JPS60230135A - Photopolymerizable resin composition - Google Patents

Photopolymerizable resin composition

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JPS60230135A
JPS60230135A JP8577984A JP8577984A JPS60230135A JP S60230135 A JPS60230135 A JP S60230135A JP 8577984 A JP8577984 A JP 8577984A JP 8577984 A JP8577984 A JP 8577984A JP S60230135 A JPS60230135 A JP S60230135A
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JP
Japan
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resist
cross
binder resin
monomer
section
Prior art date
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Pending
Application number
JP8577984A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Uchida
内田 広幸
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS60230135A publication Critical patent/JPS60230135A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds

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Abstract

PURPOSE:To form the cross section of a plated circuit on a printed board into a rectangle and to obtain good electric characteristics by using benzylmethylketal as a photopolymn. initiator together with a specified binder resin and a bridging monomer. CONSTITUTION:A photopolymerizable resin compsn. comprises a binder resin made of a copolymer of methyl methacrylate, 1-4C alkyl acrylate, and a vinyl nomomer having carboxylic acid contains a monomer capable of cross-linking monomer having at least 2 ethylenically unsated. group and a polymn. initiator of a benzylmethylketal. A dry film resist is obtained by coating a support of polyester film or the like, with such a compsn. Such a resist is good in storage stability, operation efficiency, and step passage performance, and the section of the patterned resist can be formed into a rectangle and a superior pattern high in resolution can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、特にプリント配線板用アルカリ現像型ドライ
フィルムレジストの形成に用いられる光重合性樹脂組成
物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Technical Field] The present invention relates to a photopolymerizable resin composition used particularly for forming an alkali-developable dry film resist for printed wiring boards.

〔従来技術〕[Prior art]

ドライフィルムレジストに用いられるff[合間始剤と
しては、安価でかつ波長365 nmの党に対して活性
であって、耐熱性および保存安定性が良(、また腐蝕性
あるいは有害な化合物が生成せず、さらにプリント板配
線板製造工程上で溶出して害を他に及ぼさない等の性能
が要求される。
FF used in dry film resists [as an intermediate initiator] is inexpensive, active against particles at a wavelength of 365 nm, has good heat resistance and storage stability (and does not produce corrosive or harmful compounds). Furthermore, performance is required such that it does not elute during the manufacturing process of printed circuit boards and cause harm to others.

くt これら性能を満足する光重合開始剤として。Kut As a photopolymerization initiator that satisfies these properties.

従来ミヒラーズケトンや4,4′ビスジエチルアミノベ
ンゾフエノンを単独およびそれらとベンゾフェノンの混
合系、2−エチルアントラキノ/。
Conventionally, Michler's ketone or 4,4'bisdiethylaminobenzophenone was used alone or a mixture of these and benzophenone, 2-ethylanthraquino/2-ethylanthraquino/.

2− tert、ブチルアントラキノンに代表されるア
ントラキノン類、2,4ジメチルチオキサ7トン、2,
4ジ−イソプロピルチオキサ7)/、2−クロロチオキ
サントンに代表されるチオキサ7トン類が用いられてい
る。
2-tert, anthraquinones represented by butyl anthraquinone, 7 tons of 2,4 dimethylthioxa, 2,
Thioxa 7tons represented by 4di-isopropylthioxanthone/2-chlorothioxanthone are used.

このうち、ミヒラーズヶト/とべ/ジフェノ/混合系が
主に用いられている。
Among these, Michler's Gato/Tobe/Dipheno/mixed systems are mainly used.

しかし、これらの光重合開始剤を用いて、ドライフィル
ムレジストをつくり、露光、現像してバターニングする
と表面架橋型となり、レジストパターン断面が、上底が
下底より長い逆台形になる。したがって、特にメッキ工
程を含むハンダスルホール法で、100μ?n以下の微
細パター7のあるプリメト配線板を製造する場合には、
前記の光重合開始剤を用いたレジストでバターニング後
、電気メッキをすると2回路パター7となるメッキパタ
ーン断面は上底が下底より短い台形となり、プリント配
線板回路の電気特性が著しく低下する問題、8起こして
いた。
However, when a dry film resist is made using these photopolymerization initiators, exposed to light, developed, and buttered, it becomes a surface cross-linked type, and the cross-section of the resist pattern becomes an inverted trapezoid with the upper base longer than the lower base. Therefore, especially with the solder through-hole method that includes a plating process, When manufacturing a prime wiring board with a fine pattern 7 of n or less,
When electroplating is performed after patterning with a resist using the above photopolymerization initiator, the cross section of the plating pattern forming the two-circuit pattern 7 becomes a trapezoid with the upper base shorter than the lower base, and the electrical characteristics of the printed wiring board circuit are significantly deteriorated. There were 8 problems.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は、上述したよりな従来技術に鑑み、ブリ
/ト配將板メッキ回路バター7断面を長方形にし、プリ
ント配線板回路の′眠気特性を著しく向上せしめること
Kある。
In view of the above-mentioned prior art, an object of the present invention is to significantly improve the drowsiness characteristic of the printed wiring board circuit by making the cross section of the plated circuit board 7 of the printed wiring board rectangular.

〔発明の構成〕 本発明に係る元重合性樹脂粗成物は。[Structure of the invention] The original polymerizable resin crude product according to the present invention is as follows.

込) メタクリル酸メチル、炭素数1〜4のアルキル基
を有するアクリル酸アルキルエステルおよびカルボン酸
基含有ビニル単量体の共重合体よりなるバインダ樹脂。
A binder resin comprising a copolymer of methyl methacrylate, an acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and a vinyl monomer containing a carboxylic acid group.

(Bl 分子中に少な(とも2個のエチレン性不飽和基
を有する架橋性単量体 および (C1ベンジルジメチルケタール かうなる。
(Bl is a crosslinkable monomer having two ethylenically unsaturated groups in the molecule) and (C1 benzyl dimethyl ketal).

本発明の組成物を構成するバインダ樹脂は。The binder resin constituting the composition of the present invention is as follows.

メタクリル酸メチル、炭素数1〜4のアルキル基を有す
るアクリル酸アルキルエステルおよびカルボ/酸基含有
ビニル単量体よりなる単量体混合物を重合させて得た共
重合体よりなる。
It consists of a copolymer obtained by polymerizing a monomer mixture consisting of methyl methacrylate, an acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and a carbo/acid group-containing vinyl monomer.

バインダ樹脂を構成するのに使用される炭素数1〜4の
アルキル基を有するアクリル酸アルキルエステルとして
は、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸
n−プロピル、アクリル酸イングロビル、アクリル酸n
−ブチル。
Examples of the acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms used to constitute the binder resin include methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, inglovir acrylate, and n-acrylate.
-Butyl.

アクリル酸sec、−ブチル、アクリル酸tert、 
−ブチル等があげられる。これらの単量体は、1種また
は2種以上を共重合体中2〜70重量係重量間となるよ
うに用いることが望ましく、共重合体中の含有量が2i
I(8%未満では、露光後のドライフィルムレジストが
硬すぎて、レジスト剥離を起こしやすくなり、また70
重量りを越えるとコールドフロー現象の原因となる。
acrylic acid sec, -butyl, acrylic acid tert,
-butyl etc. It is desirable to use one or more of these monomers in an amount of 2 to 70% by weight in the copolymer, and the content in the copolymer is 2i
I (If it is less than 8%, the dry film resist after exposure will be too hard and will easily cause resist peeling, and if it is less than 70%
Exceeding the weight will cause a cold flow phenomenon.

またバインダ樹脂を′4昔成するのに使用されるカルボ
ン酸基含有ビニル単量体としては、アクリル酸、メタク
リル酸、マレイ/酸、クロトン酸、フマル酸、イタコン
酸等が挙げられ、これらの1種または2種以上を共N合
体中10〜50重景係の範囲となるよりに用いることが
望ましい。使用量が10重量係未満のバインダ樹脂を用
いると、現像ができないかまたは現像時間が長(かかり
すぎて解像度の低下をひき起こす。
In addition, examples of carboxylic acid group-containing vinyl monomers used to form binder resins include acrylic acid, methacrylic acid, maleic acid, crotonic acid, fumaric acid, itaconic acid, etc. It is preferable to use one or more of them so that the number of carbon atoms in the co-N combination ranges from 10 to 50. If a binder resin is used in an amount less than 10% by weight, development may not be possible or the development time may be too long (which may cause a decrease in resolution).

一方、50重号%以上のバインダ樹脂を用いると現像時
間が極めて短(なり、高解像度パターンを得るには現像
コントロールが困難となり。
On the other hand, if a binder resin of 50% by weight or more is used, the development time becomes extremely short (and development control becomes difficult to obtain a high resolution pattern).

硬化部の耐水性も低下する。The water resistance of the hardened portion also decreases.

本発明において使用するバインダ樹脂の重量平均分子量
は40,000〜200,000の範囲のものである。
The weight average molecular weight of the binder resin used in the present invention is in the range of 40,000 to 200,000.

重量平均分子量が40,000未満の場合は、ドライフ
ィルムレジストトシテロールに巻いて保存した時に、レ
ジスト組成物が支持フィルムの間かし経時的ににじみ出
る。いわゆるコールドフロー現象を起こし、また重量平
均分子量が200,000を越える場合は、未露光部が
溶解せず、現像できないかまたは現像時間が極めて長く
かかり、解像度の低下を起こす。
When the weight average molecular weight is less than 40,000, the resist composition oozes out through the support film over time when the dry film resist is wound and stored on tosite roll. A so-called cold flow phenomenon occurs, and if the weight average molecular weight exceeds 200,000, unexposed areas will not dissolve and development will not be possible or development will take an extremely long time, resulting in a decrease in resolution.

本発明の組成物を構成する分子中に少な(とも2個のエ
チレン性不飽相単量体としては2例えばポリエチレング
リコールジ(メタ)アクリレート、プロビレ/グリコー
ルジ(メタ)アクリレ−)、1.3−ブタンジオールジ
(メタ)アクリレート、1,4−ブタンジオールジ(メ
タ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)
アクリレート、l、6−ヘキサンシオールジ(メタ)ア
クリンート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アク
リレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレー
ト、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、
ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート等の
ポリエステル(メタ)アクリレートの他にエボキシ(メ
タ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート等が
挙げられる。これらは単独または2種以上混合して用い
られる。
In the molecules constituting the composition of the present invention, there is a small amount (both the two ethylenically unsaturated phase monomers are 2, for example, polyethylene glycol di(meth)acrylate, probilene/glycol di(meth)acrylate), 1. 3-butanediol di(meth)acrylate, 1,4-butanediol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)
Acrylate, l,6-hexanethiol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate,
In addition to polyester (meth)acrylates such as pentaerythritol tetra(meth)acrylate, epoxy (meth)acrylates, urethane (meth)acrylates, and the like can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.

バインダ樹脂/架橋性単量体の配合比(1計)は273
〜9の範囲とすることができる。配合比が273未満で
は組成物を均一に塗布できなかったり、乾燥後レジスト
層でマイグレーンヨンを起こしたり、コールドフロー現
象をひき起こす。−万、9を越えるとレジスト^イ元部
が現像液で急速に溶解し現像が不可能となる。
The blending ratio of binder resin/crosslinkable monomer (1 total) is 273
It can be in the range of ~9. If the blending ratio is less than 273, the composition may not be applied uniformly, or migration may occur in the resist layer after drying, or a cold flow phenomenon may occur. - If it exceeds 9,000,000, the original part of the resist will be rapidly dissolved by the developer, making development impossible.

本発明の組成物を構成するべ/ジルジメナルケタールは
9元重合開始剤として使用され2組成物中一般にレジス
ト固型分に対し℃0,2〜2゛重量係、好ましくは0.
5〜165重量係の範囲で用いるとよく、使用量が2重
量%を縞えると。
The be/zyl dimenal ketal constituting the composition of the present invention is used as a 9-component polymerization initiator, and is generally 0.2 to 2 degrees Celsius by weight, preferably 0.2 degrees Celsius, relative to the resist solid content in the two compositions.
It is best to use it in a range of 5 to 165% by weight, and the amount used is more than 2% by weight.

レジストの暗反応を促進し、レジストの寿命を短くする
ばかりでなく、適切な露光量を得るための露光強度と露
光時間の選択が困難である。
This not only promotes the dark reaction of the resist and shortens the life of the resist, but also makes it difficult to select the exposure intensity and exposure time to obtain an appropriate exposure amount.

一方、0.2重量受未満では市販の超高圧水銀灯の光強
度には限界があるため、露−九時間を長くとる必要があ
り、解像に必要な露光量を与えると、線幅が太って解像
度の低下をひき起こす。
On the other hand, since there is a limit to the light intensity of commercially available ultra-high pressure mercury lamps at less than 0.2 gb, it is necessary to take a longer exposure time of 9 hours. This causes a decrease in resolution.

本発明の組成物は、希釈溶剤の不存在でも使用可能であ
るが、バインダ樹脂を溶解させ、かつ沸点のあまり高(
ない溶剤9例えばメチルエチルケトン、塩化メチレ/、
塩化メチレン/メチルアルコール混合物、イソプロピル
アルコールまたはインプロピルアルコール主成分量とす
る他の溶剤との混合物等を使用することが9筐゛しい。
Although the composition of the present invention can be used in the absence of a diluting solvent, it can dissolve the binder resin and have a boiling point too high (
No solvents 9 e.g. methyl ethyl ketone, methylene chloride/,
It is preferred to use methylene chloride/methyl alcohol mixtures, mixtures containing isopropyl alcohol or inpropyl alcohol as a main component with other solvents, and the like.

溶剤の使用量は1組成物に対して200重量係以下、好
ましくは100〜200重量%である。
The amount of the solvent used is 200% by weight or less, preferably 100 to 200% by weight, based on one composition.

本発明の組成物を溶剤の存在下で使用する場合には2組
成物に溶剤を添加混合するか、バインダ樹脂を製造する
際、前記の溶剤を用いて溶液重合させるか、あるいはそ
れに溶剤をさらに追加添加する方法等が採用できる。溶
液重合のバインダ樹脂を使用する場合には、溶剤として
イソプロピルアルコールあるいはインプロピルアルコー
ル80重量%以上と20重t%以下の塩化メチレン、メ
チルエチルケト7等との混合溶剤が好ましい。
When the composition of the present invention is used in the presence of a solvent, the solvent may be added to and mixed with the two compositions, or the above-mentioned solvent may be used for solution polymerization when producing the binder resin, or the solvent may be further added thereto. A method of adding additionally, etc. can be adopted. When using a solution-polymerized binder resin, a mixed solvent of 80% by weight or more of isopropyl alcohol or inpropyl alcohol and 20% by weight or less of methylene chloride, methyl ethyl keto 7, etc. is preferable.

本発明の組成物は、必要に応じて密着促進剤。The composition of the present invention may optionally contain an adhesion promoter.

熱重合禁止剤、染料、可塑剤および充填剤のような成分
を添加することもできる〇 本発明の組成物を用いてドライフィルムレジストを形成
させるには1組成物を支持体上に塗布し、溶剤を使用す
る場合にはその溶剤を飛散させる。組成物を支持体に塗
布するには、グレートコータ、ロッドコータ、ナイフコ
ータ、ロールドクターコータ、コンマコータ、リバース
ロールコータ、トランスファロールコータ、グラビアコ
ータ、キスロールコータ、カーテンコータ等を用いるこ
とができる。これらの選択は塗工重量、塗布液粘度、塗
工速度等((よって決められる。支持体としてはポリエ
ステル等のプラスチックフィルムが主に用いられる。乾
燥機としては、可燃性溶剤を使用する場合には、安全性
から蒸気による空似加熱式の熱源を備えたものを用い、
乾燥機内の熱風を向流接触せしめる方式およびノズルよ
り支持体に吹きつげる方式等が用いられる。乾燥機の形
状はアーチ式。
Ingredients such as thermal polymerization inhibitors, dyes, plasticizers and fillers may also be added. To form a dry film resist using the composition of the present invention, one composition is coated on a support, If a solvent is used, scatter the solvent. To apply the composition to the support, a grate coater, a rod coater, a knife coater, a roll doctor coater, a comma coater, a reverse roll coater, a transfer roll coater, a gravure coater, a kiss roll coater, a curtain coater, etc. can be used. These selections are determined by the coating weight, viscosity of the coating solution, coating speed, etc. (Plastic films such as polyester are mainly used as the support. As for the dryer, when using flammable solvents, For safety reasons, use a heat source that uses steam to simulate air heating.
A method in which the hot air in the dryer is brought into countercurrent contact, a method in which the hot air is blown onto the support from a nozzle, etc. are used. The shape of the dryer is an arch type.

フラット式等目的にあわせて選択して用いられる。The flat type is selected and used depending on the purpose.

乾燥後のドライフィルムには必要ならば、ポリエチレン
やポリプロピレンのような保護フィルムをラミネートし
て用いても良い。
If necessary, the dry film after drying may be laminated with a protective film such as polyethylene or polypropylene.

以上のよ’)VCして製造したドライフィルムレジスト
は、エッチ/グ用レジストまたはブレーティング用レジ
ストとしても保存性1作業性。
The dry film resist produced by VC as described above has excellent storage stability and workability as an etch/g resist or a brating resist.

工程通過性能に優れ高解像度バター/が得られる。High-resolution butter with excellent process passing performance can be obtained.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本発明の光重合性組成物の特筆すべき点は。 The noteworthy points of the photopolymerizable composition of the present invention are as follows.

パターニングされたレジストの断面形状を長方形に解像
できることである。これにより、プリント配線板のメッ
キパターン断面も長方形となり、決められた線幅に対し
て、充分導電面積を広(することができる。このため、
従来微細パターンを有するプリント配線板の製造時にレ
ジストパターン断面が逆台形になることにより起こる。
The cross-sectional shape of a patterned resist can be resolved into a rectangle. As a result, the cross section of the plating pattern on the printed wiring board also becomes rectangular, and the conductive area can be sufficiently widened for the determined line width.
Conventionally, this occurs when the cross section of the resist pattern becomes an inverted trapezoid when manufacturing a printed wiring board having a fine pattern.

メッキパターン断面の台形化と縮少による電気特性の低
下をなくすことができる。
It is possible to eliminate deterioration in electrical properties due to trapezoidalization and reduction of the cross section of the plating pattern.

〔実施例〕〔Example〕

以下、実施例により本発明を具体的に説明する。 Hereinafter, the present invention will be specifically explained with reference to Examples.

実施例1〜5.比較例1〜5 下記の組成を有する光重合性樹脂組成物を調合した。Examples 1-5. Comparative examples 1 to 5 A photopolymerizable resin composition having the following composition was prepared.

(1) バインダ樹、脂 286m量部(2)トリメチ
ロールプロパントリアクリレート 50′N量部(3)
 テトラエチレングリコールジアクリレート 20重量
部(4) べ/シトリアゾール 0.4重量部(5) 
メチレンブルー 0.75i量部(6) 光重合開始剤
 表1に示す景の元重合開始剤表 1 七の組成物をプロペラ型ミキサーで攪拌し。
(1) Binder resin, resin 286 m parts (2) Trimethylolpropane triacrylate 50'N parts (3)
Tetraethylene glycol diacrylate 20 parts by weight (4) Be/citriazole 0.4 parts by weight (5)
Methylene blue 0.75i parts (6) Photopolymerization initiator The composition shown in Table 1 of Table 1 was stirred with a propeller type mixer.

プレードコータにより厚さ25μm9幅360酩のポリ
エステルフィルム上に塗布幅340mに塗布した。
The coating was applied to a coating width of 340 m on a polyester film having a thickness of 25 μm and a width of 360 m using a blade coater.

次いで幅4001nLt高さ100m、長さ8rnのフ
ラット型乾燥機中を向流にし又熱風温度を送り込み、乾
燥塗工厚さを50μmとした。
Next, hot air was fed through a flat type dryer having a width of 4001 nL, a height of 100 m, and a length of 8 rn in a countercurrent manner so that the dry coating thickness was 50 μm.

この時の塗工速度は5 m1分、乾燥機内の風速を3 
ff17分、熱風温度を90℃とした。
The coating speed at this time was 5 ml/min, and the wind speed in the dryer was 3
ff for 17 minutes, and the hot air temperature was set to 90°C.

次いで、厚さ25μmのポリエチレン保護フィルムを乾
燥塗膜上にラミネートして、その後ロールに巻き取った
。得られたドライフィルムレジストは、保護フィルムを
剥離しながら塗布膜面を銅張積層(に熱ラミネートし、
@張積層板の温度が室温に戻った後、ポリエステルフィ
ルム面にフォトツールを密着して超高圧水銀灯で露光し
た。フォトツールは50μm、60μm。
A 25 μm thick polyethylene protective film was then laminated onto the dried coating and then wound onto a roll. The obtained dry film resist is thermally laminated to a copper clad laminate (copper clad laminate) while removing the protective film.
After the temperature of the @stretched laminate returned to room temperature, a photo tool was placed in close contact with the polyester film surface and exposed to an ultra-high pressure mercury lamp. Photo tools are 50μm and 60μm.

80μm、100μm幅のライ/アンドスペイスパター
ンを用いた。また、超高圧水銀灯はウシオ電機U8H−
102Dを用い、照射した。
A lie/and space pattern with widths of 80 μm and 100 μm was used. In addition, the ultra-high pressure mercury lamp is Ushio Inc. U8H-
102D was used for irradiation.

この際の露光強度はウシオ電機紫外線強度計UIT−1
00に受光器UVD −365Pを取りつけて測定し、
5 my/cR” とした。N光径20分放置して支持
フィルムを剥離して、1%炭酸す) IJウム水溶液で
現像した。現像は液温30℃、スプレー圧1.4 kg
/cIIL”とし、スプレーと基板の距離を10cII
Lとして行なった。次いで、中性洗剤水溶液に室温で約
1分間浸漬し、脱脂後オーバーフロータンクでスプレー
水洗を約1分間行ない、その後約20%の過硫酸アンモ
ニウム水溶液中に1分間浸漬した。再びスプレー水洗洗
浄を約1分間行なった後、約15%の硫酸水溶液に1分
間浸漬し、再びスプレー水洗を1分間行なった。次いで
、硫酸鋼メッキ槽に入れて75分間* 2.3 A/ 
dm でメッキを行なった。
The exposure intensity at this time is Ushio Inc.'s ultraviolet intensity meter UIT-1.
Attach a photodetector UVD-365P to the 00 and measure.
5 my/cR". N light diameter was allowed to stand for 20 minutes, the support film was peeled off, and the film was developed with a 1% IJum aqueous solution. Development was carried out at a solution temperature of 30°C and a spray pressure of 1.4 kg.
/cIIL” and the distance between the spray and the substrate is 10cII.
I did it as L. Next, it was immersed in a neutral detergent aqueous solution at room temperature for about 1 minute, and after degreasing, it was spray washed with water in an overflow tank for about 1 minute, and then immersed in an about 20% ammonium persulfate aqueous solution for 1 minute. After spray washing with water was performed again for about 1 minute, it was immersed in an approximately 15% sulfuric acid aqueous solution for 1 minute, and spray washing was performed again with water for 1 minute. Then, it was placed in a sulfuric acid steel plating bath for 75 minutes*2.3 A/
Plating was performed using DM.

この時の温度は22℃で行なった。メッキ終了後直ちに
水洗し、15%硼弗酸水溶液に浸漬し。
The temperature at this time was 22°C. Immediately after plating, it was washed with water and immersed in a 15% borofluoric acid aqueous solution.

次いで18分間1.8 A/ dm”、 22℃でハイ
スローハンダメツキラ行すった。
Then, high-slow solder plating was performed for 18 minutes at 1.8 A/dm'' and 22°C.

ハンダメッキ液の配合は次の通りである。The composition of the solder plating solution is as follows.

錫 151/11 鉛 10P/Il 遊離硼弗酸 4001/1 遊離硼酸 21.61/lj ペプトン 5.2P/11 メッキ終了後、水洗を行ない、その後乾燥した。Tin 151/11 Lead 10P/Il Free borofluoric acid 4001/1 Free boric acid 21.61/lj Peptone 5.2P/11 After plating, it was washed with water and then dried.

各ドライフィルムレジストを用いて、最適露光した時の
露光時間と解像度および現像後レジストパターン断面の
形状とメッキ後のメッキパターン断面形状を表21C示
した。なお、レジスト断面およびメッキ後のプリント配
線板の断面は、レジストパター二/グ後およびメッキ後
のプリント配線板を切り出し、エポキシ樹脂中に封入後
、樹脂ごとその断面を研磨し℃顕微鏡観察した。
Table 21C shows the exposure time and resolution, the cross-sectional shape of the resist pattern after development, and the cross-sectional shape of the plating pattern after plating when each dry film resist was used for optimal exposure. The resist cross section and the cross section of the printed wiring board after plating were obtained by cutting out the printed wiring board after resist patterning and plating, encapsulating it in epoxy resin, polishing the cross section together with the resin, and observing it under a °C microscope.

表 2Table 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】 t (A) メタクリル酸メチル、炭素a1〜4のアル
キル基を有するアクリル酸アルキルエステルおよびカル
ボン酸基含有ビニル単量体の共重合体よりなるパイ/ダ
樹脂。 (Bl 分子中に少な(とも2個のエチレン性不飽和基
を有する架橋性単量体 および (C1べ/ジルジメチルケタール かもなる光重合性樹脂組成物
[Scope of Claims] t (A) A Pi/Da resin comprising a copolymer of methyl methacrylate, an acrylic acid alkyl ester having an alkyl group having carbons a1 to 4, and a vinyl monomer containing a carboxylic acid group. (Bl is a photopolymerizable resin composition containing a crosslinkable monomer having two ethylenically unsaturated groups in the molecule and (C1 be/zyl dimethyl ketal)
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