JPS60247820A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60247820A JPS60247820A JP10302384A JP10302384A JPS60247820A JP S60247820 A JPS60247820 A JP S60247820A JP 10302384 A JP10302384 A JP 10302384A JP 10302384 A JP10302384 A JP 10302384A JP S60247820 A JPS60247820 A JP S60247820A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- recording
- film
- magnetic layer
- alloy
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は垂直磁化記録に適した磁気記録媒体に係り、
特にｃｏ−Ｃｒ系合金からなる記録磁性層を有する磁気
記録媒体に関する。
特にｃｏ−Ｃｒ系合金からなる記録磁性層を有する磁気
記録媒体に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
磁気記録方式は従来、磁気記録媒体の記録磁性層に面内
・長手方向に磁化を形成して記録する面内記録が一般的
であるが、最近では高密度記録に適した方式として垂直
磁化記録が注目され、その研究・開発が盛んになされて
いる。垂直磁化記録は記録磁性層に膜面に垂直な方向に
磁化を形成して記録する方式であるため、この方向に磁
化容易軸を有する必要がある。このような垂直磁化記録
用の磁気記録媒体の一つとして、Ｃｏ−Ｃｒ合金やＣｏ
−Ｃｒ−Ｒｕ合金等のｃｏ−Ｃｒ系合金をスパッタまた
は真空蒸着で形成して記録磁性層としたものが知られて
いる。このＣｏ−Ｃｒ系合金からなる記録磁性層は高密
度記１録特性に優れている反面、耐蝕性が悪いという難
点があり、この問題を解決することが大きな課題となっ
ている。
・長手方向に磁化を形成して記録する面内記録が一般的
であるが、最近では高密度記録に適した方式として垂直
磁化記録が注目され、その研究・開発が盛んになされて
いる。垂直磁化記録は記録磁性層に膜面に垂直な方向に
磁化を形成して記録する方式であるため、この方向に磁
化容易軸を有する必要がある。このような垂直磁化記録
用の磁気記録媒体の一つとして、Ｃｏ−Ｃｒ合金やＣｏ
−Ｃｒ−Ｒｕ合金等のｃｏ−Ｃｒ系合金をスパッタまた
は真空蒸着で形成して記録磁性層としたものが知られて
いる。このＣｏ−Ｃｒ系合金からなる記録磁性層は高密
度記１録特性に優れている反面、耐蝕性が悪いという難
点があり、この問題を解決することが大きな課題となっ
ている。
Ｃｏ−Ｃｒ系合金からなる記録磁性層の耐食性が悪い原
因は、Ｇｏ−Ｏｒの柱状結晶間に空隙が発生し、この空
隙部分が外部雰囲気にさらされるからである。そこで、
例えば特開昭５７−１０９１２７号公報に示されている
ように、Ｇｏ−Ｃｒ柱状結晶の表面にｃｒの偏析膜を設
けることにより、柱状結晶を外部環境から保護するよう
にした磁気記録媒体が知られている。
因は、Ｇｏ−Ｏｒの柱状結晶間に空隙が発生し、この空
隙部分が外部雰囲気にさらされるからである。そこで、
例えば特開昭５７−１０９１２７号公報に示されている
ように、Ｇｏ−Ｃｒ柱状結晶の表面にｃｒの偏析膜を設
けることにより、柱状結晶を外部環境から保護するよう
にした磁気記録媒体が知られている。
しかしながら、この公知例ではＯｒの偏析膜が柱状結晶
の全表面、すなわち周面のみならず記録磁性層表面に沿
った端面に′も形成されている。この場合、柱状結晶の
記録磁性層表面に沿った端面上のＣｒ偏析膜は、記録再
生時に磁気ヘッドと磁気記録媒体との間に存在する実効
的なスペースの一部となるので、スペーシング損失が増
大して記録再生感度が低下し、高密度記録の面からも好
ましくない。
の全表面、すなわち周面のみならず記録磁性層表面に沿
った端面に′も形成されている。この場合、柱状結晶の
記録磁性層表面に沿った端面上のＣｒ偏析膜は、記録再
生時に磁気ヘッドと磁気記録媒体との間に存在する実効
的なスペースの一部となるので、スペーシング損失が増
大して記録再生感度が低下し、高密度記録の面からも好
ましくない。
また、実際にはこのようなスパッタや蒸着により形成さ
れる記録磁性層を有する磁気記録媒体では、記録磁性層
中に潤滑剤を混入させることが困難であるため、記録磁
性層表面に潤滑剤を塗布することが磁気記録媒体とヘッ
ドとの潤滑性を得る上で望まれ、この潤滑層の存在も考
慮すると上記の問題はさらに深刻となる。
れる記録磁性層を有する磁気記録媒体では、記録磁性層
中に潤滑剤を混入させることが困難であるため、記録磁
性層表面に潤滑剤を塗布することが磁気記録媒体とヘッ
ドとの潤滑性を得る上で望まれ、この潤滑層の存在も考
慮すると上記の問題はさらに深刻となる。
［発明の目的］
この発明の目的は、Ｇｏ−Ｃｒ系合金からなる記録磁性
層を有し、スペース損失が少なく良好な記録再生感度が
得られ、また高密度記録が可能であって、耐蝕性にも優
れた磁気記録媒体を提供することである。
層を有し、スペース損失が少なく良好な記録再生感度が
得られ、また高密度記録が可能であって、耐蝕性にも優
れた磁気記録媒体を提供することである。
［発明の概要］
この発明に係る磁気記録媒体は、ｃｏ−ｃｒ系合金から
なる記録磁性層をその柱状結晶が記録磁性層の膜面にほ
ぼ垂直となり、かつ柱状結晶の周面にＯｒが偏析し、柱
状結晶の記録磁性層の表面に沿った端面にはＣｒの偏析
が全く存在しないか、またはほとんど存在しないように
形成するとともに、記録磁性層上に少なくとも潤滑層を
含ペーサ薄層を形成したことを特徴とするものである。
なる記録磁性層をその柱状結晶が記録磁性層の膜面にほ
ぼ垂直となり、かつ柱状結晶の周面にＯｒが偏析し、柱
状結晶の記録磁性層の表面に沿った端面にはＣｒの偏析
が全く存在しないか、またはほとんど存在しないように
形成するとともに、記録磁性層上に少なくとも潤滑層を
含ペーサ薄層を形成したことを特徴とするものである。
この場合、Ｃｒの偏析が柱状結晶の周面に集中的に生じ
、端面には全くまたはほとんど生じないようなＣ０−Ｃ
ｒ系合金からなる記録磁性層は、例えば記録磁性層をス
パッタリングにより形成する際のスパッタ雰囲気のガス
圧や、媒体の基体温度等を選択することによって得るこ
とができる。
、端面には全くまたはほとんど生じないようなＣ０−Ｃ
ｒ系合金からなる記録磁性層は、例えば記録磁性層をス
パッタリングにより形成する際のスパッタ雰囲気のガス
圧や、媒体の基体温度等を選択することによって得るこ
とができる。
表面薄層は潤滑層のみであってもよいし、潤滑層と記録
磁性層との間に保護層を有するものであってもよい。
磁性層との間に保護層を有するものであってもよい。
［発明の効果］
この発明によれば、記録磁性層の表面となる柱状結晶の
端面にはＣｒの偏析が全く、またはほとんど存在してい
ないため、その分だけ磁気記録媒体と磁気ヘッドとの実
効的スペースが減少する。
端面にはＣｒの偏析が全く、またはほとんど存在してい
ないため、その分だけ磁気記録媒体と磁気ヘッドとの実
効的スペースが減少する。
従って、記録再生感度が向上し、また高密度記録にも有
利となる。
利となる。
さらに、記録磁性層に少なくとも潤滑層が形成されてい
ることにより、柱状結晶の記録磁性層の表面に沿った端
面・にＣｒの偏析がほとんどなくとも、この端面が外部
雰囲気によって腐蝕するおそれはない。これによって耐
蝕性も十分に確保される。
ることにより、柱状結晶の記録磁性層の表面に沿った端
面・にＣｒの偏析がほとんどなくとも、この端面が外部
雰囲気によって腐蝕するおそれはない。これによって耐
蝕性も十分に確保される。
［発明の実施例］
第１図はこの発明の一実施例の磁気記録媒体を示す断面
図である。図において、基体１は例えば耐熱性ポリイミ
ドフィルムからなるフィルム状基体であり、この上にＣ
ｏ−Ｃｒ合金からなる記録磁性層２が例えばスパッタリ
ングにより波巻形成されている。このスパッタリング法
は特に限定されないが、特にマグネトロンスパッタが好
適である。マグネトロンスパッタ装置としては例えば特
開昭５６−８０８３１号公報、特開昭５８−１８９３７
２号公報、特公昭５８−１３６２２号公報等に開示され
た装置を用いることができる。スパッタのターゲットは
ＣＯとＣｒの組成比が適宜選択されたＣｏ−Ｃｒ合金を
用いてもよいし、ＣＯおよびＣｒの各単体を用いてもよ
い。スパッタリングにより形成された記録磁性層２にお
けるＣ０とＣｒの割合は、Ｃｒが２５重量％以下、例え
ば１９〜２１重量％程度が好適である。
図である。図において、基体１は例えば耐熱性ポリイミ
ドフィルムからなるフィルム状基体であり、この上にＣ
ｏ−Ｃｒ合金からなる記録磁性層２が例えばスパッタリ
ングにより波巻形成されている。このスパッタリング法
は特に限定されないが、特にマグネトロンスパッタが好
適である。マグネトロンスパッタ装置としては例えば特
開昭５６−８０８３１号公報、特開昭５８−１８９３７
２号公報、特公昭５８−１３６２２号公報等に開示され
た装置を用いることができる。スパッタのターゲットは
ＣＯとＣｒの組成比が適宜選択されたＣｏ−Ｃｒ合金を
用いてもよいし、ＣＯおよびＣｒの各単体を用いてもよ
い。スパッタリングにより形成された記録磁性層２にお
けるＣ０とＣｒの割合は、Ｃｒが２５重量％以下、例え
ば１９〜２１重量％程度が好適である。
ここで、Ｃ０−Ｃｒ合金からなる記録磁性層２は、これ
を構成するＣｏ−Ｃｒ柱状結晶３が記録磁性層２の膜面
にほぼ垂直に立った形となっており、柱状結晶３の周面
にはＣｒの偏析膜４が形成されるが、記録磁性層３の表
面に沿った端面にはＣｒの偏析が全くないか、またはほ
とんどないように形成されている。このように柱状結晶
３の周面にＣｒの偏析が集中的に生じるように記録磁性
層２を形成するには、例えばスパッタリング時の不活性
ガスのガス圧を１０”ｓＨｇオーダ以下にするか、また
は基体１の温度を１２０℃以上にすればよい。
を構成するＣｏ−Ｃｒ柱状結晶３が記録磁性層２の膜面
にほぼ垂直に立った形となっており、柱状結晶３の周面
にはＣｒの偏析膜４が形成されるが、記録磁性層３の表
面に沿った端面にはＣｒの偏析が全くないか、またはほ
とんどないように形成されている。このように柱状結晶
３の周面にＣｒの偏析が集中的に生じるように記録磁性
層２を形成するには、例えばスパッタリング時の不活性
ガスのガス圧を１０”ｓＨｇオーダ以下にするか、また
は基体１の温度を１２０℃以上にすればよい。
記録磁性層２上には、さらに表面薄層として潤滑層５が
形成されている。この潤滑層５は例えば液体潤滑剤を塗
布するか、あるいは固体潤滑層をスパッタリング等によ
り形成したものである。
形成されている。この潤滑層５は例えば液体潤滑剤を塗
布するか、あるいは固体潤滑層をスパッタリング等によ
り形成したものである。
このように構成された磁気記録媒体においては、記録磁
性層２のｃｏ−Ｏｒ柱状結晶３がＣｒの偏析膜４で被覆
された形となるため、記録磁性層２の膜面に垂直な方向
の保磁力Ｈｃ土が向上する。
性層２のｃｏ−Ｏｒ柱状結晶３がＣｒの偏析膜４で被覆
された形となるため、記録磁性層２の膜面に垂直な方向
の保磁力Ｈｃ土が向上する。
また、Ｃｒの偏析膜４でそれぞれの柱状結晶３が微粒子
化された構造となる。微粒子化されたということは柱状
結晶３がそれぞれ孤立化されたということであり、これ
により磁化曲線が角形となって垂直磁化記録に適した特
性が得られる。
化された構造となる。微粒子化されたということは柱状
結晶３がそれぞれ孤立化されたということであり、これ
により磁化曲線が角形となって垂直磁化記録に適した特
性が得られる。
しかも、柱状結晶３の端面にはＣｒの偏析膜がないので
、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間の実効的なスペース
、つまり柱状結晶３のｃｏとＯｒとが所定の割合で存在
している領域の端面とヘッドとの間の距離は、はぼｆｉ
！ＩＷ４層５の厚さ分だけとなる。従って、柱状結晶３
の端面にもＣｒの偏析膜が周面と同様に存在している従
来の磁気記録媒体に比べて、この実効的スペースの大き
さに依存する記録再生時のスペース損失が大きく減少し
、記録再生感度が向上する。また、実効的スペースが小
さいことは、垂直磁化記録における記録密度の向上にも
大きく寄与する。
、磁気記録媒体と磁気ヘッドとの間の実効的なスペース
、つまり柱状結晶３のｃｏとＯｒとが所定の割合で存在
している領域の端面とヘッドとの間の距離は、はぼｆｉ
！ＩＷ４層５の厚さ分だけとなる。従って、柱状結晶３
の端面にもＣｒの偏析膜が周面と同様に存在している従
来の磁気記録媒体に比べて、この実効的スペースの大き
さに依存する記録再生時のスペース損失が大きく減少し
、記録再生感度が向上する。また、実効的スペースが小
さいことは、垂直磁化記録における記録密度の向上にも
大きく寄与する。
そして、このように柱状結晶３の端面におけるＯｒの偏
析がほとんどないにも拘らず、潤滑層５があるために柱
状結晶３の端面が外部雰囲気にさらされて腐蝕するおそ
れはなく、良好な耐蝕性を得ることができる。
析がほとんどないにも拘らず、潤滑層５があるために柱
状結晶３の端面が外部雰囲気にさらされて腐蝕するおそ
れはなく、良好な耐蝕性を得ることができる。
第２図はこの発明の他の実施例の磁気記録媒体を示した
もので、潤滑層５と記録磁性層２との間に保護層６を介
在させたものである。記録磁性層２は前述と同様に、周
面にはＯｒの偏析膜４があるが、記録磁性層２の表面に
沿った端面にはＯｒの偏析が全くないか、またはほとん
どないように形成されている。
もので、潤滑層５と記録磁性層２との間に保護層６を介
在させたものである。記録磁性層２は前述と同様に、周
面にはＯｒの偏析膜４があるが、記録磁性層２の表面に
沿った端面にはＯｒの偏析が全くないか、またはほとん
どないように形成されている。
保護層６は例えばＡβ２０３膜であり、スパッタリング
等により形成される。この保護層６は媒体の耐久性向上
や、潤滑層５の付着性向上のために必要に応じて設けら
れるものであるが、その膜厚は前述した実効的スペース
をあまり増加させないように極力薄く、例えば１０００
Å以下程度が好ましい。このように、この発明において
記録磁性層上に設けられる表面薄層は潤滑層のみでよい
し、保護層をさらに含んだものであってもよい。
等により形成される。この保護層６は媒体の耐久性向上
や、潤滑層５の付着性向上のために必要に応じて設けら
れるものであるが、その膜厚は前述した実効的スペース
をあまり増加させないように極力薄く、例えば１０００
Å以下程度が好ましい。このように、この発明において
記録磁性層上に設けられる表面薄層は潤滑層のみでよい
し、保護層をさらに含んだものであってもよい。
なお、この発明は上記した実施例に限定されるものでは
なく、各部の材質や製造プロセス等について種々変形実
施が可能である。例えば実施例では記録磁性層をｃｏ−
Ｃｒ合金として説明したが、（：、ｏ−Ｃｒ−Ｒｕ合金
でもよく、要するにＣ０−Ｃｒ系合金であれば前記実施
例と同様な構成を採用した場合に同様の効果を得ること
ができる。
なく、各部の材質や製造プロセス等について種々変形実
施が可能である。例えば実施例では記録磁性層をｃｏ−
Ｃｒ合金として説明したが、（：、ｏ−Ｃｒ−Ｒｕ合金
でもよく、要するにＣ０−Ｃｒ系合金であれば前記実施
例と同様な構成を採用した場合に同様の効果を得ること
ができる。
第１図はこの発明の一実施例に係る磁気記録媒体の断面
図、第２図はこの発明の他の実施例に係る磁気記録媒体
の断面図である。 １・・・基体、２・・・記録磁性層、３・・・Ｃ０−Ｃ
ｒ合金の柱状結晶、４・・・Ｃｒの偏析膜、５・・・ｉ
Ｉ！！Ｉ滑層（表面薄層）、６・・・保護層（表面薄層
）。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
図、第２図はこの発明の他の実施例に係る磁気記録媒体
の断面図である。 １・・・基体、２・・・記録磁性層、３・・・Ｃ０−Ｃ
ｒ合金の柱状結晶、４・・・Ｃｒの偏析膜、５・・・ｉ
Ｉ！！Ｉ滑層（表面薄層）、６・・・保護層（表面薄層
）。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦
Claims (2)
- （１） Ｃｏ −Ｃｒ系合金からなる記録磁性層を有す
る磁気記録媒体において、前記記録磁性層をその柱状結
晶が記録磁性層の膜面にほぼ垂直となり、かつ柱状結晶
の周面にＣｒが偏析し、柱状結晶の記録磁性層の表面に
治った端面にはＯｒの偏析が全く存在しないか、または
ほとんど存在しないように形成するとともに、この記録
磁性層上に少なくとも潤滑層を含む表面薄層を形成した
ことを特徴とする磁気記録媒体。 - （２） 表面薄層は記録磁性層と潤滑層との間に保護層
を有するものであることを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10302384A JPS60247820A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10302384A JPS60247820A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60247820A true JPS60247820A (ja) | 1985-12-07 |
Family
ID=14343042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10302384A Pending JPS60247820A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60247820A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62275321A (ja) * | 1986-02-21 | 1987-11-30 | Brother Ind Ltd | 磁気記録媒体 |
| US4950548A (en) * | 1988-05-27 | 1990-08-21 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and method of producing same |
-
1984
- 1984-05-22 JP JP10302384A patent/JPS60247820A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62275321A (ja) * | 1986-02-21 | 1987-11-30 | Brother Ind Ltd | 磁気記録媒体 |
| US4950548A (en) * | 1988-05-27 | 1990-08-21 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and method of producing same |
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