JPS60239609A - アブソリユ−ト位置の検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野コ 本発明は、リニアテーブルやロータリテーブル等の現在
位置をアブソリュート位置検出器を応用して絶対量で検
知する検知装置に係り、特にテーブル−ヒ等にもう１つ
の検出器を用意し、ハイブリッド方式によりその絶対量
を高精度に算出する装置に関する。

［前足技術とその問題点］ 従来提案されているアブソリュート値の検知方法は、例
えば工作機械に供されているものを考えると、成る１つ
の座標軸方向（Ｘ軸方向）に対してそのＸ軸方向の駆動
系から回転量を取出し、この回転量を２段ないし３段か
らなる減速機構に与え、その各減速回転軸に取付けられ
た回転検出器の１回転以内の値を組合せることによって
アブソリュート値とする方法であった。

しかしながら、この従来例においては、■有効ａＩＩＩ
定範囲を拡大しようとすると、減速機構が大型化し、そ
の慣性モーメントも増大する。（り〉各回転軸」−の値
は互いに重みが異なっているため、つまり各回転軸の１
回転当りの被移動部材（例えばテーブル）の移動量が異
なっているため、誤差が生じやすい１等の問題がある。

このことから、減速機構の各安よ、主として歯車や軸受
部材等の機械的精度は、工作機械の稼動に伴なう振動や
斤耗等にもかかわらず、常に高精度に維持しておかなけ
ればならない。

そこで、本出願人は、先に、このような問題点を解決す
るものとして、特願昭５７−１９９８８２号を提案した
。このものは、被測定部材の機械的連動に関し予め定め
られた基準状態位置からの機械的変化量をアブソリュー
ト値として検知する方法であって、それぞれ異なる所定
の機械的変化量に対応した周期の電気信号を発する複数
の検出器からなる検知手段を用意し、前記各周期に対応
する電気信号を前記検知手段から取出して記憶保持し、
次いで前記機械的変化量に伴う前記検知手段の中の１つ
（第１検出器）と前記被測定部材との相対的機械的変化
量を、前記第１検出器に対応する前記周期（第１の周期
）の整数倍の値および同周期の値を前記検知手段の中の
他の検出部に対応する周期および回能の検出部から得ら
れ前記記憶保持された値とを用いて決定する手順を用い
ることにより、アブソリュート位置を検知しようとする
ものである。

その結果、この方法により、複数の周期を有する検出部
からのデータを組合せてアブソリュート位置を算出する
方法であるから、従来のような各検出器からの測定デー
タ間の重みがなく、測定誤差についての制約がほとんど
ない旧、歯車列においても、慣性モーメントをすくなく
でき、かつ歯車の摩擦による誤差の発生に対する対策が
ほとんど不要となった。

ところが、この方法の場合、被測定部材に対し、それぞ
れ異なる所定の機械的変化量に対応した周期の電気信号
を発する検出器を複数個、少なくとも３つ以上用意しな
ければならないので、高価となる欠点がある６ ［発明の目的］ ここに、本発明の目的は、先のアブソリュート位置の検
知方法を応用して、リニアテーブルやロータリーテーブ
ル等の被測定部材の現在位置を、比較的簡素な構成で、
絶対量として高精度に検知する検知装置を提供すること
にある。

［問題点を解決するための手段および作用コそのため、
本発明は、被測定部材の機械的な運動に関し、予め定め
られた基準状態位置からの移動量をアブソリュート値と
して検知する装置であって、被測定部材に対し移動量に
対応する周期または振幅の電気信号を発生する第１の検
出器と、被測定部材に対し移動量に一致するアブソリュ
ート値が検知可能な第２の検出器と、前記第１−の検出
器および第２の検出器からの出力信号に基づき被測定部
材のアブソリュート位置をめる演算手段と、を備えたこ
とを特徴としている。

［実施例コ １１立１１遺 第１図は本発明の第１の実施例を示している。

同図において、同期モータ３０の出力軸４１の一端側に
はポールねじ４２が連結され、このポールねじ４２にテ
ーブル３１が螺合され、前記モータ３０の回転によりテ
ーブル３１かＸ軸方向へ進退するようになっている。ま
た、モータ３０の出力軸４１の他端側にはカップリング
４３を介してｌｘ−ｉ　ｏｘのレゾルバ３３が連結され
ている。更に、レゾルバ３３には、カップリング４４を
介してアブソリュート位置検出器３４が連結されている
。つまり、モータ３０、レゾルバ３３およびアブソリュ
ート位置検出器３４が同軸上で一体的に回転可能に構成
されている。

ｔ）カ記レゾルバ３３およびアブソリュート位置検出器
３４には、その−次側励磁巻線に対して励磁電流を供給
するだめの電線３５がドライバ／コンバ−フ回路３２か
ら＃１ｉ続されている。また、レゾルバ３３およびアブ
ソリュート位置検出器３４からの二次側出力信号Ｐ　＋
　、　Ｐｒｏ　、　Ｐ、−は・電線３６．３７．３８を
通じてドライバ／コンバータ回路３２ヘフイートパンク
されている。

トライ／＜／コンバータ回路３２ヘフィードバックされ
た信号Ｐ＋　、Ｐｒｏ　、Ｐ＾は、そこで位置データに
変換された後、ライン３９を介して中央処理装置（ＣＰ
Ｕ）４０へ送られる。ＣＰＵ４０では、前記トライバ／
コン／ヘータ３２から与えられる位置データを基に後述
する手順に従ってレゾルバ３３（モータ３０）の絶対角
度を算出し、これと７ブソリユー１・位置とを併用して
テーブル３１の現在位置を検知する。

く絶対角度の算出〉 いま、１ｌｌｌにおいて、モータ３０、レゾルバ３３の
０点か互いに一致するように、モータ３０とレゾルバ３
３とが結合されているものとする。

ただ゛し、レゾルバ３３の１ｘ検出部とｌＯｘ検出部と
は０点が互いに一致するよう予め調整されている。

この状態から、テーブル３１をＸ軸方向へ移動させるた
めに、モータ３０を０．、度回転させると、レゾルバ３
３からの信号Ｐ＋、Ｐｒｏは第２図のようになる。この
第２図において、レゾルバ３３のＩＸ検出部からのフィ
ードパ・ンク信号Ｐ＋およびｌＯｘ検出部からのフィー
ドバック信号Ｐ　＋。

は、ドライバ／コンバータ３２により位置データＰ　＋
　（ｕ）　、　Ｐ　＋ｏ　（ｖ）にそれぞれ変換される
。また、モータ３０のθ。度回転時に得られる位置デー
タは、それぞれｕｎ、Ｖｏで表わされる。

このとき、レゾルバ３３およびモータ３０の絶対角度Ｏ
９は、 オｌ、Ｎ−（，３６０／２０００　［’／パルス］と精
度がかなり粗な分解能となるため、ｌＯｘ検出部からの
位置データｖ、、を併用して３６０／／２００００［０
／パルス］の精度で絶対角度θ。をめると、 （２） となる。ただし、１ＦｉＸ（Ｑ）はＱの整数化を意味す
る。

以にのことから、レツルバ３３およびモータ３０の絶対
角度θ。をＵ。、ｖｏを用いて高精度に算出することが
できる。これは、モータ３０が同期型モータの場合に有
効で、電源の立上りの際算出した絶対角度を用いてモー
タを直接駆動させることがでｙる。

く測定誤差〉 第１図に関するこれまでの説明は、測定された位置デー
タｕＱ＋ｖＱにおける誤差について考成しなかった場合
の算出方法を示すものであった。

しかし、実際には、これらの位置データＵＱ　、Ｖ。に
は測定時において、電気的分解能による量子化誤差やレ
ゾルバ３３のｌＸ−１０Ｘ検出部の結合ｍ整からの機械
的誤差が含まれるため、理論値と異なった位置データが
得られる。このため、次にこうした誤差の変動範囲を調
べる。

まず、第１図のレゾルバ３３がモータ３０の回転により
絶対角度θで停止したとき、得られる位置データｕ、ｖ
を・ ｕ＝ｕ７＋Δｕ　（３） Ｖ＝Ｖ７＋△Ｖ　（４） とする。ここで、ｕＴ＋ｖＴは真値、△Ｕ、ΔＶは誤差
である。

いま、ｌＯｘ検出部から得られる位置データＶにおいて
、絶対角０［０コがＶ＝Ｏに予め調整されているものと
する。このとき、式（４）における誤差△Ｖは電気的分
解能による誤差（１パルス）のみとなり、たかだか３６
０／２００００［０］である。これは、位置データＶに
おける精度と等しい値になるため、調整不可能な測定誤
差である。また、ＩＸ検出部から得られる位置データＵ
においては、ｕ＝０がＶ＝Ｏに合うようにｌＸ−１０Ｘ
検出部の調整が行なわれている。しかし、この調整には
、必ず機械的誤差が含まれ、式（３）における誤差ΔＵ
は主にこの機械的誤差による影響と考えられる。

以上のことから、ＩＸ検出部より得られる位置データの
結合調整時に許容できる機械的誤差量を±３［０］以内
とし１位置データＵ＝Ｏ近傍にＶ＝０が存在するように
結合調整を規定する。これにより、位置データＵの誤差
ΔＵがとり得る実誤差パルス数〔ΔＵ］は。

夕±１７［パルス］　（５） となり、式（３）における位置データＵは次項の変動領
域をとる。

＋「１ｕ　＝　（１９９９、０）近傍時に、＜ｕｖ　１
７）≦Ｕ≦１９９９　（６）２いは、 ＜ｕＴ＋１７＞≧Ｕ≧０（７） （おｕ＃（１９９９、Ｏ）近傍時に。

ｕ７−１７≦Ｕ≦ｕ７　＋　１７　（８）と定義する。

なお、ここで、＜Ｄ＞は、Ｄ≧０ならばＤ　−１ＦｉＸ
　［０／２０００］　舎２０００、Ｄ＜Ｏならば２００
０十〇である。即ち、第３図に示す如く、０点近傍にお
いて、ｐ＋（ｕ）はＰＩＯ（マ）に対して誤差パルス数
分の位相ずれを起すことになる。

ところで１式（２）における絶対角度θ。は、上記に示
した測定誤差ΔＵに関して考慮がされていないため、誤
差による影響がそのままθ。に加わってくる。そのため
、次項でその補正方法について述べる。

く絶対角度誤差の補正〉 レゾルバ３３のｔＸ検出部とｌＯｘ検出部との０点を結
合調整する際、第３図に示すように、ａ）位相遅れ、ｂ
）位相進み、の２通りが毒えられる。

ａ）位相遅れは、ＩＸ検出部より得られる位置データ波
形ｐ＋（ｕ）がｌＯｘ検出部より得られる位置データ波
形Ｐｒｏ（ｖ）より位相遅れ（最大１７パルス）がある
場合、ｂ）位相進みは、ＩＸ検出部より得られる位置デ
ータ波形Ｐ　＋　（ｕ）がｌＯｘ検出部より得られる位
置データ波形Ｐ＋ａ（マ）より位相進み（最大１７パル
ス）がある場合、である。

いま、第４図に示す如く、モータ３０が０点より回転し
、レゾルバ３３が任意の角度θで停止したとき、位置デ
ータＵに結合調整時において機械的誤差による最大±１
７パルスの測定誤差が含まれるとする。このため１位置
データＶが（１９９９，０）近傍を示したとき、３６０
／２００００［０／パルス］の精度で絶対角度を算出す
る際、式（２）の一般式、 に対して補正が必要になる。

このことから、絶対角度を３６０７２００００［０／パ
ルス］の精度で導出するレゾルバ３３の１０Ｘ検出部を
基本として、正確な絶対角度０．。

本を算出すると、第５図のフローチャートになる。ここ
では、ＳＴＰ　１において、位置データＵ。、ｖｏを用
いて誤差を含まない値として絶対角度を算出し、それを
θ。とおく。５ＴＰ２において、位置データＵ。の値を
ｌＯ等分割した際に、各区分の前部にある（ＹＥＳとな
る）ときは５ＴＰ３へ移り、位置データｖ０をチェック
する。また、それ以外の（Ｎｏとなる）ときは５ＴＰ５
へ移り、再度位置データＵ。をチェックする。５ＴＰ３
において、位置データｖ０が１８３０より大きい（ＰＩ
ｏ（マ）が１周期分湯る直前）かどうかチェックし、Ｙ
ＥＳとなると５ＴＰ４へ移る。ＮＯとなるときは５ＴＰ
８へ移り補正は無しとなる。５ＴＰ４では、５ＴＰＩで
得られたθ。に（補止値−３６）を加え５ＴＰ８へ移る
。

また、５ＴＰ５において、位置データＵ。の値をｌＯ等
分割した際に、角区分の後部にある（ＹＥＳとなる）と
きは５ＴＰ６へ移り、位置データＶＱをチェックする。

また、それ以外の（Ｎｏとなる）ときは、５ＴＰ８へ移
り補正は無しとなる。５ＴＰ６において、位置データＶ
。が１７０より小さい（Ｐ　＋ｏ　（マ）が１周期分湯
た直後）かどうかチェックし、ＹＥＳとなると５ＴＰ７
へ移る。ＮＯとなるときは５ＴＰ８へ移り補正は無しと
なる。５ＴＰ７ではＳＴＰ　ｌでられたＯ、、に補止値
＋３６を加え５ＴＰ８へ移る。以上により、５ＴＰ８に
おいて、正確な絶対角度θ。末をめる。

くアブソリュート位置〉 アブソリュート位置検出器３４からのフィードバック信
号Ｐへは、ドライバ／コン八−夕３２を介してＣＰＵ４
０へ取込まれ、そこでアブソリュート位置データに変換
される。これにより、モータ３０のＯ９度回転時に得ら
れるアブソリュート位置データをＡ。とすると、現在位
置Ｐは、Ｐ＝ＩＣＯ，草　、Ａ、）　−−−−（ｌ　Ｏ
）と表わすことができる。

庇ｌ立１１」 第６図は本発明の第２の実施例を示している。

同図において、モータ５０の出力軸６２の一端側にはポ
ールねじ６３が接続され、このポールねじ６３にテーブ
ル５１が螺合され、前記モータ５０の回転によりＸ軸方
向へ進退するようになっている。また、モータ５０の出
力軸６２の他端側には、カップリング６４を介してアブ
ソリュート位置検出器５３が連結されている。また、前
記テーブル５１上には、スライダ５８およびステータ５
９かもなる直線型インダクトシン７１が取付けられ、テ
ーブル５１の進退に伴ってスライダ５８がステ〜り５９
に対して一体的にスライドするようになっている。

ここで、このアブソリュート位置検出器５３２の一次側
励磁巻線および直線型インダクトシン７１のステータ５
９には、励磁電流を供給するための電線５４．６０がド
ライバ／コンバータ回路５２から接続されている。また
、二次側出力は、電線５５．６１によりドライバ／コン
バータ回路５２ヘフイードバツクされている。ドライバ
／コンバータ回路５２ヘフイートパツクされた信号Ｐ。

、Ｐｉは、位置データに変換された後、ライン５６を介
してＣＰＵ５７へ送られる。ＣＰＵ５７では、得られた
位置データを基に後述する手順に従ってハイブリッド方
式により高精度に７ブソリユ一ト位置を算出する。

くアブソリュート位置の算出（１）〉 第６図において、アブソリュート位置検出器５３、直線
型インダクトシン７１の０点が互いに一致するように予
め調整されているものとする。

この状態から、テーブル５１をＸ軸方向へ移動させるた
めに、モータ５０を数回転させると、アブソリュート位
置検出器５３から出力信号ＦＡおよび直線型インダクト
シン７１からの出力信号Ｐｉは、第７図のようになる。

この第７図において、アブソリュート位置検出器５３か
らのフィードバック信号Ｐへおよび直線型インダクトシ
ン７１からのフィードバック信号Ｐｉは、ドライバ／コ
ンバータ回路５２によりそれぞれ位置データＰ、、（Ａ
）、Ｐｉ　（ｉ）に変換される。モータ５０の任意の回
転によりそれぞれＡ。、１つを示している。このとき、
ポールねじ６３のねじれ誤差およびバックラッシュ誤差
により得られた位置データＡ、そのものでは正確なアブ
ソリュート位置を表わしきれない。このため、位置デー
タｉ。の値を用いて正確に入／２０００［ｐｍ／パルス
］の精度でアブソリュート位置データＸ。本を算出する
と、第８図のフローチャートになる。ただし、ここで、
入は直線型インダクトシン７１より得られる１周期移動
量（１波長）である。

ここでは、５ＴＰＩにおいて、位置データＡ１１＋ｌｌ
＋を用いて誤差を含まない値としてアブソリュート位置
を算出し、これをＸ。とおく。５ＴＰ２において、位置
データＡ。の値を入で分割した際、各区分の前部にある
（ＹＥＳとなる）ときは５ＴＰ３へ移り、位置データｉ
。をチェックする。また、それ以外の（Ｎｏとなる）と
きは５ＴＰ５へ移り、再度位置データＡ。をチェックす
る。５ＴＰ３において、位置データｉ。が１５００より
大きい（Ｐｉ（ｉ）が１周期分湯る直前）かどうかチェ
ックし、ＹＥＳとなると５ＴＰ４へ移る。５ＴＰ４では
、５ＴＰＩで得られたＸ。に補正値−人を加え５ＴＰ８
へ移る。

また、５ＴＰ５において、位置データＡ、の値を入で分
割した際に各区分の後部にある（ＹＥＳとなる）ときは
５ＴＰ６へ移り、位置データ！。

をチェックする。また、それ以外の（Ｎｏとなる）とき
は、５ＴＰ８へ移り補正は無しとなる。

５ＴＰ６において、位置データ１０が５００より小さい
（Ｐｉ（ｉ）が１周期分湯だ直後）かどうかチェックし
、ＹＥＳとなると５ＴＰ７へ移る。、ＮＯとなるときは
５ＴＰ８へ移り補正は無しとなる。５ＴＰ７ではＳＴＰ
　１でられたＸ。に補正値＋入を加え５ＴＰ８へ移る。

以上により、５ＴＰ８において、正確なアブソリュート
位置Ｘ。＊をめる。

くアブソリュート位置の算出（２）〉 アブソリュート位置の算出（１）において、アブソリュ
ート位置検出器５３．直線型インダクトシン７１の０点
が一致するものとして、アブソリュート位置を算出して
きた。しかし、実際Ｌ１アブソリュート位置検出器５３
．直線型インタクトシン７１の０点を互いに一致するよ
うに調整することはむずかしく、むしろ調整なしでアブ
ソリュート位置を算出する方が一般的である。

このため、アブソリュート位置検出器５３のＯ点時に得
られる直線型インダクトシン７１からの位置データをｉ
＋とじ、この状態からテーブル５１をＸ軸方向へ移動さ
せたときのアブソリュート位置を第９図より算出する。

この第９図において、アブソリ、−上位置検出器５３か
らの位置データＰ＾（ハ）＝Ｏのとき、直線型インダク
トシン７１からの位置データＰｉ（１）＝ｉＩとして、
モータ５０の任意回転によりＦＡ（Ａ）＝Ａ、＋　、Ｐ
ｉ（ｉ）＝ｉ、、が得られたとする。このとき、ポール
ねじ６３のねじれ誤差およびバックラッシュ誤差により
得られた位置データＡ。そのものでは正確なアブソリ、
−上位置を表わしきれない。このため、位置データｉ＋
、ｉ０を用いて正確に入／　２０００　［ｐｍ／）＜ル
スコの精度でアブソリュート位置データｘＱ本を算出す
ると、第１０図のフローチャー１・になる。ただし、こ
こで、σを直線型インダクトシン７１より得られるオフ
セット量とする。

この第１０図では、５ＴＰｌにおいて、位置データｊ＋
を用いてアブソリュート位置に対するオフセント量を算
出し、これをσとおく。ＳＴ１’２において、位置デー
タＡ。、ｉうぉよびオフセット砧σを用いて誤差を含ま
ない値としてアブソリュート位置を算出し、これをＸｏ
とおく。５ＴＰ３において、オフセット量を加算した位
置データＡ、、＋σを入で分割した際に、各区分の前部
にある（ＹＥＳとなる）ときは５ＴＰ４へ移り位置デー
タｉ。をチェックする。また、それ以外の（Ｎｏとなる
）ときは５ＴＰ６へ移り、再度オフセット量を加算した
位置データＡ、、＋σをチェックする。５ＴＰ４におい
て、位置データ１０が１５００より大きい（Ｐｉ（ｉ）
が１周期分湯る直＋ｉｉｊ　）かどうかチェックし、Ｙ
ＥＳとなると５ＴＰ５へ移る。５ＴＰ５では、５ＴＰ２
で得られたＸ。に補正値−人を加え５ＴＰ９へ移る。

また、５ＴＰ６において、オフセット量を加算した位置
データＡ、、＋σを入で分割した際に各区分の後部にあ
る（ＹＥＳとなる）ときは５ＴＰ７へ移り１位置データ
ｉ。をチェックする。また、それ以外の（ＮＯとなる）
ききは、５ＴＰ９へ移り補正はなしとなる。５ＴＰ７に
おいて、位置データｉが５００より小さい（Ｐｉ（ｉ）
が１周期分湯た直後）かどうかチェックし、ＹＥＳとな
ると５ＴＰ８へ移る。Ｎｏとなるときは５ＴＰ９へ移り
補正は無しとなる。５ＴＰ８では、５ＴＰ２でられたＸ
。に補正値＋λを加え５ＴＰ９へ移る。

以上により、５ＴＰ９においぞ、いままで加算してきた
オフセット量σをＸ。より減算し、正確なアブソリュー
ト位置Ｘ。′をめる。

ところで、このアブソリュート位置の算出（２）では、
アブソリュート位置検出器５３からの位置データＰ＾（
Ａ）＝Ｏのとき、直線型インタクトシン７１からの位置
データＰｉ（ｉ）＝ｉ＋を不揮発性メモリに格納してお
き、常に第１０図のフローでアブソリュト位置が算出で
きるようにする必要がある。

以上の説明の中では、第１図において、第１の検出器と
して回転型位置検出器（ＩＸ−１０Ｘレツルバ）を使用
したが、本発明の技術思想にあっては、一定の周期をも
ち、かつその１周期内での絶対量がそれぞれ測定され得
るものであればいずれでもよい。同様に、第６図におい
て、第ｌの検出器として直線型検出器（インダクトシン
）を使用したが、この場合においても、インダクトシン
に限定されるものでなく、マグネスケール等でもよい。

要するに、一定の周期をもち、かつその１周期内での絶
対量が測定され得るものであれば、回転型、直線型等の
形式を間うものではない。

また、第１図および第６図においては、第２の検出器と
して回転型アブソリュート位置検出器を、用いたが、こ
れについても直線型であってもよい。

また、第１の検出器と第２の検出器との組合わせについ
ては、例えば第１１１１ｉ４に示す組合わせが考えられ
る。第１１図（Ａ）はＬＸ−ＮＸの回転型位置検出器１
０１と回転型アブソリュート位置検出器１０２とを連結
手段１０５を介して連結した状態を、第１１図（Ｂ）は
直線型位置検出器１０３と直線型アブソリュート位置検
出器１０４とを連結手段１０５を介して連結した状態を
、第１１図（Ｃ）は直線型位置検出器１０３と回転型ア
ブソリュート位置検出器１０２とを連結手段１０５を介
して連結した状態を、第１１図（Ｄ）はＩＸ−ＮＸの回
転型位置検出器１０１と直線型アブソリュート位置検出
器１０４とを連結手段１０５を介して連結した状態を、
それぞれ示している。

また、このように連結された第１，２の検出器を被測定
部材に接続するに当っては、第１２図（Ａ）〜（Ｄ）に
示す如く、ロータリーテーブル１１１やリニアテーブル
１１２に連結手段１１３を介して、またはテーブルに直
接埋込みｌ：１に連結するようにすればよい。

また、第１３図（Ａ）〜（Ｄ）に示す如く、被測定部材
１１１，１１２をモータ１２１により移動させる一方、
モータに連結手段１２２を介してインクリメンタル検出
器１２３を連結するようにしてもよい。

また、第１の検出器としては、位相変調方式の検出器に
限らず、振幅変調方式の検出器でもよい。

更に、第５図、第８図、第１０図においては、測定デー
タの処理方法の一手法を示したが、本発明ではこの方法
に限定されるものではない。

［発明の効果］ 以−！二の通り、本発明によれば、ニリアテーブルやロ
ータリーテーブル等の被測定部材の現在位置を、比較的
簡単な構成で、絶対量として高精度に検知できる検知装
置を提供することができる６

【図面の簡単な説明】

ｔＪＳ１図から第５図は本発明の第１の実施例を示すも
ので、第１図はｌＸ−１０Ｘレゾルバとアブソリュート
位置検出器とを用いて実施する場合の配置および測定回
路構成を示す図、第２図は第１図の装置により検出器の
絶対角度を検出するプロセスを説明するための波形図、
第３図は第１図のＬＸ−１０Ｘレゾルバの二次側出力の
０点調整誤差を説明するための波形図、第４図は第１図
の装置において第３図に示す０点調整誤差による影響を
考慮し検出器の絶対角度を検出するプロセスを説明する
ための波形図、第５図は第１図の中央処理装置で第４図
に示す波形図より検出器の絶対角度を算出する処理プロ
セスを説明するフローチャートである。 第６図から第１Ｏ図は本発明の第２の実施例を示すもの
で、第６図はアブソリュート位置検出器と直線型インダ
クトシンとを用いて実施して場合の配置およびハイブリ
ッド（混成）測定回路構成を説明するための図、第７図
は第６図の装置によりアブソリュート位置をハイブリッ
ド（混成）方式で検出するためのプロセスを説明するた
めの波形図、第８図は第６図の中央処理゛装置で第７図
に示す波形図よりアブソリュート位置をハイブリッド（
混成）方式で算出するプロセスを説明するフローチャー
ト、第９図は第６図の装置においてアブソリュート位置
検出器と直線型インダクトシンとが互いに０点調整され
ていないときに７ブソリユ一ト位置をハイブリッド（混
成）方式で検出するためのプセスを説明するための波形
図、第１０図は第６図の中央処理装置で第９図に示す波
形図よりアブソリュート位置をハイブリッド（混成）方
式で算出する処理プロセスを説明するためのフローチャ
ートである。 第１１図は第１の検出器と第２の検出器との組合例を示
す図、第１２図は第１、第２の検出器と被測定物との結
合状態を示す図、第１３図は第１２図の被測定物にモー
タおよびインクリメンタル検出器を連結した状態を示す
図である。 ３０・・・モータ（同期モータ）、３１・・・被測定部
材（テーブル）、３２・・・ドライバ／コンバータ回路
、３３・・・ｌＸ−１０Ｘレゾルバ、３４・・・アブソ
リュート位置検出器、４０・・・中央処理装置、４３．
４４・・・カンプリング、５０・・・モータ、５１・・
・被測定部材（テーブル）、５２・・・ドライバ／コン
バータ回路、５３・・・アブソリュート位置検出器、５
７・・・中央処理装置、５８．５９・・・直線型インダ
クトシン、６４・・・カップリング。 代理人　弁理士　木下　実正（ほか１名）第１０図 第１１図 第１２図 第１３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）被測定部材の機械的な運動に関し、予め定められ
   た基準状態位置からの移動量を７ブソリユーＸｉとして
   検知する装置であって、 被測定部材に対し移動量に対応する周期または振幅の電
   気信号を発生する第１の検出器と、被測定部材に対し移
   動量に一致するアブソリュート値が検知可能な第２の検
   出器と、 前記第１の検出器および第２の検出器からの出力４４号
   に基づき被測定部材のアブソリュート位置をめる演算手
   段と、 を備えたことを特徴とするアブソリュート位置の検知装
   置。 （２、特許請求の範囲第１項において、前記第１の検出
   器は、被測定部材に対し移動量に対応して発生する電気
   信号が１回転に１移相変化する回転型位置検出器と、１
   回転にＮ移相（Ｎ−整数）変化する回転型位置検出器と
   が同一ロータ軸上に構成されていることを特徴とするア
   ブソリュート位置の検知装置。 （３）特許請求の範囲第１項において、前記第１の検出
   器は、被測定部材に対し移動量に対応して発生する電気
   信号が１グリンド移動時にｌ移相変化する直線型位置検
   出器で構成されていることを特徴とするアブソリュート
   位置の検知装置。 （４）特許請求の範囲第１項において、前記第２の検出
   器は、前記被測定部材に対し移動量に一致するアブソリ
   ュート値が被測定部材のストローク長全域を包括できる
   値として構成されていることを特徴とするアブソリュ〜
   ）・位置の検知装置。 （５）＃許請求の範囲第１頓において、前記第２の検出
   器は、前記被測定部材に対し移動量に一致するアブソリ
   ュート値１６が被測足部材の１回転（３６０°）または
   Ｍ回転（Ｍ＝整数）で−周できる値として構成されてい
   ることを特徴とするアブソリュート位置の検知装置。 （６）特許請求の範囲第２項または第３項において、前
   記第２の検出器は１回転型アブソリュート位置検出器で
   構成されていることを特徴とするアブソリュート位置の
   検知装置。 （７）特１１１請求の範囲第２項または第３項において
   、前記第２の検出器は、直線型アブソリュート位置検出
   器で構成されていることを特徴とするアブソリュート位
   置の検知装置。 （８）！Ｉｓ詐請求の範囲第６項または第７項において
   、ｔ’＋：ｉ記第１の検出器と第２の検出器とは、連結
   １段によりｒＩ：いに同一作用が起るようにｌ＝１に接
   続されていることを特徴とするアブソリュート位置の検
   知装置。 （９）特許請求の範囲第８項において、前記ｔｉＴＪｌ
   の検出器および第２の検出器は、被測定部材に連結１段
   を介してｔｉｔに接続されていることを特徴とするアブ
   ソリュート位置の検知装置。 （１０）特許請求の範囲第９項において、前記被測定部
   材には回転電動機が連結手段を介して１：１に接続され
   ていることを特徴とするアブソリュート位置の検知装置
   。 （１１）特許請求の範囲第１０項において、前記回転電
   動機にはインクリメンタル検出器が連結手段を介して１
   ；１に接続されていることを特徴とするアブソリュート
   位置の検知装置。