JPS60247904A - 磁気回路装置 - Google Patents
磁気回路装置Info
- Publication number
- JPS60247904A JPS60247904A JP10266284A JP10266284A JPS60247904A JP S60247904 A JPS60247904 A JP S60247904A JP 10266284 A JP10266284 A JP 10266284A JP 10266284 A JP10266284 A JP 10266284A JP S60247904 A JPS60247904 A JP S60247904A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- permanent magnets
- permanent magnet
- magnetic poles
- permanent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F7/00—Magnets
- H01F7/02—Permanent magnets [PM]
- H01F7/0273—Magnetic circuits with PM for magnetic field generation
- H01F7/0278—Magnetic circuits with PM for magnetic field generation for generating uniform fields, focusing, deflecting electrically charged particles
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は広い面積にわたって均一な磁場を得ることがで
きる磁気回路装置に関し、特に１例えばマグネトロン、
スパッタリング装置等に適した磁気回路装置に関する。
きる磁気回路装置に関し、特に１例えばマグネトロン、
スパッタリング装置等に適した磁気回路装置に関する。
エレクトロニクス用素材あるいは部品に各種の膜を形成
する場合、スパッタリング装置が用いられることが多い
。
する場合、スパッタリング装置が用いられることが多い
。
この種の装置の磁気回路として６例えば第１図に示すも
のが実用化されている。この磁気回路は、スピーカ用磁
気回路のように、中心の磁極１１とリング状の磁極１２
とで連続した環状磁場を作シ、磁束φに対して矢印Ｅで
示す電界が直交し、直交電磁界放電により密度の高いプ
ラズマを発生させ、この領域でスパッタリングを行う。
のが実用化されている。この磁気回路は、スピーカ用磁
気回路のように、中心の磁極１１とリング状の磁極１２
とで連続した環状磁場を作シ、磁束φに対して矢印Ｅで
示す電界が直交し、直交電磁界放電により密度の高いプ
ラズマを発生させ、この領域でスパッタリングを行う。
しかし、スパッタリングされる領域は図に示すように磁
界発生領域のみであシ、中心部あるいは外周はほとんど
されず、有効な領域は限定される。これは磁気回路が限
定されるために生ずることである。
界発生領域のみであシ、中心部あるいは外周はほとんど
されず、有効な領域は限定される。これは磁気回路が限
定されるために生ずることである。
このような欠点に鑑み１本発明の目的は広い領域で均一
な磁場を得ることができる磁気回路を提供することにあ
る。
な磁場を得ることができる磁気回路を提供することにあ
る。
本発明によれば、長さ方向に着磁された長四角形状の第
１の永久磁石を間にして、この第１の永久磁石の両側に
磁極の向きを同じにして第２及び第５の永久磁石を並設
し、しかもこれら第１．第２及び第３の永久磁石の磁極
端面を揃え、さらに前記第１の永久磁石の磁極端面を囲
みつつ前記第２及び第５の永久磁石の磁極端面を磁気的
に短絡させる環状のヨークを前記第２及び第５の永久磁
石の磁極端に取シつけて成シ。
１の永久磁石を間にして、この第１の永久磁石の両側に
磁極の向きを同じにして第２及び第５の永久磁石を並設
し、しかもこれら第１．第２及び第３の永久磁石の磁極
端面を揃え、さらに前記第１の永久磁石の磁極端面を囲
みつつ前記第２及び第５の永久磁石の磁極端面を磁気的
に短絡させる環状のヨークを前記第２及び第５の永久磁
石の磁極端に取シつけて成シ。
前記第１の永久磁石の上下両主面上に発生する磁束が均
一となるようにしたことを特徴とする磁気回路装置が得
られる。
一となるようにしたことを特徴とする磁気回路装置が得
られる。
以下に本発明の詳細な説明する。
第２図は長四角形状永久磁石の磁力線を示す。
磁石２１の磁極を長さ方向（Ｘ方向）に形成すると、磁
力線φ。の他に、側面から磁力線φ１も発生し、側面あ
るいは磁極端面ではフリンジングがあって磁場勾配が一
様とは言えない。
力線φ。の他に、側面から磁力線φ１も発生し、側面あ
るいは磁極端面ではフリンジングがあって磁場勾配が一
様とは言えない。
本発明は上記の如き側面あるいは端面の７リンジングを
極力抑えようとするものである。
極力抑えようとするものである。
第３図は本発明装置の斜視図である。
長四角形状の永久磁石２１の磁極端面にそれぞれ、軟磁
性体板ル、２４が接合されている。永久磁石２１の両側
には磁極を同じ向きにして同程度の長さの永久磁石５，
２６を等間隔に配している。
性体板ル、２４が接合されている。永久磁石２１の両側
には磁極を同じ向きにして同程度の長さの永久磁石５，
２６を等間隔に配している。
２７．２８は軟磁性体で構成された環状のヨークで。
この環状部分内に軟磁性体板ｎ、２４が位置するように
永久磁石２５ 、２６の磁極端とそれぞれ磁気的に結合
している。
永久磁石２５ 、２６の磁極端とそれぞれ磁気的に結合
している。
このような磁気回路においては、磁石２１の両側に磁石
５，２６の同極が配されているので、磁石２１と磁石５
．磁石かとの磁気力線は反発し、磁石２１の側面のフリ
ンジングはほとんど抑えられる。一方、磁石５．２６の
端面にそれぞれ、磁気的に結合された環状ヨーク２７
、２８が磁石２１の両端の周囲にあり、磁石２１とヨー
ク２７．２８とは磁気的に反発するために、磁石２１の
端面からの７リンジングは極力抑えられる。
５，２６の同極が配されているので、磁石２１と磁石５
．磁石かとの磁気力線は反発し、磁石２１の側面のフリ
ンジングはほとんど抑えられる。一方、磁石５．２６の
端面にそれぞれ、磁気的に結合された環状ヨーク２７
、２８が磁石２１の両端の周囲にあり、磁石２１とヨー
ク２７．２８とは磁気的に反発するために、磁石２１の
端面からの７リンジングは極力抑えられる。
この結果、第４図、第５図に示すように、磁石２１の上
下両主面の磁場発生が極めて好ましい状態となる。
下両主面の磁場発生が極めて好ましい状態となる。
従って、磁石２１の上下両主面を広くすれば。
広い面積でのスパッタリングが可能となり、第１図に示
す従来装置のように有効領域が限定されなくて済む。ま
た、第１図では磁気回路装置の一方の面でしかスパッタ
リングができなかったが１本発明によれば、磁気回路装
置の両面で行うことができ、２倍の生産性となり、産業
上極めて有効な装置である。
す従来装置のように有効領域が限定されなくて済む。ま
た、第１図では磁気回路装置の一方の面でしかスパッタ
リングができなかったが１本発明によれば、磁気回路装
置の両面で行うことができ、２倍の生産性となり、産業
上極めて有効な装置である。
以下余日
第１図は従来装置の一例の斜視図、第２図は本発明の詳
細な説明するための斜視図、第３図は本発明Ｑ−実施例
の斜視図、第４図、第５図はそれぞれ、第５図のＡ−Ａ
線、 Ｂ−Ｂ線による断面図。 図中、２１．２５．２６は永久磁石、 ２３．２４は軟
磁性体板、２７．２８はヨーク。
細な説明するための斜視図、第３図は本発明Ｑ−実施例
の斜視図、第４図、第５図はそれぞれ、第５図のＡ−Ａ
線、 Ｂ−Ｂ線による断面図。 図中、２１．２５．２６は永久磁石、 ２３．２４は軟
磁性体板、２７．２８はヨーク。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、長さ方向に着磁された長四角形状の第１の永久磁石
を間にして、この第１の永久磁石の両側に磁極の向きを
同じにして第２及び第５の永久磁石を並設し、しかもこ
れら第１．第２及び第３の永久磁石の磁極端面を揃え、
さらに前記第１の永久磁石の磁極端面を囲みつつ前記第
２及び第５の永久磁石の磁極端面を磁気的に短絡させる
環状のヨークを前記第２及び第６の永久磁石の磁極端に
取りつけて成り、前記第１の永久磁石の上下主面上に発
生する磁束が均一となるようにしたごとを特徴とする磁
気回路装置。 以下余白
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10266284A JPS60247904A (ja) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | 磁気回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10266284A JPS60247904A (ja) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | 磁気回路装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60247904A true JPS60247904A (ja) | 1985-12-07 |
| JPH0252842B2 JPH0252842B2 (ja) | 1990-11-14 |
Family
ID=14333442
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10266284A Granted JPS60247904A (ja) | 1984-05-23 | 1984-05-23 | 磁気回路装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60247904A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU180112U1 (ru) * | 2017-04-20 | 2018-06-04 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Поволжский государственный технологический университет" | Магнетрон с увеличенным коэффициентом использования материала мишени |
-
1984
- 1984-05-23 JP JP10266284A patent/JPS60247904A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU180112U1 (ru) * | 2017-04-20 | 2018-06-04 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Поволжский государственный технологический университет" | Магнетрон с увеличенным коэффициентом использования материала мишени |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0252842B2 (ja) | 1990-11-14 |
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