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Ein erster Aspekt der Erfindung bezieht
sich auf ein Verfahren oder eine Vorrichtung zum Messen der Intensität eines
von einer Lichtquelle bereitgestellten Lichtstrahls.
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Ein zweiter Aspekt der Erfindung
bezieht sich auf ein Verfahren oder eine Vorrichtung zum Regulieren
einer Lichtquelle.
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In der folgenden Schrift und den
Ansprüchen bedeutet "Licht" jegliche elektromagnetische
Strahlung zumindest im Spektrum des sichtbaren, des infraroten und
des ultravioletten Lichts. Eine in etwa ähnliche Vorrichtung ist aus
dem US Patent Nr. 5 489 771 bekannt. Der von einer Lichtquelle ausgehende Lichtstrahl
tritt durch einen Diffusorblock hindurch und ein kleiner Anteil
von auf eine Messfotodiode an der Seite des Diffusorblocks gerichteten
Lichts bildet die Basis für
die Messung der Intensität
des Lichtstrahls. Jedoch ist nicht garantiert, dass der Anteil des
auf die Messfotodiode gerichteten Lichts wirklich für die Intensität des gesamten
Lichtstrahls repräsentativ
ist. Viel Licht, das zur Seite abgelenkt wird, geht verloren. Es
ist schwierig, die Ausgangsintensität eines Lichtstrahls zu messen,
dessen Wellenlänge
korrigiert ist. Das vorbekannte Messsystem umfasst zumindest zwei
getrennte Bestandteile, nämlich
den Diffusor und die Fotodiode.
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Aus
EP 0 125 390 A ist eine Vorrichtung bekannt,
die eine semitransparente Sensorschicht, wie auch semitransparente
Elektroden umfasst.
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Ein erstes Ziel der vorliegenden
Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung bereitzustellen,
die es möglich
machen, die obigen Nachteile zu vermeiden und eine kompakte, kostengünstige Messvorrichtung
bereitzustellen.
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Das oben erwähnte erste Ziel wird mit einer Vorrichtung
gemäß der Erfindung
erzielt, welche die in Anspruch 1 definierten Merkmale aufweist.
Bevorzugte Ausführungsformen
einer solchen Vorrichtung sind in abhängigen Ansprüchen definiert.
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Ein Verfahren gemäß der Erfindung zum Erreichen
des oben erwähnten
ersten Ziels ist durch Anspruch 12 definiert.
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In einer ersten bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung tritt ein Lichtstrahl direkt durch ein fotoelektrisches
Modul hindurch, welches zur gleichen Zeit in optimaler Weise zur Übertragung
und Messung des Lichtstrahls dient. Für diesen Zweck umfasst das
letztere fotoelektrische Modul einen zumindest teilweise transparenten
Träger
und ein daran angebrachtes, überlagertes
oder auf der Oberfläche dieses
Trägers
angeordnetes fotoelektrisches Element, welches zumindest ein Bauteil
und vorzugsweise eine Anordnung von fotoelektrischen Bauteilen umfasst,
das/die räumlich über die
Oberfläche
des Trägers
bzw. über
den Querschnitt des Lichtstrahls räumlich verteilt ist/sind. Wenn
ein Lichtstrahl durch das oben erwähnte fotoelektrische Modul
hindurchtritt, misst das oben erwähnte fotoelektrische Element
die gemittelte Leistung oder Intensität des Lichtstrahls. Der transparente
oder semitransparente Träger
kann direkt als ein Wellenlängenfilter
oder Polarisator dienen und das fotoelektrische Element misst korrekt
die Intensität
des aus dem fotoelektrischen Modul austretenden modifizierten Lichts.
Der Ausdruck "Lichtstrahl
tritt durch das fotoelektrische Element hindurch" bedeutet, dass Licht durch den Träger, auf
einer Oberfläche
von dem das fotoelektrische Element angeordnet ist, und zwischen
den oben erwähnten
räumlich
verteilten Bauteilen des fotoelektrischen Elements hindurchtritt.
Aufgrund der oben erwähnten
Doppelfunktion einer als einteiliges Modul gebauten Vorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung ist dieses Modul einfach und kompakt und kann leicht mit
anderen Teilen von irgend einer anderen geeigneten Vorrichtung zusammengebaut
werden. Der Aufbau gestattet eine hohe Flexibilität der Form des
räumlich
verteilten fotoelektrischen Elements, das beispielsweise ein gitterförmiges fotoelektrisches Element
ist, wobei die Gitterform ein geeignetes Muster aufweist. Daher
sind vielfache Verwendungen der Vorrichtung gemäß der Erfindung möglich.
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Wie am Anfang dargestellt, bezieht
sich ein zweiter Aspekt der Erfindung auf ein Verfahren mit einer
Vorrichtung zum Regulieren einer Lichtquelle. Eine Vorrichtung dieser
Art ist beispielsweise aus US Patent Nr. 4 998 043 bekannt. Bei
dieser vorbekannten Vorrichtung wird der Lichtstrahl von einer Licht ausstrahlenden
Diode LED in einem Strahlteiler aufgeteilt und der dadurch aufgeteilte
Teilstrahl wird auf eine Fotodiode PD gerichtet. Das vermittels
der Fotodiode erzeugte Messsignal wird einem Komparator zugeführt, der
als Steuerung oder Regulierschaltung dient, von denen der Ausgang
einer Treiberschaltung zum Regulieren des der LED zugeführten Stroms steuert,
um die Lichtemission durch diese LED auf einem konstanten Pegel
zu halten. Solch ein Reguliersystem ist dann von besonderer Bedeutung,
wenn eine LED als Lichtquelle verwendet wird, da die Charakteristika
von LEDs bekanntlich großen
Chargenvariationen, Alterungseffekten, Niedertemperaturstabilität der Spektraleigenschaften
und der Lichtintensität
und niedriger Homogenität
des räumlichen
Spektrums unterliegen. Die oben erwähnten bekannte Vorrichtung
ist aufgrund der Verwendung eines Strahlteilers in einem faseroptischen
System recht kompliziert und ihre einfache, kompakte und preiswerte
Integration ist nicht garantiert.
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Ein zweites Ziel der vorliegenden
Erfindung ist daher, ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Messen
der räumlich
gemittelten Intensität
eines Lichtstrahls vermittels von kompakten und preiswerten Mitteln
bereitzustellen, ohne Faseroptik und mit hoher Leuchteffizienz.
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Das oben erwähnte zweite Ziel wird mit einer Vorrichtung
gemäß der Erfindung
erzielt, welche die in Anspruch 13 definierten Merkmale aufweist.
Bevorzugte Ausführungsformen
einer solchen Vorrichtung werden von den abhängigen Ansprüchen definiert.
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Ein Verfahren gemäß der Erfindung zum Erzielen
des oben erwähnten
zweiten Teils wird durch Anspruch 17 definiert.
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Beispiele bevorzugter Ausführungsformen der
Erfindung werden im Folgenden detaillierter unter Bezugnahme auf
die beigefügten
Zeichnungen beschrieben, in denen
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1 bis 5 Ausführungsformen des fotoelektrischen
Messmoduls 1 gemäß der Erfindung
zeigen, und
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6 eine
schematische Darstellung eines Beispiels einer ersten Ausführungsform
einer regulierten Lichtquelle gemäß der Erfindung ist.
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7 ist
eine schematische Darstellung eines Beispiels einer zweiten Ausführungsform
einer regulierten Lichtquelle gemäß der Erfindung.
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1 zeigt
eine erste Ausführungsform
eines fotoelektrischen Messmoduls 1, das ein Glassubstrat 2 umfasst,
das elektrisch nicht leitfähig
ist und als ein Träger
für ein
fotoelektrisches Element oder einen Messaufnehmer 3a dient.
Dieser Messaufnehmer ist vorzugsweise eine Fotodiode, die eine Anordnung
fotoelektrischer Bauteile umfasst, die in einem räumlich verteilten
Muster angeordnet sind, beispielsweise einem Mäander- oder Zickzackmuster,
wobei die letzteren Bauteile elektrisch miteinander verbunden sind.
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Die Anordnung fotoelektrischer Bauteile
des fotoelektrischen Messaufnehmers 3a ist dafür eingerichtet,
die Intensität
eines auf diese Oberfläche
des Trägers 2 gerichteten
Lichtstrahls zu empfangen und zu messen.
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Jedes der fotoelektrischen Bauteile
des fotoelektrischen Messaufnehmers 3a hat eine Oberfläche, die
zum Empfangen, jedoch nicht zum Ausstrahlen von Licht eingerichtet
ist.
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Die Oberfläche von Träger 2, auf dem die
Anordnung fotoelektrischer Bauteile des fotoelektrischen Messaufnehmers 3a angeordnet
ist, umfasst einen ersten Satz von Flächen, von denen jede durch eines
der fotoelektrischen Bauteile abgedeckt ist und das dadurch keine
Lichtübertragung
gestattet, und einen zweiten Satz von Flächen, von denen keine durch
irgendeines der fotoelektrischen Bauteile abgedeckt ist und die
jede Lichtübertragung
gestatten, wobei jede der Flächen
des zweiten Satzes von Flächen
zwischen zwei oder mehr der Flächen
des ersten Satzes von Flächen
angeordnet sind.
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Die oben beschriebenen Eigenschaften
von Messaufnehmer 3a und Träger 2 gelten auch
für die anderen
Ausführungsformen
einer Vorrichtung gemäß der Erfindung,
die nachfolgend beschrieben wird.
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Der fotoelektrische Messaufnehmer 3a wird auf
den Träger 2 durch
irgendeinen geeigneten Prozess aufgebracht, der zum Aufbringen von
Elementen wie diesem auf solch einem Träger verfügbar ist. Es können irgend
ein geeignetes Substrat zum Lichtdurchtritt und irgend ein geeigneter
fotoelektrischer Messaufnehmer verwendet werden, wie etwa irgendein
passives Element, z. B. ein fotoresistives Element oder irgend ein
geeignetes aktives Element, z. B. ein fotovoltaisches Element, das
geeignet ist, eine Spannung oder einen Strom mit einem Wert zu erzeugen,
der von der gemessenen Lichtintensität abhängt.
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Bei einer ersten bevorzugten Ausführungsform
einer Vorrichtung gemäß der Erfindung
ist Substrat 2 transparent oder semitransparent und wird das
fotoelektrische Element auf einer Oberfläche von Substrat 2 aufgebracht
oder befestigt, die im Pfad des von der Lichtquelle bereitgestellten
Lichtstrahls angeordnet ist.
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Wie aus 1 ersichtlich, wird das Element 3a am
Träger 2 in
räumlich
im Wesentlichen konstanter oder gleichmäßiger Verteilung angebracht
oder befestigt, um den gesamten Querschnitt des hindurchgehenden
Lichtstrahls zu messen. Das Element 3a hat zwei elektrische
Verbindungspunkte, die voneinander beabstandet sind. Diese Verbindungspunkte
sind beispielsweise Kontaktflächen 4.
Die Richtung oder optische Achse eines durch das fotoelektrische
Messmodul 1 gehenden Lichtstrahls ist durch Pfeil 5a oder 5b angezeigt,
abhängig
von der Seite des Trägers 2,
auf der die Lichtquelle angeordnet ist.
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In 2 sind
entsprechende Teile mit denselben Bezugszeichen wie in 1 bezeichnet. Das fotoelektrische
Element 3b dieser Ausführungsform ist
ein Gitter orthogonaler Streifen.
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3 zeigt
ein anderes Beispiel eines fotoelektrischen Elements 3c,
das aus konzentrischen Kreisen und kreuzenden Streifen besteht.
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4 zeigt
eine Ausführungsform
mit einem gitterförmigen
fotoelektrischen Element 3b, im Wesentlichen wie in 2 gezeigt, das jedoch ein
zusätzliches
oder ergänzendes
Merkmal umfasst, nämlich
einen abgeschirmten Referenzdetektor, z. B. eine Fotodiode 6.
Dieser Detektor 6, bedeckt von einer Abschirmung 6a,
ist dem Licht nicht ausgesetzt, es wird jedoch angenommen, dass
er dieselbe Temperatur wie das fotoelektrische Element 3b aufweist. Daher
erzeugt der Referenzdetektor 6, der dieselbe Temperaturcharakteristika
wie das Element 3b haben sollte, ein Referenzsignal, welches
von der Temperatur des Messsystems abhängig, und dieses Referenzsignal
kann zur Temperaturkompensation mittels eines geeigneten elektronisches
Schaltkreises dienen. Vorzugsweise ist der Referenzdetektor 6 in Material
und Charakteristika mit dem fotoelektrischen Element 3b identisch,
um die Kompensation des Effekts weiterer Parameter, wie etwa Alterung,
Dunkelstrom oder Zwischenvorrichtungsvariabilität zu ermöglichen.
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Wie oben erwähnt und durch 1 bis 4 illustriert,
kann das Gitter fotoelektrischer Bauteile des fotoelektrischen Elements
gleichförmig
auf der Oberfläche
des Trägers 2 verteilt
sein. Jedoch kann die räumliche
Verteilung der speziellen Verteilung von Lichtintensität innerhalb
des Lichtstrahls angepasst sein.
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Während
das Substrat oder der Träger 2 z. B.
aus Glas ohne besondere optische Eigenschaften gemacht sein kann,
kann dieses Substrat gleichzeitig als Wellenlängenfilter oder als Polarisator
dienen. In jedem Fall würde
das fotoelektrische Element auf der, der Lichtquelle gegenüberliegenden
hinteren Oberfläche
angebracht sein, um nur polarisiertes bzw. gefiltertes Licht zu
messen.
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5 zeigt
ein Beispiel eines Substrats, das Platten 7d bis 7g eines
4-Quadranten-Polarisationssystems
umfasst. Fotoelektrische Messelemente 3d bis 3g sind
an jedem Quadranten angebracht.
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Im Allgemeinen sollte und kann die
Gesamtoberfläche
des fotoelektrischen Elements, d. h., die Summe der von den Bauteilen
des fotoelektrischen Elements abgedeckten Oberflächen, so klein wie möglich im
Vergleich zur von der Anordnung von Bauteilen des fotoelektrischen
Elements auf einer Oberfläche
des Trägers
bzw. vom Querschnitt des Lichtstrahls belegten Oberfläche sein.
Beispielsweise kann die Summe der von den Bauteilen des fotoelektrischen
Elements abgedeckten Oberflächen
im Bereich von 5 bis 30% des Querschnitts des Lichtstrahls liegen,
d. h. 70 bis 95 % des verfügbaren Lichts
würden
durch das Messmodul 1 hindurchtreten.
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Wie oben erwähnt, kann irgend ein geeignetes
Substrat 2 und ein dazu kompatibles fotoelektrisches Element 3a bis 3g verwendet
werden. Außer irgendwelchen
wohlbekannten fotoelektrischen Elementen, die aus einem amorphen
oder polykristallinen Halbleiter hergestellt sind, können neue
Elemente mit günstigen
Eigenschaften, wie etwa ein Element auf Polymerbasis (unter der
Bezeichnung "Graetzel Zelle" bekannt) oder ein
Element auf CIGS-Basis (CIGS steht für Kupfer-Indium, Gallium-Diselenid), verwendet
werden.
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Bei den oben unter Bezugnahme auf
die 1 bis 5 beschriebenen Ausführungsformen
ist die Richtung der optischen Achse eines durch das fotoelektrische
Messmodul 1 hindurchtretenden Lichtstrahls durch Pfeil 5a oder
Pfeil 5b angezeigt und als orthogonal zur ebenen Oberfläche von
Träger 2 dargestellt,
auf den der Lichtstrahl auftrifft. In anderen Ausführungsformen
gemäß der Erfindung
bildet die optische Achse des Lichtstrahls, der durch das fotoelektrische
Messmodul hindurchtritt, einen Winkel kleiner als 90° mit der
ebenen Oberfläche
von Träger 2, auf
den der Lichtstrahl auftrifft.
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Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich,
ermöglichen
die oben beschriebenen Vorrichtungen das Durchführen eines Verfahrens zum Messen von,
von einer Lichtquelle 8 bereitgestellten Licht, das die
folgenden Schritte umfasst:
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- (a) Positionieren eines fotoelektrischen Elements, z. B.
eines der oben beschriebenen fotoelektrischen Elemente 3a bis 3g in
dem von der Lichtquelle 8 ausgehenden Pfad des Lichtstrahls,
wobei das fotoelektrische Element eine Anordnung von räumlich verteilten
fotoelektrischen Bauteilen umfasst, die auf einer Oberfläche eines
elektrisch nicht leitenden Trägers angebracht
sind und die miteinander elektrisch verbunden sind,
wobei jedes
der fotoelektrischen Bauteile der Anordnung eine Oberfläche aufweist,
die
dafür ausgerichtet
ist, Licht zu empfangen aber nicht zu übertragen, und
die Oberfläche des
Trägers
Bereiche umfasst, die Lichtübertragung
gestatten, wobei jede der letzteren Flächen zwischen zumindest zwei
Flächen
der Trägeroberfläche angeordnet
sind, die durch die fotoelektrischen Bauteile bedeckt sind, und
- (b) Messen der Intensität
des von der Lichtquelle bereitgestellten Lichtstrahls mittels des
fotoelektrischen Elements.
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6 zeigt
eine erste bevorzugte Ausführungsform
einer Vorrichtung, die ein Messmodul gemäß den 1 bis 5 in
einer regulierten Lichtquelle beinhaltet. Bei der in 6 gezeigten Ausführungsform
ist Substrat 2 zumindest teilweise transparent und eine
Lichtquelle 8, vorzugsweise eine LED, mit dem Ausgang einer
Treiberschaltung 9 verbunden. Der von der LED 8 ausgestrahlte
Lichtstrahl wird mittels einer Linse 10 gebündelt und
tritt dann durch das schematisch illustrierte fotoelektrische Messmodul 1 hindurch,
von dem Details unten erläutert
werden. Das fotoelektrische Element 3a des fotoelektrischen Messmoduls 1 ist
mit einer Rückkopplungsschleifenelektronikschaltung
verbunden, die schematisch durch Elektronikschaltung 11 illustriert
ist. Diese elektronische Schaltung 11 ist mit der Treiberschaltung 9 zum
Steuern des von derselben der LED 8 zugeführten Stroms
verbunden. In einer als solches aus dem Stand der Technik bekannten
Art kann die Steuerung oder Überwachung
der Treiberschaltung und der, der LED 8 zugeführten Leistung
(bzw.) in solcher Weise ausgewählt
werden, dass die von der LED 8 erzeugte und gelieferte
Lichtintensität
auf einen Konstantwert reguliert wird, trotz der oben erwähnten Instabilitäten der
LED.
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Wie in 6 gezeigt,
tritt durch das fotoelektrische Modul übertragenes Licht in der durch
Pfeil 5a angezeigten Richtung aus. Solch übertragenes
Licht kann beispielsweise zum Bestrahlen einer Messküvette verwendet
werden, die beispielsweise eine Probe oder eine Probenreagenzienmischung
enthält,
die analysiert werden soll.
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7 zeigt
eine zweite bevorzugte Ausführungsform
einer Vorrichtung, die ein Messmodul gemäß den 1 bis 5 bei einer regulierten Lichtquelle enthält. Diese
zweite Ausführungsform
unterscheidet sich von der in Bezug auf 6 beschriebenen ersten Ausführungsform
in den folgenden Aspekten:
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- – Das
fotoelektrische Modul 1 umfasst ein elektrisch nicht leitendes
Substrat 22 und ein auf einer lichtreflektierenden Oberfläche von
Substrat 22 befestigtes fotoelektrisches Element 3a bis
3g,
- – an
Linse 10 angrenzend gibt es ein Substrat 21, das beispielsweise
ein Wellenlängenfilter
oder ein Polarisator sein kann, jedoch weist dieses Substrat kein
an seiner Oberfläche
angeordnetes fotoelektrisches Element auf.
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Wie durch 7 gezeigt, tritt der von der Lichtquelle 8 bereitgestellte
Lichtstrahl durch Linse 10 und Substrat 21 hindurch
und wird zum fotoelektrischen Element 3a bis 3g und
der lichtreflektierenden Oberfläche
von Substrat 22 in der durch Pfeil 5c angezeigten
Richtung geleitet und von dieser Oberfläche in der durch Pfeil 5d angezeigten
Richtung reflektiert. Solches reflektiertes Licht kann beispielsweise
zum Bestrahlen einer Messküvette
verwendet werden, die beispielsweise eine Probe oder eine Probenreagenzienmischung
enthält,
die analysiert werden soll.
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Bei der in 7 gezeigten Ausführungsform ist das fotoelektrische
Element 3a bis 3g mit einer Rückkopplungsschleifenelektronikschaltung
verbunden, die schematisch durch elektronische Schaltung 11 illustriert
ist, wie in der Ausführungsform
gemäß 6.
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Wie aus der obigen Beschreibung ersichtlich,
ermöglichen
die oben beschriebenen Vorrichtungen das Durchführen eines Verfahrens zum Regulieren
eines Lichtquelle 8, welches die folgenden Schritte umfasst:
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- (a) Messen der Intensität des von der Lichtquelle bereitgestellten
Lichtstrahls vermittels eines fotoelektrischen Elements (3a bis 3g),
das im Pfad des von der Lichtquelle ausgehenden Lichtstrahls angeordnet
ist, wobei das fotoelektrische Element eine Anordnung von räumlich verteilten
fotoelektrischen Bauteilen umfasst, die auf einer Oberfläche eines
elektrisch nicht leitfähigen
Trägers 2 aufgebracht
sind und die miteinander elektrisch verbunden sind,
wobei jedes
der fotoelektrischen Bauteile der Anordnung eine Oberfläche aufweist,
die zum Empfangen, jedoch nicht Übertragen
von Licht eingerichtet ist, und die Oberfläche des Trägers (2) Flächen umfasst, die
Lichtübertragung
gestatten, wobei jede der letzteren Flächen zwischen zumindest zwei
Flächen
der Trägeroberfläche angeordnet
ist, die von den fotoelektrischen Bauteilen bedeckt sind, und
- (b) Regulieren der Intensität
des von der Lichtquelle (8) bereitgestellten Lichtstrahls
vermittels einer Treiberschaltung (9), wobei der Regulierschritt
eine Rückkopplung
des Messsignals des fotoelektrischen Elements an die Treiberschaltung
beinhaltet.
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Um den Lichtdurchtritt richtig auf
die von der Anordnung von fotoelektrischen Bauteilen von irgend einem
fotoelektrischen Element 3a bis 3g bedeckte Fläche zu beschränken, kann
ein Diaphragma 12 vor oder hinter der Linse 10 vorgesehen
sein. Das Diaphragma kann auch an der vorderen Oberfläche von Substrat 2 angeordnet
sein, während
irgend ein fotoelektrisches Element 3a bis 3g an
dessen rückwärtiger Oberfläche angebracht
ist.
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Das Gleichstromsignal vom fotoelektrischen Element
kann für
einfache Intensitätsmessung
oder für
analoge geschlossene Rückkopplungssteuerung verwendet
werden. Das Signal kann in eine digitale Information zur digitalen
Berechnung oder Steuerung gemäß einem
Programm oder Algorithmus übertragen
werden. Auch kann mehr als eine auf dem Substrat 2 angebrachte
fotoelektrische Einheit für
Differentialmessung verwendet werden.
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Stabilisierte Lichtquellen gemäß dieser
Erfindung können
vorzugsweise mit optischen Messsystemen verwendet werden, z. B.
auf dem Gebiet der In-vitro Diagnose oder dem Gebiet des Überwachens von
in Reaktionsgefäßen stattfindenden
Reaktionen.
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Liste der Bezugszeichen
- 1
- Fotoelektrisches
Messmodul
- 2
- Träger, Substrat
- 3a
- Fotoelektrisches
Element, fotoelektrisches Messelement, fotoelektrischer Messaufnehmer,
Fotodiode
- 3b
- Fotoelektrisches
Element, fotoelektrisches Messelement, fotoelektrischer Messaufnehmer
, Fotodiode
- 3c
- Fotoelektrisches
Element, fotoelektrisches Messelement, fotoelektrischer Messaufnehmer,
Fotodiode
- 3d
- Fotoelektrisches
Element, fotoelektrisches Messelement, fotoelektrischer Messaufnehmer,
Fotodiode
- 3e
- Fotoelektrisches
Element, fotoelektrisches Messelement, fotoelektrischer Messaufnehmer,
Fotodiode
- 3f
- Fotoelektrisches
Element, fotoelektrisches Messelement, fotoelektrischer Messaufnehmer,
Fotodiode
- 3g
- Fotoelektrisches
Element, fotoelektrisches Messelement, fotoelektrischer Messaufnehmer,
Fotodiode
- 4
- Kontaktfläche
- 4a
- Kontaktfläche von
6
- 5a
- Richtung
der optischen Achse des Lichtstrahls
- 5b
- Richtung
der optischen Achse des Lichtstrahls
- 5c
- Richtung
der optischen Achse des Lichtstrahls
- 5d
- Richtung
der optischen Achse des Lichtstrahls
- 6
- Abgeschirmter
Referenzdetektor, Fotodiode
- 6a
- Abschirmung
von 6
- 7d
- Platte
eines 4-Quadranten-Polarisationssystems
- 7e
- Platte
eines 4-Quadranten-Polarisationssystems
- 7f
- Platte
eines 4-Quadranten-Polarisationssystems
- 7g
- Platte
eines 4-Quadranten-Polarisationssystems
- 8
- Lichtquelle,
z. B. LED
- 9
- Treiberschaltung
- 10
- Linse
- 11
- Rückkopplungselektronikschaltung
- 12
- Diaphragma
- 21
- Substrat,
Träger
- 22
- Substrat,
Träger
-
Obwohl bevorzugte Ausführungsformen
der Erfindung unter Verwendung spezifischer Ausdrücke beschrieben
worden sind, ist eine solche Beschreibung nur für illustrative Zwecke und es
versteht sich, dass Änderungen
und Variationen gemacht werden können,
ohne vom Schutzanspruch der vorliegenden Ansprüche abzuweichen.