JPS60246638A - 高圧ジエツト洗浄装置 - Google Patents
高圧ジエツト洗浄装置Info
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- JPS60246638A JPS60246638A JP10298684A JP10298684A JPS60246638A JP S60246638 A JPS60246638 A JP S60246638A JP 10298684 A JP10298684 A JP 10298684A JP 10298684 A JP10298684 A JP 10298684A JP S60246638 A JPS60246638 A JP S60246638A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- disk
- cleaned
- pressure
- jet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は光ティスフあるいに１゛ｌ′導体製造Ｌ）”１
゛１における非常に高い清浄面を必９と−するクリーン
洗浄を行なうことかできる高圧ジェット洗浄装置に関す
るものである。
゛１における非常に高い清浄面を必９と−するクリーン
洗浄を行なうことかできる高圧ジェット洗浄装置に関す
るものである。
従来例の構成とその問題点
神々の洗浄方法の中でも高ｒ］−流体を細いノズルから
高速で吹き出した高速流を被洗浄物ＶＣ・１てて〜°−
物６−゛除去するいわゆる高ｌ］−ジェット洗浄法に強
い物理的エネルギーを有し強周に付着した異物の除去に
は非常に有効である。月１例えば円板を洗浄する場合の
従来の高圧ジェット洗浄装置の１例を概略で示す。第１
図に基づき説明する。第１図において１は洗浄装置の機
体で２Ｖｉ洗浄液３がためられ洗浄槽である。４は公知
の沸騰槽でヒータ６を有しその中にためられた洗浄液を
沸騰させる。
高速で吹き出した高速流を被洗浄物ＶＣ・１てて〜°−
物６−゛除去するいわゆる高ｌ］−ジェット洗浄法に強
い物理的エネルギーを有し強周に付着した異物の除去に
は非常に有効である。月１例えば円板を洗浄する場合の
従来の高圧ジェット洗浄装置の１例を概略で示す。第１
図に基づき説明する。第１図において１は洗浄装置の機
体で２Ｖｉ洗浄液３がためられ洗浄槽である。４は公知
の沸騰槽でヒータ６を有しその中にためられた洗浄液を
沸騰させる。
６は機体の上部に巻回された冷却パイプで該開ロアの空
間を冷却し前記沸騰槽４から蒸発した洗浄液の蒸気を冷
却し７て凝結液化せしめ該開ロアから前記蒸気が逃けて
機体内の洗浄液が減ることを防１１−４する。また前記
冷却バイブロの表面に凝結液化した洗浄液Ｖ↓その下部
に設けた棚８の中を流れて公知の水と洗浄液の比重差を
利用した水分離器９に回収され冷却バイブロの表面にて
洗浄液と共に液化した空気中の丞ハ洗浄液から分離され
てドレ／１０かも排出され、洗浄液は洗浄槽２に流入す
る。前記間［］７には上記の冷却バイブロの冷却作用に
より洗浄液の液化温度となる界面１１を境界として上７
ＸｔＸに１↓辿常過飽和状態にある吟、和蒸気雰囲気１
２、上部には蒸気密度の低い領域１３が形成される。通
常前記界面１１１ｊ冷却バイブロに近い部分、すなわち
開Ｃ］ ７０川辺はよく冷されるので低く、開口中央部
はそれとに逆に＾くなり開〔１中央部でもり上った形と
なることが知られている。
間を冷却し前記沸騰槽４から蒸発した洗浄液の蒸気を冷
却し７て凝結液化せしめ該開ロアから前記蒸気が逃けて
機体内の洗浄液が減ることを防１１−４する。また前記
冷却バイブロの表面に凝結液化した洗浄液Ｖ↓その下部
に設けた棚８の中を流れて公知の水と洗浄液の比重差を
利用した水分離器９に回収され冷却バイブロの表面にて
洗浄液と共に液化した空気中の丞ハ洗浄液から分離され
てドレ／１０かも排出され、洗浄液は洗浄槽２に流入す
る。前記間［］７には上記の冷却バイブロの冷却作用に
より洗浄液の液化温度となる界面１１を境界として上７
ＸｔＸに１↓辿常過飽和状態にある吟、和蒸気雰囲気１
２、上部には蒸気密度の低い領域１３が形成される。通
常前記界面１１１ｊ冷却バイブロに近い部分、すなわち
開Ｃ］ ７０川辺はよく冷されるので低く、開口中央部
はそれとに逆に＾くなり開〔１中央部でもり上った形と
なることが知られている。
２７洗浄槽２の内壁に巻回された冷却パイプで洗浄液３
を冷却する。１４け回転軸１６に図示しないが機械的手
段により保持された円板状の被洗浄物である。１６はモ
ータを内蔵する）・ウジ／りで回転軸１６と該モータ軸
は公知のマグネット力。
を冷却する。１４け回転軸１６に図示しないが機械的手
段により保持された円板状の被洗浄物である。１６はモ
ータを内蔵する）・ウジ／りで回転軸１６と該モータ軸
は公知のマグネット力。
プリングで結合されている。１７に前記士−タハウジン
グ１６をト下送りせしめる昇降ロッドで図示しない手段
あるいは手動により［−下駆動される〕１８は洗浄槽２
に固定され、支柱１９に取付られた高圧ノズルである。
グ１６をト下送りせしめる昇降ロッドで図示しない手段
あるいは手動により［−下駆動される〕１８は洗浄槽２
に固定され、支柱１９に取付られた高圧ノズルである。
２０，２１．２２は洗浄槽２内の洗浄ｉ３を常に清浄に
保つために設けられたそれぞれブレＸフィルタ循環ポン
プファイナルフィルタである。２３．２４に高圧ノズル
１８に清浄な制圧の洗浄液を供給するために設けられた
高ハボ／ブと高耐圧ファイナルフィルタである。
保つために設けられたそれぞれブレＸフィルタ循環ポン
プファイナルフィルタである。２３．２４に高圧ノズル
１８に清浄な制圧の洗浄液を供給するために設けられた
高ハボ／ブと高耐圧ファイナルフィルタである。
通常洗浄液としてフロン系溶剤が多用されるが他の溶剤
であってもよい。
であってもよい。
次に動作について説明する。第１図にお・いて被洗浄物
である円板１４は開口下の上部のＢ位置にて回転軸１５
に保持され、次に昇降ロッド１７が１降してＣ位置すな
わち円板１４は洗浄液３に浸かる位置１で１降する。こ
の状態でモータを駆動し円板１４を回転せしめると共に
高圧ポンプ２４を１！ｌ＾動し２高圧ノズル１８から洗
浄液の高圧ジェット流２６を噴射せしめつつ昇降ロッド
１７をゆっくり上昇させて円板１４の全面を洗浄する。
である円板１４は開口下の上部のＢ位置にて回転軸１５
に保持され、次に昇降ロッド１７が１降してＣ位置すな
わち円板１４は洗浄液３に浸かる位置１で１降する。こ
の状態でモータを駆動し円板１４を回転せしめると共に
高圧ポンプ２４を１！ｌ＾動し２高圧ノズル１８から洗
浄液の高圧ジェット流２６を噴射せしめつつ昇降ロッド
１７をゆっくり上昇させて円板１４の全面を洗浄する。
次に昇降ロット１了が上昇し、円板１４は飽和蒸気雰囲
気１２の中のＤ位置に移送される。円板１４は冷却パイ
プ２７により冷却された洗浄液に浸っていたことにより
冷却されているから、円板１４０表面で蒸気が凝結液化
した非常に清浄な洗浄液が流れ落ちてすすき洗浄が行な
われる。一般にこのプロセスにより行なわれる洗浄は蒸
気洗浄と称されている。
気１２の中のＤ位置に移送される。円板１４は冷却パイ
プ２７により冷却された洗浄液に浸っていたことにより
冷却されているから、円板１４０表面で蒸気が凝結液化
した非常に清浄な洗浄液が流れ落ちてすすき洗浄が行な
われる。一般にこのプロセスにより行なわれる洗浄は蒸
気洗浄と称されている。
この凝結変化は円板１４の温度かμｍどむＫの液化温度
まで上昇するまで行なわれる。このすすき洗浄の目的は
洗浄により円板１４からＳ脱落した油脂異物が洗浄液３
にｆｌ、遊しているため、円板１４をＣからＢへ引きト
げる時ｉｉｌ記び遊異物及び油脂か円板１４に再付着す
るためこれを完全に除去することにある。
まで上昇するまで行なわれる。このすすき洗浄の目的は
洗浄により円板１４からＳ脱落した油脂異物が洗浄液３
にｆｌ、遊しているため、円板１４をＣからＢへ引きト
げる時ｉｉｌ記び遊異物及び油脂か円板１４に再付着す
るためこれを完全に除去することにある。
すすき洗浄が終了すると次に円板１４［ＤからＢへゆっ
くり引きトげられる。円板１４が前記界面１１を越えて
蒸気密度の低い領域１３へ移送される時、円板１４の表
面を濡らしていた前記液化洗浄液はすみやかに蒸発し円
板１４は乾燥する。乾燥した後円板１４を回転軸１６か
ら取外して洗浄を終了する。しかしながらこの洗浄方法
の場合円板１４の片面中央部を保持しているためその保
持面側にノズルを配置してもその保持されている部分は
洗浄することができないので汚れた１１であり前記すす
ぎ洗浄時に汚れた部分から汚れた液がたれ落ちてすすぎ
が良好に行なわれなかったり、洗浄の後工程でその汚れ
た面から異物、油脂等が清浄な面に移行して汚したりし
て十分な洗浄効果が得られなか−〕だ。
くり引きトげられる。円板１４が前記界面１１を越えて
蒸気密度の低い領域１３へ移送される時、円板１４の表
面を濡らしていた前記液化洗浄液はすみやかに蒸発し円
板１４は乾燥する。乾燥した後円板１４を回転軸１６か
ら取外して洗浄を終了する。しかしながらこの洗浄方法
の場合円板１４の片面中央部を保持しているためその保
持面側にノズルを配置してもその保持されている部分は
洗浄することができないので汚れた１１であり前記すす
ぎ洗浄時に汚れた部分から汚れた液がたれ落ちてすすぎ
が良好に行なわれなかったり、洗浄の後工程でその汚れ
た面から異物、油脂等が清浄な面に移行して汚したりし
て十分な洗浄効果が得られなか−〕だ。
発明の目的
本発明は少なくとも円形の穴部あるいは円径の外周部を
有する被洗浄物の全面に亘って高圧のジｓノド流を作用
せしめることができ、被洗浄物に付着している異物、油
脂等を確実に除去し優れた洗浄効果を得ることができる
高圧ジェット洗浄装置を提供することを目的とする。
有する被洗浄物の全面に亘って高圧のジｓノド流を作用
せしめることができ、被洗浄物に付着している異物、油
脂等を確実に除去し優れた洗浄効果を得ることができる
高圧ジェット洗浄装置を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は少なくとも円形の穴部あるいは円形外周部を有
する被洗浄物の円形部に当接する複数個の回転可能な同
転体の１個を駆動して被洗浄物を洗浄液中にて回転せし
める駆動手段と被洗浄物に高圧の洗浄液を噴射せしめる
高圧ジェット噴射手段とジェット流を前記被洗浄物の所
要洗浄範囲に亘って走査する手段から構成して被洗浄物
の全面に亘って高圧のジェット流を作用せしめ高清浄な
面を得ることができる高圧ジェット洗浄装置であるＯ 実施例の説明 本発明の一実施例を第２図から第７図に従−３て説明す
る。第２図は本発明の概略構成図ケ示す。
する被洗浄物の円形部に当接する複数個の回転可能な同
転体の１個を駆動して被洗浄物を洗浄液中にて回転せし
める駆動手段と被洗浄物に高圧の洗浄液を噴射せしめる
高圧ジェット噴射手段とジェット流を前記被洗浄物の所
要洗浄範囲に亘って走査する手段から構成して被洗浄物
の全面に亘って高圧のジェット流を作用せしめ高清浄な
面を得ることができる高圧ジェット洗浄装置であるＯ 実施例の説明 本発明の一実施例を第２図から第７図に従−３て説明す
る。第２図は本発明の概略構成図ケ示す。
第３図は洗浄物回転機構部の平面図を示す。第４図に正
面図を示す。第５図は洗浄物駆動部プーリーの外周部詳
細図を示す。第６図、第７図Ｖ、ｆ洗浄物回転機構部の
別の実施例を示す。第２図において第１図に示すものと
同一物に同一番号を付して説明する。第２図から第７図
において１に洗浄装置の機体、２は洗浄液３がめられた
洗浄槽である。４は沸騰槽でヒーター６を有しその中に
ためられた洗浄液を沸騰させる。
面図を示す。第５図は洗浄物駆動部プーリーの外周部詳
細図を示す。第６図、第７図Ｖ、ｆ洗浄物回転機構部の
別の実施例を示す。第２図において第１図に示すものと
同一物に同一番号を付して説明する。第２図から第７図
において１に洗浄装置の機体、２は洗浄液３がめられた
洗浄槽である。４は沸騰槽でヒーター６を有しその中に
ためられた洗浄液を沸騰させる。
６に機体の−Ｌ部開開ロア巻回された冷却パイプで開ロ
アの空間を冷却し前記沸騰槽４から蒸発１．た洗浄液の
蒸気を冷却して凝結液化せしめ開［］７から前記蒸気が
逃げて機体内の洗浄液が減ることを防止している。また
前記冷却バイブロの表面に凝結液化した洗浄液はその下
部に設けた棚８の中を流れて公知の水と洗浄液の比重差
を利用した水分離器９に回収され、冷却バイブロの表面
にて洗浄液と共Ｖこ液化した空気中の水は洗浄液から分
離されてドレン１０から排出され、洗浄液は洗浄槽２Ｖ
Ｃ流入する。前記開ロアには−）―記の冷却バイブロの
冷却作用により洗浄液の液化温度となる界面１１を境界
とし、て、下部には通常過飽和状態にある飽和蒸気雰囲
気１２、上部には蒸気密度の低い領域が形成される。曲
常前記界面１１は冷却バイブロに近い部分すなわち開ロ
ア０周辺はよく冷されるので低くて開口部中央部はそれ
とに逆に高くなり開口部中央で盛」−）だ形となる。２
７は洗浄槽２の内壁に巻回された冷却パイプで洗浄槽中
の洗浄液３を冷却する。１４は円板状の洗浄物で外周部
には前記洗浄物を保持し回転する従動プーリー２８．２
９が当接しており、従動プーリー２８は軸３ｏに装着さ
れ、軸３０は基板３２に固定されている０１だ、従動プ
ーリー２９はアーム３３に固定さｔまた軸３１に装着さ
れている。アーム３３には線バネ３４が固定され、アー
ム３３はハウジング３６に回転可能に装着された軸３６
に固定され、ハウジング３６は基板３２に固定されてい
る。
アの空間を冷却し前記沸騰槽４から蒸発１．た洗浄液の
蒸気を冷却して凝結液化せしめ開［］７から前記蒸気が
逃げて機体内の洗浄液が減ることを防止している。また
前記冷却バイブロの表面に凝結液化した洗浄液はその下
部に設けた棚８の中を流れて公知の水と洗浄液の比重差
を利用した水分離器９に回収され、冷却バイブロの表面
にて洗浄液と共Ｖこ液化した空気中の水は洗浄液から分
離されてドレン１０から排出され、洗浄液は洗浄槽２Ｖ
Ｃ流入する。前記開ロアには−）―記の冷却バイブロの
冷却作用により洗浄液の液化温度となる界面１１を境界
とし、て、下部には通常過飽和状態にある飽和蒸気雰囲
気１２、上部には蒸気密度の低い領域が形成される。曲
常前記界面１１は冷却バイブロに近い部分すなわち開ロ
ア０周辺はよく冷されるので低くて開口部中央部はそれ
とに逆に高くなり開口部中央で盛」−）だ形となる。２
７は洗浄槽２の内壁に巻回された冷却パイプで洗浄槽中
の洗浄液３を冷却する。１４は円板状の洗浄物で外周部
には前記洗浄物を保持し回転する従動プーリー２８．２
９が当接しており、従動プーリー２８は軸３ｏに装着さ
れ、軸３０は基板３２に固定されている０１だ、従動プ
ーリー２９はアーム３３に固定さｔまた軸３１に装着さ
れている。アーム３３には線バネ３４が固定され、アー
ム３３はハウジング３６に回転可能に装着された軸３６
に固定され、ハウジング３６は基板３２に固定されてい
る。
３７は押圧力調整板で基板３２に固定され線バネ３４の
引掛は溝（図示せず）を有している。線バネ３４を矢印
Ａ方向にたわ１せ、前記押圧力調整板３７の引掛けｉ１
１＃に引掛けることにより、アーノ、３３が軸３６を支
点として矢印Ｂ方向に回動し２アーム３３の軸３１に装
着した従動プーリー２９に押圧力をりえるようにしてい
る。３８はモータ４゜を内蔵するハウジングで回転軸３
９とモーター４０の軸に公知のマグネットカッブリフグ
で結合されている。回転軸３９の／−ルは上記マグネッ
トカップリングでなくとも他の７−ルでもよい１１回転
軸３９には円板４ｆ、４２で構成した原動プーリーが固
定され、円板４１．４２の夕１周部にはそ赴ぞれＯリン
グ４３の装着ａａ１−ａ 、４２−ａ？、（有している
。１だ原動プーリーの外周部には第５図に示すように洗
浄物１４とＯリング４３が当接し回転を伝達する時にス
リップしないように構成している。基板３２には切欠き
部３２−ａを設けて洗浄槽２に固定したバイブ１９に高
■−ノズル１８をセンタをずらして同定し高圧ノズル１
８を洗浄物の両面ＶＣ配置ｔ Ｌ、ている。仄板３２は
図７ドしない手段あるいは］−動により−Ｌ下、駆動さ
れる。２０゜２１．２２は洗浄槽２内の洗浄液３を常に
清浄に保つためＶＣ設けられたそれぞれ、プレフィルタ
循環ポンプ、ファイナルフィルタである。２３．２４は
高圧ノズル１８に清浄な高圧の洗浄液を供給するために
設けられた高圧ポンプと高耐圧ファイナルフィルタであ
る。
引掛は溝（図示せず）を有している。線バネ３４を矢印
Ａ方向にたわ１せ、前記押圧力調整板３７の引掛けｉ１
１＃に引掛けることにより、アーノ、３３が軸３６を支
点として矢印Ｂ方向に回動し２アーム３３の軸３１に装
着した従動プーリー２９に押圧力をりえるようにしてい
る。３８はモータ４゜を内蔵するハウジングで回転軸３
９とモーター４０の軸に公知のマグネットカッブリフグ
で結合されている。回転軸３９の／−ルは上記マグネッ
トカップリングでなくとも他の７−ルでもよい１１回転
軸３９には円板４ｆ、４２で構成した原動プーリーが固
定され、円板４１．４２の夕１周部にはそ赴ぞれＯリン
グ４３の装着ａａ１−ａ 、４２−ａ？、（有している
。１だ原動プーリーの外周部には第５図に示すように洗
浄物１４とＯリング４３が当接し回転を伝達する時にス
リップしないように構成している。基板３２には切欠き
部３２−ａを設けて洗浄槽２に固定したバイブ１９に高
■−ノズル１８をセンタをずらして同定し高圧ノズル１
８を洗浄物の両面ＶＣ配置ｔ Ｌ、ている。仄板３２は
図７ドしない手段あるいは］−動により−Ｌ下、駆動さ
れる。２０゜２１．２２は洗浄槽２内の洗浄液３を常に
清浄に保つためＶＣ設けられたそれぞれ、プレフィルタ
循環ポンプ、ファイナルフィルタである。２３．２４は
高圧ノズル１８に清浄な高圧の洗浄液を供給するために
設けられた高圧ポンプと高耐圧ファイナルフィルタであ
る。
以トは円形の洗浄物の外周を保持し回転させて洗浄する
Ｊｊ法について記述したが第６図、第７図に示−１よ°
）に内周部だけで保持し回転させ洗浄しても、また内周
、外周をそれぞれ保持し回転させて洗浄してもよいわけ
である。
Ｊｊ法について記述したが第６図、第７図に示−１よ°
）に内周部だけで保持し回転させ洗浄しても、また内周
、外周をそれぞれ保持し回転させて洗浄してもよいわけ
である。
次に動イ′目・こ−９いて説明する。
第２図に粋いて被洗浄物である円板１４は開口了のＦ部
のＸ位置ＶＣて線バネ３４を矢印Ｃ方向ＶＣたわませ従
動プーリー２９を矢印り方向に回動させ従動プーリー２
８、及び円板４１．４２で構成した原動プーリーに当接
させ、次に線バネ３４を矢Ｅｌ］ Ａ方向にたわませ従
動プーリー２９を矢印Ｂ方向に回動させ押Ｉ（力を加え
従動ブー９−２８．２９及び円板４１．４２で構成（７
だ原動プーリーの３ケのプーリーで保持し十ノドする。
のＸ位置ＶＣて線バネ３４を矢印Ｃ方向ＶＣたわませ従
動プーリー２９を矢印り方向に回動させ従動プーリー２
８、及び円板４１．４２で構成した原動プーリーに当接
させ、次に線バネ３４を矢Ｅｌ］ Ａ方向にたわませ従
動プーリー２９を矢印Ｂ方向に回動させ押Ｉ（力を加え
従動ブー９−２８．２９及び円板４１．４２で構成（７
だ原動プーリーの３ケのプーリーで保持し十ノドする。
次に基板３２が下降してＸ位置、すなわち円板１４ ｉ
、１． ｉ’Ａ；浄沿３に浸かる位置捷１上する。この
状態でモーターを駆動し円板１４を［し］１転させる。
、１． ｉ’Ａ；浄沿３に浸かる位置捷１上する。この
状態でモーターを駆動し円板１４を［し］１転させる。
この時円板１４の外周部にパリ等の突起物かぁ−、た場
合？＋１動ゾーリーで抑圧破砕される。次に高圧ポンプ
２４を駆動し高圧ノズル１８かＣ）洗浄液の高圧ノ□ッ
［流を噴射せしめつつ基板３２をゆ−０くり１−ｙｌさ
せて円板１４の両１ｆＩｉを洗浄−する。高）Ｉノズル
と４．・し７のセンターを一致させた場合外周端面で１
．１ンユノト流とおしが衝突し洗浄できにくいか本構成
−（’ ｒ、！ノズルとオシのセンターをすらし７て設
けている〃−め洗浄ムラかなく、前記従動ブー１） −
２８、２９で押圧破砕されたパリの除去にも有効である
。
合？＋１動ゾーリーで抑圧破砕される。次に高圧ポンプ
２４を駆動し高圧ノズル１８かＣ）洗浄液の高圧ノ□ッ
［流を噴射せしめつつ基板３２をゆ−０くり１−ｙｌさ
せて円板１４の両１ｆＩｉを洗浄−する。高）Ｉノズル
と４．・し７のセンターを一致させた場合外周端面で１
．１ンユノト流とおしが衝突し洗浄できにくいか本構成
−（’ ｒ、！ノズルとオシのセンターをすらし７て設
けている〃−め洗浄ムラかなく、前記従動ブー１） −
２８、２９で押圧破砕されたパリの除去にも有効である
。
液中で噴射される高圧ジ□ット流か被洗浄物表面に及ば
ず物理的作用力は空気中で噴射さｔする場合に比べて弱
くなるがノズルと被洗浄物表面ｊ１）１の距離が小さけ
れは空気中に比較してさほど弱くなＣ）ない１、弱くな
る度合はノズルのオリフィス径、用７Ｊ等（・こより１
′Ｉ：なるが数胛易の距離での作用力は空気中の７０〜
５０ ’にとなる。しかしながら５０〜１００′・０増
しの圧力を得ることは容易であるからさほと大きなテメ
リノトはない。
ず物理的作用力は空気中で噴射さｔする場合に比べて弱
くなるがノズルと被洗浄物表面ｊ１）１の距離が小さけ
れは空気中に比較してさほど弱くなＣ）ない１、弱くな
る度合はノズルのオリフィス径、用７Ｊ等（・こより１
′Ｉ：なるが数胛易の距離での作用力は空気中の７０〜
５０ ’にとなる。しかしながら５０〜１００′・０増
しの圧力を得ることは容易であるからさほと大きなテメ
リノトはない。
次に基板３２が上列し円板１４は飽和蒸気雰囲気１２中
のＺ位置に移送される。円板１４は冷却パイプ２７によ
り冷却された洗浄液３に浸っていたことにより冷却され
ているから円板１４の表面で蒸気が凝結液化し非常に清
浄な洗浄液が流れおちてすすき洗浄が行なわれる。この
凝結液化は円板１４の温度が洗浄液の液化温度１で上昇
するまで行なわれる。なおこのすすき洗浄は洗浄液３の
Ｘ位置からＺ位置に引き上げる際に高圧洗浄により円板
１４から離脱し浮遊している油脂、異物のＦ＋骨付着除
去するのに有効である。すすき洗浄が終了すると次（（
円板１４はＺ位置よりＸ位置にゆ−）りりと引き上げら
れる円板１４が前記界面１１を越えて蒸気花度の低い領
域１３へ移送される時、円板１４の表面を濡らしていた
前記液化洗浄液はすノドやかに蒸発し、円板１４は・＞
ｔ−ｊ呆４る１、・ｔの拶、糾ばね３４を矢印Ｃ方向に
たわませ、従動プーリー２９を矢印り方向に回動させて
円４Ｐ１１４ｆ−取りｔして洗浄を終了する。
のＺ位置に移送される。円板１４は冷却パイプ２７によ
り冷却された洗浄液３に浸っていたことにより冷却され
ているから円板１４の表面で蒸気が凝結液化し非常に清
浄な洗浄液が流れおちてすすき洗浄が行なわれる。この
凝結液化は円板１４の温度が洗浄液の液化温度１で上昇
するまで行なわれる。なおこのすすき洗浄は洗浄液３の
Ｘ位置からＺ位置に引き上げる際に高圧洗浄により円板
１４から離脱し浮遊している油脂、異物のＦ＋骨付着除
去するのに有効である。すすき洗浄が終了すると次（（
円板１４はＺ位置よりＸ位置にゆ−）りりと引き上げら
れる円板１４が前記界面１１を越えて蒸気花度の低い領
域１３へ移送される時、円板１４の表面を濡らしていた
前記液化洗浄液はすノドやかに蒸発し、円板１４は・＞
ｔ−ｊ呆４る１、・ｔの拶、糾ばね３４を矢印Ｃ方向に
たわませ、従動プーリー２９を矢印り方向に回動させて
円４Ｐ１１４ｆ−取りｔして洗浄を終了する。
発明の効果
円板状の被洗浄物の内周部またりｉ外周部を複数個の回
転体で保持すると共に回転させて洗浄することにより被
洗浄物の保持位１６が′７’＋’＋に変化−１−るため
高圧の洗浄液のジェット流かとの位置にもあたり洗い残
しかない。
転体で保持すると共に回転させて洗浄することにより被
洗浄物の保持位１６が′７’＋’＋に変化−１−るため
高圧の洗浄液のジェット流かとの位置にもあたり洗い残
しかない。
才た被洗浄物の内周部たは外周部を複数個の回転体で保
持すると共に同転させることにより、被洗浄物の内外周
部の突起物を前記回転体で押し：）ぶして破砕除去する
ことかできる。
持すると共に同転させることにより、被洗浄物の内外周
部の突起物を前記回転体で押し：）ぶして破砕除去する
ことかできる。
なお、被洗浄物の両ｌｆ］］にノズルとおしのセッター
をずらして高圧ジェットノズルを設けて高圧の洗浄液の
ジェット流を回転する被洗浄物の両面に噴射し、被洗浄
物を走査させるようにすれは被洗浄物の両面及び内、外
周の端面捷で確実に洗浄できるＯ
をずらして高圧ジェットノズルを設けて高圧の洗浄液の
ジェット流を回転する被洗浄物の両面に噴射し、被洗浄
物を走査させるようにすれは被洗浄物の両面及び内、外
周の端面捷で確実に洗浄できるＯ
第１図１＝ｌＩ従来例における高圧ジェット洗浄装置の
口略購成図、第２図に本発明の一実施例（（おけ小心５
１４ジエツト洗浄装置の概略構成図、第３図は同装置の
被洗浄物回転機構部のモ面図、第４図は回出面図、第６
図は同装置の被洗浄物駆動部プーリーの外周部の詳細を
示す乎面図、第６図、第７図＋・、を同装置の被洗浄物
回転機構部の別の実施例を７□、す崖面図である。 ２ 洗浄槽、３／Ａ、浄液、４ 沸騰槽、６ 冷却パイ
プ、１８ 高圧ノズル、２３高圧ポンプ、２４ 高耐斤
フィルタ。 代理人の八−名 井理１丁 中 尾 敏 男 ほか１名
り目間 第２図 ℃、 第６図 第７図 ８
口略購成図、第２図に本発明の一実施例（（おけ小心５
１４ジエツト洗浄装置の概略構成図、第３図は同装置の
被洗浄物回転機構部のモ面図、第４図は回出面図、第６
図は同装置の被洗浄物駆動部プーリーの外周部の詳細を
示す乎面図、第６図、第７図＋・、を同装置の被洗浄物
回転機構部の別の実施例を７□、す崖面図である。 ２ 洗浄槽、３／Ａ、浄液、４ 沸騰槽、６ 冷却パイ
プ、１８ 高圧ノズル、２３高圧ポンプ、２４ 高耐斤
フィルタ。 代理人の八−名 井理１丁 中 尾 敏 男 ほか１名
り目間 第２図 ℃、 第６図 第７図 ８
Claims (5)
- （１）円形の穴部あるいは円形の外周部の少なくとも、
いずＪｌか１方を有する被洗浄物の円形部に当接する枚
数個の（１７１転可能な回転体とそれらの、回転体のう
ちの少なくとも１個を駆動して前記被洗浄物を回転せし
める」動手段と、前記被洗浄物に高圧−の洗浄液のジェ
ット流を噴射せしめる高圧ジェットの噴射手段と、前記
ジェット流を前記洗浄物の所要洗浄範囲に戸−）て走査
する手段とから構成してなる高１１゜／工、ト洗浄装置
。 - （２）高圧ジェット手段を、少なく吉もノズルと、この
ノズルへ高圧流体を供給する手段とから構成し、このノ
ズルを被洗浄物の両側に配置し両面同時（Ｃ洗浄するこ
とを特徴とする特ｉ’ｌ’ 請求の範囲第１頃記載の高
月ジ□ノド洗浄装置。 - （３）被洗浄物の両側に配置したノズルから噴射される
ジュツト流の位置か互いにずれるよう前記ノズルを設け
た羽π■請求の範囲第１珀記載の高Ｉ■ジェット洗浄装
置 - （４）回転体ケ破抗浄物の円形部に当接せ［−め、楼洗
浄′吻か回転駆動される時この・１接７％にてりｊｌ
ｉｌｌ、、、＋ −１７２部の突起物を押）Ｅ破砕した
後ジュツ］・流にて除去することを特徴とする特Ａ’ｆ
請求の範囲第１項記載の高Ｉｆ−ジェット洗浄装置。 - （５） 少なくとも駆動手段により駆動される回転体を
、被洗浄物と当接する外周部に摩擦係裏りの大きな材料
を設けた回転体により構成した特ｔｉＴ 請求の範囲第
１項記Ｃ朔ｉし１直。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10298684A JPS60246638A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 高圧ジエツト洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10298684A JPS60246638A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 高圧ジエツト洗浄装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60246638A true JPS60246638A (ja) | 1985-12-06 |
Family
ID=14342030
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10298684A Pending JPS60246638A (ja) | 1984-05-22 | 1984-05-22 | 高圧ジエツト洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60246638A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6443384A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-15 | Hitachi Ltd | Steam washing method and washer |
| JPH01231328A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 精密洗浄方法 |
| JPH03139832A (ja) * | 1989-10-25 | 1991-06-14 | Ebara Corp | ジェットスクラバー |
| CN117531760A (zh) * | 2024-01-10 | 2024-02-09 | 太原达盛昌自动化技术有限公司 | 一种新型电解钨丝清洗装置 |
-
1984
- 1984-05-22 JP JP10298684A patent/JPS60246638A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6443384A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-15 | Hitachi Ltd | Steam washing method and washer |
| JPH054155B2 (ja) * | 1987-08-12 | 1993-01-19 | Hitachi Ltd | |
| JPH01231328A (ja) * | 1988-03-11 | 1989-09-14 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 精密洗浄方法 |
| JPH03139832A (ja) * | 1989-10-25 | 1991-06-14 | Ebara Corp | ジェットスクラバー |
| CN117531760A (zh) * | 2024-01-10 | 2024-02-09 | 太原达盛昌自动化技术有限公司 | 一种新型电解钨丝清洗装置 |
| CN117531760B (zh) * | 2024-01-10 | 2024-03-19 | 太原达盛昌自动化技术有限公司 | 一种新型电解钨丝清洗装置 |
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