JPS6024800A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
- Publication number
- JPS6024800A JPS6024800A JP58131901A JP13190183A JPS6024800A JP S6024800 A JPS6024800 A JP S6024800A JP 58131901 A JP58131901 A JP 58131901A JP 13190183 A JP13190183 A JP 13190183A JP S6024800 A JPS6024800 A JP S6024800A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- oscillator
- hole
- vibrator
- wiring
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は電気信号を超音波にあるいは超音波を電気信号
に変換する超音波探触子に関するものである。
に変換する超音波探触子に関するものである。
超音波探触子は電□気−音管変換部分の圧電振！ＪＪＪ
子、音波を効率良く伝１１１！させるためのΔ／４音費
整合層、音波を集束させるための音響レンズ、及び後面
音響吸収材よりなる。
子、音波を効率良く伝１１１！させるためのΔ／４音費
整合層、音波を集束させるための音響レンズ、及び後面
音響吸収材よりなる。
従来、圧電撮動子としてはＰ’Ｚ’ｌ−（ヂタン酸ジル
コン酸鉛）ＷのセラミックあるいはＰＶＦ２ ′（ポリ
フッ化ヒニリデン）等の高分子圧電体゛が使用されてお
り円板型あ゛るいは矩形状のものが用い□られている。
コン酸鉛）ＷのセラミックあるいはＰＶＦ２ ′（ポリ
フッ化ヒニリデン）等の高分子圧電体゛が使用されてお
り円板型あ゛るいは矩形状のものが用い□られている。
さらに振動子の表面に蒸着または印刷等により電極を塗
布し、外部電線とハンダ付（プ、Ｓ電性接着剤あるいは
ワイヤボンディングにより接続している。
布し、外部電線とハンダ付（プ、Ｓ電性接着剤あるいは
ワイヤボンディングにより接続している。
しかし、第１図に示すようなリング形振動子をはじめと
して複雑な形状の振動子になると外部電 □線との接続
が茗しく困難になる。第１図に於いて１は電極塗布部分
、２は電極が塗布されていない部分である。従来の方法
で例えば第２図へに示Ｊようなワイヤボンディングよる
方法ではワイＶ−３を長く引き出す必要がありさらにワ
イヤーが切断するおそれがある。ここで４は外部電線で
ある。
して複雑な形状の振動子になると外部電 □線との接続
が茗しく困難になる。第１図に於いて１は電極塗布部分
、２は電極が塗布されていない部分である。従来の方法
で例えば第２図へに示Ｊようなワイヤボンディングよる
方法ではワイＶ−３を長く引き出す必要がありさらにワ
イヤーが切断するおそれがある。ここで４は外部電線で
ある。
また、第２図Ｂに示すような振動子表面に一配線パター
ンも含めて電極を一布づる方法は、配線部分５に電極部
６の他に絶縁部７を必要とするため配線部分が大きくむ
リイｊ効振動子面積が小さくなるばかりか音場にも悪影
響を与えることになる。
ンも含めて電極を一布づる方法は、配線部分５に電極部
６の他に絶縁部７を必要とするため配線部分が大きくむ
リイｊ効振動子面積が小さくなるばかりか音場にも悪影
響を与えることになる。
（発明の目的）
本発明は以上のような事情にもとづいてなされたもので
あり振動子表面に感光性の絶縁層を設は光学的手段によ
り絶ＲＦｔ！Ａにスルー小−ルを形成しさらに絶縁層表
面に配線のための電極を塗布することにより振動子の電
極と外部電極との接続を容易に行なうものである。
あり振動子表面に感光性の絶縁層を設は光学的手段によ
り絶ＲＦｔ！Ａにスルー小−ルを形成しさらに絶縁層表
面に配線のための電極を塗布することにより振動子の電
極と外部電極との接続を容易に行なうものである。
（発明の実施例）
以下、本発明の詳細を一実施例にもとづいて説明する。
第３図Ａに示したように振動子１５の表面に感光性絶縁
物の塗１！１１７をつくり絶縁膜とする。ここで１６は
振動子の電極である。この絶縁膜を仮硬化させ第３図Ｂ
に示したＪ：うにネガ型レジスト１８をかぶＵて光１４
を照射ジる。ネガ型レジストのマスク１９の部分には光
が照射されないので絶縁膜が有機溶剤に解けてしまい第
３図Ｃに示したようにスルーホール１９′が形成される
ことになる。
物の塗１！１１７をつくり絶縁膜とする。ここで１６は
振動子の電極である。この絶縁膜を仮硬化させ第３図Ｂ
に示したＪ：うにネガ型レジスト１８をかぶＵて光１４
を照射ジる。ネガ型レジストのマスク１９の部分には光
が照射されないので絶縁膜が有機溶剤に解けてしまい第
３図Ｃに示したようにスルーホール１９′が形成される
ことになる。
この慢にマスクパターンによる蒸着等により第４図Ａに
示したように外部ｆｆｉ極２０からスルーホール部２１
への配線を行ない。第４図１３に示したようにスルーボ
ールにより振動子電極との接続を行なう、ここで２２は
配線電極である。
示したように外部ｆｆｉ極２０からスルーホール部２１
への配線を行ない。第４図１３に示したようにスルーボ
ールにより振動子電極との接続を行なう、ここで２２は
配線電極である。
このような構造に於いては絶縁物の膜厚は数μｍにでき
るので音波の伝播に支障をきたＪことはない。さらにス
ルーホール径としても数μｍの解像度で構成できるので
音場に悪影響を及ぼすことはない。
るので音波の伝播に支障をきたＪことはない。さらにス
ルーホール径としても数μｍの解像度で構成できるので
音場に悪影響を及ぼすことはない。
さらにこのような構造はリング形状だけでなく第５図に
示したようにマトリックス形状を番よじめとする種々の
形状のものに応用できるものである。
示したようにマトリックス形状を番よじめとする種々の
形状のものに応用できるものである。
さらにポリイミド等の絶縁材料は従来よりＦＰＣの絶縁
材として用いられており耐電圧も大きくとれる利点があ
る。
材として用いられており耐電圧も大きくとれる利点があ
る。
以上振動子の表面に絶縁ＩＱを段【ノ光学的にスルーボ
ールを形成してやり絶縁膜の表面に配線の１．：めの電
極を構成４ることにより複雑な形状を有する振動子の振
動子電極と外部電極との接続を容易に行なうことができ
る。
ールを形成してやり絶縁膜の表面に配線の１．：めの電
極を構成４ることにより複雑な形状を有する振動子の振
動子電極と外部電極との接続を容易に行なうことができ
る。
第１図はリング形状振動子の構成図、第２図は従来の電
極引出方法によるリング形状振動子の構成図、第３図は
絶縁膜スルーホールの製作を示Ｊ図、第４図は絶縁膜表
面の配線パターン図、第５図はマ］・リング形状振動子
の電極引出を示１図である。 １５ ・・・ 振動子 、１６ ・・・ 電極。 １７ ・・・ 感光性絶縁物塗膜。 １Ｂ ・・・ ネガ型しジスト。 １９′ ・・・ スルーホール 代理人弁理士 則近 憲佑（ほか１名）第１図 第２図Ａ 第２図Ｂ 第３図１３ ４ 第３図（ 第４図Ａ 第５図 第４図Ｉ３
極引出方法によるリング形状振動子の構成図、第３図は
絶縁膜スルーホールの製作を示Ｊ図、第４図は絶縁膜表
面の配線パターン図、第５図はマ］・リング形状振動子
の電極引出を示１図である。 １５ ・・・ 振動子 、１６ ・・・ 電極。 １７ ・・・ 感光性絶縁物塗膜。 １Ｂ ・・・ ネガ型しジスト。 １９′ ・・・ スルーホール 代理人弁理士 則近 憲佑（ほか１名）第１図 第２図Ａ 第２図Ｂ 第３図１３ ４ 第３図（ 第４図Ａ 第５図 第４図Ｉ３
Claims (1)
- 振動子表面に感光性ポリイミド等の絶縁膜を構成し、光
学的レジスト手段により前記絶縁膜にスルーホールを設
け、さらに前記絶縁膜の表面に蒸着等により配線パター
ンを構成し、前記スルーホール、及び配線パターンによ
り振動子表面電極と外部電線との接続を行なうことを特
徴とする超音波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58131901A JPS6024800A (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58131901A JPS6024800A (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6024800A true JPS6024800A (ja) | 1985-02-07 |
Family
ID=15068812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58131901A Pending JPS6024800A (ja) | 1983-07-21 | 1983-07-21 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6024800A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220596A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Nec Corp | 超音波トランスジユ−サ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5620400A (en) * | 1979-07-20 | 1981-02-25 | Siemens Ag | Ultrasonic wave converter and method of manufacturing same |
| JPS5670000A (en) * | 1979-11-10 | 1981-06-11 | Toray Ind Inc | Ultrasonic wave transducer using high molecular piezoelectric body |
-
1983
- 1983-07-21 JP JP58131901A patent/JPS6024800A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5620400A (en) * | 1979-07-20 | 1981-02-25 | Siemens Ag | Ultrasonic wave converter and method of manufacturing same |
| JPS5670000A (en) * | 1979-11-10 | 1981-06-11 | Toray Ind Inc | Ultrasonic wave transducer using high molecular piezoelectric body |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61220596A (ja) * | 1985-03-26 | 1986-09-30 | Nec Corp | 超音波トランスジユ−サ |
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