JPS6032782Y2 - 固体撮像装置 - Google Patents

固体撮像装置

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JPS6032782Y2
JPS6032782Y2 JP1979063870U JP6387079U JPS6032782Y2 JP S6032782 Y2 JPS6032782 Y2 JP S6032782Y2 JP 1979063870 U JP1979063870 U JP 1979063870U JP 6387079 U JP6387079 U JP 6387079U JP S6032782 Y2 JPS6032782 Y2 JP S6032782Y2
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JP
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JP1979063870U
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勇 北廣
美子 安田
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松下電器産業株式会社
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Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、基板上に多数個の光検出素子が形成された固
体撮像ディスペレットに光学的フィルターを装着した固
体撮像装置に関し、フィルター装着を容易ならしめる固
体撮像デバイスペレットの形状を提供するものである。
従来からの光学フィルターを装着した固体撮像を第１図
に示す、１は収納容器、８は所定の部分に装着された固
体撮像デバイスペレット、２は該装置のポンディングパ
ッド部である。
７は外部リードで、３の接続ワイヤにより、ポンディン
グパッド部２と電気的に接続されている。
４は光検出素子の形成された領域であり、その上面には
５の光学フィルターが接着されている。
６はガラス板である。
光学フィルター５を固体撮像デバイスペレット８に接着
する際の、接着剤の塗布方法として一般に回転塗布法が
用いられる。
第２図に、回転塗布法を用いた光学フィルター接着法を
示した。
第２図ａは、接着剤のスピンナーを用いた塗布方法を示
している。
スピンナー回転台１１上に収納容器１２を真空吸引によ
り固定し、接着剤供給ノズル１４より接着剤１５を滴下
し、５，０００〜１０． ＯＯＯＲＰＭの回転数で回転
させる。
第２図すは、上記第２図ａの過程で接着剤を塗布した後
の接着剤の状態を示す断面図である。
一般に光学フィルターの接着層１８は薄い程、光学的に
は良い状態であるとされているが、光学フィルターがカ
ラーモザイクのフィルターであって光学検出素子との位
置合せが精密度を要求される場合、第２図すの次の工程
で位置合せを行なう必要がある。
その場合接着層１８がある程度薄くなるとフィルターを
動かすとかできなくなるため、位置合せの段階では接着
剤１８を厚くしておき、位置合せが終った後に加圧して
薄くする操作をおこなう。
このように、最初の段階で一定以上の接着剤層の厚さを
確保するため接着剤の粘度を、適度に大きくする必要が
あり、そのため第２図すの１６に示すような接着剤の盛
り上りが生じる。
この状態で第２図Ｃのごとく光学フィルター１７を接着
すると、フィルター上への接着剤の盛り上り１９や気泡
が生じる。
フィルター上への盛り上り１９は、カラフィルタ−１７
を汚して透明度をそこない、気泡は入射光を散乱させ、
いずれの場合にも画像欠陥を生じさせるため、製造上の
大きな問題となっていた。
本考案は、前記欠点を皆無とすることのできる固体撮像
デバイスペレットの形状を提供するものである。
第３図に本案の一実施例を断面図により示す。
収納容器２１の所定部分に固体撮像デバイスペレット２
２が導電性樹脂２３で接着固定されている。
２４は接続ワイヤであり、固体撮像デバイスペレット２
２と外部リード２９とを電気的に接続する。
光学フィルター２５は接着剤２６により前記ペレット２
２上に接着されている。
この場合、固体撮像デバイスペレット２２の上面におけ
る周辺領域２７は、中央部２２に比べ一段低くなってい
ることが特徴である。
周辺領域２７と中央部２２との段差の大きさは接続ワイ
ヤ２４の種類により異なるが、接続ワイヤ直径より大き
いことが望ましい。
段差形成を結晶方位を利用した選択エツチングで行なえ
ば、段差部のテーパーを制御することは容易である。
本案構造の段差形成の一例を述べる。
例えばシリコン単結晶基板に多数個の光検出素子を形成
するに際し、まず光検出素子を形成すべき領域を覆って
、かつポンディングパッドを含む周辺領域は除いて感光
性樹脂膜を通常のホトリソ技術で形成したのち、化学腐
食またはプラズマによりシリコン基板をエツチングする
。
以降通常の工程で処理することにより所望の段差部を有
する固体撮像デバイスが得られる。
フォトエツチング工程等を用いて、所望の集積回路を形
成する工程は上記のごとき工程で固体撮像デバイスペレ
ット２２の上面に段差を形成した後におこなう。
上記集積回路形成過程で光を照射する際周辺領域２７の
段差部分においては、光が基板面に垂直に照射されない
ためのパターン精度の問題があるが、段差部分が極小で
あること、周辺はポンディングパッドのみで精度を要し
ないことのために、実際上問題は、まったく生じない。
第４図は、周辺に段差をつけた固体撮像デバイスペレッ
ト２２を第２図ａの方法で、接着剤を塗布した場合の接
着剤の様子を示す断面図である。
第４図に示すように、本考案の場合には、第２図すと異
なり接着剤は段差部分４２で盛り上りが生ずることなく
、周辺部４１で盛り上っている。
さらに、ペレットサイズより大きい光学フィルターを使
用した場合、余分の接着剤は段差部４２を伝って周辺部
４１へ逃げ、光学フィルター上に盛り上ることはなく、
また段差部４２によりポンディングパッド部を損傷する
ことはない。
本考案のペレット形状では下記の効果が得られる。
まずフィルター上面への接着剤の盛り上りが生じない。
第３図を例にとれば、固体撮像デバイスペレットの周辺
部２７が一段低くなっており余分の接着剤は、周辺部２
７が収納容器２１へ流れ込むことになる。
したがって、フィルター２５の上面が汚れないため接着
時のフィルターホルダーに特殊な構造は不要である。
次にフィルター装着時の位置合せてフィルターを動かし
ても、ポンディングパッドの部分が一段低くなっている
ため、ボンディングワイヤに当たらず、ボンディングワ
イヤの損傷が防止できる。
さらに、本考案のペレット形状では接着時に少し多量の
接着剤をペレット表面に滴下しておき、上からフィルタ
で押えることにより内部への気泡混入を防止できる。
たとえば、周辺に気泡が残ってもフィルターを前後左右
に動かせば容易に気泡を追い出すことができる。
これは、ポンディングパッド部が一段低くなっているこ
とから容易にかつボンディングワイヤを傷つけることな
くおこなえる利点である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、従来の固体撮像装置の断面図、第２図ａ−ｃ
は、固体撮像デバイスペレットへの光学フィルターの接
着法を説明する断面図、第３図は本考案の一実施例の固
体撮像装置の断面図、第４図は本考案の一実施例におけ
る固体撮像デバイスペレットに接着剤を塗布したときの
一部切欠断面図である。 １・・・・・・収納容器、２・・・・・・ポンディング
パッド部、３・・・・・・接続ワイヤ、４・・・・・・
光検出素子形成領域、５・・・・・・光学フィルター、
６・・・・・・ガラス板、７・・・・・・外部リード、
８・・・・・・固体撮像デバイスペレット、２１・・・
・・・収納容器、２２・・・・・・固体撮像デバイスペ
レット、２３・・・・・・導電性接着剤、２４・・・・
・・ボンディングワイヤ、２５・・・・・・光学フィル
ター、２６・・・・・・接着剤、２７・・・・・・段差
部、２８・・・・・・光検出素子形成領域。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 中央領域には光検出素子を周辺領域にはポンディングパ
    ッド部を有する固体撮像デバイスペレットと光学的フィ
    ルターとを少なくとも具備する固体撮像装置において上
    記固体撮像デバイスペレットのポンディングパッド部を
    含む周辺領域を前記光検出素子を含む中央領域より低く
    し、かつ光学的フィルターをデバイスペレットより大き
    くしたことを特徴とする固体撮像装置。
JP1979063870U 1979-05-14 1979-05-14 固体撮像装置 Expired JPS6032782Y2 (ja)

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JP1979063870U JPS6032782Y2 (ja) 1979-05-14 1979-05-14 固体撮像装置

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JPS55164853U JPS55164853U (ja) 1980-11-27
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JPH0629911B2 (ja) * 1985-05-07 1994-04-20 旭光学工業株式会社 内視鏡の先端部構造

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JPS55164853U (ja) 1980-11-27

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