JPS60253099A - メモリ機能の試験方式 - Google Patents

メモリ機能の試験方式

Info

Publication number
JPS60253099A
JPS60253099A JP59109935A JP10993584A JPS60253099A JP S60253099 A JPS60253099 A JP S60253099A JP 59109935 A JP59109935 A JP 59109935A JP 10993584 A JP10993584 A JP 10993584A JP S60253099 A JPS60253099 A JP S60253099A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
test
address
adt
addresses
adj
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP59109935A
Other languages
English (en)
Inventor
Takatoshi Fukuda
高利 福田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP59109935A priority Critical patent/JPS60253099A/ja
Publication of JPS60253099A publication Critical patent/JPS60253099A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (a) 発明の技術分野 本発明はマトリックス構成のメモリ機能に対する一般性
を有する試験方式の改良に関する。
(b) 技術の背景 従来よりマトリックス構成のメモリ機能例えば半導体メ
モリに対して穐々の試験方式が提案Δれており、試験パ
ターンを被試験4.、I: (OU T )書込んだ後
読出し動作を実行して+gl−アドレス:rおける読出
しパターンと試験パターンをビ合しそJ)一致を得て良
品、不一致をもって不良品とする試験が行われている。
最近、例えばバイポーラ形、″)集積回路(IC)メモ
リ等ではヤイクルタイムが数TI8の高速メモリが出現
しており、このようなメモリ素子の高速では書込みと読
出し間の干渉Vζよってメモリの内容が破壊されたり、
次のアドレスにおけるアクセスタイムに影響を与えZ、
ことがある。また他の例えばダイナミックランダムアク
セスメモリ(DRAM)のようにリフレツシユを伴いサ
イクルタイムが200ns程度のメモリにも同様の故障
が発生する場合が存在する。
即ちマトリックス構成のメモリではX列駆動側と7列駆
動側にデコーダを有しているがこれ等のデコーダの動作
時間に僅かな差が存在するとき、あるいは各構成素子と
なる部品におけるバラツキのためその仕様値の限界近接
値となる場合、マトリックス構成の低位アドレスから高
位アドレスにジャンプして動作するとき、外部信号によ
ってアドレスを切替えても、実際にアドレスが選択され
るまでに、6る程度の遅延時間が生じる。
そのため選択アドレスにおける書込みパルス幅が逸脱す
ることなく対応がとれて存在しているときはよいが、ア
ドレス選択の遅延によって隣接タイミングのアドレスに
跨がるように書込みパルスが存在すると@接タイミング
のアドレスにおける内容が破壊される。勿論書込みのパ
ルス幅との相関によって相互干渉を生じる。
以上のメモリの機能を試験する場合すべてのアドレスに
おけるアクセスタイム、曹込みパルス幅および書込み動
作による他のアドレスに対する干渉を調査する試験方式
が提供さhている。
この際より大容量化へと進展しつ’i4るメモリ機能の
試験コストの製品コストに占める比率の増大は極力避け
なければならない。
(c) 従来技術と問題点 第1図、第2図および第3図に従来におけるメモリ機能
の試験方式による/−ケンス・チャート例図を示す。
従来における第1〜3図例は特公昭56−47640記
憶装置試験方法のバター/〔以下このパターンをギヤロ
ッグ・ライト・リード方式(GALWR8)と称す〕に
よるものである。
このGA LWR8は第1図に示すアドレス数(N)の
2乗形式と第2図に示すN3A形式等がある。N2GA
LWASは第1図に示すように先ず全アドレスK”O”
(または”1′”)を書込む。次いで基準アドレス(A
DT)を0アドレスから最大アドレス、第1図例では4
ビツトによる0000〜1111の全16アドレスにつ
いてジャノブ先アドレス(ADJ)との間に第3図(a
)、(ト))K示すような動作試験を行う0図の各記号
でWoは″o″書込み、Roは″On読出し、W、は“
1”書込みならびKR+にじ1″読出しを示す。
ADJはADT+1から順次増大し最大アドレスになっ
たとき0アドレスに戻り、ADT−1まで続けられる。
ADTとADJとの間の動作は第3図(a) 、 (b
)K示すように同一のADJK対して8ステツプの単位
動作を含み、Ror R+サイクルノ順で実行するとき
R0サイクルでは先ず全アドレスにWOを実行した後第
3図(a)のようKADTでR61ADJでW、、AD
TでRo、ADJでR,、ADTでRo。
ADJでWo、ADTでRe + A D JでR8を
行う。
次のR,サイクルでは全アドレスIc Wlを実行した
後第3図(b)のようにθ″と1”を入換えた動作を行
う。該ADT例えば0000について全ADJに対して
動作を終了したら次のADTOO旧に移動して綬返し、
ADTを全アドレスに実行するものであり、鋒ステップ
数は全アドレスW。着たけWl書込み(N)十全ADT
(N)X全ADJ−1(N−1)X8×2の16N2と
なる。
上記各ステップによって次に示すような調査が出来る。
即ち■ADJK対して書込みが正常に行えるか否かの調
査が可能であり、これは第3図(a) 、 (b)のシ
ーケンス2のWl またはWoが正常でないときはシー
ケンス4のR,tたけRoで検出され、シーケンス6の
W。またけWlが正常で乞いときはシーケンス8のRo
’tたはR3で検出される。
■ADTからADJへのアドレス変化による書込みの干
渉を調査することが出来る。これは/−ケンス1から2
で干渉を与えてADTの内容が破壊されたときけシーケ
ンス3のRe ’!、たはR,で検出されシーケンス5
から6で干渉を与えてADTの内容が破壊されたときけ
、ステップ7のRo またはR1で検出さり、る。
■ADJからA D Tへのアドレス変化による書− 込みの干渉を調査することが出来る。これは/−ケンス
2から3で干渉を与えてADTの内容が破壊されたとき
は、シーケンス3のRoまたはR1で検出され、シーケ
ンス6から7で干渉を与えて、ADTの内容が破壊され
たときはステップ7のR。
ま7’cはR1で検出される。
■ADJとADT間のアクセスタイムおよヒ読出しによ
る干渉が調査でき、これはシーケンス3゜4.5の各R
o4たはR1で検出される。
■−1ts込み、読出しの際のアクセスタイムも勿論測
定出来る。
■どの程度のパルス幅を加えれば書込みが可能であるか
をも調査出来る。
以上のようにG A LWRSのN2形式ではADTと
ADJの全組合−ltにつbて行い、メモリのすべての
動作モードをすべてのアドレス変化において調査するの
で試験時間が大きくなる欠点はあるが有効な試験方式で
あった。
近外メ七りは半導体技術的に集積化技術の発達に伴い大
容量化を辿り256キロビノ)(kb)が実現され更に
よ9大容量化が企画されっ\ある。このためメモリの大
容量化に伴いG A LWRSの手法を踏襲しつ\試験
時間のか\るN’W;式に代りADTに対しADJの数
を削減する手段が提供され実用化されている。
m2図の/−ケンスチャートにょるN 形式で1jAD
Jの選択をADJの全アドレスNの内い乗に相当する、
こ\でけ16アドレスを構成する4ビツトの内半分の2
ビツトを最下位ビットと最上位ビットに選択してADJ
とした例である。こ2 のN 形式例では総ステノグ数は全アドレスWo/W、
 (N)十全A D T (N) X全ADTの3/2
乗−I CN 3/2−I)x8x2の16Nv2とな
る。こ−でメ七りのナノ サイクルタイムを200fi秒(ns)、N=64kb
(正確には2=65,536)として代入するとN2形
式では200x10−’x16x2”y2=13744
8N3/2形式でけ200X10−’X16X2””/
’−:=53,7sとなりN 形式でも製品コストに占
める試験コストの比率が大きい問題点があった。
(d) 発明の目的 本発明の目的は上記の問題点を除去するためGA−LW
RSパターンを適用するについて基準アドレス(ADT
)に対しジャンプ先アドレス(ADJ)を更に削減し、
GALWRSパターンの有意性を失うことなくより試験
時間を短縮して試験コストを低下癒しぬる効果的なパタ
ーンによるメモリ機能の試験方式を従供しようとするも
のである。
(e)発明の構成 この目的は、試験装置は被試験体のメモリ機能に印加す
る基準アドレス信号ならびにジャンプ先アドレス信号を
発生する両手段、該両手段の基準アドレス−またはジャ
ンプ先アドレス信号を選択して被試験体に印加する手段
、書込み/読出しのモードを制(財)する手段および試
験データと被試験体による読出しデータを比較する手段
を具備し、試験装置の制御部はその構成各手段を制御し
て被試験体の全アドレスにOまたは1を書込み、0アド
レスから最大アドレス迄をそれぞれ基準アドレスとし、
基準アドレスに対しハミング距離を1とするジャンプ先
アドレスを選択せしめ、同一のジャンプ先アドレスに対
する1の書込み、1の読出し、0の書込み、0の読出し
と、基準−アドレスにおける0または1の読出しとを交
互に実行して書込みの試験データと読出しデータとを照
合する試験を被試験体に適用せしめる本発明によるメモ
リ機能の試験方式を提供することによって達成すること
が出来る。
即ち従来の試験方式におけるGALWRSパターンの有
意性を維持しつ\N3″乗形式に比較して更に試験時間
を削減しコストを低下せしめる試験方式が得られる。
(f) 発明の実施例 以下、図面を参照しつ\本発明の一実施例について説明
する。
第4図は本発明の一実施例におけるメモリ機能の試験方
式によるブロック図および第5図はそのシーケンスチャ
ートである。
図において10は試験装置、11は制御部、12は記憶
部、13aは基本アドレス(ADT)カウンタ部、13
bはジャンプ先(ADJ)カウンタ部、14け選択部、
15はモード切換部、16は照合部および20は被試験
体のメモリ機能(DUT)である。
制御部11け記憶部12に蓄積する制御プログラムおよ
び制御データに従って試験装置における他の構成各部を
制御して試験を実行する。
本実施例においてもf15図のシーケンスチャートに示
すように全アドレスに0”(iたは1″)を書込み次い
て基準アドレス(ADT)を0アドレスから最大アドレ
ス、本実施例でも4ビツトによる0000〜1111の
全16アドレスについて別途選択するジャンプアドレス
(ADJ)との間に第3図(a) 、 (b) K示す
ようなGALWRSバター7による動作試験を実行する
ことに変りはない。
但しADJカウンタ部13bをして実行せしめる従来の
マ形式におけるADJの選択がθ〜最大アドレス、およ
びN 形式によるADJの選択が全アドレスNの内1/
2乗に対して実行され4ビツトの例では2ビツトであっ
たのに対し、本実施例ではADJの選択が0−最大アド
レスの内ハミング距へ1である点が異なる。
次表K 2’= 16アドレスにおけるハミング距離I
KよるADJの選択例を示す。
木表はADTの4ピン)K対しハミング距離1即ち1列
の最下位ピットル■列の最上位ビットのように1ビツト
だけが異なるビット列である。
但し第5図の7−ケンスはADJの選択を従来例と同様
KADTより増加方向に配列しである。
、上述のようKADJを選択して試験を実行すると試験
の飴ステップ数は全アドレスW。/Wl (N) +全
ADT(N)Xlog2NX16となり、従来例のN−
216およびメモリのサイクルタイム200nsを代入
すると 試験所要時間T= 200x 1 o−’x 16X2
16X’log、 216=3.368 に短縮される。
以上のようKADJのアドレスを構成するビット列をA
DTK対し最小限の変化を持たせた選択を行い、GAL
WRSパターンを実行することによりGALWR8の廟
意性を失うことなく大幅に試験時間の短縮を実現するこ
とが出来る。尚GALRWSパターンにおいて各ADT
サイクルの第1読出しKおりるRoまだはR5を除き第
3図(a) 、 (b)のシーケンス1に示す各R0ま
たはR2をすべて省略するこパターンを基準アドレスの
0〜最大アドレスに選択し、他のジャンプ先アドレスの
選択を・・Sング距離1の最小限に抑止して試験を実行
することにより試験時間を短縮し、G A I&RSの
有意性を失うことなく特に大容量メモリについて試験コ
ストの低減を実現する効率の良いメモリ機能の試験方式
を提供することが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図、第3図(a) 、 (b)は従来のメ
モリ機能の試験方式におけるシーケンスチャート、第4
図は本発明の一実施例におけるメモリ機能の試験方式に
よるブOyり図、 第5図はその/−ケンスチャートを示す。 図において10は試験装置、11は制飢部、12aは基
準アドレス(ADT)カウンタ部、】2bはジャンプ先
アドレス(ADJ)カウンタ部、14は選択部、15は
モード切換部、16は照合部および20は被試験体のメ
モリ機能(DUT)である。 ! 3 図 ((1) シーケンス □ (し) シーブノ′ス□ 第 4 図 (10

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. マトリックス構成のメモリ機能を試験するシステムにあ
    って、試験装置は被試験体のメモリ機能に印加する基準
    アドレス信号ならびにジャンプ先アドレス信号を発生す
    る両手段、該両手段の基準アドレスまたけジャンプ先ア
    ドレス信号を選択し7て被試験体に印加する手段、書込
    み/′読出し、のモードを制御する手段i、−j o−
    試験データと被試験体による読出しデータを比較する手
    段を具備し、試験装置の制(財)部はその構成名手段を
    制御して被試験体の全−rドレスに0または1を書込み
    、0アドレスから最大アドレス迄をそねぞれ基やアドレ
    スさし、基準アドレスに^・」シ・・ミ/グ距離を1と
    するジャンプ先アドレスを選択せ(2め、同一のジャン
    プ先アトレアに対する1の書込み、1の読出し、0の書
    込み、0の読出しと、基準アドレスにおける0または1
    の読出しとを交互に実行して書込みの試験データと読出
    しデータとを照合する試験を被試験体に適用せしめるこ
    とを特徴とするメモリ機能の試験方式。
JP59109935A 1984-05-30 1984-05-30 メモリ機能の試験方式 Pending JPS60253099A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59109935A JPS60253099A (ja) 1984-05-30 1984-05-30 メモリ機能の試験方式

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59109935A JPS60253099A (ja) 1984-05-30 1984-05-30 メモリ機能の試験方式

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60253099A true JPS60253099A (ja) 1985-12-13

Family

ID=14522835

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59109935A Pending JPS60253099A (ja) 1984-05-30 1984-05-30 メモリ機能の試験方式

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60253099A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01232600A (ja) * 1988-03-11 1989-09-18 Nec Corp メモリ試験装置
JPH02179998A (ja) * 1988-12-30 1990-07-12 Nec Corp 半導体メモリ回路の試験方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01232600A (ja) * 1988-03-11 1989-09-18 Nec Corp メモリ試験装置
JPH02179998A (ja) * 1988-12-30 1990-07-12 Nec Corp 半導体メモリ回路の試験方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5457696A (en) Semiconductor memory having internal test circuit
US20110167307A1 (en) Semiconductor memory and method for testing the same
JP3313591B2 (ja) 半導体装置、半導体装置の検査方法及び半導体装置の検査装置
US20070011596A1 (en) Parity check circuit to improve quality of memory device
KR20080090664A (ko) 포스트 패키지 리페어 제어회로를 구비하는 반도체메모리장치 및 포스트 패키지 리페어 방법
US5809038A (en) Method and apparatus for reading compressed test data from memory devices
US7107501B2 (en) Test device, test system and method for testing a memory circuit
US20030156453A1 (en) Integrated memory and method for operating an integrated memory
JP3367848B2 (ja) 半導体デバイスのテスト装置
JPH0821607B2 (ja) ダイナミック記憶装置およびそのバーンイン方法
US20030021169A1 (en) Method for on-chip testing of memory cells of an integrated memory circuit
JPS60253099A (ja) メモリ機能の試験方式
US11551775B2 (en) Semiconductor memory devices and memory systems including the same
US20060092754A1 (en) Semiconductor memory device with reduced number of pads
US20080077746A1 (en) Multi-port memory device
IE49719B1 (en) Method of testing the operation of an internal refresh counter in a random access memory and circuit for the testing thereof
JPH02260200A (ja) 複数ビット並列テスト機能を有する半導体記憶装置における複数ビット並列機能テスト方法
JPS6366798A (ja) 半導体記憶装置
KR101865935B1 (ko) Bist 장치 및 이를 포함하는 반도체 장치
US20080244157A1 (en) Semiconductor memory device
JP3774084B2 (ja) 半導体メモリテスト回路及びその方法
US11906584B2 (en) Simulation method and system of verifying operation of semiconductor memory device of memory module at design level
JP3592321B2 (ja) 強誘電体メモリおよびその判定方法
JP3348632B2 (ja) 高速試験機能つきメモリ
JP2943237B2 (ja) 半導体集積回路装置の検出装置