
介して集光レンズ３に導がり、被加工物４上の一点九果
光照射される。被加工物４ば、制御装置６によりその移
動方間が制御さｈｆｃｘ−’ｙＹテーブル５上に載置さ
れている０Ｘ−Ｙテーブル５の移動方間が制御Ｒ４ｊｅ
６Ｃよって決定さｈると、制御装置６はＸ−Ｙテーブル
５の移動方図信号を光学板７０回転制御機檜８へ供給す
る。この信号を受けた回転制御機構８に、被加工物４上
の集光点における電界の偏光方向がＸ−Ｙテーブル５の
移動方間と常に一致する工う光学板７全回転させる。
以上説明したように、本発明によるレーザ加工機に加工
方向を検出し、この方向【レーザ出力の偏元号同が一致
するよう光学板を回転させるので、加工方向に無関係に
最適な条件で加工することができる。
方向を検出し、この方向【レーザ出力の偏元号同が一致
するよう光学板を回転させるので、加工方向に無関係に
最適な条件で加工することができる。
Claims (1)
- レーザ発振器と、Ｘ−Ｙテーブルと、このＸ−Ｙテーブ
ルの移動７同を制御する制御装置と、前記レーザ発振器
から得られるレーザ出力全前記Ｘ−Ｙテーブル上に載置
された被加工物上の一点に集光照射する光学装置と？含
むレーザ加工機において、前記レーザ発振器の共振器内
に元軸に対しブリュースタ角をなすように設置された透
過眩光生板と、この透過性うし生板を元軸を軸として回
転する回転機構とを含み、前記制御装置に前記回転機構
に対（７て、前記Ｘ−Ｙテーブルの移動７同と前記レー
ザ出力の偏光方向が被加工物上の集光点で常に一致する
よう前記透過注尤生板を回転制御させることを特徴とす
るレーザ加工機０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58141662A JPS6033892A (ja) | 1983-08-02 | 1983-08-02 | レ−ザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58141662A JPS6033892A (ja) | 1983-08-02 | 1983-08-02 | レ−ザ加工機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6033892A true JPS6033892A (ja) | 1985-02-21 |
Family
ID=15297253
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58141662A Pending JPS6033892A (ja) | 1983-08-02 | 1983-08-02 | レ−ザ加工機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6033892A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6268586B1 (en) * | 1998-04-30 | 2001-07-31 | The Regents Of The University Of California | Method and apparatus for improving the quality and efficiency of ultrashort-pulse laser machining |
-
1983
- 1983-08-02 JP JP58141662A patent/JPS6033892A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6268586B1 (en) * | 1998-04-30 | 2001-07-31 | The Regents Of The University Of California | Method and apparatus for improving the quality and efficiency of ultrashort-pulse laser machining |
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