DE102022108486A1 - Optisches Prüfsystem und optisches Prüfverfahren - Google Patents

Optisches Prüfsystem und optisches Prüfverfahren Download PDF

Info

Publication number
DE102022108486A1
DE102022108486A1 DE102022108486.8A DE102022108486A DE102022108486A1 DE 102022108486 A1 DE102022108486 A1 DE 102022108486A1 DE 102022108486 A DE102022108486 A DE 102022108486A DE 102022108486 A1 DE102022108486 A1 DE 102022108486A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
optical
test
module
inspection
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE102022108486.8A
Other languages
English (en)
Inventor
Yung-Chin LIU
Chen-Yang Tsai
Ping-Ying Wu
Po-Han Peng
Pei-Hsuan Hsieh
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MPI Corp
Original Assignee
MPI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MPI Corp filed Critical MPI Corp
Publication of DE102022108486A1 publication Critical patent/DE102022108486A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/6489—Photoluminescence of semiconductors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02—Details
    • G01J1/04—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts
    • G01J1/0488—Optical or mechanical part supplementary adjustable parts with spectral filtering
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02—Details
    • G01J1/08—Arrangements of light sources specially adapted for photometry standard sources, also using luminescent or radioactive material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J2001/4247—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors for testing lamps or other light sources
    • G01J2001/4252—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors for testing lamps or other light sources for testing LED's
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64—Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645—Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6456—Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
    • G01N2021/646—Detecting fluorescent inhomogeneities at a position, e.g. for detecting defects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/067—Electro-optic, magneto-optic, acousto-optic elements
    • G01N2201/0675—SLM
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
    • G01R31/2607—Circuits therefor
    • G01R31/2632—Circuits therefor for testing diodes
    • G01R31/2635—Testing light-emitting diodes, laser diodes or photodiodes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/308—Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
  • Holo Graphy (AREA)
  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Optisches Prüfsystem und ein optisches Prüfverfahren. Das optische Prüfsystem umfasst ein Tragemodul (1), ein Laserlichtbereitstellungsmodul (2A) und eine optische Prüfeinheit. Das Laserlichtbereitstellungsmodul (2A) beinhaltet einen räumlichen Lichtmodulator (21), der dazu verwendet wird, einen Laserstrahl (L1) in mehrere Projektionsstrahlen (P1) umzuwandeln. Die optische Prüfeinheit enthält ein erstes optisches Prüfmodul (3) und ein zweites optisches Prüfmodul (4). Wenn mehrere Projektionsstrahlen (P1) gleichzeitig jeweils auf mehrere Prüfobjekte (D1) projiziert werden, wird jedes Prüfobjekt (D1) durch den entsprechenden Projektionsstrahl (P1) angeregt und erzeugt somit einen Anregungsstrahl (E1). Das erste optische Prüfmodul (3) wird dazu verwendet, die Lichtstärke des Anregungsstrahls (E1) des Prüfobjekts (D1) zu messen, um eine Lichtstärkeinformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) des entsprechenden Prüfobjekts (D1) zu erhalten. Das zweite optische Prüfmodul (4) wird dazu verwendet, das optische Spektrum des Anregungsstrahls (E1) des Prüfobjekts (D1) zu messen, um eine Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) des entsprechenden Prüfobjekts (D1) zu erhalten.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Prüfsystem und ein Prüfverfahren, insbesondere ein optisches Prüfsystem und ein optisches Prüfverfahren.
  • Im bezogenen Stand der Technik kann das Elektrolumineszenz(EL)-Messverfahren auf Mini-LEDs oder Mikro-LEDs angewendet werden. Beim Elektrolumineszenz-Messverfahren (das sogenannte EL-Messverfahren) wird zuerst die Sondenkarte dazu verwendet, elektrische Signale an die Mini-LED oder Mikro-LED zu liefern, damit sie Licht emittiert. Anschließend wird durch die Messung des von der Mini-LED oder Mikro-LED erzeugten Lichtsignals die optischen Eigenschaften der Mini-LED oder Mikro-LED beurteilt.
  • Mit der Weiterentwicklung von Herstellungsverfahren wird jedoch, wenn die Größe der Mikro-LED oder Mini-LED weiter miniaturisiert wird (z. B. 75 µm oder sogar darunter), der Abstand zwischen zwei benachbarten Pads der Mikro-LED oder Mini-LED auch kleiner, wodurch es schwieriger ist, die EL-Messung von Mikro-LED oder Mini-LED mit Sondenkarte durchzuführen. Wenn der Abstand zwischen zwei benachbarten Mikro-LEDs oder Mini-LEDs kleiner wird, kann der Abstand zwischen den Sonden der Sondenkarte aufgrund struktureller Beschränkungen jedoch nicht verkleinert werden, was dazu führt, dass die Sondenkarte nicht gleichzeitig eine EL-Messung für mehr als zwei Mikro-LEDs oder Mini-LEDs durchführen, was die Prüfeffizienz reduziert und die Prüfszeit und -kosten erhöht.
  • Um die obigen Probleme zu lösen, kann ein Photolumineszenz(PL)-Messverfahren (sogenanntes PL-Messverfahren) angewendet werden, um das Prüfobjekt (z. B. Mikro-LED oder Mini-LED) zu prüfen. Hinsichtlich des Photolumineszenz-Messverfahrens wird zuerst die Laserlichtenergie dem Prüfobjekt zugeführt, damit es Licht emittiert. Dann werden die optischen Eigenschaften des Prüfobjekts durch das von dem Prüfobjekt erzeugte optische Signal beurteilt. Insbesondere bezieht sich das PL-Messverfahren auf den Prozess, bei dem eine Substanz Photonen absorbiert und dann Photonen wieder abstrahlt. Aus der Theorie der Quantenmechanik kann dieser Prozess als ein Prozess beschrieben werden, bei dem die Substanz Photonen absorbiert und in einen angeregten Zustand mit einem höheren Energieniveau übergeht, und dann auf ein niedrigeres Energieniveau zurückkehrt und gleichzeitig Photonen emittiert.
  • Das oben erwähnte PL-Messverfahren kann sequentiell mehrere Prüfobjekte prüfen, ohne eine Sondenkarte für physischen elektrischen Kontakt zu verwenden. Daher kann die Verwendung des PL-Messverfahrens die Probleme vermeiden, wenn die Größe des Prüfobjekts (wie einer Mikro-LED oder Mini-LED) weiter miniaturisiert wird. Da das PL-Messverfahren jedoch nicht alle Defekte des Prüfobjekts finden kann, ist die Prüfswirkung des PL-Messverfahrens etwas niedriger als die des EL-Messverfahrens, was die nachfolgende Produktionsausbeute verringern kann. Da die Anzahl der Prüfobjekte (wie Mikro-LEDs oder Mini-LEDs) auf einem Wafer Zehntausende beträgt, kann die Prüfeffizienz nicht erfüllt werden, selbst wenn das PL-Messverfahren verwendet wird, um mehrere Prüfobjekt sequentiell zu prüfen, was dazu führt, dass die Prüfkosten nicht gesenkt werden können.
  • Um die obigen Probleme zu lösen, stellt die Erfindung ein optisches Prüfsystem bereit, das umfasst: ein Tragemodul, das dazu verwendet wird, mehrere Prüfobjekte zu tragen; ein Laserlichtbereitstellungsmodul, das einen räumlichen Lichtmodulator beinhaltet, der dazu verwendet wird, einen Laserstrahl in mehrere Projektionsstrahlen umzuwandeln; und eine optische Prüfeinheit, die ein erstes optisches Prüfmodul und ein zweites optisches Prüfmodul enthält; wenn mehrere Projektionsstrahlen gleichzeitig jeweils auf mehrere Prüfobjekte projiziert werden, wird jedes Prüfobjekt durch den entsprechenden Projektionsstrahl angeregt und erzeugt somit einen Anregungsstrahl; das erste optische Prüfmodul wird dazu verwendet, die Lichtstärke des Anregungsstrahls des Prüfobjekts zu messen, um eine Lichtstärkeinformation des Anregungsstrahls des entsprechenden prüfobjekts zu erhalten; und das zweite optische Prüfmodul wird dazu verwendet, das optische Spektrum des Anregungsstrahls des Prüfobjekts zu messen, um eine Spektruminformation des Anregungsstrahls des entsprechenden Prüfobjekts zu erhalten.
  • In dem optischen Prüfsystem, das durch eine der technischen Lösungen der vorliegenden Erfindung bereitgestellt wird, kann die vorliegende Erfindung zuerst den Laserstrahl durch ein Laserstrahlbereitstellungsmodul mit einem räumlichen Lichtmodulator (SLM) in mehrere Projektionsstrahlen umwandeln. Dann werden die mehreren Projektionsstrahlen gleichzeitig jeweils auf mehrere Prüfobjekte projiziert, so dass jedes Prüfobjekt angeregt wird und somit einen entsprechenden Anregungsstrahl erzeugt (d.h. das PL-Messverfahren). Danach kann die vorliegende Erfindung durch das erste optische Prüfmodul den Anregungsstrahl messen, um eine Lichtstärkeinformation des Prüfobjekts zu erhalten (d.h. Lichtstärkeprüfung) (beispielsweise kann die vorliegende Erfindung durch das erste optische Prüfmodul gleichzeitig mehrere Anregungsstrahlen messen, um eine Lichtstärkeinformation jedes Prüfobjekts zu erhalten). Die vorliegende Erfindung kann ferner durch das zweite optische Prüfmodul die Spektruminformation (d.h. Spektrumprüfung) des Prüfobjekts erhalten (beispielsweise kann die vorliegende Erfindung ferner durch das zweite optische Prüfmodul die Spektruminformation von mindestens einem der Prüfobjekte erhalten). Das heißt, in dem optischen Prüfsystem der vorliegenden Erfindung kann durch das PL-Messverfahren zuerst die Lichtstärkeprüfung des Prüfobjekts in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt werden (beispielsweise eine gleichzeitige Lichtstärkeprüfung der mehreren Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich, d.h. eine gesamte Prüfung), so dass das Prüfobjekt vorläufig hinsichtlich der Lichtstärke beurteilt werden kann. Dann wird eine Spektrumprüfung des Prüfobjekts in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt (beispielsweise eine Spektrumprüfung von mindestens einem der Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich, d.h. eine Probeprüfung). Auf diese Weise können die Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich bestimmt werden, ob die Möglichkeit von Defekten besteht (z. B. die mehreren Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich werden durch die Probeprüfung bestimmt, ob die Möglichkeit von Defekten besteht, wodurch die Zeit eingespart wird, die erforderlich ist, um die Spektrumprüfung für jedes Prüfobjekt durchzuführen). Außerdem wird das Problem, dass nicht alle Defekte des Prüfobjekts allein durch das PL-Messverfahren gefunden werden können, gelöst.
  • Dadurch kann das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung durch das PL-Messverfahren das Problem, dass nach der Miniaturisierung des Prüfobjekts eine Prüfung nicht durchgeführt werden kann oder die Prüfeffizienz niedrig ist, lösen, so dass die Prüfeffizienz für eine hohe Anzahl von Prüfobjekten erhöht wird. Außerdem kann die Erfindung durch die Spektrumprüfung (wie Probeprüfung) das Problem, dass nicht alle Defekte des Prüfobjekts allein durch das PL-Messverfahren gefunden werden können, lösen, so dass die Produktionsausbeute erhöht wird.
  • Um die obigen Probleme zu lösen, stellt die Erfindung ein optisches Prüfverfahren bereit, das umfasst: ein räumlicher Lichtmodulator wird bereitgestellt, um einen Laserstrahl in mehrere Projektionsstrahlen umzuwandeln, die jeweils auf mehrere Prüfobjekte projiziert werden; jedes Prüfobjekt wird durch den entsprechenden Projektionsstrahl angeregt und erzeugt entsprechend einen Anregungsstrahl; ein erstes optisches Prüfmodul wird bereitgestellt, um einen ersten Prüfschritt zum gleichzeitigen oder sequentiellen Messen der Lichtstärke der Anregungsstrahlen der mehreren Prüfobjekte durchzuführen, damit eine Lichtstärkeinformation des Anregungsstrahls jedes prüfobjekts erhalten wird; und ein zweites optisches Prüfmodul wird bereitgestellt, um einen zweiten Prüfschritt zum Messen des optischen Spektrums des Anregungsstrahls von mindestens einem der Prüfobjekte durchzuführen, damit eine Spektruminformation des Anregungsstrahls von mindestens einem der Prüfobjekte erhalten wird, wobei der zweite Prüfschritt durchgeführt wird, nachdem der erste Prüfschritt abgeschlossen ist, oder der zweite Prüfschritt durchgeführt wird, während der erste Prüfschritt durchgeführt wird.
  • In dem optischen Prüfungsverfahren, das durch eine andere technische Lösung der vorliegenden Erfindung bereitgestellt wird, kann die vorliegende Erfindung zuerst den Laserstrahl durch ein Laserstrahlbereitstellungsmodul mit einem räumlichen Lichtmodulator (SLM) in mehrere Projektionsstrahlen umwandeln. Dann werden die mehreren Projektionsstrahlen gleichzeitig jeweils auf mehrere Prüfobjekte projiziert, so dass jedes Prüfobjekt angeregt wird und somit einen entsprechenden Anregungsstrahl erzeugt (d.h. das PL-Messverfahren). Danach kann die vorliegende Erfindung durch das erste optische Prüfmodul den Anregungsstrahl messen, um eine Lichtstärkeinformation des Prüfobjekts zu erhalten (d.h. Lichtstärkeprüfung) (beispielsweise kann die vorliegende Erfindung durch das erste optische Prüfmodul gleichzeitig mehrere Anregungsstrahlen messen, um eine Lichtstärkeinformation jedes Prüfobjekts zu erhalten). Die vorliegende Erfindung kann ferner durch das zweite optische Prüfmodul die Spektruminformation (d.h. Spektrumprüfung) des Prüfobjekts erhalten (beispielsweise kann die vorliegende Erfindung ferner durch das zweite optische Prüfmodul die Spektruminformation von mindestens einem der Prüfobjekte erhalten). Das heißt, in dem optischen Prüfsystem der vorliegenden Erfindung kann durch das PL-Messverfahren zuerst die Lichtstärkeprüfung des Prüfobjekts in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt werden (beispielsweise eine gleichzeitige Lichtstärkeprüfung der mehreren Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich, d.h. eine gesamte Prüfung), so dass das Prüfobjekt vorläufig hinsichtlich der Lichtstärke beurteilt werden kann. Dann wird eine Spektrumprüfung des Prüfobjekts in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt (beispielsweise eine Spektrumprüfung von mindestens einem der Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich, d.h. eine Probeprüfung). Auf diese Weise können die Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich bestimmt werden, ob die Möglichkeit von Defekten besteht (z. B. die mehreren Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich werden durch die Probeprüfung bestimmt, ob die Möglichkeit von Defekten besteht, wodurch die Zeit eingespart wird, die erforderlich ist, um die Spektrumprüfung für jedes Prüfobjekt durchzuführen). Außerdem wird das Problem, dass nicht alle Defekte des Prüfobjekts allein durch das PL-Messverfahren gefunden werden können, gelöst. Es sei darauf hinzuweisen, dass gemäß unterschiedlichen Anforderungen der erste Prüfschritt und der zweite Prüfschritt gleichzeitig durchgeführt werden können. Auf diese Weise kann die Prüfungszeit des ersten optischen Prüfmoduls und des zweiten optischen Prüfmoduls für den Anregungsstrahl des Prüfobjekts effektiv eingespart werden.
  • Dadurch kann das optische Prüfverfahren der vorliegenden Erfindung durch das PL-Messverfahren das Problem, dass nach der Miniaturisierung des Prüfobjekts eine Prüfung nicht durchgeführt werden kann oder die Prüfeffizienz niedrig ist, lösen, so dass die Prüfeffizienz für eine hohe Anzahl von Prüfobjekten erhöht wird. Außerdem kann die Erfindung durch die Spektrumprüfung (wie Probeprüfung) das Problem, dass nicht alle Defekte des Prüfobjekts allein durch das PL-Messverfahren gefunden werden können, lösen, so dass die Produktionsausbeute erhöht wird.
  • In einer möglichen Ausführungsform umfasst das optische Prüfsystem weiterhin ein optisches Filtermodul, das einen Bandpassfilter zum Filtern der mehreren Projektionsstrahlen beinhaltet; das Laserlichtbereitstellungsmodul, das erste optische Prüfmodul, das zweite optische Prüfmodul und das optische Filtermodul sind auf demselben optischen Weg angeordnet; wenn jedes Prüfobjekt durch den entsprechenden Projektionsstrahl angeregt wird und einen entsprechenden Anregungsstrahl erzeugt, durchläuft der Anregungsstrahl des Prüfobjekts den Bandpassfilter und wird zum ersten optischen Prüfmodul und zum zweiten optischen Prüfmodul gestrahlt; wenn jeder Projektionsstrahl von dem entsprechenden Prüfobjekt reflektiert wird und einen Reflexionsstrahl bildet, wird der Reflexionsstrahl von dem Bandpassfilter abgefiltert und kann nicht zu dem ersten optischen Prüfmodul und dem zweiten optischen Prüfmodul gestrahlt werden; das erste optische Prüfmodul wird dazu verwendet, die Lichtstärke der Anregungsstrahlen der mehreren Prüfobjekte gleichzeitig zu messen, um eine Lichtstärkeinformation des Anregungsstrahls jedes Prüfobjekts zu erhalten; und das zweite optische Prüfmodul wird dazu verwendet, das optische Spektrum des Anregungsstrahls von mindestens einem der Prüfobjekte zu messen, um eine Spektruminformation des Anregungsstrahls von mindestens einem der Prüfobjekte zu erhalten.
  • Da in der oben erwähnten möglichen Ausführungsform der durch das optische Filtermodul bereitgestellte Bandpassfilter dazu verwendet werden kann, die mehreren Projektionsstrahlen zu filtern, kann der Reflexionsstrahl, der durch die Reflexion des Prejektionsstrahls an dem entsprechenden Prüfbjekt gebildet wird, den Bandpassfilter nicht passieren. Nur der Anregungsstrahl des Prüfobjekts kann durch den Bandpassfilter zu dem ersten optischen Prüfmodul und dem zweiten optischen Prüfmodul gestrahlt werden. Daher werden das erste optische Prüfmodul und das zweite optische Prüfmodul nicht durch den projizierten Lichtstrahl beeinflusst. Auf diese Weise kann die Prüfqualität des ersten optischen Prüfmoduls und des zweiten optischen Prüfmoduls für den Anregungsstrahl des Prüfobjekts erhöht. In dem optischen Prüfsystem der vorliegenden Erfindung kann durch das PL-Messverfahren zuerst die Lichtstärkeprüfung des Prüfobjekts in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt werden (d.h. eine gesamte Prüfung), so dass das Prüfobjekt vorläufig hinsichtlich der Lichtistärke beurteilt werden kann. Dann wird eine Spektrumprüfung des Prüfobjekts in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt (d.h. eine Probeprüfung). Auf diese Weise können die Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich bestimmt werden, ob die Möglichkeit von Defekten besteht, wodurch die Zeit eingespart wird, die erforderlich ist, um die Spektrumprüfung für jedes Prüfobjekt durchzuführen. Außerdem wird das Problem, dass nicht alle Defekte des Prüfobjekts allein durch das PL-Messverfahren gefunden werden können, gelöst.
  • In einer möglichen Ausführungsform beinhaltet das Laserlichtbereitstellungsmodul mehrere Laserlichterzeuger und mehrere optische Linsen, wobei die optischen Linsen benachbart zu den Laserlichterzeugern angeordnet sind, und wobei jede optische Linse dazu verwendet wird, das Laserlicht des entsprechenden Lasererzeugers in einen Laserstrahl umzuwandeln; das Laserlichtbereitungsmodul ist auf einen Strahlteil gerichtet, wobei der von dem Laserlichtbereitungsmodul bereitgestellte Laserstrahl zuerst den Strahlteiler durchläuft und dann auf den räumlichen Lichtmodulator projiziert wird oder der von dem Laserlichtbereitungsmodul bereitgestellte Laserstrahl zuerst den räumlichen Lichtmodulator durchläuft und dann auf den Strahlteiler projiziert wird; und der räumliche Lichtmodulator kann den Laserstrahl durchlassen oder reflektieren, wodurch der Laserstrahl in mehrere Projektionsstrahlen umgewandelt wird, und wobei der räumlichen Lichtmodulator dazu verwendt wird, den kleinsten Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen, die Anzahl der Projektionsstrahlen und die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls einzustellen.
  • In der oben erwähnten möglichen Ausführungsform kann der räumliche Lichtmodulator das Laserlicht in mehrere Projektionsstrahlen aufteilen oder umwandeln, um mehrere Prüfobjekten gleichzeitig zu prüfen. Daher kann die „Prüfeffizienz“ einer hohen Anzahl von Prüfobjekten erhöht werden. Da außerdem das Laserlicht, das von dem Laserlichterzeuger erzeugt wird, unterschiedliche Wellenlängenbereiche haben kann, kann das bereitgestellte optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung Prüfobjekte mit unterschiedlichen Wellenlängenbereichen gemäß unterschiedlichen Anforderungen anregen. Dadurch ist das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung für Prüfobjekte mit unterschiedlichen Wellenlängenbereichen geeignet, so dass der Anwendungsbereich des optischen Prüfsystems vergrößert wird. Es sei darauf hinzuweisen, dass der Laserstrahl durch die Flüssigkristallmoleküle des räumlichen Lichtmodulators (wie eines durchlässigen räumlichen Lichtmodulators oder eines reflektierenden räumlichen Lichtmodulators) umgewandelt werden kann, um mindestens zwei Projektionsstrahlen zu bilden (d. h. der räumliche Lichtmodulator kann den Laserstrahl durchlassen und dann den Laserstrahl in mehrere Projektionsstrahlen umwandeln). Dadurch kann die Prüfungseffizienz einer hohen Anzahl von Prüfobjekten erhöht werden. Außerdem können „der kleinste Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen“, „die Anzahl der Projektionsstrahlen“ und „die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls“ durch Steuern der Flüssigkristallmoleküle des räumlichen Lichtmodulators eingestellt werden (d.h. der räumliche Lichtmodulator kann dazu verwendet werden, „den kleinsten Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen“, „die Anzahl der Projektionsstrahlen“ und „die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls“ einzustellen). Daher ist die Verwendung des räumlichen Lichtmodulators flexibler, so dass er die Anforderungen der Kunden besser erfüllen kann.
  • In einer möglichen Ausführungsform beinhaltet das erste optische Prüfmodul ein mit mindestens einer Fotodiode ausgestattetes Lichtstärkemessgerät, wobei die Fotodiode dazu verwendet wird, die Lichtstärkeinformation des Anregungsstrahls jedes Prüfobjekts zu erhalten; und das zweite optische Prüfmodul beinhaltet einen optischen Spektrumanalysator, wobei der optische Spektrumanalysator dazu verwendet wird, durch eine optische Linse eine Spektruminformation des Anregungsstrahls von mindestens einem der Prüfobjekte zu erhalten, und wobei sich das mindestens eine Prüfobjekt in oder nahe einer zentralen Position eines vorbestimmten Bereiches, in dem mehrere Prüfobjekte vorhanden sind, befindet.
  • In der oben erwähnten möglichen Ausführungsform kann durch die Verwendung des Lichtstärkemessgeräts die Lichtstärkeprüfung gleichzeitig an mehreren Prüfobjekten in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt werden, (d.h. eine gesamte Prüfung), so dass das Prüfobjekt vorläufig hinsichtlich der Lichtistärke beurteilt werden kann. Dann wird eine Spektrumprüfung des Prüfobjekts durch die Verwendung des optischen Spektrumanalysators an mindestens einem der Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt (d.h. eine Probeprüfung). Auf diese Weise können die Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich bestimmt werden, ob die Möglichkeit von Defekten besteht, wodurch die Zeit eingespart wird, die erforderlich ist, um die Spektrumprüfung für jedes Prüfobjekt durchzuführen. Außerdem wird das Problem, dass nicht alle Defekte des Prüfobjekts allein durch das PL-Messverfahren gefunden werden können, gelöst.
  • In einer möglichen Ausführungsform enthält die optische Prüfeinheit ferner eine Ulbricht-Kugel zum Empfangen des Anregungsstrahls, wobei das erste optische Prüfmodul und das zweite optische Prüfmodul auf der Ulbricht-Kugel installiert sind, so dass das erste optische Prüfmodul, das zweite optische Prüfmodul und die Ulbricht-Kugel in eine einzige optische Baugruppe integriert werden; das erste optische Prüfmodul beinhaltet ein mit mindestens einer Fotodiode ausgestattetes Lichtstärkemessgerät, wobei die Fotodiode dazu verwendet wird, durch die Ulbricht-Kugel die Lichtstärkeinformation des Anregungsstrahls jedes Prüfobjekts zu erhalten; und das zweite optische Prüfmodul beinhaltet einen optischen Spektrumanalysator, wobei der optische Spektrumanalysator dazu verwendet wird, durch die Ulbricht-Kugel die Spektrum information des Anregungsstrahls von mindestens einem der Prüfobjekte zu erhalten, wobei sich das mindestens eine Prüfobjekt in oder nahe einer zentralen Position eines vorbestimmten Bereiches, in dem mehrere Prüfobjekte vorhanden sind, befindet.
  • Da in der oben erwähnten möglichen Ausführungsform das erste optische Prüfmodul, das zweite optische Prüfmodul und die Ulbricht-Kugel in eine modulare einzelne optische Baugruppe integriert werden können, ist die modularisierte optische Prüfeinheit bei der Anwendung des optischen Prüfsystems für den Benutzer bequemer. Durch die Verwendung des Lichtstärkemessgeräts kann die Lichtstärkeprüfung gleichzeitig an mehreren Prüfobjekten in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt werden, (d.h. eine gesamte Prüfung), so dass das Prüfobjekt vorläufig hinsichtlich der Lichtistärke beurteilt werden kann. Dann wird eine Spektrumprüfung des Prüfobjekts durch die Verwendung des optischen Spektrumanalysators an mindestens einem der Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt (d.h. eine Probeprüfung). Auf diese Weise können die Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich bestimmt werden, ob die Möglichkeit von Defekten besteht, wodurch die Zeit eingespart wird, die erforderlich ist, um die Spektrumprüfung für jedes Prüfobjekt durchzuführen. Außerdem wird das Problem, dass nicht alle Defekte des Prüfobjekts allein durch das PL-Messverfahren gefunden werden können, gelöst.
  • In einer möglichen Ausführungsform umfasst das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung weiterhin ein Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul, das einen Umgebungslichterzeuger zum Erzeugen eines Umgebungslichts beinhaltet, und ein Bildaufnahmemodul, das eine Bildaufnahmevorrichtung beinhaltet, wobei das Laserlichtbereitstellungsmodul, das erste optische Prüfmodul, das zweite optische Prüfmodul, das optische Filtermodul, das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul und das Bildaufnahmemodul auf demselben optischen Weg angeordnet sind; das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul wird dazu verwendet, das Umgebungslicht durch eine optische Linse in einen Umgebungslichtstrahl umzuwandeln, der auf mehrere Prüfobjekte projiziert wird, um die Umgebungsbeleuchtung, die von den Prüfobjekten benötigt wird, bereitzustellen; wenn jeder Projektionsstrahl auf das entsprechende Prüfobjekt projiziert wird und einen Lichtfleck bildet, wird das Bildaufnahmemodul dazu verwendet, eine Positionsinformation des Lichtflecks zu erhalten, um zu beurteilen, ob der Lichtfleck jedes Projektionsstrahls von dem entsprechenden Prüfobjekt abweicht; und wenn der Lichtfleck des Projektionsstrahls von dem entsprechenden Prüfobjekt abweicht, wird der räumliche Lichtmodulator dazu verwendet, den Lichtfleck des Projektionslichtstrahls auf das entsprechende Prüfobjekt zu bewegen.
  • In der oben erwähnten möglichen Ausführungsform kann der Umgebungslichtstrahl, der durch das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul bereitgestellt wird, gleichzeitig auf mehrere Prüfobjekte projiziert werden. Dadurch kann die Umgebungsbeleuchtung bereitgestellt werden, die von mehreren Prüfobjekten benötigt wird. Auf diese Weise kann das Bildaufnahmemodul die Position des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls, der auf das Prüfobjekt projiziert wird, deutlicher erkennen. Da außerdem das Bildaufnahmemodul dazu verwendet werden kann, es zu bestimmen, ob der Lichtfleck jedes Projektionsstrahls von dem entsprechenden Prüfobjekt abweicht und der räumliche Lichtmodulator den Lichtfleck des Projektionsstrahls auf das entsprechende Prüfobjekt bewegen kann, kann die vorliegende Erfindung die „Ausrichtungsgenauigkeit“ des Prüfobjekts während der Prüfung effektiv erhöhen, so dass die Prüfgenauigkeit erhöht wird.
  • In einer möglichen Ausführungsform umfasst das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung weiterhin ein Bildaufnahmemodul, das eine Bildaufnahmevorrichtung beinhaltet, die dazu verwendet wird, den Lichtfleck jedes Projektionsstrahls auf dem Prüfobjekt aufzunehmen, um eine Lichtforminformation des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls zu erhalten; ein Defektanalysemdoul, das elektrisch mit dem ersten optischen Prüfmodul, dem zweiten optischen Prüfmodul und dem Bildaufnahmemodul verbunden ist und dazu verwendet wird, eine Lichtstärkeinformation und eine Spektruminformation des Anregungsstrahls jedes Prüfobjekts und eine Lichtforminformation des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls zu erhalten; und ein elektrisches Prüfmodul, das nahe dem Tragemodul angeordnet ist; das Defektanlaysemodul wird dazu verwendet, es zu bestimmen, ob der Wellenlängenbereich, der durch die Spektruminformation des Anregungsstrahls jedes Prpfobjekts bereitgestellt wird, kleiner ist als „der durchschnittliche Wellenlängenbereich‟, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen mehrerer Anregungsstrahlen mehrerer Prüfobjekte berechnet wird; das Defektanlaysemodul wird dazu verwendet, es zu bestimmen, ob der Lichtstärkewert, der durch die Lichtstärkeinformation des Anregungsstrahls jedes Prüfobjekts bereitgestellt wird, kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen mehrerer Anregungsstrahlen mehrerer Prüfobjekte berechnet wird; das Defektanlaysemodul wird dazu verwendet wird, es zu bestimmen, ob das tatsächliche Lichtfleckmuster, das durch die Lichtforminformation des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls bereitgestellt wird, und ein vorbestimmtes Lichtfleckmuster eine Ähnlichkeit niedriger als 90 % haben; und wenn der durch die Spektruminformation des Anregungsstrahls bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich oder der durch die Lichtstärkeninformation des Anregungsstrahls bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert und das Prüfobjekt somit als ein defektes Prüfobjekt definiert ist, das elektrische Prüfmodul dazu verwendet wird, durch elektrischen Kontakt mit dem durch den Projektionsstrahl angeregten defekten Prüfobjekt ein elektrisches Signal des defekten Prüfobjekts zu erhalten.
  • In der oben erwähnten möglichen Ausführungsform kann das Defektanalysemodul dazu verwendet werden, es zu bestimmen, ob der von jedem Prüfobjekt bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich, ob der von jedem Prüfobjekt bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert und ob die Ähnlichkeit zwischen dem tatsächlichen Lichtflecktmuster jedes Projektionsstrahls und einem vorbestimmten Lichtfleckmuster zu niedrig ist, kann die Erfindung durch die Verwendung des Defektanalysemoduls das defekte prüfobjekt aus mehreren Prüfobjekten herausfinden. Außerdem kann bei der vorliegenden Erfindung das defekte Prüfobjekt zuerst durch den Projektionsstrahl angeregt werden, und dann wird das elektrische Prüfmodul verwendet, das defekte Prüfobjekt elektrisch zu kontaktieren, um ein von dem defekten Prüfobjekt erzeugtes elektrisches Signal zu erhalten. Daher kann in der vorliegenden Erfindung das defekte Prüfobjekt zuerst durch das Defektanalysemodul gefunden werden und dann kann das elektrische Prüfmodul verwendet werden, eine elektrische Prüfung an dem defekten Prüfobjekt durchzuführen. Da die vorliegende Erfindung nur eine elektrische Prüfung an dem defekten Prüfobjekt und keine elektrische Prüfung an allen Prüfobjekten durchführen muss, kann die elektrische Prüfzeit effektiv eingespart werden.
  • In einer möglichen Ausführungsform umfasst das optische Prüfverfahren weiterhin: ein Umgebungslicht-Bereitstellungsmdoul wird bereitgestellt, um das Umgebungslicht in einen Umgebungslichtstrahl umzuwandeln, der auf mehrere Prüfobjekte projiziert wird, damit die Umgebungsbeleuchtung, die von den Prüfobjekten benötigt wird, bereitgestellt wird; ein Bildaufnahmemodul wird bereitgestellt, um eine Positionsinformation des Lichtflecks, der gebildet wird, wenn der Projektionsstrahl auf das entsprechende Prüfobjekt projiziert wird, zu erhalten, damit es beurteilt wird, ob der Lichtfleck des Projektionsstrahls von dem entsprechenden Prüfobjekt abweicht; wenn der Lichtfleck des Projektionsstrahls von dem entsprechenden Prüfobjekt abweicht, wird der räumliche Lichtmodulator dazu verwendet, den Lichtfleck des Projektionslichtstrahls auf das entsprechende Prüfobjekt zu bewegen; das erste optische Prüfmodul wird dazu verwendet, die Lichtstärke der Anregungsstrahlen der mehreren Prüfobjekte gleichzeitig zu messen, um eine Lichtstärkeinformation des Anregungsstrahls jedes Prüfobjekts zu erhalten; das zweite optische Prüfmodul wird dazu verwendet, das optische Spektrum des Anregungsstrahls von mindestens einem der Prüfobjekte zu messen, um eine Spektruminformation des Anregungsstrahls von mindestens einem der Prüfobjekte zu erhalten; und der räumlichen Lichtmodulator kann den Laserstrahl durchlassen oder reflektieren, wodurch der Laserstrahl in mehrere Projektionsstrahlen umgewandet wird, und wobei der räumlichen Lichtmodulator dazu verwendt wird, den kleinsten Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen, die Anzahl der Projektionsstrahlen und die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls einzustellen.
  • In der oben erwähnten möglichen Ausführungsform kann der Umgebungslichtstrahl, der von dem Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul bereitgestellt wird, gleichzeitig auf mehrere Prüfobjekte projiziert werden, um die Umgebungsbeleuchtung, die von den Prüfobjekten benötigt wird, bereitzustellen, wodurch das Bildaufnahmemodul die Position des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls auf dem Prüfobjekt deutlicher erkennen kann. Da außerdem das Bildaufnahmemodul dazu verwendet werden kann, es zu bestimmen, ob der Lichtfleck jedes Projektionsstrahls von dem entsprechenden Prüfobjekt abweicht und der räumliche Lichtmodulator dazu verwendet werden kann, den Lichtfleck des Projektionsstrahls auf das entsprechende Prüfobjekt zu bewegen, kann die vorliegende Erfindung die „Ausrichtungsgenauigkeit“ des Prüfobjekts während der Prüfung effektiv erhöhen, so dass die Prüfgenauigkeit erhöht wird. In dem optischen Prüfsystem der vorliegenden Erfindung kann durch das PL-Messverfahren zuerst die Lichtstärkeprüfung des Prüfobjekts in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt werden (d.h. eine gesamte Prüfung), so dass das Prüfobjekt vorläufig hinsichtlich der Lichtistärke beurteilt werden kann. Dann wird eine Spektrumprüfung des Prüfobjekts in demselben vorbestimmten Bereich durchgeführt (d.h. eine Probeprüfung). Auf diese Weise können die Prüfobjekte in demselben vorbestimmten Bereich bestimmt werden, ob die Möglichkeit von Defekten besteht, wodurch die Zeit eingespart wird, die erforderlich ist, um die Spektrumprüfung für jedes Prüfobjekt durchzuführen. Außerdem wird das Problem, dass nicht alle Defekte des Prüfobjekts allein durch das PL-Messverfahren gefunden werden können, gelöst. Es sei darauf hinzuweisen, dass der Laserstrahl durch die Flüssigkristallmoleküle des räumlichen Lichtmodulators (wie eines durchlässigen räumlichen Lichtmodulators oder eines reflektierenden räumlichen Lichtmodulators) umgewandelt werden kann, um mindestens zwei Projektionsstrahlen zu bilden (d. h. der räumliche Lichtmodulator kann den Laserstrahl durchlassen und dann den Laserstrahl in mehrere Projektionsstrahlen umwandeln). Dadurch kann die Prüfungseffizienz einer hohen Anzahl von Prüfobjekten erhöht werden. Außerdem können „der kleinste Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen“, „die Anzahl der Projektionsstrahlen“ und „die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls“ durch Steuern der Flüssigkristallmoleküle des räumlichen Lichtmodulators eingestellt werden (d.h. der räumliche Lichtmodulator kann dazu verwendet werden, „den kleinsten Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen“, „die Anzahl der Projektionsstrahlen“ und „die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls“ einzustellen). Daher ist die Verwendung des räumlichen Lichtmodulators flexibler, so dass er die Anforderungen der Kunden besser erfüllen kann.
  • In einer möglichen Ausführungsform umfasst das optische Prüfverfahren der vorliegenden Erfindung weiterhin: ein Defektanalysemodul wird bereitgestellt, um zu bestimmen, ob der Wellenlängenbereich, der durch die Spektruminformation des Anregungsstrahls jedes Prüfobjekts bereitgestellt wird, kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen mehrerer Anregungsstrahlen mehrerer Prüfobjekte berechnet wird, und um zu bestimmen, ob der Lichtstärkewert, der durch die Lichtstärkeinformation des Anregungsstrahls jedes Prpfobjekts bereitgestellt wird, kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen mehrerer Anregungsstrahlen mehrerer Prüfobjekte berechnet wird; wenn der durch die Spektruminformation des Anregungsstrahls bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich oder der durch die Lichtstärkeninformation des Anregungsstrahls bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert und das Prüfobjekt somit als ein defektes Prüfobjekt definiert ist, wird das elektrische Prüfmodul dazu verwendet, durch elektrischen Kontakt mit dem durch den Projektionsstrahl angeregten defekten Prüfobjekt ein elektrisches Signal des defekten Prüfobjekts zu erhalten.
  • In der oben erwähnten möglichen Ausführungsform kann das Defektanalysemodul dazu verwendet werden, es zu bestimmen, ob der von jedem Prüfobjekt bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich, ob der von jedem Prüfobjekt bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert und ob die Ähnlichkeit zwischen dem tatsächlichen Lichtflecktmuster jedes Projektionsstrahls und einem vorbestimmten Lichtfleckmuster zu niedrig ist, kann die Erfindung durch die Verwendung des Defektanalysemoduls das defekte Prüfobjekt aus mehreren Prüfobjekten herausfinden. Außerdem kann bei der vorliegenden Erfindung das defekte Prüfobjekt zuerst durch den Projektionsstrahl angeregt werden, und dann wird das elektrische Prüfmodul verwendet, das defekte Prüfobjekt elektrisch zu kontaktieren, um ein von dem defekten Prüfobjekt erzeugtes elektrisches Signal zu erhalten. Daher kann in der vorliegenden Erfindung das defekte Prüfobjekt zuerst durch das Defektanalysemodul gefunden werden und dann kann das elektrische Prüfmodul verwendet werden, eine elektrische Prüfung an dem defekten Prüfobjekt durchzuführen. Da die vorliegende Erfindung nur eine elektrische Prüfung an dem defekten Prüfobjekt und keine elektrische Prüfung an allen Prüfobjekten durchführen muss, kann die elektrische Prüfzeit effektiv eingespart werden.
  • Damit die Merkmale und der technische Inhalt der Erfindung besser verstanden werden können, werden im Folgenden die Ausführungsformen der Erfindung anhand der beigefügten Zeichnungen detailliert beschrieben. Sie dienen nur zur Veranschaulichung der Erfindung und die Erfindung sollte nicht darauf beschränkt sein.
    • 1 zeigt eine schematische Darstellung der ersten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung mit dem reflektierenden räumlichen Lichtmodulator.
    • 2 zeigt eine Blockdarstellung der ersten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung.
    • 3 zeigt eine schematische Darstellung der ersten Ausführungsform des optischen Prüfverfahrens der Erfindung.
    • 4 zeigt eine schematische Darstellung der ersten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung mit dem durchlässigen räumlichen Lichtmodulators.
    • 5 zeigt eine schematische Darstellung der ersten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung mit der Ulbricht-Kugel.
    • 6 zeigt eine schematische Darstellung der zweiten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung mit dem reflektierenden räumlichen Lichtmodulators.
    • 7 zeigt eine Blockdarstellung der zweiten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung.
    • 8 zeigt eine schematische Darstellung der zweiten Ausführungsform des optischen Prüfverfahrens der Erfindung.
    • 9 zeigt eine schematische Darstellung der zweiten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung mit der Ulbricht-Kugel.
    • 10 zeigt eine schematische Darstellung der dritten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung (ein Laserlichtbereitstellungsmodul ist angeschaltet).
    • 11 zeigt eine weitere schematische Darstellung der dritten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung (ein anderes Laserlichtbereitstellungsmodul ist angeschaltet) und
    • 12 zeigt eine Blockschaltung der dritten Ausführungsform des optischen Prüfsystems der Erfindung.
  • Im Folgenden werden „das optische Prüfsystem und das optische Prüfverfahren“ der vorliegenden Erfindung anhand der spezifischen Ausführungsformen beschrieben. Fachleute in diesem Gebiet können die Vorteile und Wirkungen der vorliegenden Erfindung aus dem Inhalt dieser Beschreibung verstehen. Die vorliegende Erfindung kann in anderen und unterschiedlichen spezifischen Ausführungsformen implementiert oder angewendet werden. Verschiedene Details in dieser Beschreibung können auch basierend auf unterschiedlichen Gesichtspunkten und Anwendungen modifiziert und geändert werden, ohne von dem Konzept der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Außerdem sei es darauf hinzuweisen, dass die Zeichnungen der vorliegenden Erfindung nur zur Veranschaulichung dienen und nicht gemäß der tatsächlichen Größe gezeichnet sind. Die folgenden Ausführungsformen werden den verwandten technischen Inhalt der vorliegenden Erfindung weiter im Detail beschreiben, aber der Inhalt sollte den Schutzbereich der vorliegenden Erfindung nicht einschränken. Außerdem sollte der Begriff „oder“, wie er hier verwendet wird, je nach dem tatsächlichen Zustand einen beliebigen oder eine Kombination aus mehreren der aufgelisteten Sachverhalte enthalten.
  • Erste Ausführungsform
  • 1 und 2 zeigen die erste Ausführungsform des optischen Prüfsystems der vorliegenden Erfindung, das ein Tragemodul 1, ein Laserlichtbereitstellungsmodul 2A und eine optische Prüfeinheit umfasst. Die optische Prüfeinheit enthält ein erstes optisches Prüfmodul 3 und ein zweites optisches Prüfmodul 4. Beispielsweise können, wie in 2 gezeigt, das Tragemodul 1, das Laserlichtbereitstellungsmodul 2A, das erste optische Prüfmodul 3 und das zweite optische Prüfmodul 4 elektrisch mit einem Systemsteuermodul C (beispielsweise einem Computer) verbunden sein. Der Benutzer kann durch das Systemsteuermodul C das Tragemodul 1, das Laserlichtbereitstellungsmodul 2A, das erste optische Prüfmodul 3 und das zweite optische Prüfmodul 4 steuern. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Erstens kann, wie in 1 gezeigt, das Tragemodul 1 dazu verwendet werden, mehrere Prüfobjekte D1 zu tragen. Beispielsweise können die mehreren Prüfobjekte D1 Mikro-LEDs, Mini-LEDs oder jede andere Art von lichtemittierenden Halbleiterelementen sein. Die Prüfobjekte D1 (in 1 sind beispielsweise nur zwei Prüfobjekte D1 dargestellt) können auf einem Trägersubstrat (nicht bezeichnet, wie ein Wafer oder ein beliebiges Substrat) vorgefertigt werden. Das Tragemodul 1 kann eine Trägerstruktur zum Fixieren des Trägersubstrats sein (z. B. ein dreiachsiger Gleittisch oder eine beliebige bewegliche Struktur). Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Wie in 1 gezeigt, beinhaltet das Laserlichtbereitstellungsmodul 2A einen räumlichen Lichtmodulator 21 (Spatial Light Modulator, SLM). Der räumliche Lichtmodulator 21 kann dazu verwendet werden, einen Laserstrahl L1 in mehrere Projektionsstrahlen P1 umzuwandeln. Beispielsweise kann der räumliche Lichtmodulator 24 ein durchlässiger räumlicher Lichtmodulator oder ein reflektierender räumlicher Lichtmodulator mit Flüssigkristallmolekülen sein. Das Hauptarbeitsprinzip des räumlichen Lichtmodulators 24 besteht darin, die Richtung der optischen Achse der Flüssigkristallmoleküle umzulenken, indem ein elektrisches Feld angelegt wird, um die Phasendifferenz zwischen der schnellen Achse und der langsamen Achse des einfallenden Lichtstrahls zu ändern. Auf diese Weise werden der Polarisationszustand und der Polarisationswinkel des einfallenden Lichtstrahls eingestellt. Außerdem kann das Laserlichtbereitstellungsmodul 2A an einer beliebigen Position im Raumbereich über dem Tragemodul 1 oder an einer beliebigen Stelle nahe dem Tragemodul 1 angeordnet sein. Das Laserlichtbereitstellungsmodul 2A beinhaltet mindestens einen Laserlichterzeuger 22A und eine erste optische Linse 23A (oder eine erste optische Baugruppe, die mehrere Linsen enthält). Die erste optische Linse 23A ist benachbart zu dem mindestens einen Laserlichterzeuger 22A angeordnet (oder mit anderen Worten, die erste optische Linse 23A kann innerhalb des optischen Weges auf dem stromabwärtigen Lichtpfad des Laserlichterzeugers 22A angeordnet sein). Außerdem kann ein Laserlicht S1 (d.h. ein nicht paralleles Laserlicht S1), das von dem Laserlichterzeuger 22A erzeugt wird, durch die erste optische Linse 23A in einen Laserstrahl L1 (d.h. einen parallelen Laserstrahl L1) umgewandelt werden. Der Laserstrahl L1 kann zuerst einen ersten Strahlteiler B1 durchlaufen und dann auf den räumlichen Lichtmodulator 21 projiziert werden (es sei darauf hingewiesen, dass das Laserlichtbereitstellungsmodul 2A auf den ersten Strahlteiler B1 gerichtet ist). Nachdem der Laserstrahl L1 durch den räumlichen Lichtmodulator 21 in mehrere Projektionsstrahlen P1 umgewandelt wurde (als Beispiel sind in 1 nur zwei Projektionsstrahlen P1 gezeigt), wird jeder Projektionsstrahl P1 zunächst an dem ersten Strahlteiler B1 reflektiert. Danach durchläuft jeder Projektionsstrahl P1 den zweiten Strahlteiler B2 und wird dann auf das entsprechende Prüfobjekt D1 projiziert (d.h. ein Projektionsstrahl P1 wird nur auf ein entsprechendes Prüfobjekt D1 projiziert). Wenn mehrere Projektionsstrahlen P1 gleichzeitig jeweils auf mehrere Prüfobjekte D1 projiziert werden, kann dadurch jedes Prüfobjekt D1 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P1 angeregt werden und erzeugt somit einen Anregungsstrahl E1 (d.h. wenn ein Projektionsstrahl P1 auf ein entsprechendes Prüfobjekt D1 projiziert wird, erzeugt nur das von dem Projektionsstrahl P1 bestrahlte Prüfobjekt D1 einen Anregungsstrahl E1). Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Außerdem kann, wie in 1 und 2 gezeigt, das erste optische Prüfmodul 3 dazu verwendet werden, die Lichtstärke der Anregungsstrahlen E1 der mehreren Prüfobjekte D1 (zum Beispiel mehrere Prüfobjekte in einem vorbestimmten Bereich) gleichzeitig oder nacheinander zu messen. Dadurch kann eine Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 des entsprechenden prüfobjekts D1 erhalten. Beispielsweise beinhaltet das erste optische Prüfmodul 3 ein mit mindestens einer Fotodiode 310 ausgestattetes Lichtstärkemessgerät 31. Die Fotodiode 310 kann dazu verwendet werden, die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 des entsprechenden Prüfobjekts D1 zu erhalten. Genauer gesagt, nachdem jedes Prüfobjekt D1 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P1 angeregt wurde und einen Anregungsstrahl E1 erzeugt hat, wird jeder Anregungsstrahl E1 zuerst am zweiten Strahlteiler B2 reflektiert. Danach durchläuft jeder Anregungsstrahl E1 einen weiteren zweiten Strahlteiler B3 und wird dann auf mindestens eine Fotodiode 310 des Lichtstärkenmessgeräts 31 projiziert. Auf diese Weise kann die vorliegende Erfindung die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 jedes Prüfobjekts D1 durch die Verwendung des Lichtstärkemessgeräts 31 erhalten. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Außerdem kann, wie in 1 und 2 gezeigt, das zweite optische Prüfmodul 4 dazu verwendet werden, das optische Spektrum des Anregungsstahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 (d. h. einem oder einem Teil der Prüfobjekte) zu messen. Dadurch kann eine Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 erhalten werden. Das heißt, die Anzahl der von dem zweiten optischen Prüfmodul 4 geprüften Prüfobjekte D1 ist kleiner als die Anzahl der von dem ersten optischen Prüfmodul 3 geprüften Prüfobjekte. Insbesondere wenn das zweite optische Prüfmodul 4 mindestens eines der prüfobjekte D1 misst, bedeutet es eines oder ein Teil der prüfobjekte D1 in demselben vorbestimmten Bereich. Das heißt, es können Zehntausende von Prüfobjekten D1 auf dem zu prüfenden Wafer vorhanden sein. Hierbei misst das erste optische Prüfmodul 3 den Großteil oder sogar alle Prüfobjekte D1 und das zweite optische Prüfmodul 4 misst einen Teil davon. Die Anzahl der prüfobjekte D1 des zweiten optischen Prüfmodul 4 hat gegenüber der Anzahl der prüfobjekte D1 des ersten Prüfmoduls 3 einen vorbestimmten Prozentsatz (z. B. 5 % oder 10 % usw.). Beispielsweise beinhaltet das zweite optische Prüfmodul 4 einen optischen Spektrumanalysator 41 und eine zweite optische Linse 42 (oder eine zweite optische Baugruppe, die mehrere Linsen enthält). Die zweite optische Linse 42 ist benachbart zu dem optischen Spektrumanalysator 41 angeordnet (oder mit anderen Worten, die zweite optische Linse 42 kann innerhalb des optischen Weges auf dem stromaufwärtigen Lichtpfad des optischen Spektrumanalysators 41 angeordnet sein). Außerdem kann der optische Spektrumanalysator 41 dazu verwendet werden, die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der prüfobjekt D1 durch die zweite optische Linse 42 zu erhalten. Genauer gesagt, nachdem jedes Prüfobjekt D1 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P1 angeregt wurde und einen Anregungsstrahl E1 erzeugt hat, wird jeder Anregungsstrahl E1 zuerst am zweiten Strahlteiler B2 reflektiert. Danach wird jeder Anregungsstrahl E1 an dem weiteren zweiten Strahlteiler B3 reflektiert und dann auf das zweite optische Prüfmodul 4 projiziert. Auf diese Weise kann die vorliegende Erfindung die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 durch die Verwendung des optischen Spektrumanalysators 41 erhalten. Es sei darauf hingewiesen, dass sich das mindestens eine Prüfobjekt D1 in oder nahe einer zentralen Position eines vorbestimmten Bereiches, in dem mehrere Prüfobjekte D1 vorhanden sind, befindet. Das heißt, in einem vorbestimmten Bereich, in dem mehrere Prüfobjekte D1 vorhanden sind, kann mindestens ein Prüfobjekt D1, das sich in oder nahe einer zentralen Position des vorbestimmten Bereiches befindet, zur Anregung ausgewählt werden. Auf diese Weise kann die vorliegende Erfindung die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 durch den optischen Spektrumanalysator 41 erhalten. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Da der räumliche Lichtmodulator 21 das Laserlicht S1 in mehrere Projektionsstrahlen P1 aufteilen oder umwandeln kann, um gleichzeigtig mehrere Prüfobjekte D1 bereitzustellen, kann die „Prüfeffizienz“ einer hohen Anzahl von Prüfobjekten D1 erhöht werden. Beispielsweise kann zuerst durch die Verwendung des Lichtstärkemessgeräts 31 die Lichtstärkemessung von mehreren Prüfobjekten D1 in einem vorbestimmten Bereich gleichzeitig oder nacheinander durchgeführt werden (d.h. eine gesamte Prüfung), so dass die Prüfobjekte D1 vorläufig hinsichtlich der Lichtstärke bestimmt werden können. Als nächstes kann durch die Verwendung des optischen Spektrumanalysators 41 eine spektrale Prüfung (d.h. eine Probeprüfung) an mindestens einem der Prüfobjekte D1 in demselben vorbestimmten Bereiches durchgeführt werden. Durch die Probeprüfung kann es beurteilt werden, ob die Möglichkeit eines Defekts für die Prüfobjekte D1 in demselben vorbestimmten Bereich besteht. Auf diese Weise wird die Zeit eingespart, die für eine spektrale Prüfung jedes Prüfobjekts D1 erforderlich ist. Außerdem wird das Problem, dass nicht alle Defekte des Prüfobjekts D1 allein durch die Verwendung des Lichtstärkemessgeräts 31 gefunden werden können, gelöst. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Wie in 1 und 2 gezeigt, umfasst das optische Prüfssystem der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ferner ein optisches Filtermodul 6. Das optische Filtermodul 6 beinhaltet einen Bandpassfilter 60 zum Filtern der mehreren Projektionsstrahlen P1. Das Laserlichtbereitstellungsmodul 2A, das erste optische Prüfmodul 3, das zweite optische Prüfmodul 4 und das optische Filtermodul 6 sind auf demselben optischen Weg angeordnet. Beispielsweise kann der Bandpassfilter 60 ein einstellbares Bandpassfilter sein und ist elektrisch mit dem Systemsteuermodul C verbunden, so dass der Bandpassfilter 60 durch das Systemsteuermodul C die Steuerung durchführen kann. Genauer gesagt, wenn jedes Prüfobjekt D1 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P1 angeregt wird und einen entsprechenden Anregungsstrahl E1 erzeugt (d.h. wenn ein Prüfobjekt D1 nur durch einen entsprechenden Projektionsstrahl P1 beleuchtet und einen Anregungsstrahl E1 erzeugt), kann der Anregungsstrahl E1 des Prüfobjekts D1 den Bandpassfilter 60 durchlaufen und zum ersten optischen Prüfmodul 3 und zum zweiten optischen Prüfmodul 4 gestrahlt werden (d.h. wenn der Anregungsstrahl E1 am zweiten Strahlteilerelement B2 reflektiert und auf den Bandpassfilter 60 projiziert wird, kann der Anregungsstrahl E1 den Bandpassfilter 60 passieren, ohne von dem Bandpassfilter 60 blockiert zu werden). Wenn außerdem jeder Projektionsstrahl P1 von dem entsprechenden Prüfobjekt D1 reflektiert wird und einen Reflexionsstrahl (nicht gezeigt) bildet, wird der Reflexionsstrahl von dem Bandpassfilter 60 abgefiltert und kann nicht zu dem ersten optischen Prüfmodul 3 und dem zweiten optischen Prüfmodul 4 gestrahlt werden (d. h. wenn der Reflexionsstrahl an dem zweiten Strahlteilerelement B2 reflektiert und auf den Bandpassfilter 60 projiziert wird, wird der Reflexionsstrahl von dem Bandpassfilter 60 blockiert und kann nicht den Bandpassfilter passieren). Daher empfangen das erste optische Prüfmodul 3 und das zweite optische Prüfmodul 4 nur den Anregungsstrahl E1, der von dem Prüfobjekt D1 erzeugt wird, empfangen jedoch nicht den Reflexionsstrahl, der durch die Reflexion des Projektionsstrahls P1 an dem Prüfobjekt D1 gebildet wird. Dadurch wird die Prüfqualität des ersten optischen Prüfmoduls 3 und des zweiten optischen Prüfmoduls 4 für den Anregungsstrahl E1 des Prüfobjekts D1 erhöht. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
    Da der durch das optische Filtermodul 6 bereitgestellte Bandpassfilter 60 dazu verwendet werden kann, um mehrere Projektionsstrahlen P1 zu filtern, kann der Reflektionsstrahl jedes Projektionsstrahls D1, der durch die Reflexion des Projektionsstrahls P1 an dem Prüfobjekt D1 gebildet wird, den Bandpassfilter 60 nicht passiern. Nur der Anregungsstrahl E1 des Prüfobjekts D1 kann durch den Bandpassfilter 60 zu dem ersten optischen Prüfmodul 3 und dem zweiten optischen Prüfmodul gestrahlt werden. Daher werden das erste optische Prüfmodul 3 und das zweite optische Prüfmodul 4 nicht durch den Projektionsstrahl P beeinflusst. Auf diese Weise kann die Prüfsqualität des ersten optischen Prüfmoduls 3 und des zweiten optischen Prüfmoduls 4 für den Anregungsstrahl E1 des Prüfobjekts D1 effektiv erhöht werden.
    Weiterhin zeigt 1. bis 3 ein optisches Prüfverfahren der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, das umfasst: Zunächst, wie in 1 gezeigt, wird ein räumlicher Lichtmodulator 21 bereitgestellt, um einen Laserstrahl L1 in mehrere Projektionsstrahlen P1 umzuwandeln, die jeweils auf mehrere Prüfobjekte D1 projiziert werden (Schritt S100). Anschließend wird, wie in 1 gezeigt, jedes Prüfobjekt D1 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P1 angeregt und erzeugt entsprechend einen Anregungsstrahl E1 (Schritt S102). Danach wird, wie in 1 und 2 gezeigt, ein erstes optisches Prüfmodul 3 bereitgestellt, um einen ersten Prüfschritt zum gleichzeitigen oder sequentiellen Messen der Lichtstärke der Anregungsstrahlen E1 der mehreren Prüfobjekte D1 durchzuführen, damit eine Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 jedes prüfobjekts D1 erhalten wird (Schritt S104). Dann wird, wie in 1 und 2 gezeigt, ein zweites optisches Prüfmodul 4 bereitgestellt, um einen zweiten Prüfschritt zum Messen des optischen Spektrums des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 durchzuführen, damit eine Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 erhalten wird (Schritt S106). Beispielsweise kann der zweite Prüfschritt (Schritt S106) durchgeführt werden, nachdem der erste Prüfschritt (Schritt S104) abgeschlossen ist, oder der zweite Prüfschritt (Schritt S106) kann durchgeführt werden, während der erste Prüfschritt (Schritt S104) durchgeführt wird. Das heißt, gemäß unterschiedlichen Anforderungen können der erste Prüfschritt (Schritt S104) und der zweite Prüfschritt (Schritt S106) nacheinander durchgeführt werden, oder der erste Prüfschritt (Schritt S104) und der zweite Prüfschritt (Schritt S106) können gleichzeitig durchgeführt werden. Dadurch kann die Prüfzeit des ersten optischen Prüfmoduls 3 und des zweiten optischen Prüfmoduls 4 für den Anregungsstrahl E1 des Prüfobjekts D1 effektiv eingespart werden. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Es sei darauf hingewiesen, dass beispielsweise, wie in 1 und 4 gezeigt, gemäß unterschiedlicher Implementierungen der räumliche Lichtmodulator 21 von einer Seite des ersten Strahlteilers B1 (beispielsweise wie in 1 gezeigt) auf die andere Seite des ersten Strahlteilers B1 (beispielsweise wie in 4 gezeigt) verlagert werden kann. Nachdem der Laserstrahl L1 durch den räumlichen Lichtmodulator 21 in mehrere Projektionsstrahlen P1 umgewandelt wurde (nur zwei Projektionsstrahlen P1 sind in 1 als Beispiel gezeigt), wird jeder Projektionsstrahl P1 zuerst an dem Strahlteiler B1 reflektiert. Dann durchläuft jeder Projektionsstrahl P1 einen zweiten Strahlteiler B2 und wird dann auf das entsprechende Prüfobjekt D1 projiziert. Wenn mehrere Projektionsstrahlen P1 jeweils gleichzeitig auf mehrere Prüfobjekte D1 projiziert werden, kann jedes Prüfobjekt D1 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P1 angeregt werden und erzeugt somit einen Anregungsstrahl E1 (d. h, wenn ein Projektionsstrahl P1 auf eines der Prüfobjekt D1 projiziert wird, erzeugt nur das von dem Projektionsstrahl P1 bestrahlte Prüfobjekt D1 einen Anregungsstrahl E1). Wie in 1 oder 4 gezeigt, können „der kleinste Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen P1“, „die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls P1“ und „die Anzahl der Projektionsstrahlen P1“ alle durch Steuern der Flüssigkristallmoleküle des räumlichen Lichtmodulators 24 eingestellt werden. Das heißt, der räumliche Lichtmodulator 24 kann dazu verwendet werden, „den kleinsten Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen P1“, „die Anzahl der Projektionsstrahlen P1“ und „die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls P1“ einzustellen. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Es sei darauf hinzuweisen, dass beispielsweise, wie in 1, 2 und 5 gezeigt, gemäß verschiedener Implementierungen die optische Prüfeinheit ferner eine Ulbricht-Kugel 5 zum Empfangen des Anregungsstrahls E1 enthält. Das erste optische Prüfmodul 3 und das zweite optische Prüfmodul 4 können auf der Ulbricht-Kugel 5 installiert werden, so dass das erste optische Prüfmodul 3, das zweite optische Prüfmodul 4 und die Ulbricht-Kugel 5 in eine einzige optische Baugruppe integriert werden können. Nachdem der Anregungsstrahl E1 jedes Prüfobjekts D1 durch die Ulbricht-Kugel 5 homogenisiert wurde, kann die Fotodiode 310 des ersten optischen Prüfmoduls 3 dazu verwendet werden, durch die Ulbricht-Kugel 5 die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 jedes Prüfobjekts D1 zu erhalten. Der optische Spektrumanalysator 41 des zweiten optischen Prüfmoduls 4 kann dazu verwendet werden, durch die Ulbricht-kugel 5 die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 zu erhalten. Da das erste optische Prüfmodul 3, das zweite optische Prüfmodul 4 und die Ulbricht-Kugel 5 in eine modulare einzelne optische Baugruppe S integriert werden können, ist die modularisierte optische Prüfeinheit bei der Anwendung des optischen Prüfsystems bequemer für Benutzer. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Zweite Ausführungsform
  • 6 und 7 zeigen die zweite Ausführungsform des optischen Prüfsystems der vorliegenden Erfindung, das ein Tragemodul 1, ein Laserlichtbereitstellungsmodul 2A und eine optische Prüfeinheit umfasst. Die optische Prüfeinheit enthält ein erstes optisches Prüfmodul 3 und ein zweites optisches Prüfmodul 4. Aus dem Vergleich von 6 und 1 und dem Vergleich von 7 und 2 ist ersichtlich, dass der Hauptunterschied zwischen der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darin besteht, dass das optische Prüfsystem der zweiten Ausführungsform ferner ein Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul 7, ein Bildaufnahmemodul 8, ein Defektanalysemodul 9 und ein elektrisches Prüfmodul T umfasst. Beispielsweise sind das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul 7, das Bildaufnahmemodul 8, das Defektanlaysemodul 9 und das elektrische Prüfmodul T alle elektrisch mit einem Systemsteuermodul C verbunden. Der Benutzer kann das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul 7, das Bildaufnahmemodul 8, das Defektanalysemodul 9 und das elektrische Prüfmodul T durch das Systemsteuermodul C steuern. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Wie in 6 gezeigt, sind das Laserlichtbereitstellungsmodul 2A, das erste optische Prüfmodul 3, das zweite optische Prüfmodul 4, das optische Filtermodul 6, das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul 7 und das Bildaufnahmemodul 8 auf demselben optischen Weg angeordnet. Beispielsweise beinhaltet das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul 7 einen Umgebungslichterzeuger 71 zum Erzeugen eines Umgebungslichts A1 (wie eine LED oder andere Arten von Licht emittierenden Strukturen) und eine dritte optische Linse 72 (oder eine dritte optische Baugruppe, die mehrere Linsen enthält). Die dritte optische Linse 72 ist benachbart zu dem Umgebungslichterzeuger 71 angeordnet (oder mit anderen Worten, die dritte optische Linse 72 kann innerhalb des optischen Weges auf dem stromabwärtigen Lichtpfad des Umgebungslichterzeugers 71 angeordnet sein). Dadurch kann das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul 7 dazu verwendet werden, das von der Umgebungslichterzeuger 71 erzeugte Umgebungslicht A1 durch die dritte optische Linse 72 in einen Umgebungslichtstrahl A2 umzuwandeln, der auf mehrere Prüfobjekte D1 projiziert wird, um die Umgebungsbeleuchtung, die von den Prüfobjekten benötigt wird, bereitzustellen. Das Bildaufnahmemodul 8 beinhaltet eine Bildaufnahmevorrichtung 81 (z. B. CCD- oder CMOS-Sensorchip) und eine vierte optische Linse 82 (oder eine vierte optische Baugruppe, die mehrere Linsen enthält). Die vierte optische Linse 82 ist benachbart zu der Bildaufnahmevorrichtung 81 angeordnet (oder mit anderen Worten, die vierte optische Linse 82 kann innerhalb des optischen Weges auf dem stromaufwärtigen Lichtpfad der Bildaufnahmevorrichtung 81 angeordnet sein). Wenn jeder Projektionsstrahl P1 auf das entsprechende Prüfobjekt D1 projiziert wird und einen Lichtfleck (nicht gezeigt) bildet, kann das Bildaufnahmemodul 8 dazu verwendet werden, eine Positionsinformation des Lichtflecks zu erhalten. Auf diese Weise kann beurteilt werden, ob der Lichtfleck jedes Projektionsstrahls P1 von dem entsprechenden Prüfobjekt D1 abweicht (es sei darauf hingewiesen, dass, wenn der Lichtfleck des Projektionsstrahls P1 von dem entsprechenden Prüfobjekt D1 abweicht, das Prüfobjekt D1 nicht angeregt werden kann, so dass das Prüfobjekt D1 den Anregungsstrahl E1 nicht erzeugen kann). Außerdem kann, wenn der Lichtfleck des Projektionsstrahls P1 von dem entsprechenden Prüfobjekt D1 abweicht, der räumliche Lichtmodulator 21 dazu verwendet werden, den Lichtfleck des Projektionslichtstrahls P1 auf das entsprechende Prüfobjekt D1 zu bewegen. Auf diese Weise kann die vorliegende Erfindung durch die Verwendung des räumlichen Lichtmodulators 21 den Projektionsstrahl P1 auf die Fleckposition des entsprechenden Prüfobjekts D1 projizieren, wodurch die „Ausrichtungsgenauigkeit“ des Prüfobjekts D1 während der Prüfung erhöht wird, so dass die Prüfgenauigkeit erhöht wird. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Da der Umgebungslichtstrahl A2, der von dem Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul 8 bereitgestellt wird, gleichzeitig auf mehrere Prüfobjekte D1 projiziert werden kann, um die Umgebungsbeleuchtung, die von den Prüfobjekten D1 benötigt wird, bereitzustellen, kann das Bildaufnahmemodul 8 die Position des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls P auf dem Prüfobjekt D1 deutlicher erkennen. Da außerdem das Bildaufnahmemodul 8 dazu verwendet werden kann, es zu bestimmen, ob der Lichtfleck jedes Projektionsstrahls P von dem entsprechenden Prüfobjekt D1 abweicht und der räumliche Lichtmodulator 21 dazu verwendet werden kann, den Lichtfleck des Projektionsstrahls P auf das entsprechende Prüfobjekt D1 zu bewegen, kann die vorliegende Erfindung die „Ausrichtungsgenauigkeit“ des Prüfobjekts D1 während der Prüfung effektiv erhöhen, so dass die Prüfgenauigkeit erhöht wird.
  • Wie in 6 und 7 gezeigt, kann die Bildaufnahmevorrichtung 81 dazu verwendet werden, den Lichtfleck jedes Projektionsstrahls P1 auf dem Prüfobjekt D1 aufzunehmen. Dadurch kann das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul 8 eine Lichtforminformation M3 des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls P1 erhalten. Das Defektanalysemodul 9 ist elektrisch mit dem ersten optischen Prüfmodul 3, dem zweiten optischen Prüfmodul 4 und dem Bildaufnahmemodul 8 verbunden. Es wird dazu verwendet, eine „Lichtstärkeinformation M1“ und eine „Spektrum information M2“ des Anregungsstrahls E1 jedes Prüfobjekts D1 und eine „Lichtforminformation M3“ des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls P1 zu erhalten. Das elektrische Prüfmodul T kann an beliebiger Stelle nahe dem Tragemodul 1 angeordnet und wird dazu verwendet, durch elektrischen Kontakt mit dem durch den Projektionsstrahl P1 angeregten Prüfobjekt D1 ein von dem Prüfobjekt D1 erzeugtes elektrisches Signal zu erhalten (d.h. elektrische Information M4). Beispielsweise kann das elektrische Prüfmodul T eine bewegliche Struktur (nicht gezeigt) und eine Vielzahl von leitfähigen Sonden (nicht gezeigt) beinhalten, die von der beweglichen Struktur angetrieben werden, um sich in eine vorbestimmte Position zu bewegen. Die leitfähigen Sonden können dazu verwendet werden, das leitfähige Pad des Prüfobjekts D1 selektiv elektrisch zu kontaktieren. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Beispielsweise kann, wie in 6 und 7 gezeigt, das Defektanlaysemodul 9 dazu verwendet werden, es zu bestimmen, ob „der Wellenlängenbereich, der durch die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 jedes Prpfobjekts D1 (beispielsweise mindestens eines von mehreren Prüfobjekten D1 in demselben vorbestimmten Bereich oder mehrere Prüfobjekte D1 in demselben vorbestimmten Bereich) bereitgestellt wird“, kleiner ist als „der durchschnittliche Wellenlängenbereich, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen M2 mehrerer Anregungsstrahlen E1 mehrerer Prüfobjekte D1 berechnet wird (d. h. durch mehrere Prüfobjekte D1 ermittelt) oder der vom Benutzer vorgegebene durchschnittliche Wellenlängenbereich“ (manuell ermittelt). Dadurch wird es beurteilt, ob jedes Prüfobjekt D1 ein defektes Prüfobjekt ist. Außerdem kann das Defektanalysemodul 9 dazu verwendet werden, es zu bestimmen, ob „der Lichtstärkewert, der durch die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 jedes Prpfobjekts D1 (beispielsweise mindestens eines der mehreren Prüfobjekte D1 in demselben vorbestimmten Bereich oder mehrere Prüfobjekte D1 in demselben vorbestimmten Bereich) bereitgestellt wird“, kleiner ist als „der durchschnittliche Lichtstärkenwert, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen M2 mehrerer Anregungsstrahlen E1 mehrerer Prüfobjekte D1 berechnet wird“. Außerdem kann das Defektanalysemodul 9 dazu verwendet werden, es zu bestimmen, ob „das tatsächliche Lichtfleckmuster, das durch die Lichtforminformation M3 des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls P1 bereitgestellt wird“, und „ein vorbestimmtes Lichtfleckmuster (wie ein Kreis, ein Quadrat oder eine beliebige Form)“ eine Ähnlichkeit niedriger als 90 % (oder niedriger als 80 %, 70 %, 60 %) haben. Es sei darauf hinzuweisen, dass, wenn „der durch die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich“ oder „der durch die Lichtstärkeninformation M1 des Anregungsstrahls E1 bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert“ und das Prüfobjekt D1 somit als ein defektes Prüfobjekt definiert ist, das elektrische Prüfmodul T dazu verwendet werden kann, durch elektrischen Kontakt mit dem durch den Projektionsstrahl P1 angeregten defekten Prüfobjekt ein elektrisches Signal (d.h. elektrische Information M4) des defekten Prüfobjekts zu erhalten. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Da das Defektanalysemodul 9 dazu verwendet werden kann, es zu bestimmen, „ob der von jedem Prüfobjekt D1 bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich“, „ob der von jedem Prüfobjekt D1 bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert“ und „ob die Ähnlichkeit zwischen dem tatsächlichen Lichtflecktmuster jedes Projektionsstrahls P und einem vorbestimmten Lichtfleckmuster zu niedrig ist“, kann die Erfindung durch die Verwendung des Defektanalysemoduls 9 das defekte prüfobjekt aus mehreren Prüfobjekten D1 herausfinden. Außerdem kann bei der vorliegenden Erfindung das defekte Prüfobjekt zuerst durch den Projektionsstrahl P angeregt werden, und dann wird das elektrische Prüfmodul T verwendet, das defekte Prüfobjekt elektrisch zu kontaktieren, um ein von dem defekten Prüfobjekt erzeugtes elektrisches Signal zu erhalten (d.h. die elektrische Information M4). Daher kann in der vorliegenden Erfindung das defekte Prüfobjekt zuerst durch das Defektanalysemodul 9 gefunden werden und dann kann das elektrische Prüfmodul T verwendet werden, eine elektrische Prüfung an dem defekten Prüfobjekt durchzuführen. Da die vorliegende Erfindung nur eine elektrische Prüfung an dem defekten Prüfobjekt und keine elektrische Prüfung an allen Prüfobjekten D1 durchführen muss, kann die elektrische Prüfzeit effektiv eingespart werden.
  • Weiterhin zeigt 6. bis 8 ein optisches Prüfverfahren der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, das umfasst: Zunächst, wie in 6 gezeigt, wird ein räumlicher Lichtmodulator 21 bereitgestellt, um einen Laserstrahl L1 in mehrere Projektionsstrahlen P1 umzuwandeln, die jeweils auf mehrere Prüfobjekte D1 projiziert werden (Schritt S200). Anschließend wird, wie in 6 gezeigt, jedes Prüfobjekt D1 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P1 angeregt und erzeugt entsprechend einen Anregungsstrahl E1 (Schritt S202). Danach werden, wie in 6 und 7 gezeigt, das erste optische Prüfmodul 3 dazu verwendet, einen ersten Prüfschritt zum gleichzeitigen oder sequentiellen Messen der Lichtstärke der Anregungsstrahlen E1 der mehreren Prüfobjekte D1 durchzuführen, um eine Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 jedes prüfobjekts D1 zu erhalten (Schritt S204). Dann wird, wie in 6 und 7 gezeigt, das zweite optische Prüfmodul 4 dazu verwendet, einen zweiten Prüfschritt zum Messen des optischen Spektrums des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 durchzuführen, um eine Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 zu erhalten (Schritt S206). Beispielsweise kann der zweite Prüfschritt (Schritt S206) durchgeführt werden, nachdem der erste Prüfschritt (Schritt S204) abgeschlossen ist, oder der zweite Prüfschritt (Schritt S206) kann durchgeführt werden, während der erste Prüfschritt (Schritt S204) durchgeführt wird. Das heißt, gemäß unterschiedlichen Anforderungen können der erste Prüfschritt (Schritt S204) und der zweite Prüfschritt (Schritt S206) nacheinander durchgeführt werden, oder der erste Prüfschritt (Schritt S204) und der zweite Prüfschritt (Schritt S206) können gleichzeitig durchgeführt werden. Dadurch kann die Prüfzeit des ersten optischen Prüfmoduls 3 und des zweiten optischen Prüfmoduls 4 für den Anregungsstrahl E1 des Prüfobjekts D1 effektiv eingespart werden. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Aus dem Vergleich von 8 und 3 ist ersichtlich, dass der Hauptunterschied zwischen der zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und der ersten Ausführungsform darin besteht, dass nach Schritt S206 der zweiten Ausführungsform die folgenden Schritte durchgeführt werden: Zuerst, wie in 6 gezeigt, wird ein Umgebungslicht-Bereitstellungsmdoul A1 bereitgestellt, das das Umgebungslicht A1 in einen Umgebungslichtstrahl A2 umwandelt, der auf mehrere Prüfobjekte D1 projiziert wird, um die Umgebungsbeleuchtung, die von den Prüfobjekten benötigt wird, bereitzustellen (Schritt S208). Als Nächstes wird, wie in 6 gezeigt, ein Bildaufnahmemodul 8 bereitgestellt, das eine Positionsinformation des Lichtflecks, der gebildet wird, wenn der Projektionsstrahl P1 auf das entsprechende Prüfobjekt D1 projiziert wird, zu erhalten, um zu beurteilen, ob der Lichtfleck des Projektionsstrahls P1 von dem entsprechenden Prüfobjekt D1 abweicht (Schritt S210). Danach wird, wie in 6 gezeigt, ein Defektanalysemodul 9 bereitgestellt, um zu bestimmen, ob „der Wellenlängenbereich, der durch die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 jedes Prpfobjekts D1 bereitgestellt wird, kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen M2 mehrerer Anregungsstrahlen E1 mehrerer Prüfobjekte D1 berechnet wird (d. h. ob der durch die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich)“, und um zu bestimmen, ob „der Lichtstärkewert, der durch die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 jedes Prpfobjekts D1 bereitgestellt wird, kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen M2 mehrerer Anregungsstrahlen E1 mehrerer Prüfobjekte D1 berechnet wird (ob der durch die Lichtstärkeninformation M1 des Anregungsstrahls E1 bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert)“ (es kann auch bestimmen, ob „das tatsächliche Lichtfleckmuster‟, das durch den Lichtflecks jedes Projektionsstrahls P1 bereitgestellt wird, und ein vorbestimmtes Lichtfleckmuster eine zu niedrige Ähnlichkeit haben) (Schritt S212). Wenn „der durch die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich“ oder „der durch die Lichtstärkeninformation M1 des Anregungsstrahls E1 bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert“ (oder das tatsächliche Lichtfleckmuster, das durch den Lichtfleck jedes Projektionsstrahls P1 bereitgestellt wird, und ein vorbestimmtes Lichtfleckmuster eine zu niedrige Ähnlichkeit haben) und das Prüfobjekt D1 somit als ein defektes Prüfobjekt definiert ist, kann das elektrische Prüfmodul T dazu verwendet werden, durch elektrischen Kontakt mit dem durch den Projektionsstrahl P1 angeregten defekten Prüfobjekt ein elektrisches Signal (d.h. elektrische Information M4) des defekten Prüfobjekts zu erhalten (Schritt S214).
  • Es sei darauf hinzuweisen, dass beispielsweise, wie in 6, 7 und 9 gezeigt, gemäß verschiedener Implementierungen die optische Prüfeinheit ferner eine Ulbricht-Kugel 5 zum Empfangen des Anregungsstrahls E1 enthält. Das erste optische Prüfmodul 3 und das zweite optische Prüfmodul 4 können auf der Ulbricht-Kugel 5 installiert werden, so dass das erste optische Prüfmodul 3, das zweite optische Prüfmodul 4 und die Ulbricht-Kugel 5 in eine einzige optische Baugruppe integriert werden können. Nachdem der Anregungsstrahl E1 jedes Prüfobjekts D1 durch die Ulbricht-Kugel 5 homogenisiert wurde, kann die Fotodiode 310 des ersten optischen Prüfmoduls 3 dazu verwendet werden, durch die Ulbricht-Kugel 5 die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 jedes Prüfobjekts D1 zu erhalten. Der optische Spektrumanalysator 41 des zweiten optischen Prüfmoduls 4 kann dazu verwendet werden, durch die Ulbricht-kugel 5 die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 von mindestens einem der Prüfobjekte D1 zu erhalten. Da das erste optische Prüfmodul 3, das zweite optische Prüfmodul 4 und die Ulbricht-Kugel 5 in eine modulare einzelne optische Baugruppe S integriert werden können, ist die modularisierte optische Prüfeinheit bei der Anwendung des optischen Prüfsystems bequemer für Benutzer. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Dritte Ausführungsform
  • 10 und 12 zeigen die dritte Ausführungsform des optischen Prüfsystems der vorliegenden Erfindung, das ein Tragemodul 1, ein Laserlichtbereitstellungsmodul 2A und eine optische Prüfeinheit umfasst. Die optische Prüfeinheit enthält ein erstes optisches Prüfmodul 3 und ein zweites optisches Prüfmodul 4. Die Funktionsweise des Tragemoduls 1, des Laserlichtbereitstellungsmoduls 2A, des ersten optischen Prüfmoduls 3 und des zweiten optischen Prüfmoduls 4 ist gleich wie in der zweiten Ausführungsform. Aus dem Vergleich von 10 (oder 11) und 6 und dem Vergleich von 12 und 7 ist ersichtlich, dass der Hauptunterschied zwischen der dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung und der zweiten Ausführungsform darin besteht, dass das optische Prüfsystem des dritten Ausführungsbeispiels noch ein weiteres Laserlichtbereitstellungsmodul 2B umfasst. Das Laserlichtbereitstellungsmodul 2B kann durch den räumlichen Lichtmodulator 21 einen Laserstrahl L2 in mehrere Projektionsstrahlen P2 umwandeln. Beispielsweise kann das Laserlichtbereitstellungsmodul 2B an einer beliebigen Position im Raumbereich über dem Tragemodul 1 oder an einer beliebigen Stelle nahe dem Tragemodul 1 angeordnet sein. Das Laserlichtbereitstellungsmodul 2B beinhaltet mindestens einen Laserlichterzeuger 22B und eine erste optische Linse 23B (oder eine erste optische Baugruppe, die mehrere Linsen enthält). Die erste optische Linse 23B ist benachbart zu dem mindestens einen Laserlichterzeuger 22B angeordnet (oder mit anderen Worten, die erste optische Linse 23B kann innerhalb des optischen Weges auf dem stromabwärtigen Lichtpfad des Laserlichterzeugers 22B angeordnet sein). Außerdem kann ein Laserlicht S2 (d.h. ein nicht paralleles Laserlicht S2), das von dem Laserlichterzeuger 22B erzeugt wird, durch die erste optische Linse 23B in einen Laserstrahl L2 (d.h. einen parallelen Laserstrahl L1) umgewandelt werden. Der Laserstrahl L2 kann zuerst einen fünften Strahlteiler B5 und einen ersten Strahlteiler B1 durchlaufen und dann auf den räumlichen Lichtmodulator 21 projiziert werden. Nachdem der Laserstrahl L1 durch den räumlichen Lichtmodulator 21 in mehrere Projektionsstrahlen P2 umgewandelt wurde (als Beispiel sind in 10 nur zwei Projektionsstrahlen P2 gezeigt), wird jeder Projektionsstrahl P2 zunächst an dem ersten Strahlteiler B1 reflektiert. Danach durchläuft jeder Projektionsstrahl P2 den zweiten Strahlteiler B2 und wird dann auf das entsprechende Prüfobjekt D2 projiziert (d.h. ein Projektionsstrahl P2 wird nur auf ein entsprechendes Prüfobjekt D2 projiziert). Wenn mehrere Projektionsstrahlen P2 gleichzeitig jeweils auf mehrere Prüfobjekte D2 projiziert werden, kann dadurch jedes Prüfobjekt D2 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P2 angeregt werden und erzeugt somit einen Anregungsstrahl E2 (d.h. wenn ein Projektionsstrahl P2 auf ein entsprechendes Prüfobjekt D2 projiziert wird, erzeugt nur das von dem Projektionsstrahl P2 bestrahlte Prüfobjekt D2 einen Anregungsstrahl E2). Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Außerdem kann, wie in 11 und 12 gezeigt, das erste optische Prüfmodul 3 dazu verwendet werden, die Lichtstärke der Anregungsstrahlen E2 der mehreren Prüfobjekte D2 (zum Beispiel mehrere Prüfobjekte in einem vorbestimmten Bereich) gleichzeitig oder nacheinander zu messen. Dadurch kann eine Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E2 des entsprechenden prüfobjekts D2 erhalten. Beispielsweise beinhaltet das erste optische Prüfmodul 3 ein mit mindestens einer Fotodiode 310 ausgestattetes Lichtstärkemessgerät 31. Die Fotodiode 310 kann dazu verwendet werden, die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E2 des entsprechenden Prüfobjekts D2 zu erhalten. Genauer gesagt, nachdem jedes Prüfobjekt D2 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P2 angeregt wurde und einen Anregungsstrahl E2 erzeugt hat, wird jeder Anregungsstrahl E2 zuerst am zweiten Strahlteiler B2 reflektiert. Danach durchläuft jeder Anregungsstrahl E2 einen vierten Strahlteiler B4 und einen weiteren zweiten Strahlteiler B3 und wird dann auf mindestens eine Fotodiode 310 des Lichtstärkenmessgeräts 31 projiziert. Auf diese Weise kann die vorliegende Erfindung die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E2 jedes Prüfobjekts D2 durch die Verwendung des Lichtstärkemessgerät 31 erhalten. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Außerdem kann, wie in 11 und 12 gezeigt, das zweite optische Prüfmodul 4 dazu verwendet werden, das optische Spektrum des Anregungsstahls E2 von mindestens einem der Prüfobjekte D2 (d. h. einem oder einem Teil der Prüfobjekte) zu messen. Dadurch kann eine Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E2 von mindestens einem der Prüfobjekte D2 erhalten werden. Beispielsweise beinhaltet das zweite optische Prüfmodul 4 einen optischen Spektrumanalysator 41 und eine zweite optische Linse 42 (oder eine zweite optische Baugruppe, die mehrere Linsen enthält). Die zweite optische Linse 42 ist benachbart zu dem optischen Spektrumanalysator 41 angeordnet (oder mit anderen Worten, die zweite optische Linse 42 kann innerhalb des optischen Weges auf dem stromaufwärtigen Lichtpfad des optischen Spektrumanalysators 41 angeordnet sein). Außerdem kann der optische Spektrumanalysator 41 dazu verwendet werden, die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E2 von mindestens einem der prüfobjekt D2 durch die zweite optische Linse 42 zu erhalten. Genauer gesagt, nachdem jedes Prüfobjekt D2 durch den entsprechenden Projektionsstrahl P2 angeregt wurde und einen Anregungsstrahl E2 erzeugt hat, wird jeder Anregungsstrahl E2 zuerst am zweiten Strahlteiler B2 reflektiert. Danach wird jeder Anregungsstrahl E2 an dem vierten Strahlteiler B4 und dem weiteren zweiten Strahlteiler B3 reflektiert und dann auf das zweite optische Prüfmodul 4 projiziert. Auf diese Weise kann die vorliegende Erfindung die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E2 von mindestens einem der Prüfobjekte D2 durch die Verwendung des optischen Spektrumanalysators 41 erhalten. Es sei darauf hingewiesen, dass sich das mindestens eine Prüfobjekt D2 in oder nahe einer zentralen Position eines vorbestimmten Bereiches, in dem mehrere Prüfobjekte D2 vorhanden sind, befindet. Das heißt, in einem vorbestimmten Bereich, in dem mehrere Prüfobjekte D2 vorhanden sind, kann mindestens ein Prüfobjekt D2, das sich in oder nahe einer zentralen Position des vorbestimmten Bereiches befindet, zur Anregung ausgewählt werden. Auf diese Weise kann die vorliegende Erfindung die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E2 von mindestens einem der Prüfobjekte D2 durch den optischen Spektrumanalysator 41 erhalten. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Es sei darauf hinzuweisen, dass, wie in 10 und 11 gezeigt, die beiden Laserlichter (S1, S2), die von den beiden Laserlichterzeugern (22A, 22B) erzeugt werden (d.h. die beiden von den beiden Laserlichtbereitstellungsmodulen (2A, 2B) erzeugten Projektionsstrahlen (P1, P2)) unterschiedliche Wellenlängenbereiche haben. Das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung kann gemäß unterschiedlichen Anforderungen die Prüfobjekte (D1, D2) mit unterschiedlichen Wellenlängenbereichen anregen. Daher ist das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung für mehrere Prüfobjekte (D1, D2) mit unterschiedlichen Wellenlängenbereichen geeignet, wodurch der Anwendungsbereich des optischen Prüfsystems vergrößert wird (d. h. wenn die Prüfobjekte (D1, D2) unterschiedliche Wellenlängenbereiche haben, kann das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung durch das Umschalten der Laserlichter (S1, S2) eine optische Prüfung an mehreren Prüfobjekten (D1 oder D2) mit der gleichen Wellenlänge durchführen. Daher muss die vorliegende Erfindung kein weiteres optisches Prüfsystem für das Prüfobjekt mit einem anderen Wellenlängenbereich verwenden). Wenn beispielsweise der Wellenlängenbereich eines der Prüfobjekte D1 (z. B. blaue LED) etwa 430 nm bis 470 nm beträgt, kann das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung einen der Laserlichterzeuger 22A auswählen, um ein Laserlicht S1 mit einem Wellenlängenbereich von ungefähr 385 nm bis 425 nm (d.h. der Projektionsstrahl P1) zum Anregen des Prüfobjekts D1 bereitzustellen. Wenn der Wellenlängenbereich eines anderen Prüfobjekts D2 (z. B. rote LED) etwa 620 nm bis 780 nm beträgt, kann das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung einen anderen Laserlichterzeuger 22B auswählen, um ein Laserlicht S2 mit einem Wellenlängenbereich von ungefähr 512 nm bis 552 nm (d.h. der Projektionsstrahl P2) zum Anregen des anderen Prüfobjekts D2 bereitzustellen. Wenn der Wellenlängenbereich eines weiteren Prüfobjekts D2 (z. B. grüne LED) etwa 490 nm bis 570 nm beträgt, kann das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung einen weiteren Laserlichterzeuger (nicht gezeigt) auswählen, um ein Laserlicht mit einer Wellenlänge von ungefähr 385 nm bis 425 nm (d.h. der Projektionsstrahl) zum Anregen des weiteren Prüfobjekts D2, z.B. einer grünen LED, bereitzustellen. Das oben erwähnte Beispiel ist jedoch nur eine mögliche Ausführungsform und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken.
  • Es ist darauf hinzuweisen, dass, wie in 10 und 11 gezeigt, die beiden Laserlichtbereitstellungsmodule (2A, 2B) in der dritten Ausführungsform für zwei Prüfobjekte (D1, D2) mit unterschiedlichen Wellenlängenbereichen nur ein Bespiel sind. Die vorliegende Erfindung kann die Anzahl der Laserlichtbereitstellungsmodule gemäß unterschiedlicher Anforderungen (beispielsweise der Anzahl der Prüfobjekte mit unterschiedlichen Wellenlängenbereichen) erhöhen. Außerdem wird auch die Anzahl des fünften Strahlteilers B5 entsprechend der Anzahl der Laserlichtbereitstellungsmodule gewählt.
  • Vorteile der Ausführungsformen:
  • Einer der Vorteile der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass das optische Prüfsystem der vorliegenden Erfindung dadurch, dass „das Laserlichtbereitstellungsmodul 2A einen räumlichen Lichtmodulator 21 beinhaltet, der dazu verwendet wird, einen Laserstrahl L1 in mehrere Projektionsstrahlen P1 umzuwandeln“, und „die optische Prüfeinheit ein erstes optisches Prüfmodul 3 zum Messen der Lichtstärke des Anregungsstrahls E1 des Prüfobjekts D1 und ein zweites optisches Prüfmodul 4 zum Messen des optischen Spektrums des Anregungsstrahls E1 des Prüfobjekts D1 beinhaltet“, die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 des Prüfobjekts D1 und die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 des Prüfobjekts D1 erhalten kann. Daher kann die vorliegende Erfindung die Prüfeffizienz einer hohen Anzahl von Prüfobjekten effektiv erhöhen und gleichzeitig das Problem vermeiden, dass nicht alle Defekte der Prüfobjekte erfasst werden können, so dass die Produktionsausbeute effektiv verbessert wird.
  • Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass das optische Prüfverfahren der vorliegenden Erfindung dadurch, dass „ein räumlicher Lichtmodulator 21 dazu verwendet wird, einen Laserstrahl L1 in mehrere Projektionsstrahlen P1 umzuwandeln, die auf mehrere Prüfobjekte projiziert werden“, „ein erstes optisches Prüfmodul 3 zum Durchführen eines ersten Prüfschritts verwendet wird, um die Lichtstärke des Anregungsstrahls E1 des Prüfobjekts D1 zu messen“ und „ein zweites optisches Prüfmodul 4 zum Durchführen eines zweiten Prüfschritts verwendet wird, um das optische Spektrum des Anregungsstrahls E1 des Prüfobjekts D1 zu messen“, die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls E1 des Prüfobjekts D1 und die Spektruminformation M2 des Anregungsstrahls E1 des Prüfobjekts D1 erhalten kann. Daher kann die vorliegende Erfindung die Prüfeffizienz einer hohen Anzahl von Prüfobjekten effektiv erhöhen und gleichzeitig das Problem vermeiden, dass nicht alle Defekte der Prüfobjekte erfasst werden können, so dass die Produktionsausbeute effektiv verbessert wird.
  • Die obige Beschreibung stellt nur die bevorzugten möglichen Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung dar und sollte die vorliegende Erfindung nicht darauf beschränken. Daher sind alle äquivalenten technischen Änderungen, die unter Verwendung des Inhalts der Beschreibung und der Zeichnungen der vorliegenden Erfindung vorgenommen werden, im Umfang der Patentanmeldung der vorliegenden Erfindung enthalten.
  • Bezugszeichenliste
    • C
    Systemsteuermodul
    1
    Tragemodul
    2A, 2B
    Laserlichtbereitstellungsmodul
    21
    räumlicher Lichtmodulator
    22A, 22B
    Laserlichterzeuger
    23A, 23B
    erste optische Linse
    3
    erstes optisches Prüfmodul
    31
    Lichtstärkemessgerät
    310
    Fotodiode
    4
    zweites optisches Prüfmodul
    41
    Spektrumanalysator
    42
    zweite optische Linse
    5
    Ulbricht-Kugel
    6
    optisches Filtermodul
    60
    Bandpassfilter
    7
    Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul
    71
    Umgebungslichterzeuger
    72
    dritte optische Linse
    8
    Bildaufnahmemodul
    81
    Bildaufnahmevorrichtung
    82
    vierte optische Linse
    9
    Defektanalysemodul
    T
    elektrisches Prüfmodul
    S
    erste optische Baugruppe
    B1
    erster Strahlteiler
    B2
    zweiter Strahlteiler
    B3
    dritter Strahlteiler
    B4
    vieter Strahlteiler
    B5
    fünfter Strahlteiler
    M1
    Lichtstärkeinformation
    M2
    Spektrum information
    M3
    Lichtforminformation
    M4
    elektrische Information
    D1, D2
    Prüfobjekt
    S1, S2
    Laserlicht
    L1, L2
    Laserstrahl
    P1, P2
    Projektionsstrahl
    E1, E2
    Anregungsstrahl
    A1
    Umgebungslicht
    A2
    Umgebungslichtstrahl

Claims (10)

  1. Optisches Prüfsystem, das umfasst: ein Tragemodul (1), das dazu verwendet wird, mehrere Prüfobjekte (D1) zu tragen; ein Laserlichtbereitstellungsmodul (2A), das einen räumlichen Lichtmodulator (21) beinhaltet, der dazu verwendet wird, einen Laserstrahl (L1) in mehrere Projektionsstrahlen (P1) umzuwandeln; und eine optische Prüfeinheit, die ein erstes optisches Prüfmodul (3) und ein zweites optisches Prüfmodul (4) enthält; wobei, wenn mehrere Projektionsstrahlen (P1) gleichzeitig jeweils auf mehrere Prüfobjekte (D1) projiziert werden, jedes Prüfobjekt (D1) durch den entsprechenden Projektionsstrahl (P1) angeregt wird und somit einen Anregungsstrahl (E1) erzeugt; wobei das erste optische Prüfmodul (3) dazu verwendet wird, die Lichtstärke des Anregungsstrahls (E1) des Prüfobjekts (D1) zu messen, um eine Lichtstärkeinformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) des entsprechenden prüfobjekts (D1) zu erhalten; und wobei das zweite optische Prüfmodul (4) dazu verwendet wird, das optische Spektrum des Anregungsstrahls (E1) des Prüfobjekts (D1) zu messen, um eine Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) des entsprechenden Prüfobjekts (D1) zu erhalten.
  2. Optisches Prüfsystem nach Anspruch 1, das weiterhin umfasst: ein optisches Filtermodul (6), das einen Bandpassfilter (60) zum Filtern der mehreren Projektionsstrahlen (P1) beinhaltet; wobei das Laserlichtbereitstellungsmodul (2A), das erste optische Prüfmodul (3), das zweite optische Prüfmodul (4) und das optische Filtermodul (6) auf demselben optischen Weg angeordnet sind; wobei, wenn jedes Prüfobjekt (D1) durch den entsprechenden Projektionsstrahl (P1) angeregt wird und einen entsprechenden Anregungsstrahl (E1) erzeugt, der Anregungsstrahl (E1) des Prüfobjekts (D1) den Bandpassfilter (60) durchläuft und zum ersten optischen Prüfmodul (3) und zum zweiten optischen Prüfmodul (4) gestrahlt wird; wobei, wenn jeder Projektionsstrahl (P1) von dem entsprechenden Prüfobjekt (D1) reflektiert wird und einen Reflexionsstrahl bildet, der Reflexionsstrahl von dem Bandpassfilter (60) abgefiltert wird und nicht zu dem ersten optischen Prüfmodul (3) und dem zweiten optischen Prüfmodul (4) gestrahlt werden kann; wobei das erste optische Prüfmodul (3) dazu verwendet wird, die Lichtstärke der Anregungsstrahlen (E1) der mehreren Prüfobjekte (D1) gleichzeitig zu messen, um eine Lichtstärkeinformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) jedes Prüfobjekts (D1) zu erhalten; und wobei das zweite optische Prüfmodul (4) dazu verwendet wird, das optische Spektrum des Anregungsstrahls (E1) von mindestens einem der Prüfobjekte (D1) zu messen, um eine Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) von mindestens einem der Prüfobjekte (D1) zu erhalten.
  3. Optisches Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei das Laserlichtbereitstellungsmodul (2A) mehrere Laserlichterzeuger (22A) und mehrere optische Linsen (23A) beinhaltet, wobei die optischen Linsen (23A) benachbart zu den Laserlichterzeugern (22A) angeordnet sind, und wobei jede optische Linse dazu verwendet wird, das Laserlicht (S1) des entsprechenden Lasererzeugers in einen Laserstrahl (L1) umzuwandeln; wobei das Laserlichtbereitungsmodul (2A) auf einen Strahlteil (B1) gerichtet ist, wobei der von dem Laserlichtbereitungsmodul (2A) bereitgestellte Laserstrahl (L1) zuerst den Strahlteiler (B1) durchläuft und dann auf den räumlichen Lichtmodulator (21) projiziert wird oder der von dem Laserlichtbereitungsmodul (2A) bereitgestellte Laserstrahl (L1) zuerst den räumlichen Lichtmodulator (21) durchläuft und dann auf den Strahlteiler (B1) projiziert wird; und wobei der räumliche Lichtmodulator (21) den Laserstrahl (L1) durchlässt oder reflektiert, wodurch der Laserstrahl (L1) in mehrere Projektionsstrahlen (P1) umgewandelt wird, und wobei der räumliche Lichtmodulator (21) dazu verwendt wird, den kleinsten Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen (P1), die Anzahl der Projektionsstrahlen (P1) und die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls (P1) einzustellen.
  4. Optisches Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei das erste optische Prüfmodul (3) ein mit mindestens einer Fotodiode (310) ausgestattetes Lichtstärkemessgerät (31) beinhaltet, wobei die Fotodiode (310) dazu verwendet wird, die Lichtstärkeinformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) jedes Prüfobjekts (D1) zu erhalten; und wobei das zweite optische Prüfmodul (4) einen optischen Spektrumanalysator (41) beinhaltet, wobei der optische Spektrumanalysator (41) dazu verwendet wird, durch eine optische Linse (42) eine Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) von mindestens einem der Prüfobjekte (D1) zu erhalten, und wobei sich das mindestens eine Prüfobjekt (D1) in oder nahe einer zentralen Position eines vorbestimmten Bereiches, in dem mehrere Prüfobjekte (D1) vorhanden sind, befindet.
  5. Optisches Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei die optische Prüfeinheit ferner eine Ulbricht-Kugel (5) zum Empfangen des Anregungsstrahls (E1) enthält, wobei das erste optische Prüfmodul (3) und das zweite optische Prüfmodul (4) auf der Ulbricht-Kugel (5) installiert sind, so dass das erste optische Prüfmodul (3), das zweite optische Prüfmodul (4) und die Ulbricht-Kugel (5) in eine einzige optische Baugruppe integriert werden; wobei das erste optische Prüfmodul (3) ein mit mindestens einer Fotodiode (310) ausgestattetes Lichtstärkemessgerät (31) beinhaltet, wobei die Fotodiode (310) dazu verwendet wird, durch die Ulbricht-Kugel (5) die Lichtstärkeinformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) jedes Prüfobjekts (D1) zu erhalten; und wobei das zweite optische Prüfmodul (4) einen optischen Spektrumanalysator (41) beinhaltet, wobei der optische Spektrumanalysator (41) dazu verwendet wird, durch die Ulbricht-Kugel (5) die Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) von mindestens einem der Prüfobjekte (D1) zu erhalten, wobei sich das mindestens eine Prüfobjekt (D1) in oder nahe einer zentralen Position eines vorbestimmten Bereiches, in dem mehrere Prüfobjekte (D1) vorhanden sind, befindet.
  6. Optisches Prüfsystem nach Anspruch 1, das weiterhin umfasst: ein Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul (7), das einen Umgebungslichterzeuger (71) zum Erzeugen eines Umgebungslichts (A1) beinhaltet, und ein Bildaufnahmemodul (8), das eine Bildaufnahmevorrichtung (81) beinhaltet, wobei das Laserlichtbereitstellungsmodul (2A), das erste optische Prüfmodul (3), das zweite optische Prüfmodul (4), das optische Filtermodul (6), das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul (7) und das Bildaufnahmemodul (8) auf demselben optischen Weg angeordnet sind; wobei das Umgebungslicht-Bereitstellungsmodul (7) dazu verwendet wird, das Umgebungslicht (A1) durch eine optische Linse (72) in einen Umgebungslichtstrahl (A2) umzuwandeln, der auf mehrere Prüfobjekte (D1) projiziert wird, um die Umgebungsbeleuchtung, die von den Prüfobjekten benötigt wird, bereitzustellen; wobei, wenn jeder Projektionsstrahl (P1) auf das entsprechende Prüfobjekt (D1) projiziert wird und einen Lichtfleck bildet, das Bildaufnahmemodul (8) dazu verwendet wird, eine Positionsinformation des Lichtflecks zu erhalten, um zu beurteilen, ob der Lichtfleck jedes Projektionsstrahls (P1) von dem entsprechenden Prüfobjekt (D1) abweicht; und wobei, wenn der Lichtfleck des Projektionsstrahls (P1) von dem entsprechenden Prüfobjekt (D1) abweicht, der räumliche Lichtmodulator (21) dazu verwendet wird, den Lichtfleck des Projektionslichtstrahls (P1) auf das entsprechende Prüfobjekt (D1) zu bewegen.
  7. Optisches Prüfsystem nach Anspruch 1, das weiterhin umfasst: ein Bildaufnahmemodul (8), das eine Bildaufnahmevorrichtung (81) beinhaltet, die dazu verwendet wird, den Lichtfleck jedes Projektionsstrahls (P1) auf dem Prüfobjekt (D1) aufzunehmen, um eine Lichtforminformation (M3) des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls (P1) zu erhalten; ein Defektanalysemdoul, das elektrisch mit dem ersten optischen Prüfmodul (3), dem zweiten optischen Prüfmodul (4) und dem Bildaufnahmemodul (8) verbunden ist und dazu verwendet wird, eine Lichtstärkeinformation (M1) und eine Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) jedes Prüfobjekts (D1) und eine Lichtforminformation (M3) des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls (P1) zu erhalten; und ein elektrisches Prüfmodul (T), das nahe dem Tragemodul (1) angeordnet ist; wobei das Defektanlaysemodul (9) dazu verwendet wird, es zu bestimmen, ob der Wellenlängenbereich, der durch die Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) jedes Prpfobjekts (D1) bereitgestellt wird, kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen (M2) mehrerer Anregungsstrahlen (E1) mehrerer Prüfobjekte (D1) berechnet wird; wobei das Defektanlaysemodul (9) dazu verwendet wird, es zu bestimmen, ob der Lichtstärkewert, der durch die Lichtstärkeinformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) jedes Prpfobjekts (D1) bereitgestellt wird, kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen (M2) mehrerer Anregungsstrahlen (E1) mehrerer Prüfobjekte (D1) berechnet wird; wobei das Defektanlaysemodul (9) dazu verwendet wird, es zu bestimmen, ob das tatsächliche Lichtfleckmuster, das durch die Lichtforminformation (M3) des Lichtflecks jedes Projektionsstrahls (P1) bereitgestellt wird, und ein vorbestimmtes Lichtfleckmuster eine Ähnlichkeit niedriger als 90 % haben; und wobei, wenn der durch die Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich oder der durch die Lichtstärkeninformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert und das Prüfobjekt (D1) somit als ein defektes Prüfobjekt definiert ist, das elektrische Prüfmodul (T) dazu verwendet wird, durch elektrischen Kontakt mit dem durch den Projektionsstrahl (P1) angeregten defekten Prüfobjekt ein elektrisches Signal des defekten Prüfobjekts zu erhalten.
  8. Optisches Prüfverfahren, das umfasst: ein räumlicher Lichtmodulator (21) wird bereitgestellt, um einen Laserstrahl (L1) in mehrere Projektionsstrahlen (P1) umzuwandeln, die jeweils auf mehrere Prüfobjekte (D1) projiziert werden; jedes Prüfobjekt (D1) wird durch den entsprechenden Projektionsstrahl (P1) angeregt und erzeugt entsprechend einen Anregungsstrahl (E1); ein erstes optisches Prüfmodul (3) wird bereitgestellt, um einen ersten Prüfschritt zum gleichzeitigen oder sequentiellen Messen der Lichtstärke der Anregungsstrahlen (E1) der mehreren Prüfobjekte (D1) durchzuführen, damit eine Lichtstärkeinformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) jedes Prüfobjekts (D1) erhalten wird; und ein zweites optisches Prüfmodul (4) wird bereitgestellt, um einen zweiten Prüfschritt zum Messen des optischen Spektrums des Anregungsstrahls (E1) von mindestens einem der Prüfobjekte (D1) durchzuführen, damit eine Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) von mindestens einem der Prüfobjekte (D1) erhalten wird; wobei der zweite Prüfschritt durchgeführt wird, nachdem der erste Prüfschritt abgeschlossen ist, oder der zweite Prüfschritt durchgeführt wird, während der erste Prüfschritt durchgeführt wird.
  9. Optisches Prüfverfahren nach Anspruch 8, das weiterhin umfasst: ein Umgebungslicht-Bereitstellungsmdoul (A1) wird bereitgestellt, um das Umgebungslicht (A1) in einen Umgebungslichtstrahl (A2) umzuwandeln, der auf mehrere Prüfobjekte (D1) projiziert wird, damit die Umgebungsbeleuchtung, die von den Prüfobjekten benötigt wird, bereitgestellt wird; ein Bildaufnahmemodul (8) wird bereitgestellt, um eine Positionsinformation des Lichtflecks, der gebildet wird, wenn der Projektionsstrahl (P1) auf das entsprechende Prüfobjekt (D1) projiziert wird, zu erhalten, damit es beurteilt wird, ob der Lichtfleck des Projektionsstrahls (P1) von dem entsprechenden Prüfobjekt (D1) abweicht; wobei, wenn der Lichtfleck des Projektionsstrahls (P1) von dem entsprechenden Prüfobjekt (D1) abweicht, der räumliche Lichtmodulator (21) dazu verwendet wird, den Lichtfleck des Projektionslichtstrahls (P1) auf das entsprechende Prüfobjekt (D1) zu bewegen; wobei das erste optische Prüfmodul (3) dazu verwendet wird, die Lichtstärke der Anregungsstrahlen (E1) der mehreren Prüfobjekte (D1) gleichzeitig zu messen, um eine Lichtstärkeinformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) jedes Prüfobjekts (D1) erhalten; wobei das zweite optische Prüfmodul (4) dazu verwendet wird, das optische Spektrum des Anregungsstrahls (E1) von mindestens einem der Prüfobjekte (D1) zu messen, um eine Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) von mindestens einem der Prüfobjekte (D1) zu erhalten; und wobei der räumliche Lichtmodulator (21) den Laserstrahl (L1) durchlässt oder reflektiert, wodurch der Laserstrahl (L1) in mehrere Projektionsstrahlen (P1) umgewandelt wird, und wobei der räumliche Lichtmodulator (21) dazu verwendet wird, den kleinsten Abstand zwischen zwei beliebigen Projektionsstrahlen (P1), die Anzahl der Projektionsstrahlen (P1) und die Größe und die Form des Lichtflecks des Projektionsstrahls (P1) einzustellen.
  10. Optisches Prüfverfahren nach Anspruch 8, das weiterhin umfasst: ein Defektanalysemodul (9) wird bereitgestellt, um zu bestimmen, ob der Wellenlängenbereich, der durch die Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) jedes Prpfobjekts (D1) bereitgestellt wird, kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen (M2) mehrerer Anregungsstrahlen (E1) mehrerer Prüfobjekte (D1) berechnet wird, und um zu bestimmen, ob der Lichtstärkewert, der durch die Lichtstärkeinformation M1 des Anregungsstrahls (E1) jedes Prpfobjekts (D1) bereitgestellt wird, kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert, der durch Mittelung mehrerer Spektruminformationen (M2) mehrerer Anregungsstrahlen (E1) mehrerer Prüfobjekte (D1) berechnet wird; wobei, wenn der durch die Spektruminformation (M2) des Anregungsstrahls (E1) bereitgestellte Wellenlängenbereich kleiner ist als der durchschnittliche Wellenlängenbereich oder der durch die Lichtstärkeninformation (M1) des Anregungsstrahls (E1) bereitgestellte Lichtstärkenwert kleiner ist als der durchschnittliche Lichtstärkenwert und das Prüfobjekt (D1) somit als ein defektes Prüfobjekt definiert ist, das elektrische Prüfmodul (T) dazu verwendet wird, durch elektrischen Kontakt mit dem durch den Projektionsstrahl (P1) angeregten defekten Prüfobjekt ein elektrisches Signal des defekten Prüfobjekts zu erhalten.
DE102022108486.8A 2021-04-07 2022-04-07 Optisches Prüfsystem und optisches Prüfverfahren Pending DE102022108486A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US202163171585P 2021-04-07 2021-04-07
US63/171,585 2021-04-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102022108486A1 true DE102022108486A1 (de) 2022-10-13

Family

ID=83361931

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102022108486.8A Pending DE102022108486A1 (de) 2021-04-07 2022-04-07 Optisches Prüfsystem und optisches Prüfverfahren

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2022161036A (de)
CN (1) CN115201108A (de)
DE (1) DE102022108486A1 (de)
TW (1) TWI808707B (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20240175826A1 (en) * 2022-11-29 2024-05-30 PlayNitride Display Co., Ltd. Wafer defect inspection apparatus
CN117411546B (zh) * 2023-12-11 2024-02-09 南昌大学 一种led通信能力评价方法及系统
CN117969465B (zh) * 2024-03-28 2024-07-16 季华实验室 光致发光检测系统及方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012047732A (ja) * 2010-07-30 2012-03-08 Hoya Corp 透過率測定装置、フォトマスクの透過率検査装置、透過率検査方法、フォトマスク製造方法、パターン転写方法、フォトマスク製品
US11138722B2 (en) * 2018-12-21 2021-10-05 Kla-Tencor Corporation Differential imaging for single-path optical wafer inspection
TWM596869U (zh) * 2020-04-01 2020-06-11 旭臻科技有限公司 用於大面積顯微光致螢光掃描與側繪量測的系統
TWM607466U (zh) * 2020-09-11 2021-02-11 財團法人金屬工業研究發展中心 光學檢測模組

Also Published As

Publication number Publication date
CN115201108A (zh) 2022-10-18
TWI808707B (zh) 2023-07-11
JP2022161036A (ja) 2022-10-20
TW202240148A (zh) 2022-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE102022108486A1 (de) Optisches Prüfsystem und optisches Prüfverfahren
DE112008002148B4 (de) Verfahren zum dreidimensionalen Messen der Höhe eines Objektteils
KR101646743B1 (ko) 웨이퍼 검사 시스템 및 방법
KR101638883B1 (ko) 웨이퍼 검사 시스템 및 방법
DE112016000419B4 (de) Waferinspektion mit einem Verfahren mit volumetrischen Fokus
EP2756290B1 (de) Vorrichtungen zur schichtdickenbestimmung und/oder zur bestimmung eines verschmutzungsgrads eines bandes
DE112012002619T5 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von lichtemittierenden Halbleiterelementen mittels Photolumineszenz-Abbildung
DE112017002925T5 (de) Simultane Mehrwinkel-Spektroskopie
DE102016104464B4 (de) Optische prüfvorrichtung
DE112005001294T5 (de) Halbleiteroberflächenprüfungsvorrichtung sowie Beleuchtungsverfahren
DE102009000528B4 (de) Inspektionsvorrichtung und -verfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen, insbesondere von Waferoberflächen
WO2014037217A1 (de) Beleuchtungseinrichtung
WO2013041216A1 (de) Beleuchtungsvorrichtung, inspektionsvorrichtung und inspektionsverfahren für die optische prüfung eines objekts
DE112013005358T5 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Metrologie mit optimierten Systemparametern
DE102006059190A1 (de) Vorrichtung zur Wafer-Inspektion
DE112011103113T5 (de) Reflektivitätsmessvorrichtung, Reflektivitätsmessverfahren, Membrandickenmessvorrichtung und Membrandickenmessverfahren
DE10016996C1 (de) Testanordnung zur Funktionsprüfung eines Halbleiterchips
DE102011086417B4 (de) Verfahren zum Erkennen eines Brückenverbindungsfehlers
DE112017001576T5 (de) Metrologiesystem für alle oberflächenschichten
DE102021105946A1 (de) Messvorrichtung und Verfahren zur Rauheits- und/oder Defektmessung an einer Oberfläche
DE112020000832T5 (de) Empfindliche partikeldetektion mit räumlich variierendem polarisationsrotator und polarisator
DE102022103578A1 (de) Testgerät, testverfahren und programm
DE10359722A1 (de) Verfahren zur Inspektion eines Wafers
DE3942678A1 (de) Belichtungssystem
DE60214561T2 (de) Fluorimetrische Multi-Parameter-Analyse in einer parallelen Multi-Fokus-Anordnung

Legal Events

Date Code Title Description
R012 Request for examination validly filed