JPS6025205B2 - 許容変位量検出装置 - Google Patents

許容変位量検出装置

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JPS6025205B2
JPS6025205B2 JP3213176A JP3213176A JPS6025205B2 JP S6025205 B2 JPS6025205 B2 JP S6025205B2 JP 3213176 A JP3213176 A JP 3213176A JP 3213176 A JP3213176 A JP 3213176A JP S6025205 B2 JPS6025205 B2 JP S6025205B2
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弘 松野
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Howa Machinery Ltd
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Howa Machinery Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 本発明は例えば丸綾、板材(以下総称して被測定物と記
す)の反り、操み、歪等やこれらの加工面の平面度等が
所定の許容範囲内にあるか否かを判定する許容変位量検
出装置に関するものである。
この種の装置として従釆、空気マイクロメータ、電気マ
イクロメータ、ピークピーク値測定器等空圧と電気を利
用した測定器が実用化されているが、これらの装置にあ
っては機構が極めて複雑で故障し易く、しかも高価であ
り、また測定作業を行なうに際してのセッチング操作が
面倒になるという欠点があった。
そこで本発明は上記欠点を除去し、構造が極めて簡単で
確実な検出作業を行なえ、しかもセツチング操作を容易
に行なえる許容変位量検出装置を提供しようとするもの
で、被測定面に当俵する基準面を有する測定ヘッドを保
持腕に揺動又は沼動可能に摩擦保持させ、この測定ヘッ
ドに揺動又は摺動自在に設けた検出レバーをこの検出レ
バーの検出面が上記基準面から突出する方向にばね等で
付勢すると共に、検出レバーの当接面を測定へッド‘こ
設けた検出スイッチに当援させて検出面の突出量を規制
し、この突出量が許容変位暦となるように設定し、測定
作業を行なうに際し先ず基準面を被測定面に押し当て、
基準面と検出レバーの検出面とを一致させて一旦検出ス
イッチと当綾面との接触を断ち、その後被測定面の変位
直により検出面が基準面より突出し、この突出量が許容
変位層より大きい場合に当綾面が検出スイッチに接触し
て信号を発するようにしたことを特徴としている。
また、本発明は、上記に加えて測定作業を行なうに先立
ち測定ヘッドの基準面を被測定面に当授させるセッティ
ング装置を設け、測定作業を行なうに際し先ずセッティ
ング装置が測定ヘッドを押して基準面を被測定面に押し
当てるようになし、検出作業が連続繰り返して自動的に
行なえるようにしたことを特徴としている。次に、本発
明の許容変位量検出装置を丸棒の自動歪取機の許容歪量
検出装置として利用する場合の第一実施例を図面により
詳しく説明する。
第1図は自動歪取機の概略を示す平面図で、A1,A2
は測定物mとしての丸棒(以下丸榛mと記す)の両端部
を回転駆動可能に支持する一対の回転駆動装置、Bは丸
榛mの中央部を押圧して歪を矯正するプレス装置、CI
,C2,C3は丸榛mを略4等分する3位置で丸極mの
歪量(変位量)を測定しこの歪量が許容歪量(許容変位
量)内にあるか否かを判定する許容変位量検出装置とし
て許容歪量検出装置、Dは丸綾mの中央部の最大歪位置
(最大変位位置)を検出しこの最大歪位置がプレス装置
B側に向くようにして丸榛mの回転を停止させる最大変
位位置検出装置としての最大歪位置検出装置を夫々示し
ており、丸榛mは図示を省略した適当な移送手段により
矢印■,@のように移送されて回転駆動装置AI,A2
上に供給され、その後歪量検出作業或いは歪矯正作業を
完了した丸棒は矢印■のように移送されて回転駆動装置
AI,A2上から取出され、正常な丸榛m(合格品)は
矢印目のように、不正常な丸榛m(不合格品)は矢印■
のように排出されて両者が区別される。尚、この区別手
段といま種々の方法が考えられる。上記移送手段として
はコンベア−やシリンダー或いはオートローダ等が使用
されるが、これらについては従来より広く知られており
、ここでの説明を省略し、以下回転駆動装置A1,A2
と許容歪量検出装置CI,C2,C3と最大歪位置検出
装置Dについて詳しく説明する。先ず、排出側(第1図
において左側)の回転駆動装置AIについて第2,3図
により説明すると、1は機台2上に園設した支承腕3に
一端を上下揺動自在に枢着した保持枠で、他端に固着し
た当板4と機台2間に圧縮介菱したばね5により上向き
に付勢され、機台2上に固設した支持腕6に螺合したス
トッパーねじ7にこの当板4が受止められて位置規制さ
れている。8,9は上記保持枠1に略高さ位置を同じく
して回転自在に支承させた一対の受ローラ軸で、夫々一
端に受ローラ10,‘1が固着されている。
12は受oーラ軸8,9間において保持枠1に支承させ
た中間軸で、この中間軸12には受ローラ軸8,9の他
端に固着した歯車13,14と噛合う噛車15が固着さ
れている。
16は保持枠1に園設したブレーキモータで、このブレ
ーキモーター6の駆動軸16aには上記受ローラ軸9の
歯車14と噛合う歯車17が固着されている。
18は機台2上に固設した支持腕19の上端に揺動自在
に枢着した揺動村で、支持腕19との間に張設したばね
2川こより第2図において時計方向に付勢され、通常は
下端に回転自在に設けたローラ21が後記する最大歪位
置検出装置の揺動軸に固着した作動板22に受止められ
て位置規制されている。
23,24は上記受ローラ10,11に対応する一対の
押さえローラで、揺動村18の上端に揺動自在に松着し
た支承板25に回転自在に枢着されている。
従って、支承板25は押さえローラ23,24の重量等
により垂れ下がり、押さえローラ23,24は下側に位
置している。上記保持枠1の受ローラ10,11間およ
び支承板25の押さえローラ23,24間の部分は丸綾
mを把持するときにこの丸榛mと干渉しないように切欠
かれている。26はプレス装置Bによる丸榛mの押圧時
に丸樺mの端部を受止める受台で、受ローラ10,11
の近くにおいて機台2上に固設されている。
この受台26の受止面26aは受ローラ10,11上に
載遣された丸榛mよりも僅かに低く設けられている。次
に、第4図は供給側(第1図において右側)の回転駆動
装置A2を示しているが、この回転駆動装置A2は上記
回転駆動装置AIのブレーキモーター6や歯車13,1
4,15,17等を除いたものと略同様であり、回転駆
動装置AIの符号と同一符号にアルファベットのeを付
して重複説明を省略する。次に、許容歪量検出装置CI
,C2,C3について説明するが、これらは互いに同一
構造であるので、以下中間の許容歪量検出装置C2につ
いてのみ第5,6図により説明する。
尚、本願はこの許容歪量検出装置CI,C2,C3の数
に限定されるもでない。27は互いに一体に固着した取
付板27aと測定ブロック27bから成る測定ヘッドで
、聯合2上の所定位置に固設した保持腕28に枢軸ボル
ト29を介して揺動自在に枢着されている。
また、この測定ヘッド27は枢軸ボルト29に鮫装した
ベアリング30と螺合したナット31との間に圧縮介装
したばね32により保持腕28により摩擦保持されてい
る。従って、測定ヘッド27は摩擦保持力より大きい力
により容易に揺動させることができるが、通常はその位
置で摩擦保持されて停止している。33はナット31の
ロックナットである。次に、34は測定ヘッド27が丸
樺mに向けて揺動されたときに丸榛mの被測定面(以下
外周面と記す)に当綾する測定ヘッド27の基準面で、
本実施例では測定ブロック27bの第5図において左斜
上面が兼ねている。この基準面34には凹溝35が削設
されている。36はこの凹溝35内において中間部をピ
ン37により摺動自在に枢着した検出レバーで、下端部
上面の検出面38が上記基準面34より出没できるよう
に成されている。
尚、上記基準面34と検出面38には超硬合金がロウ付
されている。39は測定ヘッド27の取付板27aに固
設した検出スイッチで、検出レバ−36の上端都下面の
当俵面40に検知部39aが対向している。
この検出スイッチ39として本実施例では接触スイッチ
を使用しており、また検知部39aの突出量は調節可能
に成されている。41は上記検出レバー36を検出面3
8が基準面34から突出する方向に付勢するばねで、測
定ブロック27bの収納孔42内に遊鉄した押子43と
螺合したねじ栓44との間に圧縮封入されている。
このばね41により検出レバー36は第5図において時
計方向に付勢され、検出面38が基準面34から突出す
ると共に当援面40が検出スイッチ39の検知部39a
に当接して位置規制されている。このとき、検出面38
の丸構外周面に当接する部分の突出量が丸極mの外周面
の許容歪量となるようにその大きさが定められている。
上記検出スイッチ39は測定ヘッド27の基準面34が
丸樺mの外周面に押当てられてた後丸榛mが少なくとも
1回転した後に作動状態となり、丸穣mの回転が停止さ
れると不作動状態となるようにタイマー等を使って電気
的に関連されており、この作動状態において検出レバー
36の当援面40が検知部39aに接触すると信号を発
信する。45は測定作業を行なうに先立ち測定ヘッド2
7の基準面34を丸榛mの外周面に当接させるセッティ
ング装置で、次のように構成されている。
46は機台2上に固談した軸受47,47aにより両端
部を回転自在に支承した揺動軸で、この揺動軸46の上
記測定ヘッド27と対応する位置に板ばね48が取付部
材49により固着されている。
また、この揺動軸46の端部近くには揺動腕50が挟着
され、この揺動腕50の先端にヘッド側端部を機台2上
の取付具51に枢着したエアーシリンダ52のピストン
ロッド52aの先端が枢着されており、このエアーシリ
ンダ52の作動により上記板ばね48が所定量揺動され
るように成されている。このエアーシリンダ52のピス
トンロッド52aは通常没入しており、丸榛mが回転駆
動装置AI,A2の受ローラ10,11,10e,11
e上に完全に載層された後突出されるように関連されて
いる。次に、最大歪位置検出装置Dについて第5,7図
により説明すると、53は取付板54に2つの保持体5
5,55aを適当な間隔をおいて固着して成る測定ブロ
ック、56は機台2上の所定位置に固設した支持腕57
の上端に揺動自在に枢着した測定ヘッド移動装置として
の揺動杵で、この揺動村56の上端に測定ブロック53
が所定の向きで固着されている。
上記揺動杵56は支持腕57との間に張設したばね58
により第5図において時計方向に付勢され、通常は下端
に回転自在に設けたローラ59が揺動軸60‘こ固着し
た作動板61に受止められて位置規制されている。上記
揺動軸601ま、機台2上に固設した軸受62,62a
により両端部を回動自在に支承されている。そして「
この揺動軸60の端近くには揺動腕63が裸着され、こ
の揺動腕63の先端にヘッド側織部を磯台2上の取付臭
64に枢着したエアーシリング65のピストンロッド6
5aの先端が枢着されており、このエアーシリンダ65
の作動により揺動軸60が所定量揺動されるように成さ
れている。このエアーシリンダ65のピストンロッド6
5aは通常第5図に示すように突出して、上記測定ブロ
ック53をばね581こ抗して特上げており、移送手段
としての搬送ローラが丸榛mを受ローラ10,11,1
0e,11e上方に送り込み、その後搬送ローラが下降
して丸捧mを受ローラ10,11,10e,11e上に
載せる時に没入され、測定ブロック53の特上げが解か
れるように関連されている。次に、上記測定ブロック5
3の下側保持体55aには鉄挿孔66とこれより径の大
さし・ばね収納孔67とが連続して設けられており、こ
の鉄挿孔66とばね収納孔67内に鍔68付の検出杵6
9が隣挿されている。この検出杵69は収納孔67内に
おいて鍔68と保持体55aに固着した係止具70との
間に圧縮封装したばね71により第7図において下方に
付勢され、金蔓68がばね収納孔67の段部に当接して
位置規制されている。上記検出杵69の下端にはローラ
72が回転自在に枢着され、このローラ72の外周が検
出部72aとなっており、また検出杵69の上端面が基
準面73となっている。一方、測定ブロック53の上側
保持体55には上記隊挿孔66と待応する位置に摺敷孔
74が設けられ、先端面に空気孔75を有するエアーノ
ズル76がこの摺動孔74内に摺動可能に鉄装されてい
る。また、上側保持体55には摺動孔74に向けて切欠
き77が削設され、この切欠き77内に押え部材78が
蕨装されている。この押え部材78は取付板54に取付
けたねじ79により押され上記エアーノズル76との間
に介在した板ばね80を押圧している。従って、エアー
ノズル76はこの板ばね80により摩擦保持され、摺動
可能なるもその位置に保持される。上記エアーノズル7
6は図示を省略したエアーマイクロメータのエアーノズ
ルで、このエアーノズル76と検出杵69と測定ブロッ
ク53等により測定ヘッド81が構成されている。上記
エアーマイクロメータにはエアーノズル76の背圧を測
定し所定の設定値以上になったときに信号を発する検出
スイッチ(図示省略)が設けられている。この検出スイ
ッチの設定値はエアーノズル76の空気孔75が略閉鎖
されたときの背圧の大きさに設定され、また、この検出
スイッチは上記許容歪量検出装置C1,C2,C3が作
動状態になると同時に不作勤状態となるように電気的に
関連されている。また、検出スイッチが信号を発すると
回転駆動装置AIの駆動が停止するように成されている
。83は上記揺動杵56の揺動位置を規制するストッパ
ーで、支持腕57に固着されている。
このストッパー83の位置は揺動杵56を受止めたとき
、検出村69の検出部72aが丸捧mの外周面の略上面
に当湊するように定められている。84はエアーノズル
76を摺動させて先端面を検出好69の基準面73に当
援させるセッティング装置で、許容歪量検出装置C1,
C2,C3のセツティング装置45の大部分を兼用して
おり、長い板ばね85が取付部材86により揺動軸46
に固着されている。
そして、エアーノズル76の後端には上記板ばね85に
より所定時に押される係合片87が固着されている。8
8はプレス装置Bの油圧プレスである。
本実施例は以上のように構成され、次に一連の作用効果
について示す。
先ず被測定物としての丸樺mが矢印イ,口のように移送
されて回転駆動装置AI,A2の上方位置に供給され、
その後移送手段としての搬送ローラが下降して丸樺mの
両端部が受ロ−ラ10,11,10e,11e上に載直
される。この搬送ローラが下降すると最大歪位置検出装
置○のエアーシリンダ66が作動してピストンロッド6
5aが没入し、最大歪位置検出装置Dの揺動杵56がば
ね58により揺動されてストッパー83に当接し、測定
ヘッド53の検出杵69の検出部72aが丸棒mの外周
面の略中央部上面に当援する。この場合、検出村69は
ばね71を適当量圧縮する。また、エアーシリンダ65
のピストンロッド65aが没入されることにより回転駆
動装置A1,A2の揺動杵18,18eがばね20,2
0eにより揺動され、押さえローフ23,24,23e
,24eが丸樺mの両端部を押圧し、受ローラ10,1
1,10e,11eとの間に丸榛mを挟持する。次に、
上記エアーシリンダ65のピストンロッド65aが完全
に没入されると、今度はセツテイング装置45,84の
エアーシリンダ52が作動してピストン。ッド52aが
突出される。これにより揺動軸46が所定量回動され、
夫々の板ばね48が対応する測定ヘッド27の取付板2
7a上面を秤下げて測定ヘッド27を第5図において時
計方向に揺動させ、各測定ヘッド27の基準面34を丸
綾mの外周面に当援させる。このとき、検出レバー36
は検出面38が丸綾mの外周面に当接し、この検出面3
8が基準面34と同一面となる位置迄ばね41に抗して
揺動され、当接面40が検出スイッチ39の検出部39
aから離れる。また、上記揺動軸46の回動により板ば
ね85がエアーノズル76の係合片87上を押圧してこ
のエアーノズル76を下方へ摺動させ、エアーノズル7
6の先端面を検出村69の基準面73に当接させる。然
る後、セッティング装置45,84のエアーシリンダ5
2のピストンロッド52aが没入され、夫々の板ばね4
8,85は第5図に示す元の位置に復帰される。そして
、この板ばね48,85の復帰が完了した後回転駆動装
置AIのブレーキモータ16が駆動され、これにより丸
榛mが両端部を受ローラ10,11,10e,11eと
押さえローラ23,24,23e,24eにより挟持さ
れた状態で回転される。この丸綾mの少なくとも1回転
により許容歪量検出装置C1,C2,C3の測定ヘッド
27は基準面34が丸綾mの外周面の回転中心に対する
最大距離部分により押されて揺動され、この最大揺動位
置に摩擦保持される。また、検出レバー36は検出面3
8が丸樺mの外周面に常に圧接するように揺動され、検
出面38は丸榛mの外周面の歪に応じて基準面34より
突出する。そして、丸棒mが少なくとも1回転して測定
ヘッド27が最大揺動位置に摩擦保持された後、このと
き検出スイッチ39は通電されて作動状態となる。丸糠
mの外周面の回転中心に対する最小距離部分が検出レバ
ー36の検出面38位置へ回転されると、検出レバー3
6の検出面38が基準面34より最大限突出する。この
時点1こおいて、この検出面38の突出量が予め設定さ
れた許容歪量より小さいと、検出レバー36の当援面4
0が検出スイッチ39に接触しないので、検出スイッチ
39は作動されず、この場合には回転駆動装置AIの駆
動が予め設定されたタイマーにより停止され、その後丸
榛mが第1図に示す矢印ハ,この様に排出され、合格品
として扱われる。これとは逆に検出面38の突出量が許
容歪量より大きいと、検出レバー36の当俵面40が検
出スイッチ39の検知部39aに接触して検出スイッチ
39を作動させ、検出スイッチ39は信号を発する。一
方、上記丸樺mの回転により最大歪位置検出装置Dの検
出杵69が丸綾mの外周面の回転中心に対する歪に応じ
てばね71に抗して押上げられ、これによりエアー/ズ
ル76を摩擦保持力に抗して上方に摺動させる。そして
、丸棒mが少なくとも1回転すると、丸榛mの外周面の
回転中心に対する最大距離部分により検出杵69が最大
限押上げられ、エアーノズル76は最大限上方へ摺動さ
れてその位置に摩擦保持される。そして、その後の丸簿
mの回転により外周面の回転中心に対する最大距離部分
が再び検出梓69を最大限押上げると、検出村69の基
準面73がエアーノズル76の先端面に接近して空気孔
75を略閉鎖するようになり、エアーノズル76の背圧
はエアーマイクロメータの検出スイッチの設定圧以上に
上昇する。この時点において、上記許容歪量検出装置C
1,C2,C3の検出スイッチ39の何れか1つが信号
を発している場合にはこの検出スイッチの信号により回
転駆動装置AIのブレーキモータ16の駆動が停止され
、丸榛mは最大歪位置が上側に位置された状態で停止さ
れる。また、上記エアーマイクロメータの検出スイッチ
の信号によりプレス装置Bの油圧プレス88が作動して
丸榛mの中央部上面郎ち最大歪位置を所定量押圧し、丸
榛mの歪を矯正する。この場合丸樺mが油圧プレス88
により押圧されると、受ローラー0,11,10e,1
1eの保持枠1,leはばね5,5eに抗して下方に揺
動され、丸捧mの両端部は受台26,26eにより受止
められて歪取が行なわれる。然る後、セツティング装置
46,84のエアーシリンダ52が再び作動され、上記
測定作業と歪取り作業が繰り返される。そして、測定作
業で合格品になると上記ハ,このように排出されるが、
この作業を予め定められた回数繰り返しても、許容歪量
検出装置CI,C2,C3の検出スイッチ39が信号を
発したときには、丸榛mの回転が停止された後エアーシ
リンダ65のピストンロッド65aが突出され、これに
より最大歪位置検出装置Dの測定ヘッド81が第5図に
示すように特上げられ、同時に移送手段としての搬送ロ
ーラも上昇される。その後、丸榛mが第1図に示す矢印
ハ,木のように排出され、この丸榛mは不合格品として
扱われる。次に、第8図は本発明の第2実施例を示すも
ので、被測定物として加工物mfの上面の平面度が許容
範囲にあるか否かを検出する許容変位量検出装置として
使用する場合を示している。
測定ヘッド27fは機台2fに固定した保持腕28fに
揺動可能に摩擦保持されており、この測定ヘッド27f
の基準面34fは下向きに突出する半球形に形成されて
いる。また、検出しバ−36fの検出面38fも上記基
準面34fと同様に下向きに突出する半球形に形成され
ている。加工物mfは聯合2f上の摺動板2af上に固
設され、図には省略した移動機構により或いは手操作に
より往復動される。尚、第一実施例と同一若しくは均等
構成と考えられる部分については第一実施例と同一の符
号にアルファベットのfを付して重複説明を省略する。
(以下の実施例においても同様にアルファベットのg,
hを付して重複説明を省略する。)この実施例において
は、先ず測定ヘッド27fを反騰計方向に手操作により
揺動させ、基準面34fを加工物皿fの上面に当接させ
る。然る後加工物mfを摺動板2afにより少なくとも
1往復させて検出スイッチ39fが作動するかしないか
により許容変位量内にあるか否かを検出する。第9図は
第三実施例を示すもので、測定ヘッド27gの軸部27
0g機台2gに固設した保持腕28gの孔280gに隊
挿し、ばね32gにより付勢された当板320gが上記
軸部270gを摩擦保持するようにしている。
また、検出スイッチ39gを検出レバー36gの当接面
40gに設けた端子と測定ヘッド27gに取付けた端子
とにより構成している。この実施例においては測定ヘッ
ド27gを手操作により下方に摺動させて基準面34g
を加工物mgの上面に当接させる。第10図は第四実施
例を示すもので、検出レバー36hを測定ヘッド27h
の所定位置に摺動自在に隊挿し、この検出レバー36h
をばね41hにより下向きに付勢して当援面40hを検
出スイッチ39hの検知部39ahに当接させたもので
、測定ヘッド27hを揺動させて基準面34hを加工物
岬hの上面に当接させると検出レバー36hはばね41
hに抗して上昇され、検出面38hが基準面34gと同
一面を形成する位置にセットされる。
以上に示した第二、第三、第四実施例においては測定ヘ
ッド27f,27g,27hを手操作により揺動又は摺
動させるようにしているが、これは測定作業と関連して
作動する適当なセッティング装置により自動的に行なう
ようにすると、被測定面の許容変位量検出作業を連続か
つ自動的に行なえて便利である。
また、上記各実施例においては被測定物に移動動作を行
なわせて許容変位量を検出するようにしているが、これ
は測定へッド‘こ移動動作を行なわせても良いことは言
う迄もない。以上のように本発明にあっては、先ず基準
面を被測定物の被測定面に押し当てて検出レバーの検出
面を基準面に一致させ、その後被測定面の変位の最高位
置で基準面を最大限移動させてその位置に保持させ、然
る後検出面が変位量に応じて突出して許容範囲にあるか
否かを検出するようにしたので、被測定物の種類や大き
さが変ってもそのまま使用でき、取り扱いが極めて簡単
である。
また、構造が極めて簡単で、故障が少なく、正確な検出
を確実に行なうことができ、しかも大変安価に製造でき
るという多くの効果を有する。また、被測定面の許容変
位量検出を連続かつ自動的に行なえ、検査工程の省力化
に寄与するものである。
【図面の簡単な説明】 第1〜7図は本発明の第一実施例を示すもので、第1図
は自動歪取機の概略を示す平面図、第2図は第1図の×
−X線断面図、第3図は第2図のY−Y線断面図、第4
図は第1図のZ−Z線断面図、第5図は第1図のP−P
線断面図、第6図は第5図のQ−Q線断面図、第7図は
第5図のR−R線断面図、第8図は本発明の第二実施例
を示す側面図、第9図は第三実施例を示す側面図、第1
0図は第四実施例を示す側面図である。 主要部分の符号の説明、m・・・・・・被測定物、27
・・・・・・測定ヘッド、28・・・・・・保持腕、3
4・・・・・・基準面、36…・・・検出レバー、38
……検出面、39…・・・検出スイッチ。 第1図 第7図 第9図 第2図 第3図 第4図 第6図 第5図 第8図 第10図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被測定物又は測定ヘツドの何れか一方に所定の移動
    動作を行なわせて被測定面の変位量を検出する検査機に
    おいて、被測定面に当接する基準面を有する測定ヘツド
    を保持腕に揺動又は摺動可能に摩擦保持させ、この測定
    ヘツドに揺動又は摺動自在に設けた検出レバーをこの検
    出レバーの検出面が上記基準面から突出する方向にばね
    等で付勢すると共に、検出レバーの当接面を測定ヘツド
    に設けた検出スイツチに当接させて検出面の突出量を規
    制し、この突出量が許容変位置となるように設定し、測
    定作業を行なうに際し先ず基準面を被測定面に押し当て
    、基準面と検出レバーの検出面とを一致させて一旦検出
    スイツチと当接面との接触を断ち、その後被測定面の変
    位量により検出面が基準面より突出し、この突出量が許
    容位置より大きい場合に当接面が検出スイツチに接触し
    て信号を発するようにしたことを特徴とする許容変位量
    検出装置。 2 被測定物又は測定ヘツドの何れか一方に所定の移動
    動作を行なわせて被測定面の変位量を検出する検査機に
    おいて、被測定面に当接する基準面を有する測定ヘツド
    を保持腕に揺動又は摺動可能に摩擦保持させ、この測定
    ヘツドに揺動又は摺動自在に設けた検出レバーをこの検
    出レバーの検出面が上記基準面から突出する方向にばね
    等で付勢すると共に、検出レバーの当接面を測定ヘツド
    に設けた検出スイツチに当接させて検出面の突出量を規
    制し、この突出量が許容変位量となるように設定し、更
    に測定作業を行なうに先立ち測定ヘツドの基準面を被測
    定面に当接させるセツテイング装置を設け、測定作業を
    行なうに際し先ずセツテイング装置が測定ヘツドを押し
    て基準面を被測定面に押し当て、基準面と検出レバーの
    検出面とを一致させて一旦検出スイツチと当接面との接
    触を断ち、その後被測定面の変位量により検出面が基準
    面より突出し、この突出量が許容変位量より大きい場合
    に当接面が検出スイツチに接触して信号を発するように
    したことを特徴とする許容変位置検出装置。
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JPH07240606A (ja) * 1994-02-28 1995-09-12 Nec Corp 導波管ろ波器放熱構造

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