JPS60231586A - Ｃｏ２レ−ザビ−ム等の高出力密度エネルギビ−ムを用いた加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔陀業上の利用分野〕 本発明はＣＯ２レーザ等の高出力密度エネルギビームに
よってワークを加工する装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、レーザ加工装置はその価格が高い。

このため、この装置の基本的な部分を各種の加工の場合
に共用できるようにすることが好ましい。このため、各
加工の秒類に対応した各種の加工用アダプタをこの装置
に取付けることがなさねている。こハらのアダプタを取
付けることによって．同じ装置の基本的な部分を共用し
て溶接、切断、表面処理等の各種の作業をおこなうこと
ができる。

また、レーザ装置はワークの討プ、口や姿勢にも対応で
きるように構成され、レーザビームを水平または鉛直方
向忙照射できるように構成されている。このため、作業
に対応してレーザビームの案内をなす光学装置が必要と
なる。

しかし、従来の装しシは単にカｔ７工作業の石１類その
他の条件に対応するだけのもので、ワークの加工コスト
その他の点で満足すべきものではなかった。

また、この装置は溶接にｆψ用される場合が多いが、こ
のような場合には頻繁に清掃をおこなう必要があった。

すなわち、溶接するワークの近傍にある光学装（支）１
′にはワークからの煙や各融金属粒子等が付着する。こ
のため、このｆ栄紘（１′°・の反則（＝・５、集束幻
、１等の保守が面倒であった。

このため、これら鋭は着脱目在に構成されてｂる。従来
のレーザ加工装置ではこの鏡の着脱機構が高価であった
。また、清掃した鏡を再度取付ける場合に再調整が必要
であった。

〔発明が解決しようとする間淘点〕

本発明は以上の事情に基づいてなされたもので、各種の
作業に経済的に広汎に対応でき、また保守が症単な光学
系を備えたレーデ加工装置を提供することを目的とする
ものである。

〔問題点を解決するための手段とその作用〕本発明は、
切断用アダプタ、溶接用アダプタ、位置決治具、光学装
置の鏡等の各ユニットをユニバーサル継手によって容易
に着脱できるようにしたものである。そしてこれによっ
て上記の名ユニットは光学装置のケーシング等に迅速に
着脱され、葦た正確に装置される。

これらのユニバーサル継手は光学系のケーシングの各種
ユニットの取付は開口の部分に設けられ、好ましくはそ
れぞれ同じ寸法に形成されティる。また、この光学装置
のケーシングの開口には溶接ヘッド、切め「ヘッド等は
装着できず、これらは寸法の異なるユニバーサル継手に
よって取付けられる。したがって、作業が異なる場合に
これらアダプタを容易に交換できるとともに、これらア
ダプタは間違った６９口に装着不能であシ、この装置の
故障を防止できる。

また、本発明の実施例によ■ば、このユニバーサル継手
は２個の部分から構成され、第１の部分は上記光学装置
の外側に配置される閉塞部材であシ、また第２の部分は
上記光学装置に装着されるアダプタの端部の形状に対応
した部材である。この後者の部品はユニットの端面がら
ケーシング側に離れた位置に円環状の溝を備えた簡単な
構造をなしている。また、このユニバーサル組手の他の
部材にはユニットの溝に嵌合する少なくとも２組のクラ
ンプ機構を備えている。これらはケーシングの開口のす
、部に着脱自在に嵌合し、外側から螺子によって固定さ
れる。

このクランプ機構はＬ字形をなし、開口の中心に向けて
突部が突設されており、この突部の寸法はユニットの１
１ｇに対応している。

このようなユニバーサル組手によれば、光学装置に対応
する供給要素またはアダプタに簡単に接続でき、このア
ダプタはケーシングに対してわずかに隙間のあるクラン
プの間に押圧される。

また、このアダプタや供給機構を父換するには、このク
ランプをゆるめ、別のユニットをこのケーシングの開口
に置き、このクランプを再度締付けるだけでよい。これ
らのユニットはこのケーシングに摩擦力等によって保持
される。

悸た、この光学装置のケーシングに装着する一組の倣素
のむ以上の開口が形成されている場合には、これら使用
しない開口に盲蓋をしてこのケーシング内の鏝等を保護
する。これら盲蓋は上記アダプタを取付けるユニバーサ
ル継手によって取付けられる。

壕だ、ケーシングの開口端がカバーによって閉塞され、
このカバーには鏡が設けられている場合には、このカバ
ーは上記ユニバーサル継手によって着脱自在に接続され
る。このユニバーサル継手は上記のアダプタを接続する
継手と同様のもので、このカバーに対応するように構成
されている。

この鏡付のカバーをケーシングに対して位置決めし、ま
たその回転を防止するため、本発明の装置には回転防止
機構が設けられている。この機構は互いに対向した２個
の（スプリングで付勢された）ボール受から構成されて
ｂる。これらは装着される一方の部材、たとえばカバー
に取付けられ、他方の部材、たとえばケーシングの穴内
にはこれらボール受に嵌合するポールが設けられている
。

この光学装置から取外した鏡を検査、清掃した後、これ
を取付ける場合、上記のボール受によってこの鏡が縦軸
に対して所定位置に正確に保持される。

〔実施例〕

以下、図を参照して本発明の詳細な説明する。この装置
のエネルギｉ、Ｌ−１，てｕ−ＣＯ−レ−ザ等の昼出力
のレーザ発振器２０が用いられる。

このＣＯ２レーザ発振器２０のビーム出力側には望遠鏡
２Ｊが配置され、また（水平の）保護筒２２によって屈
曲用の鏡２３が接続されている。

この鏡２３は上記の保護筒２２を通って水平に入射した
ビームを鉛直方向に反射するものである。そして、この
鏡２３で反射したビームは別の（鉛直な）保護筒２４を
通って加工用の光学装置２５に送られる。この光学装置
２５は入射したビームを内部で２回反射するように構成
され、鉛直なビームを水平方向に反射し、このビームを
さらに反射してこの水平方向に対して直交する方向にビ
ームを出力する。

第２図に示す如く、この実施例の場合にはこのレーザビ
ームは光学装置２５から集束されたビーム２６として鉛
直に射出される。この集束されたレーザビーム２６はワ
ーク２７の切断や溶接に使用される（第１図）。また、
この光学装置２５の出力端の下方には加工用のアダプタ
２８（第２図に部分的に示す）が配置され、このアダプ
タは溶接用アダプタまたは切断用アダプタ等、作業の稙
類に対応したものである。

また、この光学装置２５の構成を第２図に示す。この光
学装置は水平なり−シング２９を備えておシ、このケー
シングの縦断面形状は細長状をなし、また横断面形状は
正方形をなしている。このケーシング２９の中央部には
縦方向に開口した貫通孔３０が形成されている。また、
このケーシング２９の両端部３１．３２はそれぞれフラ
ンジ状のカバー３３．３４によって閉塞されている。

この実施例の場合、このケーシング２９は合計４個の孔
が形成されている。このケーシング２９の一端部３１の
部分にはこのケーシング上壁３５、上記鏡からの反射ビ
ームの入口開口３６が形成されている。また、この他の
３個の開口すなわち出口開口Ｊ　７　、　、？　８　、
　Ｊ　９はこのケーシング２９の他端部に形成されてい
る。これらの出口開口のうち出口開口３７はこのケーシ
ング２９の底壁４０に形成され、また他の２個の出口開
口、？　８　、３９はこのケーシング２９の対向する側
壁に形成されている。これらの出口開口、？　７　、　
、？　８　、３９の軸は光学装置２５の軸に垂直な平面
内に配置され、またこの光学装置２５内には上記集束さ
れたレーデビーム２６の縦軸が含まれている。

また、このレーデビームを反射する鏡がこの光学装置２
５のケーシング２９内に収容されている。この実施例で
は、円筒状の屈曲鏡４４および同様に円筒状の集束鏡４
６がこのケーシング２９内に収容されている。この屈曲
鏡４４は上記の入口開口３６に対応している。この鏡に
は、光学装置２５の縦軸４２に対して４５°傾斜した反
射面４６が形成されている。これによって、このケーシ
ング２９の入口開口３６から入射したビームはこの屈曲
鏡４４によって反射さハ、この反射された水平のレーザ
ビーム４８は光学装置２５に入射するレーザビーム４７
と同様の形状をなしている。この屈曲鏡４４で反射した
レーザビーム４８は集束鏡４５に送られ、上記の出口開
口３７．３８．３９に交互に分配される。この集束鏡４
６は楕円面すなわち凹反射面４９を有している。この反
射面４９はこの光学装置２５の縦軸４２に対して傾斜し
、ビーム９０°屈曲させるように構成されている。この
集束鏡４５が第２図に示す如くこのように配置されてい
るので、水平のレーザビーム４８は鉛直方向に反射され
、同時にこの集束鏡４５の凹反射面４９によって集束さ
れたレーザビーム２６となる。この実施例では、この光
学装置２５の集束鏡４５によって集束されたレーザビー
ム２６の焦点５ｏ（ｒｌこのケーシング２９の外部のア
ダプタ２８の部分に位置している。

これら鏡（屈曲鏡４４；集束鈍４５）はケーシング２９
の端部のカバーＪ　、？　、　３４にそねそれ取付けら
ｆｌている。この屈曲鋭４４はこのカバー３４の内面に
この光学装＠２５の軸方向の外側からこのカバーに螺装
された螺子５１によって取付けられている。この実施例
では、２本の円柱状のダウェル５２が使用され、これら
屈曲釘イ４４および集束鏡４５がこオｔらカバー３３３
４に対して回転しないように正確に位置決されている。

１だ、第２図に示す如く、この屈曲鏡４４および集束鏡
４５の直径はこのケーシング２９の貫通孔３０の直径よ
りわずかに小さく形成されている。これによって、これ
ららが熱膨張した場合の干渉が防止される。

第１図ないし第３図に示す実施例では、保護筒２４の下
端はこのケーシング２９の入口開口３６に対応し、また
加工用のアダプタ２８は底壁４０の出口開口３７に対応
してｂる。この保穫筒２４およびアダプタ２８はユニバ
ーサル継手５３を介して光学袋＠２６に接続されている
。

このケーシング２９の入口開口３６および出口開口３７
　、３８　、３９にはそれぞれユニバーサル継手５３が
設けられ、こハらは基本的には同様なオ（パ成をなし、
この実施例では、上記の入口開口３６と出口開口、？、
７．３８．３９が同じ径であり、これらは−１１−の寸
法を有している。

これらユニバーサル継手５３の構成を第５図および第６
図に示す。これらの継手５３は２個のクランプ５４を備
え、これらは螺子６５によってこのケーシング２９の上
壁３５に取付けられている。これらクランプ５４　（’
ｊ　Ｌ字形の断面形状を備え、その突部５６はこの入口
開口３６の中心を指向している。また、この突部５６は
このケーシング２９の上壁３５よりわずかに突出し、そ
の下面とこの上壁３５の間に空間５７が形成されている
。

また、この実施例の場合には、保眼筒２４のケーシング
２９側の下端部外層に環状の溝５８が形成されている。

第、５８はこの保護筒２４の端面から離間した位置に設
けられ、ケーシング２９の上壁３５に回転自在に嵌合し
ている。この環状の溝５８と端面５９との間の距離は、
上記クランプ５４の突部５６がこの溝５８内に嵌合し、
またこの環状の溝５８より先のリング部６０および端面
５９が上記突部５６と上壁３５との間の空間５７内に嵌
合するように設定されティる。そして、このクランプ５
４がケーシング２９に締（＝ｊけられると、この突部５
６が保穫筒２４のリング部６０をケーシング２９に対し
て固定する。

−ｊ、た。上記の１代シに第２図に示す如く保詐筒２４
またはアダプタ２８は互いに離間した２個のカラー６２
．６３が取付けられ、これらの間に環状の溝６］が形成
されている。

甘だ、第５図に示す如く、この保護筒２４の端面５９に
はセンタリングスピゴット６４が形成されている。この
スピゴットの直径は保詐筒２４の外径よシ小さく形成さ
れている。このスピコゝット６４はケーシング２９の上
壁３５の入口開口３６の嵌合部６５に嵌合する。この嵌
合部６５はこの保股筒２４全この光学装置２５のケーシ
ング２９に対して中心に位置決する。

このように構成されたユニバーサル継手５３を使用すれ
は、２本の螺子５５をゆるめるたけて保護筒２４のスピ
ゴット６４（充分に短く形成されている）を嵌合部６５
から引抜くことができ、この保簡筒２４および光学装置
２５を上記クランプ５４の突部５６が上記環状の＠５８
から抜ける１でこれらをずらすことができる。

また組立の場合には上記とは逆に保護筒２４をクランプ
５４とその突部５６の間に押し込み、環状の溝５８に嵌
合させる。この保護筒２４とケーシング２９の径方向の
位置決は上記のスピゴット６４が倍合部６５に嵌合する
ことによってなされる。そして、螺子５５によってこの
クランプ５４の突部５６を締付け、リング部６０を介し
てこの保腔筒２４をケーシング２９に固定する。

このようなユニバーサル秀（４・手５３は上記出口開口
３７　、．９８　、３９にも取付けられ、上記の加工用
のアダプタ２８をこの光学装置２５に取付ける。これら
入口開口３６および出口ｔｉ１０．９７　、３８　、３
９に装着されているユニバーサル継手５３は同一の寸法
である。

また、この実施例では、前記のカバー３３゜３４もこの
ようなユニバーサル継手６６にょってケーシング２９に
取付けられている。これらのユニバーサル組手は上記の
保護筒２４やアダプタ２８を取付ける上記のユニバーサ
ル継手５３と同様な構成である。すなわち、２個のクラ
ンプ６７が１個の螺子５８によってケーシング２９の端
面、”＋　１　、３２に取付けられ、こわ、らクランプ
６７は上記の端面、？　７　、３２の対角線上に互に対
向している。上記のカバー３３゜３４には上記クランプ
６７に嵌合する４個の溝部６９が形成されている。これ
らの溝部６９は上記円形のカバー３．９．３４が嵌合す
るようにミーリングで形成される。これら溝部６９は２
個ずつ対をなして互に対向して配置され、これら２対の
溝部６９は互いに９０°ずれて配置されている。上記カ
バー３３　、３４は上記の光学装置２５に対して互に９
０°ずれ、かつその縦軸４２に対応して螺子によって固
定されている。

このように、特にカバー３４がケーシング２９に対して
回転することによって、前記の集束鏡４５は前記（底壁
）の出口開口３７捷たは２個の（側壁の）出口開口３．
１１　、３９のうち作竿をおこなう開口に対応する。

また、これらカバー３３　、　、Ｖ　４のユニバ−サル
終手６６はこれらカッ々−３，９、、？　４の内面に径
方向の位置決のためのスビコゞソト７０を備えておシ、
この円柱状のスピゴット７０は端面３Ｊ　、　３２を辿
ってケーシング２９の貫通孔３０内に嵌合し、この光Ｐ
￥装ト２５の屈１’ｌｊ剣４４および集束鏡４５を径方
向に位置決する。

址だ、こハらのユニ・ｆ−サル継手６６には径方向の位
置決と回転防止のための４３４　ｋが侃ｊえられている
。第２図に示す如く、２伽の対向したボール受７ノが各
カバー３３　、３４に取付けらハておシ、これらカバー
３３　、３４がこのケーシング２９の端面３ノ、３２に
対して回転しないように固定されている。第３図に示す
如く、これらボール受は上記溝部６９の形成されていな
い部分のカバー３３．３４の縁部に設けられている。

第７図には、これらボール受７ノすなわち回転Ｗ；Ｊ止
朽朽を示ず。こセ、らパ？−ル受７ノはカッ々−３４に
形成された盲穴７２内に収容されている。そして、この
パーール受７ノのケーシング２９の端面３２側にはｓｐ
−ルア３が設ケラれ。

このボールは圧縮スプリング７４によって上記の端面３
２に抑圧されている。このボール受７ノはこの盲穴７２
から内ｉＬハる方向に付勢され、そのボールシン３はケ
ーシング２９の端面３２にＩｙ　、１ｑｊｊするカバー
３４の面から突出している。そして、このボール受７ノ
のボール７３は上記の端面３２に形成された盲穴７５に
嵌合する。この盲穴７５は上記ボール受７ノの盲穴７２
より小径に形成され、上記のボール７３がこの（小径の
）盲穴７５の上縁に完全に嵌合するように＋４成されて
いる。このような構成によって、このカバー３４はケー
シング２９に対して正旋にその中心に位置決される。

このカバー３４の２個のボール受７ノに対してケーシン
グ２９には合計４個の（小径な）盲穴７５が形成されて
いる。これら盲穴７５はこの端面３２に等分に配置さｈ
　、互に９０°離間して配置さね、上記カバー３４のボ
ール受７ノは力に対向する２個の盲穴２５内に嵌合する
ように析成さハている。ゴ／こ、上記のカバー３４を集
束鏡４５とともにこのケーシング２９の軸４２まわシに
９０°回転すると、上記とは別の２個の盲穴７５内にこ
のボール受７ノが嵌合し、缶ｆＶｉ決がなさねる。した
がって、これら９０゜つつに配置された（小径の）盲穴
７５にＭＰ、４次嵌合することによって、この光学装置
２５の集束鏡４５が３個の出口開口ａ　７　、　、？　
ｓ　、　、？　９に１＠次対応することができる。

寸た、このケーシング２９のカバー３３佃の端面３ノに
は、必要なだけの２個の（小径の）盲穴７５が形成され
、屈曲←に４４を回転不能に固定してｂる。

また、保護筒２４および加工用アダプタ２８は、上記と
同様な方法、すなわちユニバーサル継手５３に対応した
ボール受７６によってこの光学装置２５に対して回転不
能に１ｃｌ定されている。この実施例の場合には、第４
図に示す如く。

このユニバーサル継手４３は前記のカバー３３゜３４の
場合と比較してただ１伽のボール受７６を備えている。

この場合、このボール受７６はケーシング２９に取付け
られ、捷た（小径の）盲穴７７はケーシング２９の底壁
４０に向けて突出したカラー６２に形成されている。捷
た、加工用のアダプタ２８は同様の位置で接続され、ユ
ニバーサル継手５３のボール受７６に嵌合する（小径の
）盲穴７７は１個だけ設けられている。したがって、あ
らかじめ調整されているアダプタ２８を別に再調整せず
に取付けることができる。！、た、保動筒２４けボール
受７６を用いてこの光学装置２５に同様に回転不能に取
付けることができる。

第１１図および第１２図にはこの光学装置２５のケーシ
ング２９にカバー９１．９２を数句ける別の構成を示す
。図中、カバー９１゜９２は対角状に配置された取付ね
じ９３によって取付けられている。そして、工具を使用
せずに手でこのカバー９１．９２を着脱できるようにこ
れら取付ねじは凹凸のある頭部９４を備えている。この
取付ねじ９３の中央部９５は、上記カバー９１．９２の
貫通孔９６およびケーシング２９の中央孔９７内に挿入
され、この光学装置２５のケーシング２９に対してカバ
ー９１゜９２のＮ４整をなす。したがって、鏡（屈曲鏡
４４；集束鏡４５）はこのカバー９１．９２の取外し前
と同じ位置に取付けられる。

上記各カバー９１．９２には対称に配置された大きな４
個の貫通孔９６が形成されている。

こわによって、このカバー９１．９２はケーシング２９
に対して互に９０°ずつずれた４個の異なる位置に取付
けられる。

才た。この実施例のものには、ケーシング２９の下部の
出口開口３７に雌ねじ９８が形成されておシ、加工用ア
ダプタ９９が取付けられる。よって、このアダプタ９９
は工具ヤユニバーサル継手５３のフランジ５４等を使用
せずに、手によってこのケーシング２９に簡単に着脱で
きる。

才だ、使用されなめ出口洲・口、たとえば第３図のＩｔ
ｌｌ　ｆｆの出口開口３８．３９は盲７ランプ７８によ
って閉塞されている。この実施例では、構し告を簡単に
するためこれら出口開口にはケーシング２９にユニバー
サル継手５３が接続されておらず、このケーシング２９
に対して２個のねじ７９によって取付けられている。こ
の盲フランジ７８を取付けるねじは上記のクランプ５４
を取外した後のこのフランジ５４取付用のねじ孔に装着
される。

第９図（、では、光学装置２５に内視鏡を取付けた実施
例を示す。この装置は、カバー３４にその中心から水平
方向にずれた位置に内視鏡（図示せず）を収容する収容
孔８６が形成されている。この収容孔８６は集束鏡４５
の反射面４９の直前才で達する盲穴状に形成されている
。この収容孔８６の端部の直前にはこの収容孔８６から
分岐し、集束さｈたレーデビーム２６の縦咀Ｊ４３上に
配置された鉛直で小径の卸襲刷８７が形成されている。

この観察孔８７の直径はたとえば２闘と比較的小径に形
成さノ１、反射面４９の面積の減少はわずかでありレー
ザビームの出力には影響は生じない。そして、たとえば
この加工用アダプタ２８を最初に装着した際に、レーザ
を停止した状態で光学照準装置が取付けられる。そして
、同様にしてこの加工用アダプタ２８はワーク２７に対
してこの装置によって位置決される。

第８図にはさらに別の実施例を示し、この実施例は使用
されていない（側壁の）出口開口３８゜３９にユニバー
サル継手６３を介して負圧継手８８が接続さ汎るように
構成されている。この負圧継手８８はガス源に接続され
、作動中にこの光学装置２５内にアダプタ２８を介して
侵入したじんあい、煙等を排出し、鏡の反射面４６゜４
９を保薩するように構成されている。そして、この光学
装置２５内に上記継手８８ｆ：介して保許ガスまたは冷
却ガスを供給するように構成されている。また、ガスの
流入および流出用の継手８８を対向して設けねば、この
光学装置２６内に水平のガスの流才１が生じ、このガス
流によってじん、らい、灼かこの光学装置２５内に侵入
するのを防止できる。

上記の実施例の屈曲鏡４４および集束針４５は銅材料で
形成されている。こ八ら鏝にはその熱負荷によってわず
かの影響が生じるが、作動中にこれら鋭を調虻する盛装
はない。

捷た、とわら銅製の鏡の表面は高精度に研摩さＪｌてい
るか、またはスノやツタリング等によって蒸着がなされ
ている。

また、第２図およびεＩ）３図にはケーシング２９の上
壁３５に２個の継手すなわち冷却材入口８９と冷却側出
口９０が設けられている。そして、ごれらの絹ユ手を介
して、このケーシング２９の壁内には図示しない冷均通
路が形成され、冷却拐が循環される。また、カバー３３
　、３４にもこの冷却通路を延長してもよい。この場合
、ケーシング２９の端面とカバー、９３　、３４との間
にはシール材を設けてもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図はレーデ加工装置の側面図、第２図は光学装置の
縦断面図、第３図は光学装置の端面図、第４図は閉塞さ
れていない開口を有する光学装置の底面図、第５図は第
２図の■部のユニバーサル継手の拡大図、第６図は第５
図の平面図、第７図は第２図のポール受の■部分の拡大
図、第８図は別の実施例の光学装置の平面方向の断面図
、第９図は第２図の光学装置に内視鏡用の孔を設けた第
３の実施例を示す図、第１０図は第４の実施例の光学装
置を示す図、第１１図は第５の実施例の縦断面図、第１
２図は第１１図の加工ヘッドを示す図である。 ２０・・・レーザ発振器、２２・・・保護筒、２３・・
・屈曲鏡、２４・・・保護筒、２５・・・光学装置、２
８・・・加工アダプタ、２９・・・ケーシング、３ノ。 ３２・・・端部、３３，３４・・・カバー、３６・・・
入口開口、３７．３８．３９・・・出口開口、４４・・
・屈曲鏡、４５・・・集束鏡、５３・・・ユニバーサル
継手、５４・・・クランプ。 第１頁の続き ０発　明　者　１．−デイガー・ローテ＠発明者　ゲル
ト拳ゼボルト ドイツ連邦共和国、デー　−２８２０ブレーメン　７０
．ビルデ・ロードランク　４アー ドイツ連邦共和国、デー　−２９０３／＜−ト・ツビツ
シエンアーン、モースベールクベーク　ｎ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）　Ｃｏ２レーザビーム等の閤出力密度エネルギビ
   ームを用いた加工装置であって、レーデビームを反射す
   る光学装置を備え、この光学装置はＣ０２レーザ発振器
   および実施する作業に対応した加工用アダプタが接続さ
   れ、この光学装置はレーザの入口開口および出口開口を
   備えたケーシングを有し、このケーシング内には屈曲鏡
   および集束鏡が収容されたものにおいて、上記ケーシン
   グ（２９）の少なくとも上記の出口開口（３ｙ、３ｓ、
   ｓ９）にはユニバーサル継手（５３）が設けられ、この
   光学装置（２５）に対応する加工用アダプタ（２８）が
   交換自在に取付けられることを特徴とするＣ０２レーデ
   ビーム等の茜出力密度エネルギビームを用いた加工装置
   。 （２）　前記出口開口（３７、Ｊ　８　、３９　）およ
   びこのケーシング（２９）内にレーザビームを導入する
   入口開口（３７）には同じ構造のユニバーサル結手（５
   ３）が設けられていることを特徴とする特許 置。 （３）前記ケーシング（２９）の開口端（３ノ。 ３２）はカバー（　３　３　、　３４　）によって閉塞
   され、１個のユニバーサル継手（６６）がこのケーシン
   グ（２９）上に上記各カバー（３３，、ｖ４）に対応し
   て設けられていることを特徴とする前記特許請求の範囲
   第１項記載の装置。 （４）前記ユニバーサル継手＜５３．６６）には一糾の
   クランプ（５４．６７）がケーシング（２９）の外側に
   位置して設けられ，廿た加工用アダプタ（２ｇ）、保謹
   筒（２４）およびカバー（３３，３４）には上記クラン
   プに対応した少なくとも１個の溝（環状の溝５８；溝部
   ６９）が形成されていることを特徴とする前記特許請求
   の範囲第１項記載の装置。 （５）前記入口開口（３６）　、出口開口（３７゜３８
   ，３９）またはケーシング（２９）の端部（ｓｌ、ｓｌ
   ）の縁部には互に対向するクランｆ（５４，６７）が配
   置されていることを特徴とする特許 のいすれか１に記載の装置。 （６）前記クランプ（５４．６７）はケーシング（２９
   ）に外側からねじ止めされていることを特徴とする前記
   特許請求の範囲第１項ないし第４項のいずれか１に記載
   の装置。 （７）前記クランプ（５４．６７）はＬ字状をなし、そ
   の突部（５６）は前記加工用アダプタ（２８）、保護筒
   （２４）およびカバー（３３。 ３４）の溝（環状の溝；溝部６９）内に嵌合するように
   構成されていることを特徴とする前記特許請求の範囲第
   １項ないし第４項のいずれが１に記載の装置。 （８）　前記加工用アダプタ（２８）および保段筒（２
   ４）には前記クランプ（５４）の突部（５６）に嵌合す
   る同様の環状の溝（５８）が形成さハていることを％銅
   とする前記特許請求の範囲第１項ないし第７′８ｉのい
   ずれか１に記載の装置。 （９）前記加工用アダプタ（２８）および保護筒（２４
   ）の外周には互に離間した複数のカラ−（６，？，６Ｊ
   ）が設けられ、１た前記環状の溝は前記クランプ（５４
   ）およびその突部（５６）に対応した寸法に形成さハて
   いることを特徴とする前記特許請求の範囲第１１ｌ−・
   ないし第８項のいずれか１に記載の装置。 ０Ｉ　前記溝部（６９）はカバー（３３，３４）の外周
   面に形成され、こセらはこのカバー（３３。 ３４）の外周をミーリングで切削して形成され、これら
   渦部（６９）は９０°ずつ互に１間して互に対向した対
   をなして配置されていることを特徴とする前記特許請求
   の範囲第１項ないし第４項のいずれか１に記載の装置。 αυ　前記加工用アダプタ（２Ｂ）等のユニバーサル継
   手（５６．６９）あるじは前記カバーＣ３Ｊ，３４）に
   は径方向の位置決をする要素（センタリングスピゴット
   ６４、円筒状スピゴット７０）が設けられていることｆ
   ：特徴とする前記特許請求の範囲第１項′ｔ．ぐいし第
   １０項のいずれか】に記６の装置。 （１邊　前記加工用アダプタ（２８）および保護筒（２
   ４）のケーシング（２９）側の端面には円筒状のセンタ
   リングスピゴット（６４）が形成され、これに対応した
   形状の四部（６６）が入口開口（３６）および出口開口
   （ｓｌ，ｓｓ。 ３９）の上縁部に形成され、これらに上記スビゴッ｝（
   ６４）が嵌合することを特徴とする前記特許請求の範囲
   第１項ないし第１１項のいずれか１に記載の装置。 α３）前記カバー（３３，３４）はケーシング（２９）
   の貫通孔（３ｏ）に嵌合する円筒状のスピゴット（７０
   ）を備え，また光学装１￥　＜２５）の鋺（集束鏝４５
   ；左｛１鏡４４）がこのカバー（３３．３４）に取付け
   られていることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項
   ないし第１１項のいずれか１に記Ｉ或の装置。 （＋４１　前記ユニパーザル継手（　ｓ　３．　６　６
   　）には、前記加工用アダプタ（２８）、保蝕筒（２４
   ）あるいは鏡（屈曲鏡４４；年束鋳４５）が取付けられ
   たカバー（　ｓ　ｓ　、　、？　４　）をこの光学装置
   （２５）に対して回転しないように固定する機構が設け
   られていることを特徴とする前記特許請求の範囲第１項
   ないし第１３項のいずねか１に記載の装置。 θ９　前記ユニバーサル継手（５Ｊ，６６）に取付けら
   れた回転防止機構は少なくとも１個の（スジリングで付
   勢された）がール受（２ノ。 ７６）であることを特徴とする前記特許請求の範囲第１
   項ないし第１４項のいずれか１に記載の装置。 （１６）　前記加工用アダプタ（、？／Ｊ　）およびカ
   バ−Ｃ３Ｊ，３４）のポール受（７１．７６）はこれに
   対向する部分（ケーシング２９，加工用アダプタ２８お
   よびカバー．９　ｓ　、　ｓ　４　）の対応部分に形成
   された盲穴（７６．７７）内に収容され、これら盲大内
   には上記ゴール受（７ノ。 ７６）のスプリングで付勢されたボール（７３）が一部
   餓；合し、一度調転さねた加工用アダプタ（２８）およ
   びカバー（３Ｊ　、　ｓ　４　）の（回転方向の）位置
   決をなすことを特徴とする特許許請求の範囲第１頓ない
   し第１４、項のいずねか１に記載の装置。 （１η　２個のボール受（７ノ）が設けられ、またこね
   らに対応してケーシング（２９）には盲穴（７５）が形
   成さね、カバー（ＳＳ，：Ｘ）およびこｆ−ｌらのカバ
   ー（　、９　３　、　３　４　）に取付けられた鏡（屈
   曲鋭４４；集束鋲４５）の（回転方向の）位置決をなす
   ことを特徴とする前記特許訂■求の範囲第１項ないし第
   １５項のいずれか１に記載の装置。 ０８）前記ケーシング（２９）に装着さハる加工用アダ
   プタ（２Ｂ）および機番・ビ筒（２４）のユニバーザル
   継手（５３）には少なくとも１個のボール受（７６）が
   設けられ、またこの加工用アダプタ（２８）および保睦
   筒（２４）に対応して少なくとも１個の盲穴（７７）が
   形成さオ１て８ることを特徴とする前記将許訂ｉ求の範
   囲第１項ないし（Ｂ１５項のいずれか１に記載の装置。 ａω　前記ケーシング（２９）には、このケーシング（
   ２９）の縦軸（４２）に直交する平面内に互に９０°離
   間した等しい寸法の出口開口（　ｓ　ｙ　、　ｓ　ｓ　
   、　３９）　ｄＺ影形成れていることを特徴とする前記
   特許請求の範囲第１項ないし第１８項のいすハか１にδ
   己載の装置。 （２Ｇ　前記ケーシング（２９）の少なくとも１個の不
   使用の出口開口（　３７　、　３　８　、　３　９　）
   には前記ユニバーザル継手（５３）に設けられた負圧組
   手（８８）が接続され、前記光学装置（２５）内からじ
   んあい、煙等を排出することを特徴とする前記特許請求
   の範囲第１項ないし第１９項のいずれかＩＫ記載の１Ｌ （ｌｌ！１）　前記盲フランジ（８２）には光学観察装
   置（内視鏡８５）を取付けるための観察孔（８４）が形
   成され、この盲フランジはケーシング（２９）の使用さ
   れていない出口開口（３７ｌ３８，３９）にユニバーザ
   ル継手（５３）によって取付けられていることを特徴と
   する前記特許請求の範囲第１項ないし第１９万〕のいず
   Ｊｌか１に記載の装置。 翰　前記政党装置（内視鏡８５）を収容する収容孔（３
   ６）は前記カバー（３３．３４）に形成さ剌、前記多，
   束ｋｃ４５’）ｋ保持するカバ−（３４）ではこの収容
   孔（８６）と観，察孔（８７）がこの呆束鋺（４５）の
   反射面（４９）の中央部に形成されてＩハることを特徴
   とする前５己特許詞求の範囲第３項ないし第２１項のい
   ずノ″ｌか１に記載の装ｕ０