JPS60256040A - 超音波探触子の製造方法 - Google Patents
超音波探触子の製造方法Info
- Publication number
- JPS60256040A JPS60256040A JP59113388A JP11338884A JPS60256040A JP S60256040 A JPS60256040 A JP S60256040A JP 59113388 A JP59113388 A JP 59113388A JP 11338884 A JP11338884 A JP 11338884A JP S60256040 A JPS60256040 A JP S60256040A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vibrators
- resin
- ultrasonic
- ultrasonic waves
- matching layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/002—Devices for damping, suppressing, obstructing or conducting sound in acoustic devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は超音波診断装置などに使用する超音波探触子の
製造方法に関するものである。
製造方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来の超音波探触子の構造は、第１図に示すようになっ
ている。すなわぢ、同図において、（１）は圧電セラミ
ックからなる振動子であり、超音波吸収体（２）の上に
間隔をあけて多数配列設置されている。（３）、（４）
は振動子（１）の上下両面に設けられた電極である。各
振動子（１）間には、その間隔に対応した溝（５）が形
成されている。振動子（］）の上面電極（３）の上には
、振動子（１）から発生される超音波を効率良く生体に
入出させるために音響マツチング層（６）が設けられて
いる。
ている。すなわぢ、同図において、（１）は圧電セラミ
ックからなる振動子であり、超音波吸収体（２）の上に
間隔をあけて多数配列設置されている。（３）、（４）
は振動子（１）の上下両面に設けられた電極である。各
振動子（１）間には、その間隔に対応した溝（５）が形
成されている。振動子（］）の上面電極（３）の上には
、振動子（１）から発生される超音波を効率良く生体に
入出させるために音響マツチング層（６）が設けられて
いる。
超音波探触子において、多数配列された振動子は一定の
時間間隔を置いて順番に駆動されるのであるが、従来の
探触子では音響マツチング層（６）は充填による方法や
シートを接着剤により接着する方法で設けられるため、
マツチング層（６）の材料の樹脂または接着剤が溝（５
）に充填されてしまう。この音響マツチング層（６）の
材料および接着剤としては、超音波を上方向に対し９ｂ
率良く入出するために、超音波の減衰が小さくなるよう
に剛性の大きな材料を使用している。このように、超音
波の′減衰が小さなものを使用するど振動子（１）から
発生される超音波は、ＷＩＩ（５）に充填された樹脂ま
たは接着剤を介して隣接する振動子（１）に伝播される
ため、本来駆動されていない振動子からも信号が発生し
、超音波診断装置の画質を低下させる欠点を有している
。
時間間隔を置いて順番に駆動されるのであるが、従来の
探触子では音響マツチング層（６）は充填による方法や
シートを接着剤により接着する方法で設けられるため、
マツチング層（６）の材料の樹脂または接着剤が溝（５
）に充填されてしまう。この音響マツチング層（６）の
材料および接着剤としては、超音波を上方向に対し９ｂ
率良く入出するために、超音波の減衰が小さくなるよう
に剛性の大きな材料を使用している。このように、超音
波の′減衰が小さなものを使用するど振動子（１）から
発生される超音波は、ＷＩＩ（５）に充填された樹脂ま
たは接着剤を介して隣接する振動子（１）に伝播される
ため、本来駆動されていない振動子からも信号が発生し
、超音波診断装置の画質を低下させる欠点を有している
。
発明の目的
本発明は、上記従来の欠点を解消するもので、振動子間
の超音波伝播に起因する問題のない超音波探触子の製造
方法を提供することを目的とする。
の超音波伝播に起因する問題のない超音波探触子の製造
方法を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は、上記目的を達成するために、超音波吸収体の
上に、上下両面に電極を有する圧電セラミックから成る
振動子を間隔をあけて多数配列させ、前記振動子の上面
電極を感圧接着テープによりマスキングした状態で低粘
度でかつ硬化後の剛性が低い樹脂を各振動子間の溝に浸
透充填させた後硬化させ、次に前記感圧接着テープを除
去し、前記振動子の上面及び振動子間の前記樹脂上に音
響マツチング層を形成するようにした超音波探触子の製
造方法を提供する。
上に、上下両面に電極を有する圧電セラミックから成る
振動子を間隔をあけて多数配列させ、前記振動子の上面
電極を感圧接着テープによりマスキングした状態で低粘
度でかつ硬化後の剛性が低い樹脂を各振動子間の溝に浸
透充填させた後硬化させ、次に前記感圧接着テープを除
去し、前記振動子の上面及び振動子間の前記樹脂上に音
響マツチング層を形成するようにした超音波探触子の製
造方法を提供する。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例を、第２図および第３図に基づ
いて説明する。なお、同図において、第１図のものと同
一の部材については同一のｉ照番号を付しである。
いて説明する。なお、同図において、第１図のものと同
一の部材については同一のｉ照番号を付しである。
第２図は、超音波吸収体（２）上に多数の振動子（１）
を間隔をあけて配列設置し、振動子（１）の上面電極（
３）を感圧接着テープ（７）によりマスキングした製造
途中の状態を示したものである。この状態で、第３図に
示すように、溝（５）に側面から低粘度で硬化後の剛性
が小さい（すなわち、超音波減衰が大きい）シリコンゴ
ムまたはその他の樹脂（８）を浸透充填し、硬化後に感
圧接着テープ（７）を除去する。次いで、従来と同様の
方法で、音響マツチング層（６）を上面電極（３）上お
よび振動子（１）間の樹脂（８）上にわたって形成する
。
を間隔をあけて配列設置し、振動子（１）の上面電極（
３）を感圧接着テープ（７）によりマスキングした製造
途中の状態を示したものである。この状態で、第３図に
示すように、溝（５）に側面から低粘度で硬化後の剛性
が小さい（すなわち、超音波減衰が大きい）シリコンゴ
ムまたはその他の樹脂（８）を浸透充填し、硬化後に感
圧接着テープ（７）を除去する。次いで、従来と同様の
方法で、音響マツチング層（６）を上面電極（３）上お
よび振動子（１）間の樹脂（８）上にわたって形成する
。
音響マツチング層（６）はその物質中の音速×密度で表
わされる音響インピーダンスが振動子（１）と生体の各
音響インピーダンスの中間のもので、段階的に音響イン
ピーダンスを変化させることによりインピーダンス整合
を行ない超音波を効率良く入出させるためのものである
。感圧接着テープ（７）により上面電極（３）をマスキ
ングせずに振動子（１）間の溝（５）に樹脂（８）を充
填すると、振動子（１）の上面電極（３）には必ずこの
樹脂材料が付着してしまい、音響マツチング層（６）と
振動子（１）の上面電極（３）との間における超音波の
減衰が大きく、またインピータンス不整合を生じるもの
が介在することになるため、樹脂材料が硬化した後にこ
れを除去する必要がある。しかし上面電極（３）を傷付
けずに完全に除去することは極めて困難で事実上不可能
である。本発明では、振動子（１）の上面［極（３）を
感圧接着テープ（７）により完全にマスキングしている
ため、この除去作業をすることなしに、インピーダンス
整合を最適に行なうことができ、超音波の優れた伝播効
率を得ることができる。
わされる音響インピーダンスが振動子（１）と生体の各
音響インピーダンスの中間のもので、段階的に音響イン
ピーダンスを変化させることによりインピーダンス整合
を行ない超音波を効率良く入出させるためのものである
。感圧接着テープ（７）により上面電極（３）をマスキ
ングせずに振動子（１）間の溝（５）に樹脂（８）を充
填すると、振動子（１）の上面電極（３）には必ずこの
樹脂材料が付着してしまい、音響マツチング層（６）と
振動子（１）の上面電極（３）との間における超音波の
減衰が大きく、またインピータンス不整合を生じるもの
が介在することになるため、樹脂材料が硬化した後にこ
れを除去する必要がある。しかし上面電極（３）を傷付
けずに完全に除去することは極めて困難で事実上不可能
である。本発明では、振動子（１）の上面［極（３）を
感圧接着テープ（７）により完全にマスキングしている
ため、この除去作業をすることなしに、インピーダンス
整合を最適に行なうことができ、超音波の優れた伝播効
率を得ることができる。
また、各振動子（１）間の溝（５）の中に超音波減衰の
大きな物質が充填されているため、−振動子（１）間の
超音波の伝播は極めて小さくすることができ。
大きな物質が充填されているため、−振動子（１）間の
超音波の伝播は極めて小さくすることができ。
駆動されていない振動子による不要な信号の発生を抑制
でき、超音波診断装置の画質を改善することができる。
でき、超音波診断装置の画質を改善することができる。
発明の効果
以上述べたように、本発明にかかる超音波探触子の製造
方法では、振動子の上面電極を感圧接着テープによりマ
スキングした状態で各振動子間の溝に硬化後の剛性が低
い樹脂を充填し、その硬化後にテープを除去して音響マ
ツチング層を形成するものなので、次のような利点があ
る。
方法では、振動子の上面電極を感圧接着テープによりマ
スキングした状態で各振動子間の溝に硬化後の剛性が低
い樹脂を充填し、その硬化後にテープを除去して音響マ
ツチング層を形成するものなので、次のような利点があ
る。
（１）上面電極を感圧接着テープにより完全にマスキン
グできるので、樹脂材料やその他の異物がこの上面電極
に付着して、超音波の伝播効率が低下することがない。
グできるので、樹脂材料やその他の異物がこの上面電極
に付着して、超音波の伝播効率が低下することがない。
（２）感圧接着テープは溝の中に動ずかに入り込むよう
に変形するため、樹脂材料が上面電極面から上へ突出す
ることがなく、音響マツチング層を設けるにあたり音響
マツチング層を上面電極に密着して形成することができ
、超音波の伝播効率を弱めることがない。
に変形するため、樹脂材料が上面電極面から上へ突出す
ることがなく、音響マツチング層を設けるにあたり音響
マツチング層を上面電極に密着して形成することができ
、超音波の伝播効率を弱めることがない。
（３）各振動子間に剛性の低い樹脂を充填されるので、
振動子間の超音波の伝播が防止でき、超音波診断装置に
組込んだ場合、その画質低下がない。
振動子間の超音波の伝播が防止でき、超音波診断装置に
組込んだ場合、その画質低下がない。
第１図は従来の超音波探触子を示す斜視図、第２図は本
発明の一実施例にかかる超音波探触子の製造途中を示す
斜視図、第３図は同探触子の完成状態を示す斜視図であ
る。 （１）・・・振動子、 （２）・・・超音波吸収体、（
３）・・・上面電極、（４）・・・下面電極、（５）・
・・溝、（６）・・・音響マツチング層、（７）・・・
感圧接着テープ、（８）・・・剛性の小さい樹脂 代理人 森 本 義 弘 第ｆ図
発明の一実施例にかかる超音波探触子の製造途中を示す
斜視図、第３図は同探触子の完成状態を示す斜視図であ
る。 （１）・・・振動子、 （２）・・・超音波吸収体、（
３）・・・上面電極、（４）・・・下面電極、（５）・
・・溝、（６）・・・音響マツチング層、（７）・・・
感圧接着テープ、（８）・・・剛性の小さい樹脂 代理人 森 本 義 弘 第ｆ図
Claims (1)
- １、超音波吸収体の上に、上下両面に電極を有する圧電
セ、ラミックから成る振動子を間隔をあけて多数配列さ
せ、前記振動子の上面電極を感圧接着テープによりマス
キングした状態で低粘度でかつ硬化後の剛性が低い樹脂
を各振動子間の溝に浸透充填させた後硬化させ、次に前
記感圧接着テープを除去し、前記振動子の上面及び振動
子間の前記樹脂上に音響マツチング層を形成するように
した超音波探触子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59113388A JPS60256040A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 超音波探触子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59113388A JPS60256040A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 超音波探触子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60256040A true JPS60256040A (ja) | 1985-12-17 |
Family
ID=14611042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59113388A Pending JPS60256040A (ja) | 1984-06-01 | 1984-06-01 | 超音波探触子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60256040A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0607049A1 (en) * | 1993-01-13 | 1994-07-20 | Xerox Corporation | Resonator for applying vibratory energy to an image bearing member |
| JP2008167147A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波送受波器および超音波流量計 |
-
1984
- 1984-06-01 JP JP59113388A patent/JPS60256040A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0607049A1 (en) * | 1993-01-13 | 1994-07-20 | Xerox Corporation | Resonator for applying vibratory energy to an image bearing member |
| JP2008167147A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波送受波器および超音波流量計 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS60100950A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS60256040A (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JP2000253496A (ja) | アレイ型超音波トランスデューサおよびその製造方法 | |
| JPS5817358A (ja) | 超音波探触子 | |
| Percin et al. | Micromachined 2-D array piezoelectrically actuated flextensional transducers | |
| Mills et al. | Combining multi-layers and composites to increase SNR for medical ultrasound transducers | |
| JPS6031435B2 (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JPH0199535A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP3943630B2 (ja) | 超音波トランスジューサ | |
| JPH01293799A (ja) | 超音波探触子およびその製造方法 | |
| JPS62261300A (ja) | 超音波探触子用複合圧電材 | |
| JPH0479263B2 (ja) | ||
| JPS622799A (ja) | 超音波プローブ及びその製造方法 | |
| JPS6153562A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS6222634A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS6139700A (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JPH029760B2 (ja) | ||
| JPS63233367A (ja) | アレイ型超音波探触子 | |
| JPS60256039A (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JPS58120397A (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JPS60185500A (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JPS58178250A (ja) | 超音波検査装置用探触子の製造方法 | |
| JPS61105199A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH10229597A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPS59202058A (ja) | 超音波検査装置用探触子の製造方法 |