JPS60260817A - 光検出器の校正装置 - Google Patents
光検出器の校正装置Info
- Publication number
- JPS60260817A JPS60260817A JP11556384A JP11556384A JPS60260817A JP S60260817 A JPS60260817 A JP S60260817A JP 11556384 A JP11556384 A JP 11556384A JP 11556384 A JP11556384 A JP 11556384A JP S60260817 A JPS60260817 A JP S60260817A
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- JP
- Japan
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- photodetector
- shielding
- transmission windows
- light source
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- Granted
Links
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- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 abstract description 2
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
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- 241000860832 Yoda Species 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は基準光源からの光を照射し、その光の強度を電
気信号に変換する光検出器の校正装置に関する。
気信号に変換する光検出器の校正装置に関する。
〈従来の技術〉
従来、光検出１！（、例えばホトトランジスタ、ホトダ
イオード、光電池）などに光を照射し、その光の強さに
応じた電気出力を校正する校正装置は第５図に示す如く
構成されている。
イオード、光電池）などに光を照射し、その光の強さに
応じた電気出力を校正する校正装置は第５図に示す如く
構成されている。
第５図において、１は暗室、２は暗室１内に設けられた
基準光源、３はスリット、４は基準光源２から一定距離
Ｒを隔てて設けられた光検出器である。
基準光源、３はスリット、４は基準光源２から一定距離
Ｒを隔てて設けられた光検出器である。
上記構成において、光検出器４の受光面の照度は基準光
源２からの距離Ｒの２乗に反比例する。
源２からの距離Ｒの２乗に反比例する。
従って光検出器の性能を校正する場合は、人が暗室内に
立ち入り、基準光１２又は光検出１１４の位置を所定の
距離だけ移動させる必要があり、そのため暗室の大きい
ものが必要であった。又光検出器４の分解能を例えば１
００ポイントについて校正する場合は１００口その位置
を移動させる必要があり、作業も繁雑になり多くの時間
を要するという問題点があった。
立ち入り、基準光１２又は光検出１１４の位置を所定の
距離だけ移動させる必要があり、そのため暗室の大きい
ものが必要であった。又光検出器４の分解能を例えば１
００ポイントについて校正する場合は１００口その位置
を移動させる必要があり、作業も繁雑になり多くの時間
を要するという問題点があった。
〈発明が解決しようとする問題点〉
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたもの
で、基準光源２又は光検出器４の位置を−動かす必要が
なく、簡単、迅速に校正することができ、かつ、校正装
置の小形化を図ったものである。
で、基準光源２又は光検出器４の位置を−動かす必要が
なく、簡単、迅速に校正することができ、かつ、校正装
置の小形化を図ったものである。
く問題点を解決するための手段〉
この問題点を解決するため本発明では、暗室内に設けた
基準光源から一定の距離を隔てて光検出器を配し、前記
光検出器の校正を行なう光検出器の校正装置において、
前記基準光源と前記光検出器の間に設けた複数の透過、
窓を有する光遮蔽手段と、前記を遮蔽手段の透過愈の開
閉を電気的に制御する遮蔽量制御手段と、前記光検出器
からの電気信号と前記遮蔽量制御手段からの電気信号を
入力して比較・演算を行い、前記光検出器の出力と、前
記遮蔽量制御手段の出力との関係を表示する表示手段と
を具備するように構成したことを特徴とするものである
。
基準光源から一定の距離を隔てて光検出器を配し、前記
光検出器の校正を行なう光検出器の校正装置において、
前記基準光源と前記光検出器の間に設けた複数の透過、
窓を有する光遮蔽手段と、前記を遮蔽手段の透過愈の開
閉を電気的に制御する遮蔽量制御手段と、前記光検出器
からの電気信号と前記遮蔽量制御手段からの電気信号を
入力して比較・演算を行い、前記光検出器の出力と、前
記遮蔽量制御手段の出力との関係を表示する表示手段と
を具備するように構成したことを特徴とするものである
。
〈実施例〉
第１図は本発明による光検出器の校正装置の一実施例を
示す構成図である。第１図において１は暗室、２は基準
光源、３は一定の孔を有するスリもト１．４は光検出器
である。５はスリット３からＬ１＃基準光源２の光を平
行にするための第１のレン糟、６は第１のレンズからの
光の透過倦を制限す４だめの光遮蔽手段、７は光遮蔽手
段６を透過した光を収束するための第２のレンズである
。８は光遮蔽手段６の遮蔽量を制御するための遮蔽量制
御手段、９は光遮蔽手段６の遮蔽量制御信号と、光検出
器４からの出力信号との関係を比較・演算し、ＣＲＴや
プロッタ上に表示する表示手段である。
示す構成図である。第１図において１は暗室、２は基準
光源、３は一定の孔を有するスリもト１．４は光検出器
である。５はスリット３からＬ１＃基準光源２の光を平
行にするための第１のレン糟、６は第１のレンズからの
光の透過倦を制限す４だめの光遮蔽手段、７は光遮蔽手
段６を透過した光を収束するための第２のレンズである
。８は光遮蔽手段６の遮蔽量を制御するための遮蔽量制
御手段、９は光遮蔽手段６の遮蔽量制御信号と、光検出
器４からの出力信号との関係を比較・演算し、ＣＲＴや
プロッタ上に表示する表示手段である。
光遮蔽手段６は例えば第２図（ａ ）の正面図および第
２図（ｂ ）の側面図に示す如く、平板に複数の透過窓
１１ａ、１１ｂ・・・１１０を設けた孔明き板１０と、
この孔明き板１０上をモータ等の駆動源によりスライド
して、透過５１１１ａ、１１ｂ・・・１１ｎを開閉する
遮光板１２を設け、この遮光板１２を矢印六方向にスラ
イドさせ、光検出器への照射量を遮蔽量制御手段８で制
御するものや、第３図に示す如く、例えばＰＬＺＴ等の
電気光学材料からなる基板２０に複数個の電極２１ａ。
２図（ｂ ）の側面図に示す如く、平板に複数の透過窓
１１ａ、１１ｂ・・・１１０を設けた孔明き板１０と、
この孔明き板１０上をモータ等の駆動源によりスライド
して、透過５１１１ａ、１１ｂ・・・１１ｎを開閉する
遮光板１２を設け、この遮光板１２を矢印六方向にスラ
イドさせ、光検出器への照射量を遮蔽量制御手段８で制
御するものや、第３図に示す如く、例えばＰＬＺＴ等の
電気光学材料からなる基板２０に複数個の電極２１ａ。
２１ｂ・・・２１ｎを設け、この基板２０の両側に第１
の偏光板２２および第２の偏光板２３を、その偏光面が
互いに直行するように配し、基板２０に設けたそれぞれ
の電極２１ａ、２１ｂ、・・・２Ｉｎに所定の電界を印
加し、その電界によって基板２０に入射する光線２４の
電界方向に対して水平・垂直偏光成分の光束に位相差を
与え、この光線２４が第２偏光板２３を透過するように
透過窓を構成し、その電界の印加を遮蔽量制御手段８に
より制御してもよい。
の偏光板２２および第２の偏光板２３を、その偏光面が
互いに直行するように配し、基板２０に設けたそれぞれ
の電極２１ａ、２１ｂ、・・・２Ｉｎに所定の電界を印
加し、その電界によって基板２０に入射する光線２４の
電界方向に対して水平・垂直偏光成分の光束に位相差を
与え、この光線２４が第２偏光板２３を透過するように
透過窓を構成し、その電界の印加を遮蔽量制御手段８に
より制御してもよい。
上記構成において、光検出器４の校正を行をう場合は、
はじめに遮蔽手段６の全部の透過窓＄１．＋ｌｌの電気
信号及び遮蔽量制御手段８の出力信号を１００％とする
。次に遮蔽量制御手段８を制御して遮蔽手段６の全部の
透過窓を閏にしてそのときの光検出器４の電気・信号お
よび遮蔽量制御手段８の出力信号を０％とする。次に任
意の数の透過窓を開（又は閉）にすれば、その透過窓の
数に比例した光量が光検出器４に照射ぎれ、そのときの
遮蔽量制御手段８の出力信号及び光検出器４の電気信号
を得ることができる。
はじめに遮蔽手段６の全部の透過窓＄１．＋ｌｌの電気
信号及び遮蔽量制御手段８の出力信号を１００％とする
。次に遮蔽量制御手段８を制御して遮蔽手段６の全部の
透過窓を閏にしてそのときの光検出器４の電気・信号お
よび遮蔽量制御手段８の出力信号を０％とする。次に任
意の数の透過窓を開（又は閉）にすれば、その透過窓の
数に比例した光量が光検出器４に照射ぎれ、そのときの
遮蔽量制御手段８の出力信号及び光検出器４の電気信号
を得ることができる。
この遮蔽量制御手段８の出力信号および光検出器４の電
気信号を表示手段９に入力し演算・比較を行ないＣＲＴ
やプロッタに表示する。透過窓の数は任意に設けること
が可能であり、例えば１００個の透過窓を設けたとすれ
ば１／１００の分解能で校正することができ、透過窓の
全開、全閉を゛なお、透過窓を全開したときに光検出器
４が受ける照度が判っていれば、光検出器４の絶対感度
゛もめることができる。
気信号を表示手段９に入力し演算・比較を行ないＣＲＴ
やプロッタに表示する。透過窓の数は任意に設けること
が可能であり、例えば１００個の透過窓を設けたとすれ
ば１／１００の分解能で校正することができ、透過窓の
全開、全閉を゛なお、透過窓を全開したときに光検出器
４が受ける照度が判っていれば、光検出器４の絶対感度
゛もめることができる。
また、透過窓は必ずしも等分割でなくてもよく、例えば
第４図に示す如く関数状に形成して任意の光強度変化を
発生させることもできる。 □〈発明の効果〉 ・怪上、実施例と共に具体的に説明したように、球゛・
発明によれば ■ 基準光源又は光検出器の位置を動かすことなく、簡
単迅速に光検出器の校正を行なうことができる。
第４図に示す如く関数状に形成して任意の光強度変化を
発生させることもできる。 □〈発明の効果〉 ・怪上、実施例と共に具体的に説明したように、球゛・
発明によれば ■ 基準光源又は光検出器の位置を動かすことなく、簡
単迅速に光検出器の校正を行なうことができる。
■ 光検出器の校正が高分解能でかつ、広いダイナミッ
クレンジで実現できる。
クレンジで実現できる。
■ 校正装置の小形化を図ることができる。
等の効果がある。
第１図は、本発明の位置実施例を示す構成説明図、第２
図乃至第４図は第１図に示す光遮蔽手段６の構成を示す
説明図、第５図は従来の実施例を示す説明図である。 １・・・暗室、２・・・基準光源、４・・・光検出器、
６・・・光遮蔽手段、８・・・遮蔽量制御手段、９・・
・表示手段。 特許出願人 工業技術院長 用田裕部 第１図 第２図 （ａ） （ｂ） ′ｙｆ３４図 第５図
図乃至第４図は第１図に示す光遮蔽手段６の構成を示す
説明図、第５図は従来の実施例を示す説明図である。 １・・・暗室、２・・・基準光源、４・・・光検出器、
６・・・光遮蔽手段、８・・・遮蔽量制御手段、９・・
・表示手段。 特許出願人 工業技術院長 用田裕部 第１図 第２図 （ａ） （ｂ） ′ｙｆ３４図 第５図
Claims (1)
- 暗室内に設けた基準光源から一定の距離を隔てて光検出
器を配し、前記光検出器の校正を行なう光検出器の校正
装置において、前記基準光源と前記光検出器の間に設け
た複数の透過窓を有する光遮蔽手段と、前記光遮蔽手段
の透過窓の開閉を電気的に制御する遮蔽量制御手段と、
前記光検出器からの電気信号と前記遮蔽量制御手段から
の電気信号を入力して比較・演算を行い、前記光検出器
の出力と前記遮蔽量制御手段の出力との関係を表示する
表示手段とを具備したことを特徴とする光検出器の校正
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11556384A JPS60260817A (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 光検出器の校正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11556384A JPS60260817A (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 光検出器の校正装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60260817A true JPS60260817A (ja) | 1985-12-24 |
| JPH0464416B2 JPH0464416B2 (ja) | 1992-10-14 |
Family
ID=14665640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11556384A Granted JPS60260817A (ja) | 1984-06-07 | 1984-06-07 | 光検出器の校正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60260817A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62235538A (ja) * | 1986-04-07 | 1987-10-15 | Agency Of Ind Science & Technol | 光検出器の校正方法 |
| JP2015230274A (ja) * | 2014-06-06 | 2015-12-21 | 株式会社リコー | 検査装置 |
-
1984
- 1984-06-07 JP JP11556384A patent/JPS60260817A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62235538A (ja) * | 1986-04-07 | 1987-10-15 | Agency Of Ind Science & Technol | 光検出器の校正方法 |
| JPH0436331B2 (ja) * | 1986-04-07 | 1992-06-15 | Kogyo Gijutsuin | |
| JP2015230274A (ja) * | 2014-06-06 | 2015-12-21 | 株式会社リコー | 検査装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0464416B2 (ja) | 1992-10-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |