JPS60242685A - ガスレ−ザ - Google Patents
ガスレ−ザInfo
- Publication number
- JPS60242685A JPS60242685A JP60018816A JP1881685A JPS60242685A JP S60242685 A JPS60242685 A JP S60242685A JP 60018816 A JP60018816 A JP 60018816A JP 1881685 A JP1881685 A JP 1881685A JP S60242685 A JPS60242685 A JP S60242685A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oscillator
- optical
- gas
- laser
- cross
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
- H01S3/09713—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation
- H01S3/09716—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited with auxiliary ionisation, e.g. double discharge excitation by ionising radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0385—Shape
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/081—Construction or shape of optical resonators or components thereof comprising three or more reflectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0381—Anodes or particular adaptations thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0382—Cathodes or particular adaptations thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0384—Auxiliary electrodes, e.g. for pre-ionisation or triggering, or particular adaptations therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
肢東上の利用分野
本発明は、ガスを入れた族１１呈で元軸の方向に延びる
２ ｆｌａｔの主電極、場合によっては少なく予 ともｉ ｅの蒐備イオン化装筺ならびに全反射光学要素
及び部分透過出刃要素を有する発振器から成るガスレー
ず、特にＴＥシレーに関する。
２ ｆｌａｔの主電極、場合によっては少なく予 ともｉ ｅの蒐備イオン化装筺ならびに全反射光学要素
及び部分透過出刃要素を有する発振器から成るガスレー
ず、特にＴＥシレーに関する。
従来の技術
例えは距Ｍ ６１１１足の場合のような特定の用途にお
いては、この種のレーずに対して、比較的正確に限定さ
れかつ同時に満足させるべきいくつかの要求の出される
ことが多い。すなわち特定の用途に関しては、約２００
ｍｇの範囲の長さ°を有するコンパクトで小型な構造型
が要求される。
いては、この種のレーずに対して、比較的正確に限定さ
れかつ同時に満足させるべきいくつかの要求の出される
ことが多い。すなわち特定の用途に関しては、約２００
ｍｇの範囲の長さ°を有するコンパクトで小型な構造型
が要求される。
別の要求は出カニネルキー又は出方に関するものであり
、約１００ｍＪ又は約１Ｍｗが獲得されねはならない。
、約１００ｍＪ又は約１Ｍｗが獲得されねはならない。
また放射されたレーずビームは、システム％異的に制限
された、約３．５ ｍ ｒａｄの極めて小さい発散度を
有しなければならない。
された、約３．５ ｍ ｒａｄの極めて小さい発散度を
有しなければならない。
コンパクト性及び発散度に関する要求は、その発振器が
折返されねばならない基本モードレーデを使用するとい
つ認識に到達する、それというのもそうでない場合には
基本モード容量に関して全長約２００鰭で、この場合に
はようやく使用される小さい直径の場合にも、もはや、
出力エネルギー又は出力に関して出された要求を満足さ
せることはできないからである。
折返されねばならない基本モードレーデを使用するとい
つ認識に到達する、それというのもそうでない場合には
基本モード容量に関して全長約２００鰭で、この場合に
はようやく使用される小さい直径の場合にも、もはや、
出力エネルギー又は出力に関して出された要求を満足さ
せることはできないからである。
このようなレーデは実現化が極めて国難であり、電気的
、機械的及び光学的観点から費用のかかる構造及び多数
の１面々の要素の共働を条件とし、その結果これらの要
素の相互適合又は調整に関して猪因難が生じる。
、機械的及び光学的観点から費用のかかる構造及び多数
の１面々の要素の共働を条件とし、その結果これらの要
素の相互適合又は調整に関して猪因難が生じる。
発明が解決しようとする間趙点
従って本発明は、冒頭記載の１！［類のレーず−に関し
て前記要求を、できるだけ小さい費用と単純な構造で調
定させるという課題を基礎とする。
て前記要求を、できるだけ小さい費用と単純な構造で調
定させるという課題を基礎とする。
前記Ｈ順は、冒頭記載の揮類のレーずの場合、本発明に
より２１固の主電極の形状及び相互間隔が両生電極の間
に形成される、レーず放射のために利用可能な放電路の
輻が同放電路の高さの少なくとも２倍の大きさでありか
つ発振器が、前記放電路内でレーずビームを折返す少な
（とも１１向の元学賛素を有するように選択されかつ相
互に適合されていることによって解決される。
より２１固の主電極の形状及び相互間隔が両生電極の間
に形成される、レーず放射のために利用可能な放電路の
輻が同放電路の高さの少なくとも２倍の大きさでありか
つ発振器が、前記放電路内でレーずビームを折返す少な
（とも１１向の元学賛素を有するように選択されかつ相
互に適合されていることによって解決される。
本発明は、２個の主電極の間に生じる単一放電路に折返
し発振器を組込み、それによってこの放電路内部に、折
返し光軸を有する並列的に延びる数個の光路を形成する
という思想を基礎としている。この解決思想は、２個の
主電極の形成及び配置によって放電路が形成され、その
幅、つまり光軸に対して直角方向におけるレーず放射の
ために利用できる範囲が、放電路の高さ、つまり初めの
方向に対する直角方向におけるレーず放射のために利用
できる範囲の少なくとも２倍の大きさであることによっ
て実現化される。従って放電路の幅か都さの２倍に等し
い場合には、並列的に延びる２１固の光路が得られ、こ
の際光軸は１回折返されている。この場合もちろん、放
電路内で折返しを実現するためには、レーずビームを折
返す光学的要素は、同要素がこの放電路を過度に伸張す
る、つまり並列的に延びる光路の場合、には、同要素が
この際得られる、利用可能の両党路のレーザビームを十
分な幅で受取りかつ反射することができるように形成さ
れなけれはならない。
し発振器を組込み、それによってこの放電路内部に、折
返し光軸を有する並列的に延びる数個の光路を形成する
という思想を基礎としている。この解決思想は、２個の
主電極の形成及び配置によって放電路が形成され、その
幅、つまり光軸に対して直角方向におけるレーず放射の
ために利用できる範囲が、放電路の高さ、つまり初めの
方向に対する直角方向におけるレーず放射のために利用
できる範囲の少なくとも２倍の大きさであることによっ
て実現化される。従って放電路の幅か都さの２倍に等し
い場合には、並列的に延びる２１固の光路が得られ、こ
の際光軸は１回折返されている。この場合もちろん、放
電路内で折返しを実現するためには、レーずビームを折
返す光学的要素は、同要素がこの放電路を過度に伸張す
る、つまり並列的に延びる光路の場合、には、同要素が
この際得られる、利用可能の両党路のレーザビームを十
分な幅で受取りかつ反射することができるように形成さ
れなけれはならない。
本発明によるレーザにおいては、僅か２個の主電極の場
合に単一放電路への折返し発振器の組込みが実現されて
いるので、主要放電及び場合により用意される予備イオ
ン化に関しては僅かな貴素しか必賛ではない。これによ
って電気的観点では電極形態は極めて単純ではあるが、
電極配置及び−関係に関しては容易に調整することので
きる簡素な構造が得られ、個々の要素の可能な費用は極
めて少ない。このようなオリ点は光学的観点からは、２
１向の主電極のみの間に形成される単−放電路における
発振器の折返しにより、発振器折返し光学要素に関して
も侍られ、同歎素はこの場合にはよりコンパクトでかつ
より小さく設計することができ、ひいてはまた光学的に
より容易に製造することができる。
合に単一放電路への折返し発振器の組込みが実現されて
いるので、主要放電及び場合により用意される予備イオ
ン化に関しては僅かな貴素しか必賛ではない。これによ
って電気的観点では電極形態は極めて単純ではあるが、
電極配置及び−関係に関しては容易に調整することので
きる簡素な構造が得られ、個々の要素の可能な費用は極
めて少ない。このようなオリ点は光学的観点からは、２
１向の主電極のみの間に形成される単−放電路における
発振器の折返しにより、発振器折返し光学要素に関して
も侍られ、同歎素はこの場合にはよりコンパクトでかつ
より小さく設計することができ、ひいてはまた光学的に
より容易に製造することができる。
従って本発明によるレーずは、前記のすべての要求が、
極めて単純な電極形態の場合に極めて少ない費用及び簡
素な構造をもって一つの解決策で同時に満足されるとい
う利点を有する。
極めて単純な電極形態の場合に極めて少ない費用及び簡
素な構造をもって一つの解決策で同時に満足されるとい
う利点を有する。
本発明によるレーザの場合、主電極は有利には、該電極
がロゴビスキー又はチャック断面形（Ｒｏｇｏｗｓｋｙ
−ｏｄｅｒｃｈａｎｇ−Ｐｒｏｆｉｌ）に少なくとも類
似せる断面形を有するように形成されている。
がロゴビスキー又はチャック断面形（Ｒｏｇｏｗｓｋｙ
−ｏｄｅｒｃｈａｎｇ−Ｐｒｏｆｉｌ）に少なくとも類
似せる断面形を有するように形成されている。
それは、２個の主ｔ＆の間の全領域で防害的な電場の過
上昇が起らないことがその形状によって保証されている
断面形を意味する。 。
上昇が起らないことがその形状によって保証されている
断面形を意味する。 。
本発明によるレーデの特に有利な他の実施態様の場合に
は、少なくとも１個の主電極の幅の中央に光軸方向に延
びるくほみが形成されていて、放電路がその中央に光軸
方向に延びる減良帝域を有することが意図されている。
は、少なくとも１個の主電極の幅の中央に光軸方向に延
びるくほみが形成されていて、放電路がその中央に光軸
方向に延びる減良帝域を有することが意図されている。
この手段は、特に発振器に包含された光学要素に関して
有利である、それというのもこれらの光学要素又はその
鏡面が有するか又は鑓々の光学要素の間で形成される鰍
又は端が、し〜ず作用の点で著しくｒｆｃｆｆされた帯
域に存在していて、それＫよって傷害又は破壊から保護
され【いるように配置されるからである。この点で有オ
リな主電極の形状の場合にはくぼみは溝状に形成されて
おり、溝の断面形は主電極の断面形に適合されている。
有利である、それというのもこれらの光学要素又はその
鏡面が有するか又は鑓々の光学要素の間で形成される鰍
又は端が、し〜ず作用の点で著しくｒｆｃｆｆされた帯
域に存在していて、それＫよって傷害又は破壊から保護
され【いるように配置されるからである。この点で有オ
リな主電極の形状の場合にはくぼみは溝状に形成されて
おり、溝の断面形は主電極の断面形に適合されている。
つまり、溝断面形は、ロゴビスキー又はチャックの断面
形に少なくとも類似せる形を有しかつ電極の有効主要面
への溝の移行部で主電極の断面形に対応する適合された
形を有する。
形に少なくとも類似せる形を有しかつ電極の有効主要面
への溝の移行部で主電極の断面形に対応する適合された
形を有する。
本発明によるレーデの場合、レーずビームを折返す光学
要素は、相互に直角を成しかつ光軸に対してそれぞれ４
５°の角を成す２蘭の鏡面を有する。この場合前記折返
し要素は鴇々の形で形成されていてもよい。すなわち折
返し要素として、前記のように放電路に対回せる側で鏡
面を用いて形成されたリッジプリズム（Ｄａｃｋｋ−ａ
ｕｔｐｒｉｓｍａ）又はプリズムを使用してもよい。
要素は、相互に直角を成しかつ光軸に対してそれぞれ４
５°の角を成す２蘭の鏡面を有する。この場合前記折返
し要素は鴇々の形で形成されていてもよい。すなわち折
返し要素として、前記のように放電路に対回せる側で鏡
面を用いて形成されたリッジプリズム（Ｄａｃｋｋ−ａ
ｕｔｐｒｉｓｍａ）又はプリズムを使用してもよい。
また−外的折返し要素の代りに２１向の単一な鋭又はプ
リズムが設けられてもよい。
リズムが設けられてもよい。
本発明によるレーずの有利な実施例は、一方の発振器側
には部分透過出方要素及び全反射光学焚素が一緒に配置
されておりかつ反対位置の発振器側にはレーザ°ビーム
を折返す光学要素が配置されている構造の発振器を有す
る。この場合部分透過出力要素及び全反射光学要素とし
て２個の別個の鏡を設けるか又は出カ嶽素及び全反射要
素を共通の支持体上に配置しかつ支持体によって異なる
改良をもって形成することもできる。
には部分透過出方要素及び全反射光学焚素が一緒に配置
されておりかつ反対位置の発振器側にはレーザ°ビーム
を折返す光学要素が配置されている構造の発振器を有す
る。この場合部分透過出力要素及び全反射光学要素とし
て２個の別個の鏡を設けるか又は出カ嶽素及び全反射要
素を共通の支持体上に配置しかつ支持体によって異なる
改良をもって形成することもできる。
次に本発明によるレーずの好ましい実施例を図面により
詳述する。
詳述する。
実施例
第１図及び第２−によるレーザは、気体を入れた放電１
を有するＴ Ｒ（ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅｌｙ ｅｘ−ｃ
ｌｔｅａ）レーず、特にＣ０２レーザであって、この放
電室は例えは円形横断面を有する中空体２（一点破線に
よって示す）によって形成されておりかつ発振器室を包
含する。また同放電室１は、光軸１５．１５’の方向に
相互に平行に延び、相対していて、対回せる外部輪郭に
関してはロゴビスキー又はチャック断面形に少なくとも
類似せる１ｌｙｒ向形を有する２ １１ｉ！ｉｔの主電
極３及び４から成るｔ＆系を有する。この際主電極の一
つは基準にあるが、他の主電極は高電圧（ＨＶ）にある
。しかしまた両電極が異なる電位を有する高電圧にあっ
てもよい。圧電極３及び４は放電を起すので、両電極の
間にはレーずビームの貫通される放電路５が形成されて
いる。電極系はさらに、主電極３．４のわきに配置され
かつ同様に光軸１５．１５’方向に延びる２個の予備イ
オン化装［（点線で示す）も有する。全電極系は自体公
知の構造を有することができる。すなわち本発明の構造
の場合には、例えは比較的古い西独国特許出願第Ｐ３３
１３８１１．７号に詳述されていて、同出顧ではＴＥガ
スレーずのために使用された、主を極及び予備イオン化
用補助電極から成る電極系が好適である。
を有するＴ Ｒ（ｔｒａｎｓｖｅｒｓｅｌｙ ｅｘ−ｃ
ｌｔｅａ）レーず、特にＣ０２レーザであって、この放
電室は例えは円形横断面を有する中空体２（一点破線に
よって示す）によって形成されておりかつ発振器室を包
含する。また同放電室１は、光軸１５．１５’の方向に
相互に平行に延び、相対していて、対回せる外部輪郭に
関してはロゴビスキー又はチャック断面形に少なくとも
類似せる１ｌｙｒ向形を有する２ １１ｉ！ｉｔの主電
極３及び４から成るｔ＆系を有する。この際主電極の一
つは基準にあるが、他の主電極は高電圧（ＨＶ）にある
。しかしまた両電極が異なる電位を有する高電圧にあっ
てもよい。圧電極３及び４は放電を起すので、両電極の
間にはレーずビームの貫通される放電路５が形成されて
いる。電極系はさらに、主電極３．４のわきに配置され
かつ同様に光軸１５．１５’方向に延びる２個の予備イ
オン化装［（点線で示す）も有する。全電極系は自体公
知の構造を有することができる。すなわち本発明の構造
の場合には、例えは比較的古い西独国特許出願第Ｐ３３
１３８１１．７号に詳述されていて、同出顧ではＴＥガ
スレーずのために使用された、主を極及び予備イオン化
用補助電極から成る電極系が好適である。
発振器量は、相対する２つの端面で、相互に平行でかつ
光軸１５．１５’に対して直角平面を成しており、就中
発振器要素の保持のために用いられている壁７及び８に
よって限定される。
光軸１５．１５’に対して直角平面を成しており、就中
発振器要素の保持のために用いられている壁７及び８に
よって限定される。
光発振器は全反射光学要素９及び部分透過出力蚤累１０
かも成り、両嶽素は蜆として形成されており、ここでは
同発振器の一方の側の端壁７中に組込まれている。しか
しまた他のいろいろな説の配置も可能である。すなわち
蜆９及び１０はまた、例えは別個の平面に、従って元軸
１５．１５’の方向に関して前後に配置され、共通の支
持体上に異なる改良をもって形成されるか又は発振器の
別々の端面上に設けられてもよい。
かも成り、両嶽素は蜆として形成されており、ここでは
同発振器の一方の側の端壁７中に組込まれている。しか
しまた他のいろいろな説の配置も可能である。すなわち
蜆９及び１０はまた、例えは別個の平面に、従って元軸
１５．１５’の方向に関して前後に配置され、共通の支
持体上に異なる改良をもって形成されるか又は発振器の
別々の端面上に設けられてもよい。
また発振器は、前記鋭に対向する発振器端面に配置され
かつ場合によっては他方の端壁８に組込まれた他の２個
の完全反射鏡１１及び１２も有する。両鏡は相互に＠角
を成しかつ光軸１５゜１５′に関しては４５°の角を形
成する。これらの鋭は、図面では２部分から取り、放電
路内のレーずビームを折返すための光学要素１３を形成
する。しかし光学的折返し要素は一部分から成っていて
もよいが、いづれにしても常に出力鏡１０の向い側に配
置されていて、四袂素が放電路を過度に伸張する、つま
り使用可能のレーずビームを十分な幅で受取るように形
成されている。こノ場合＊９，１０及び１１，１２から
成る発振器及び電極糸３，４及び６は、発振器要素が両
生電極３，４０間及び両予備イオン化装置６の間で、し
かも主電極３．４の間に生じる放電路５の外部の端面に
存在するように、常に相互に配置されている。全反射線
９によって反射されたレーザビームは、主電極３．４の
間の自白空間で光学的折返し要素１３の向い側のｗｌｌ
ｌに入射する。鏡１１はこれに対向する鏡１２に対して
光路を９０°転向し、鏡１２は光路なもう一度９０°転
向し、その結果折返えされたレーずビームは元軸分板１
５′の方向に戻りかつ部分透過出力＊１０に入射し、こ
の鏡を部分的に通過して矢１４の方向から外に出る。従
つて本発明によるレーずの場合には、主電極３及び４０
間に形成される放電路に折返し発振器が組込まれている
。これによってこの放電路内には、並列的に走る光路５
ａ及び５ｂが形成され、この際光路５ａの光軸は要素１
３によって元ｗｆｓｂ中に折返されるので、元軸は相互
に半行な２１固の分枝１５及び１５′を有する。主電極
３及び４の形状及び相互間隔は、レーずビームのために
使用できる放電路５の幅Ｂが同放電路の高さＨの少なく
とも２倍の大きさであるように選択されかつ互いに適合
されている。また第１−にも図示してあり、ここでは放
電路５を斜縁によって明示してあり、他方光学的にオリ
用される放１！部分を点で図示した円１６ａ及び１６ｂ
によって示しである。つまり本例の場合には同じ幅及び
高さを有する２個の光路が生じる、すなわちｆなは正方
形断面を有する２個の光路が形成さる。しかし発振器の
光学要素の縁又は周辺を損傷から保躾するために、２個
の光路５ａ及び５ｂの間にレーず放射の減衰された帯域
が形成されている。第１図ではこの帯域を斜線の施して
ない狭い範囲５ｃによって図示しである。
かつ場合によっては他方の端壁８に組込まれた他の２個
の完全反射鏡１１及び１２も有する。両鏡は相互に＠角
を成しかつ光軸１５゜１５′に関しては４５°の角を形
成する。これらの鋭は、図面では２部分から取り、放電
路内のレーずビームを折返すための光学要素１３を形成
する。しかし光学的折返し要素は一部分から成っていて
もよいが、いづれにしても常に出力鏡１０の向い側に配
置されていて、四袂素が放電路を過度に伸張する、つま
り使用可能のレーずビームを十分な幅で受取るように形
成されている。こノ場合＊９，１０及び１１，１２から
成る発振器及び電極糸３，４及び６は、発振器要素が両
生電極３，４０間及び両予備イオン化装置６の間で、し
かも主電極３．４の間に生じる放電路５の外部の端面に
存在するように、常に相互に配置されている。全反射線
９によって反射されたレーザビームは、主電極３．４の
間の自白空間で光学的折返し要素１３の向い側のｗｌｌ
ｌに入射する。鏡１１はこれに対向する鏡１２に対して
光路を９０°転向し、鏡１２は光路なもう一度９０°転
向し、その結果折返えされたレーずビームは元軸分板１
５′の方向に戻りかつ部分透過出力＊１０に入射し、こ
の鏡を部分的に通過して矢１４の方向から外に出る。従
つて本発明によるレーずの場合には、主電極３及び４０
間に形成される放電路に折返し発振器が組込まれている
。これによってこの放電路内には、並列的に走る光路５
ａ及び５ｂが形成され、この際光路５ａの光軸は要素１
３によって元ｗｆｓｂ中に折返されるので、元軸は相互
に半行な２１固の分枝１５及び１５′を有する。主電極
３及び４の形状及び相互間隔は、レーずビームのために
使用できる放電路５の幅Ｂが同放電路の高さＨの少なく
とも２倍の大きさであるように選択されかつ互いに適合
されている。また第１−にも図示してあり、ここでは放
電路５を斜縁によって明示してあり、他方光学的にオリ
用される放１！部分を点で図示した円１６ａ及び１６ｂ
によって示しである。つまり本例の場合には同じ幅及び
高さを有する２個の光路が生じる、すなわちｆなは正方
形断面を有する２個の光路が形成さる。しかし発振器の
光学要素の縁又は周辺を損傷から保躾するために、２個
の光路５ａ及び５ｂの間にレーず放射の減衰された帯域
が形成されている。第１図ではこの帯域を斜線の施して
ない狭い範囲５ｃによって図示しである。
これによって本例の場合にはその中間に減良帯域５Ｃを
有する２伽の光路５ａ及び５ｂが形成され、前記帯域は
、２個の主電極３，４が相互に対回せる面の各電極の鴨
の中央に各１個の溝状くほみ１７を有することによって
生じ、この際溝の断面形が主電極の断面形にぴったり適
合している。つまり第１図で同様に点で図示したくほみ
１１は有効電極主要面への移行部でロゴビスキー又はチ
ャックの断面形に適合した形状を有する。従って第２図
からも判るように、発振器の光学振素の相互に近接した
銚縁又は鋭端、例えは僅かな間隔を置いて相互に配置さ
れた鋭１１及び１２のｍ＊１１ａ及び１２ａ又は光学折
返し要素を一体のリッジプリズム（Ｄａｃｈｋａｎ−ｔ
ｐｒｉｓｍａ）として形成する場合には同プリズムのリ
ッジがほとんどレーず放射の作用を受けず、従って十分
に破壊から株数される。
有する２伽の光路５ａ及び５ｂが形成され、前記帯域は
、２個の主電極３，４が相互に対回せる面の各電極の鴨
の中央に各１個の溝状くほみ１７を有することによって
生じ、この際溝の断面形が主電極の断面形にぴったり適
合している。つまり第１図で同様に点で図示したくほみ
１１は有効電極主要面への移行部でロゴビスキー又はチ
ャックの断面形に適合した形状を有する。従って第２図
からも判るように、発振器の光学振素の相互に近接した
銚縁又は鋭端、例えは僅かな間隔を置いて相互に配置さ
れた鋭１１及び１２のｍ＊１１ａ及び１２ａ又は光学折
返し要素を一体のリッジプリズム（Ｄａｃｈｋａｎ−ｔ
ｐｒｉｓｍａ）として形成する場合には同プリズムのリ
ッジがほとんどレーず放射の作用を受けず、従って十分
に破壊から株数される。
本発明のレーザの場合にはまた、レーずビ−ムを二度以
上折返すことも可能である。この場合には第２図の出力
歎累の位置に第１番目の折返し要素１３に対間する第２
ｉ目の折返し要素が存在することになり、そうすると出
力鏡１０は第２番目の枡返し歎巣の向い側に、つまり第
１査目の折返し要素の側に配置されなければならない。
上折返すことも可能である。この場合には第２図の出力
歎累の位置に第１番目の折返し要素１３に対間する第２
ｉ目の折返し要素が存在することになり、そうすると出
力鏡１０は第２番目の枡返し歎巣の向い側に、つまり第
１査目の折返し要素の側に配置されなければならない。
このような配置の場合には光軸は２回折返され、従って
合せて３つの相互に平行な枝を有する。
合せて３つの相互に平行な枝を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明によるレーずの原理的構造の略示横断面
図であり、第２図は第１図によるレーずの■−…断面図
である： １・・・故電室、３，４・・・主電極、５・・・放電路
、５Ｃ・・・減衰帯域、９・・・全反射光学要素、１０
・・・部分透過出力要素、１１．１２・・・鏡面、１３
・・・レーずビームを折返す光学要素、１５．１５’・
・・□゛ 元軸、１γ・・・くぼみ
図であり、第２図は第１図によるレーずの■−…断面図
である： １・・・故電室、３，４・・・主電極、５・・・放電路
、５Ｃ・・・減衰帯域、９・・・全反射光学要素、１０
・・・部分透過出力要素、１１．１２・・・鏡面、１３
・・・レーずビームを折返す光学要素、１５．１５’・
・・□゛ 元軸、１γ・・・くぼみ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 カスを入れた放％呈で光軸の方向に処びる２個の
主電極ならびに全反射光学！ｌＩ素及び部分透過出力要
素を有する発振器から成るガスレーザにおいて、２個の
主を極の形状及び相互間隔か、両生′電極の間に形成さ
れている、レーザ放射のためにオリ用可舵な放電路（５
）の幅（Ｂ）が同放電路の高さくＨ）の少なくと毛２倍
の大きさでありかつ発振器が前記放電路内でレーザビー
ムを折返す少なくとも１１１６ｊの光学要素（１３）を
有するように選択されかつ相互に適合されていることを
特許どする前記ガスレーザ。 ２、 レーザビームを折返す光学兼素（１３）が、相互
に直角を成しかつ光＠（１５，１５’）に対してそれぞ
れ４５°の角を形成する２個の鏡（６）（１１，１２）
を有する特許請求の範囲第１項記載のガスレーザ。 ３、主１ｉ＆（３，４）かロゴビスキー又はチャックの
断面形に少なくとも類似せる断面形を有する特許請求の
範囲第１項又は沈２項に記載のガスレーず。 ４、主電極（３，４）の少なくとも１個のその幅の中央
に元軸（１５，１５’）の方向に嬌びるくほみ（１７）
が設けられていて、放電路（５）が中央に元＠（１５，
１５’）の方向に延びる絨哀帯域（５Ｃ）を有する特許
請求の範囲第１項から第６項までのいづれか１項に記載
のガスレーず。 ５、＜はみ（１７）が溝状に形成されていて、溝断面形
が主電極（３，４）の断面形に適合されている特許請求
の範１１１１４項記載のガスレーザ。 ６、発振器の部分透過出力要素（１０）及び全反射光学
要素（９）が一方の発振器側に配置されておりかつレー
ずビームを折返す元学費素（１３）が対向する発振器側
に配置されている特許請求の範囲第１項から第５項まで
のいづれか１項に記載のガスレーす。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3403841.8 | 1984-02-03 | ||
| DE19843403841 DE3403841A1 (de) | 1984-02-03 | 1984-02-03 | Gaslaser, insbesondere te-laser |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60242685A true JPS60242685A (ja) | 1985-12-02 |
Family
ID=6226726
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60018816A Pending JPS60242685A (ja) | 1984-02-03 | 1985-02-04 | ガスレ−ザ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0152570B1 (ja) |
| JP (1) | JPS60242685A (ja) |
| DE (2) | DE3403841A1 (ja) |
| NO (1) | NO169147C (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6327078A (ja) * | 1986-07-18 | 1988-02-04 | Fanuc Ltd | ガスレ−ザ装置 |
| US5042047A (en) * | 1987-03-19 | 1991-08-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laser apparatus |
| DE3716873A1 (de) * | 1987-05-20 | 1988-12-01 | Fraunhofer Ges Forschung | Gaslaser |
| DE3923624A1 (de) * | 1989-07-17 | 1991-01-31 | Siemens Ag | Verfahren zum betrieb eines gaslasers, insbesondere eines co(pfeil abwaerts)2(pfeil abwaerts)-lasers, mit gasstroemung quer zu seiner optischen achse und gaslaser zur durchfuehrung des verfahrens |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127773A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | パルス発振レ−ザ装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2640668A1 (de) * | 1976-09-09 | 1978-03-16 | Max Planck Gesellschaft | Verfahren zum betrieb eines gaslasers und gaslaser zur durchfuehrung des verfahrens |
| EP0001032B1 (de) * | 1977-08-18 | 1981-02-25 | ELTRO GmbH Gesellschaft für Strahlungstechnik | Gaslaser mit transversaler Anregung |
| DD136680A1 (de) * | 1978-02-07 | 1979-07-18 | Werner Schramm | Elektrodenanordnung zur erzeugung mehrerer geometrisch getrennter gaslaserimpulse |
| DE3126375C2 (de) * | 1981-07-03 | 1986-11-13 | Kraftwerk Union AG, 4330 Mülheim | Transversal angeregter Hochenergielaser |
| DE3136447A1 (de) * | 1981-09-14 | 1983-03-24 | Kraftwerk Union AG, 4330 Mülheim | Laser des te-typs, insbesondere hochenergielaser |
-
1984
- 1984-02-03 DE DE19843403841 patent/DE3403841A1/de not_active Withdrawn
- 1984-12-06 DE DE8484114844T patent/DE3483097D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1984-12-06 EP EP84114844A patent/EP0152570B1/de not_active Expired - Lifetime
-
1985
- 1985-01-21 NO NO850248A patent/NO169147C/no unknown
- 1985-02-04 JP JP60018816A patent/JPS60242685A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60127773A (ja) * | 1983-12-14 | 1985-07-08 | Mitsubishi Electric Corp | パルス発振レ−ザ装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3483097D1 (de) | 1990-10-04 |
| NO850248L (no) | 1985-08-05 |
| EP0152570B1 (de) | 1990-08-29 |
| NO169147B (no) | 1992-02-03 |
| EP0152570A3 (en) | 1987-09-16 |
| NO169147C (no) | 1992-05-13 |
| EP0152570A2 (de) | 1985-08-28 |
| DE3403841A1 (de) | 1985-08-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0310241B1 (en) | High efficiency mode matched solid state laser with transverse pump | |
| US4908832A (en) | High efficiency mode-matched solid-state laser with transverse pumping | |
| US5946337A (en) | Hybrid laser resonator with special line narrowing | |
| JP3071360B2 (ja) | リニアアレイレーザダイオードに用いる光路変換器及びそれを用いたレーザ装置及びその製造方法 | |
| US6778732B1 (en) | Generation of high-power, high brightness optical beams by optical cutting and beam-shaping of diode lasers | |
| US4894839A (en) | High efficiency mode-matched solid-state laser with transverse pumping | |
| US3711788A (en) | Laser apparatus | |
| US6101199A (en) | High power high efficiency cladding pumping fiber laser | |
| US4837771A (en) | High-efficiency mode-matched solid-state laser with transverse pumping and cascaded amplifier stages | |
| US6377599B1 (en) | Focusability enhancing optic for a laser diode | |
| US5148443A (en) | Laser | |
| KR101033759B1 (ko) | 반도체 레이저 장치 | |
| JP4804313B2 (ja) | 露光装置用狭帯域レーザ装置 | |
| RU99105608A (ru) | Лазерное устройство | |
| US4564949A (en) | Folded cavity laser for holography | |
| EP0358464B1 (en) | Laser devices and laser system including the laser devices | |
| US6160934A (en) | Hollow lensing duct | |
| US4173001A (en) | Laser apparatus | |
| US4642809A (en) | Slab active lasing medium | |
| US4912713A (en) | Solid state laser rod for optimizing efficiency and minimizing wave front distortion | |
| JPS60242685A (ja) | ガスレ−ザ | |
| US3641458A (en) | Mode selective laser with small feedback reflector and diffraction coupled output | |
| EP0121069A2 (en) | Reflecting system for improving the uniformity of a light beam | |
| US4672616A (en) | Single-mode laser | |
| US5566195A (en) | Intracavity raman laser |