JPS6080843A - Photopolymerizable resin composition - Google Patents

Photopolymerizable resin composition

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JPS6080843A
JPS6080843A JP18769983A JP18769983A JPS6080843A JP S6080843 A JPS6080843 A JP S6080843A JP 18769983 A JP18769983 A JP 18769983A JP 18769983 A JP18769983 A JP 18769983A JP S6080843 A JPS6080843 A JP S6080843A
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JP
Japan
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solvent
dry film
polymer
polymerization
solution
Prior art date
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Pending
Application number
JP18769983A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Uchida
内田 広幸
Shuichi Tanaka
修一 田中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Rayon Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Rayon Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Publication of JPS6080843A publication Critical patent/JPS6080843A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers

Abstract

PURPOSE:To obtain a dry film forming resist by using a thermoplastic polymer for a binder prepd. by soln. polymn. in isopropanol, a solvent for improving the solubility of the polymer, a monomer having two ethylenic unsatd. groups, and a photopolymn. initiator. CONSTITUTION:A dry film forming resist is composed of a thermoplastic polymer soln. for a binder prepd. by soln. polymn. in isopropanol (IPA) or an IPA- base mixed solvent, a solvent for further improving the solubility of the polymer, a monomer having at least two ethylenic unsatd. groups in the molecule as a cross-linking agent, and a photopolymn. initiator which can be optically activated with active light. IPA dissolves the polymer and the monomer contained in large quantities, increases the polymn. temp., enables the formation of a polymer at a high rate of polymn. in a short time, and evaporates at a high speed, so a dry film can be formed at a low temp. in a short time without carrying out heat curing. The dry film forming resist has superior shelf stability, work efficiency and processability, gives a pattern with high resolution, and requires only an alkaline aqueous soln. in a stripping stage. It is not expensive and is used in printed wiring or the like.

Description

【発明の詳細な説明】 (イ)技術分野 本発明は、特にプリント配線板用アルカリ現像型ドライ
フィルムレジストの形成に用いられる光重合性樹脂組成
物に関する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION (a) Technical Field The present invention relates to a photopolymerizable resin composition used particularly for forming an alkali-developable dry film resist for printed wiring boards.

(ロ)従来技術 アルカリ現像型ドライフィルムレジストに用いられるバ
インダ用熱可塑性重合体(以下、「バインダレジン」と
記す)はアルカリ性希薄水溶液に対して不溶性もしくは
膨潤性でかつ水に対して可溶性でなくてはならない。か
かる熱可塑性重合体としては、従来、カルボン酸基含有
のビニル付加重合体が用いられている。しかし、現像し
て微細パターンを解像できる必要最少量のカルボン酸基
を導入した重合体より形成されたレジストは、露光後の
剥離工程においてアルカリ水溶液単独の剥離液に浸漬す
ると、硬化レジストは膨潤し、小片になることなくパタ
ーンの形態を保持したまま剥離される。このため剥離物
が剥離機中の搬送ロールに巻きついたりオーバーハング
したメッキの下部に当たる硬化レジストが剥離しGこく
い等の問題があった。これらを解決するため、バインダ
レジンにカルホン酸基を多(導入し、剥離液浸漬時に硬
化レジスト膜を破砕しながら剥離する必要が生じている
(b) Prior art The thermoplastic polymer for the binder (hereinafter referred to as "binder resin") used in alkaline-developable dry film resists is insoluble or swellable in dilute alkaline aqueous solutions and is not soluble in water. must not. Conventionally, vinyl addition polymers containing carboxylic acid groups have been used as such thermoplastic polymers. However, when a resist formed from a polymer into which the minimum necessary amount of carboxylic acid groups has been introduced to be able to develop and resolve a fine pattern, the cured resist swells when it is immersed in a stripping solution consisting of an alkaline aqueous solution alone in the stripping process after exposure. However, it is peeled off while retaining the pattern form without becoming small pieces. For this reason, there were problems such as the peeled material getting wrapped around the conveyor roll in the peeling machine, and the hardened resist hitting the lower part of the overhanging plating peeling off, resulting in poor G resistance. In order to solve these problems, it has become necessary to introduce a large number of carbonic acid groups into the binder resin and peel it off while crushing the cured resist film when immersed in a stripping solution.

一方、アルカリ現像型ドライフィルムレジストの製造法
としては、従来から主として以下の2つの方法が採られ
ている。その第一は、種々の方法で乾燥状態のバインダ
レジンを調整し、これを用いて架橋性単量体、光重合開
始剤及び他の添加剤を共々溶剤に溶解して塗布液を調合
した後、支持体に塗布し、その後乾燥して溶剤を飛散さ
せドライフィルムを得る方法である。第二は、溶液重合
法によりバインダレジンを重合して得た重合体溶液中に
架橋性R量体、光重合開始剤及び他の添加剤を混合溶解
して、塗布液を調合した後、支持体に塗布し、その後乾
燥して溶剤を飛散させ、ドライフィルムを得る方法であ
る。
On the other hand, as a method for manufacturing an alkali-developable dry film resist, the following two methods have conventionally been adopted. The first method is to prepare a dry binder resin using various methods, and use this to dissolve a crosslinking monomer, a photoinitiator, and other additives in a solvent to prepare a coating solution. This is a method in which a dry film is obtained by coating the film on a support and then drying it to scatter the solvent. The second method is to prepare a coating solution by mixing and dissolving a crosslinkable R-mer, a photopolymerization initiator, and other additives in a polymer solution obtained by polymerizing a binder resin using a solution polymerization method. This method involves applying it to the body and then drying it to scatter the solvent to form a dry film.

アルカリ現像型ドライフィルムレジストに用いられるバ
インダレジンの製造に用いられる重合反応は、主にラジ
カル反応であり、その重合方式としては塊状重合、溶液
重合、懸濁重合、乳化重合の四方式が知られている。前
記高カルボン酸基含有率のバインダレジンを製造するに
は、カルボン酸基含有のビニル単量体が水溶性であるた
め、懸濁重合や乳化重合は採用困難である。
The polymerization reaction used to produce the binder resin used in alkaline-developable dry film resists is mainly a radical reaction, and there are four known polymerization methods: bulk polymerization, solution polymerization, suspension polymerization, and emulsion polymerization. ing. In order to produce the binder resin having a high carboxylic acid group content, it is difficult to employ suspension polymerization or emulsion polymerization because the carboxylic acid group-containing vinyl monomer is water-soluble.

また、前記第一の製造法で乾燥状態のバインダレジンを
直接得る方法として、溶液重合法による場合は、重合後
再沈、乾燥操作の必要があり、ドライフィルム製造工程
において溶剤を2回使う必要がある。一方、塊状重合法
で重合した場合は、乾燥状態の重合体が直接得られるが
、塗布液を重合する際溶解しやすいように破砕する必要
があるばかりでなく、重合の調整が困難であり、工業的
にはコスト高になる。いずれにせよ、第一の製造法は製
造コストが高くなる問題があった。
In addition, when the solution polymerization method is used to directly obtain the binder resin in a dry state in the first manufacturing method, reprecipitation and drying operations are required after polymerization, and it is necessary to use a solvent twice in the dry film manufacturing process. There is. On the other hand, when polymerization is carried out by bulk polymerization, a dry polymer can be obtained directly, but not only does it have to be crushed to facilitate dissolution when polymerizing the coating solution, but it is also difficult to control the polymerization. Industrially, the cost will be high. In any case, the first manufacturing method has the problem of high manufacturing costs.

前記第二の製造法では、重合溶媒として、単量体及び生
成重合体を良く溶解するものであるばかりでなくバイン
ダレジン以外の他の構成成分をも溶解し、塗布液塗布後
ドライフィルムレジストが熱硬化を起こさない程度の低
温でしかも短時間に乾燥しやすい溶媒を用いなくてはな
らない。特開昭50−147,323号に示されている
ような塩化メチレンとメチルアルコールの共溶剤は高カ
ルボン酸基含有率のビニル付加重合体の溶解性が極めて
優れ、乾燥が極めて安易なものの、沸点が極めて低く、
重合温度が低くなり十分な重合速度が得られず、実質的
に重合不能であり、かつ極めて低分子量の重合体しか得
られず、本目的の重合溶媒としては使用できない。一方
、特開昭52−94.388号に示されているようなメ
チルセロソルブを重合溶媒として用いた場合は、高沸点
溶媒のため重合の温度幅を広げることが可能になる点で
工業的に有利ではあるが、塗布液を塗布した後の乾燥時
に乾燥負荷が多く、ドライフィルムレジストの生産性低
下を起こしていた。
In the second production method, the polymerization solvent is one that not only dissolves the monomer and the resulting polymer well, but also dissolves other components other than the binder resin, and after applying the coating liquid, the dry film resist is formed. It is necessary to use a solvent that can be dried at a low temperature that does not cause thermal curing and that can be easily dried in a short time. Although the co-solvent of methylene chloride and methyl alcohol as shown in JP-A-50-147,323 has excellent solubility of vinyl addition polymers with a high content of carboxylic acid groups and is extremely easy to dry, The boiling point is extremely low,
Since the polymerization temperature becomes low and a sufficient polymerization rate cannot be obtained, it is substantially impossible to polymerize, and only extremely low molecular weight polymers can be obtained, so that it cannot be used as a polymerization solvent for this purpose. On the other hand, when methyl cellosolve as shown in JP-A No. 52-94.388 is used as a polymerization solvent, it is industrially useful because it is a high boiling point solvent and it is possible to widen the temperature range of polymerization. Although it is advantageous, the drying load is large during drying after coating the coating liquid, resulting in a decrease in the productivity of the dry film resist.

(ハ)発明の目的 本発明の目的は、上述のような従来技術の問題を克服し
て、高カルボン酸含有率のバインダレジンを調整するた
めの重合を工業的有利に実施できる重合溶媒を用い、且
つ、乾燥負荷の小さい塗布液溶媒を利用し、ひいては、
特にアルカリ現像型ドライフィルムレジストを工業的宥
和に製造することができる光重合性樹脂組成物を提供す
ることにある。
(c) Purpose of the Invention The purpose of the present invention is to overcome the problems of the prior art as described above, and to use a polymerization solvent that can industrially advantageously carry out polymerization for preparing a binder resin with a high carboxylic acid content. , and by using a coating liquid solvent with a small drying load, and as a result,
In particular, it is an object of the present invention to provide a photopolymerizable resin composition that allows the production of an alkali-developable dry film resist in an industrially convenient manner.

(ニ)発明の構成 本発明に係る光重合性樹脂組成物はイソプロピルアルコ
ール溶媒またはこれを主成分とする混合溶媒中で溶液重
合して得たバインダ用熱可塑性重合体溶液、該バインダ
用熱可塑性重合体の溶解性を向上するための溶剤、架橋
剤として分子中に少なくとも2個のエチレン性不飽和基
を有する単量体及び活性光線により光活性可能な光重合
開始剤からなることを特徴とする。
(d) Structure of the Invention The photopolymerizable resin composition according to the present invention includes a thermoplastic polymer solution for a binder obtained by solution polymerization in an isopropyl alcohol solvent or a mixed solvent containing the same as a main component, and a thermoplastic polymer for the binder. It is characterized by consisting of a solvent for improving the solubility of the polymer, a monomer having at least two ethylenically unsaturated groups in the molecule as a crosslinking agent, and a photopolymerization initiator that can be photoactivated by actinic light. do.

(ホ)実施態様 本発明に使用される重合溶媒の主成分であるイソプロピ
ルアルコールは、高カルボン酸基含有率バインダレジン
及びその単量体を溶解するばかりでなく、この使用によ
り重合温度も充分高くできるので、バインダレジンに必
要な高重合率のものを短時間に製造することができる。
(E) Embodiment Isopropyl alcohol, which is the main component of the polymerization solvent used in the present invention, not only dissolves the binder resin with a high carboxylic acid group content and its monomer, but also raises the polymerization temperature sufficiently. Therefore, a binder resin with a high polymerization rate required for the binder resin can be produced in a short time.

また、イソプロピルアルコールは蒸発速度が速いので、
ドライフィルムが熱硬化しないような低温において短時
間に乾燥できるため、ドライフィルムの製造に極めて好
適である。
Also, isopropyl alcohol has a fast evaporation rate, so
It is extremely suitable for producing dry films because it can be dried in a short time at a low temperature that does not cause dry films to harden.

イソプロピルアルコールに添加する重合溶媒は混合溶媒
重量に基づき20重量%以下の範囲で、用いることがで
きる。かかる共溶媒としては単量体及び生成される重合
体を溶解することができ沸点が75℃以下の溶媒を用い
ることができる。適当な共溶媒はバインダ用熱可塑性重
合体の種類に依存して変わる。例えば、メタアクリル酸
メチル/メタアルリル酸共重合体の重合溶媒添加物とし
ては塩化メチレンおよびメチルエチルケトンが有効であ
る。
The polymerization solvent added to isopropyl alcohol can be used in an amount of 20% by weight or less based on the weight of the mixed solvent. As such a co-solvent, a solvent that can dissolve the monomer and the produced polymer and has a boiling point of 75° C. or lower can be used. Suitable cosolvents will vary depending on the type of thermoplastic binder polymer. For example, methylene chloride and methyl ethyl ketone are effective as polymerization solvent additives for methyl methacrylate/methacrylic acid copolymer.

本発明の溶液重合には、熱重合法、光重合法。The solution polymerization of the present invention includes a thermal polymerization method and a photopolymerization method.

放射線重合法のいずれを用いても良いが、大量の単量体
の重合には熱重合法が装置的に適している。
Although any radiation polymerization method may be used, the thermal polymerization method is suitable for polymerizing a large amount of monomer in terms of equipment.

溶液重合すべきモノマーすなわち、アルカリ現像型ドラ
イフィルムレジストに用いられるバインダ用熱可塑性重
合体を形成すべき七ツマ−の代表例としては、アクリル
酸エステル、メタルアクリル酸エステル、スチレン等と
カルボン酸の混合体を挙げることができる。アクリル酸
エステルまたはメタアクリル酸エステルとしては、例え
ば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エ
チル、(メタ)アクリル1ln−ブチル、(メタ)アク
リル酸1so−ブチル、(メタ)アクリル酸tert、
ブチル、(メタ)アクリル酸プロピル。
Typical examples of monomers to be solution polymerized to form thermoplastic polymers for binders used in alkali-developable dry film resists include acrylic esters, metal acrylic esters, styrene, etc., and carboxylic acids. Mixtures may be mentioned. Examples of acrylic esters or methacrylic esters include methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, 1ln-butyl (meth)acrylate, 1so-butyl (meth)acrylate, and tert (meth)acrylate. ,
Butyl, propyl (meth)acrylate.

(メタ)アクリル酸ネオペンチル、(メタ)アクリル酸
ヘキシル、(メタ)アクリル酸ヘプチル。
Neopentyl (meth)acrylate, hexyl (meth)acrylate, heptyl (meth)acrylate.

(メタ)アクリル酸オクチル、(メタ)アクリル酸2−
エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸ラウリル、(メタ
)アクリル酸テトラデシル、(メタ)アクリル酸ヘキサ
デシル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル、(
メタ)アクリル酸2−ヒドロキシプロピル等が挙げられ
る。これらは単独又は2種以上混合して用いられる。
(meth)octyl acrylate, (meth)acrylic acid 2-
Ethylhexyl, lauryl (meth)acrylate, tetradecyl (meth)acrylate, hexadecyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, (
Examples include 2-hydroxypropyl meth)acrylate. These may be used alone or in combination of two or more.

カルボン酸としてはアクリル酸、メタアクリル酸、イタ
コン酸、フマル酸、マレイン酸等が挙げられる。ドライ
フィルムレジストをアルカリ性水溶液で現像するには、
カルボン酸の共重合比をメタアクリル酸の場合15〜5
0重量%の範囲で用いることが望ましい。添加量が15
重量%未満のバインダレジンを用いると現像時間が極め
て長くなるばかりでなく、解像度も低下する。50重量
%以上のバインダレジンを用いると現像時間が極めて短
くなり、高解像度パターンを得るには現像コントロール
が困難となり、硬化部の耐水性も低下する。しかし、剥
離工程で破砕剥離を起こさせようとするとカルボン酸共
重合比はメタアクリル酸で20〜50重量%にすること
が必要である。
Examples of carboxylic acids include acrylic acid, methacrylic acid, itaconic acid, fumaric acid, and maleic acid. To develop dry film resist with alkaline aqueous solution,
The copolymerization ratio of carboxylic acid is 15 to 5 in the case of methacrylic acid.
It is desirable to use it in the range of 0% by weight. Addition amount is 15
Using less than % by weight of binder resin not only significantly increases development time but also reduces resolution. If a binder resin of 50% by weight or more is used, the development time becomes extremely short, it becomes difficult to control the development to obtain a high-resolution pattern, and the water resistance of the cured part also decreases. However, in order to cause crushing and peeling in the peeling process, it is necessary to adjust the carboxylic acid copolymerization ratio to 20 to 50% by weight of methacrylic acid.

20重量%未満では硬化レジストが破砕剥離されず、剥
離片が大きくなり、前述のような問題を起こす。一方、
50重量%以上では現像速度が速過ぎて露光部も熔解し
、解像性が低下する。他のカルボン酸においても酸価1
00〜330の範囲で用いれば破砕剥離するドライフィ
ルムレジスト用のバインダレジンを得5ことができる。
If the amount is less than 20% by weight, the cured resist will not be crushed and peeled off, and peeled off pieces will become large, causing the above-mentioned problems. on the other hand,
If it exceeds 50% by weight, the development speed will be too fast and the exposed areas will also melt, resulting in a decrease in resolution. Acid value 1 for other carboxylic acids
When used in the range of 00 to 330, a binder resin for dry film resists that can be crushed and peeled can be obtained.

バインダレジンの重合に用いる重合開始剤としては、例
えば、過酸化アセチル、過酸化ベンゾイル、過酸化ラウ
ロイル等の過酸化物及びアゾビスイソブチロニトリル、
アゾビス−2,4−ジメチルバレロニトリル、アゾビス
シクロヘキサンカルボニル等のアゾ化合物が挙げられる
。また、重合体の重合度を適当に調節するため、アルデ
ヒド、メルカプタン等の重合調節剤を添加しても良い。
Examples of the polymerization initiator used in the polymerization of the binder resin include peroxides such as acetyl peroxide, benzoyl peroxide, and lauroyl peroxide; azobisisobutyronitrile;
Examples include azo compounds such as azobis-2,4-dimethylvaleronitrile and azobiscyclohexanecarbonyl. Furthermore, in order to appropriately adjust the degree of polymerization of the polymer, a polymerization regulator such as aldehyde or mercaptan may be added.

以上のバインダレジンとなる共重合体の重量平均分子量
は40 、000〜200.000の範囲のものが用い
られる。分子量が40,000未満の場合はドライフィ
ルムレジストとしてロールに巻き保存した時、レジスト
組成物が支持フィルムの間から経時的ににじみ出るいわ
ゆるコールドフロー現像を起こす。
The weight average molecular weight of the copolymer used as the above binder resin is in the range of 40,000 to 200,000. If the molecular weight is less than 40,000, when stored as a dry film resist by winding it into a roll, so-called cold flow development occurs in which the resist composition oozes out from between the support films over time.

また、200,000を超える場合は未露光部が溶解せ
ず現像できないか又は現像時間が極めて長くかかり、解
像度の低下を起こしたり、剥離時に破砕剥離を起こさな
くなる。
If it exceeds 200,000, unexposed areas will not be dissolved and development will not be possible, or the development time will be extremely long, resulting in a decrease in resolution and failure to cause crushing and peeling during peeling.

以上のようにして作ったバインダレジン溶液は低温にな
ると相分離を起こしやすい。このため、バインダレジン
溶液を缶詰にして移送し、塗布液調合のため缶より取り
出す時再び加熱し溶解する必要がある。この操作を省く
ためバインダレジン溶解に溶解性向上のだめの溶剤を新
たに添加する。
The binder resin solution prepared as described above tends to undergo phase separation at low temperatures. For this reason, it is necessary to transport the binder resin solution in a can and heat it again to dissolve it when taking it out from the can for preparing a coating solution. In order to omit this operation, a solvent for improving solubility is newly added to the binder resin solution.

この溶剤としては重合溶媒と共溶剤となってバインダレ
ジンを良く溶解する能力を有し、かつ沸点の低いものが
望ましい。かかる溶剤としては、例えば、メチルエチル
ケトン、塩化メチレン等が有効に用いられる。溶解性向
上のために添加する溶剤の量は重合溶媒重量に基づき2
.5〜500重量%であることが望ましい。
This solvent is preferably one that has the ability to function as a cosolvent with the polymerization solvent and dissolve the binder resin well, and has a low boiling point. As such a solvent, for example, methyl ethyl ketone, methylene chloride, etc. can be effectively used. The amount of solvent added to improve solubility is based on the weight of the polymerization solvent.
.. The content is preferably 5 to 500% by weight.

架橋剤として用いられるエチレン性不飽和単量体として
は、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリ
レート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート
、1,3−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、l
、4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペ
ンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘ
キサンシオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロー
ルプロパントリ (メタ)アクリレート、ペンタエリス
リトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトー
ルトリ (メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール
テトラ(メタ)アクリレート、等のポリエステル(メタ
)アクリレートの他にエポキシ(メタ)アクリレート、
ウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。これら
は単独又は2種以上混合して用いられる。
Examples of the ethylenically unsaturated monomer used as a crosslinking agent include polyethylene glycol di(meth)acrylate, propylene glycol di(meth)acrylate, 1,3-butanediol di(meth)acrylate, l
, 4-butanediol di(meth)acrylate, neopentyl glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexanethiol di(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol di(meth)acrylate, penta In addition to polyester (meth)acrylates such as erythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, epoxy(meth)acrylate,
Examples include urethane (meth)acrylate. These may be used alone or in combination of two or more.

バインダレジン/架橋剤の配合比は2/3〜9の範囲と
することができる。配合比が2/3未満では、塗布液を
均一に塗布できなかったり、乾燥後レジスト層でマイグ
レーションを起こしたり、コールドフロー現象をひき起
こす。一方、9を越えるとレジスト露光部が現像液で急
速に溶解し現像が不可能となる。
The blending ratio of binder resin/crosslinking agent can be in the range of 2/3 to 9. If the blending ratio is less than 2/3, the coating solution may not be uniformly coated, migration may occur in the resist layer after drying, or a cold flow phenomenon may occur. On the other hand, if it exceeds 9, the exposed areas of the resist will be rapidly dissolved by the developer, making development impossible.

塗布液に配合する光重合開始剤としては、例えば、ベン
ゾイン、ベンゾインアルキルエーテル類、ヘンシフエノ
ン、ミヒラーズケトン、4.4’−ビス(ジエチルアミ
ノ)ベンゾフェノン、アセトフェノン類、ベンジルケタ
ール類、アントラキノン類、チオキサントン類等が挙げ
られる。これらは単独又は混合して使用される。光重合
開始剤の配合量はドライフィルムレジスト固型分の0.
1〜2重量%の範囲であることが望ましい。
Examples of the photopolymerization initiator to be added to the coating solution include benzoin, benzoin alkyl ethers, hensifhenone, Michler's ketone, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, acetophenones, benzyl ketals, anthraquinones, thioxanthone, etc. Can be mentioned. These may be used alone or in combination. The amount of photopolymerization initiator is 0.00% of the dry film resist solid content.
A preferable range is 1 to 2% by weight.

前記イソプロピルアルコールを主成分とする混合溶媒を
用いて溶液重合してバインダレジン溶液を得た後、バイ
ンダレジンの溶解性を向上するための溶剤を添加してバ
インダレジン溶液を調整し、架橋剤および光重合開始剤
を混合して塗布液とする。なお、塗布液中には、密着促
進剤、熱重合禁止剤、染料、可塑剤及び充填剤のような
成分を含有せしめてもよい。
After obtaining a binder resin solution by solution polymerization using the mixed solvent mainly composed of isopropyl alcohol, a solvent for improving the solubility of the binder resin is added to prepare the binder resin solution, and a crosslinking agent and A photopolymerization initiator is mixed to form a coating solution. Note that the coating liquid may contain components such as an adhesion promoter, a thermal polymerization inhibitor, a dye, a plasticizer, and a filler.

この塗布液の調整時における混合攪拌には、主にプロペ
ラ式1反転式、ニーダ式のミキサーが用いられる。
For mixing and stirring during the preparation of the coating liquid, a propeller type one-reversal type mixer or a kneader type mixer is mainly used.

上述のように調整せる塗布液は支持体上に塗布し、その
後溶剤を飛散させる。塗布液を支持体に塗布するには、
プレードコータ、ロッドコータ。
The coating liquid prepared as described above is applied onto a support, and then the solvent is scattered. To apply the coating solution to the support,
Plaid coater, rod coater.

ナイフコータ、ロールドクターコータ、コンマコータ、
リバースロールコータ、トランスファロールコータ、グ
ラビアコータ、キスロールコータ。
Knife coater, roll doctor coater, comma coater,
Reverse roll coater, transfer roll coater, gravure coater, kiss roll coater.

カーテンコータ等を用いることかてできる。これらの選
択は塗工重量、塗布液粘度、塗工速度等によって決めら
れる。支持体としてはポリエステル等のプラスチックフ
ィルムが主に用いられる。乾燥機としては、可燃性溶剤
を使用するため、安全性から蒸気による空気加熱式の熱
源を備えたものを用い、乾燥機内の熱風を向流接触せし
める方式及びノズルより支持体に吹きつける方式等が用
いられる。乾燥機の形状はアーチ式、フラット式環目的
にあわせて選択して用いられる。
This can be done by using a curtain coater or the like. These selections are determined by coating weight, coating liquid viscosity, coating speed, etc. A plastic film such as polyester is mainly used as the support. Since a flammable solvent is used, the dryer should be equipped with an air-heating heat source using steam for safety reasons, such as a method in which the hot air inside the dryer is brought into countercurrent contact, or a method in which the hot air is blown onto the support from a nozzle. is used. The shape of the dryer can be selected from arch type or flat ring type depending on the purpose.

乾燥機のドライフィルムには必要ならば、ポリエチレン
やポリプロピレンのような保護フィルムをラミネートし
て用いても良い。
If necessary, the dry film of the dryer may be laminated with a protective film such as polyethylene or polypropylene.

(へ)発明の効果 以上のようにして製造したドライフィルムレジストは、
エツチング用レジストまたはブレーティング用レジスト
としても、保存性2作業性、工程通過性能に優れ高解像
度パターンが得られる。しかし、特筆すべき点は、剥離
工程をアルカリ性水溶液単独で行ない得るところにある
。このため、従来、剥離片を細かくするためにブチルカ
ルピトール等の溶剤をアルカリ水溶液に添加して行なっ
ていたため起こるプリントサーキット板生産コストの上
昇を皆無にすることができた。また、上記のドライフィ
ルムレジストを生産するにあたり、イソプロピルアルコ
ールを主成分とする溶媒で溶液重合した溶液にバインダ
レジンの熔解性を向上するための溶剤を添加してバイン
ダレジン溶液を調整し、架橋剤、光重合開始剤その他の
添加剤を混合して、塗布液調合後、支持体に塗布し乾燥
してドライフィルムレジストを得る方法は、従来に比較
して生産コストを十分低下することができる。
(f) The dry film resist produced as described above has the following effects:
As an etching resist or a blating resist, it has excellent storage stability, workability, and process passability, and can provide high-resolution patterns. However, the noteworthy point is that the stripping step can be carried out using an alkaline aqueous solution alone. For this reason, it has been possible to completely eliminate the increase in printed circuit board production costs that would otherwise have been caused by adding a solvent such as butyl calpitol to an alkaline aqueous solution in order to break up the peeled pieces. In addition, in producing the above dry film resist, a binder resin solution is prepared by adding a solvent to improve the solubility of the binder resin to a solution polymerized with a solvent containing isopropyl alcohol as a main component, and a crosslinking agent is added to the binder resin solution. The method of obtaining a dry film resist by mixing a photopolymerization initiator and other additives, preparing a coating solution, coating it on a support, and drying it can sufficiently reduce production costs compared to conventional methods.

(ト)実施例 以下、実施例について本発明を具体的に説明する。(g) Examples The present invention will be specifically described below with reference to Examples.

比較例1 1000mlの4つロフラスコに攪拌機、コンデンサー
、温度計、窒素導入口を付ける。窒素雰囲気下でイソプ
ロピルアルコール200g、メタアクリル酸メチル14
0g、アクリル酸エチル20g1メタアクリル酸40g
を入れ、攪拌しなから湯浴の温度を80℃に上げる。次
いで、アゾビスイソブチロニトリル1.0gを10gの
イソプロピルアルコールに溶解して添加し、4時間重合
する。次いで1.0gアゾビスイソブチロニトリルをl
Ogのイソプロピルアルコールに溶解して、30分置き
に5回添加し、5回目ノ添加後、内温をイソプロピルア
ルコールの沸点にまで挙げ、そのまま2時間重合した。
Comparative Example 1 A 1000 ml four-bottle flask was equipped with a stirrer, a condenser, a thermometer, and a nitrogen inlet. 200 g of isopropyl alcohol, 14 methyl methacrylate under nitrogen atmosphere
0g, ethyl acrylate 20g1 methacrylic acid 40g
Add and stir while raising the temperature of the water bath to 80°C. Next, 1.0 g of azobisisobutyronitrile dissolved in 10 g of isopropyl alcohol is added and polymerized for 4 hours. Next, add 1.0 g of azobisisobutyronitrile to 1
After the fifth addition, the internal temperature was raised to the boiling point of isopropyl alcohol and polymerization was continued for 2 hours.

重合終了後、イソプロピルアルコール100gを添加し
て重合物を取り出す。このようにして作ったバインダレ
ジン溶液のガードナー粘度は+26で、重合度は99.
5%以上であった。このバインダレジン溶液を、50m
1用ビーカーに約5gとり、0℃氷水、7℃冷蔵庫中で
冷却した後の相分離の状態を目視で観察した。この結果
を表1に示す。
After the polymerization is completed, 100 g of isopropyl alcohol is added and the polymerized product is taken out. The binder resin solution thus prepared had a Gardner viscosity of +26 and a degree of polymerization of 99.
It was 5% or more. 50ml of this binder resin solution
Approximately 5 g of the mixture was placed in a 1-size beaker, cooled in ice water at 0°C and a refrigerator at 7°C, and the state of phase separation was visually observed. The results are shown in Table 1.

実施例1〜4 比較例1と同様に溶液重合した後、イソプロピルアルコ
ールに代えてイソプロピルアルコールと塩化メチレンの
混合溶剤を添加し、最終のバインダレジンの溶液中の溶
剤におけるイソプロピルアルコールと塩化メチレンの比
が9515.90/10゜85/15 、80/20の
4水準になるように調整した。
Examples 1 to 4 After solution polymerization in the same manner as in Comparative Example 1, a mixed solvent of isopropyl alcohol and methylene chloride was added in place of isopropyl alcohol, and the ratio of isopropyl alcohol to methylene chloride in the solvent in the final binder resin solution was adjusted. was adjusted to four levels: 9515.90/10°, 85/15, and 80/20.

これを比較例1と同様なテストをした。その結果を表1
に示す。
This was subjected to the same test as in Comparative Example 1. Table 1 shows the results.
Shown below.

実施例5〜8 イソプロピルアルコール95重量%とメチルエチルケト
ン5重量%からなる重合溶媒を用いた他は、比較例1と
同様に溶液重合した。得られた重合体溶液にイソプロピ
ルアルコール/メチルエチルケトン混合溶剤を添加して
、重合体溶液中のイソプロピルアルコールと塩化メチレ
ンの比が97/3 、90/10 、85/15および
80/20となるように調整した。
Examples 5 to 8 Solution polymerization was carried out in the same manner as in Comparative Example 1, except that a polymerization solvent consisting of 95% by weight of isopropyl alcohol and 5% by weight of methyl ethyl ketone was used. A mixed solvent of isopropyl alcohol/methyl ethyl ketone was added to the obtained polymer solution so that the ratio of isopropyl alcohol to methylene chloride in the polymer solution was 97/3, 90/10, 85/15, and 80/20. It was adjusted.

比較例1と同様なテストをした結果を表1に示す。Table 1 shows the results of a test similar to Comparative Example 1.

以下余白 拐 実施例9〜13 実施例2で調合したバインダレジン溶液を用いて、下記
の組成を有する塗布液を調合した。
Examples 9 to 13 Using the binder resin solution prepared in Example 2, a coating liquid having the following composition was prepared.

バインダレジン溶液 228重量部 トリメチロールプロパントリアクリレート50i量部 テトラエチレングリコールジアクリレート20重量部 ベンゾフェノン 1.0重量部 ミヒラーズケトン 0.2重量部 トリルトリアゾール 0.4重量部 メチレンブルー 0.75重量部 調合した塗布液はプロペラ型ミキサーで攪拌し、ブレー
ドコータにより厚さ25μm、幅360mmのポリエス
テルフィルム上に塗工幅340酊に塗布した。次いで、
幅400mm 、高さ100mm 、長さ8mのフラッ
ト型乾燥機中を向流にして熱風を送り込み乾燥塗工厚さ
を50μmとした。この時の搬送速度は5m/分、風速
3m/秒として乾燥機内温度を80℃、90℃、100
℃、110℃、120’cと変えた。
Binder resin solution 228 parts by weight Trimethylolpropane triacrylate 50 parts by weight Tetraethylene glycol diacrylate 20 parts by weight Benzophenone 1.0 parts by weight Michler's ketone 0.2 parts by weight Tolyltriazole 0.4 parts by weight Methylene blue 0.75 parts by weight Mixed coating The liquid was stirred using a propeller type mixer and coated onto a polyester film having a thickness of 25 μm and a width of 360 mm using a blade coater to a coating width of 340 mm. Then,
Hot air was sent in countercurrent through a flat dryer with a width of 400 mm, a height of 100 mm, and a length of 8 m to give a dry coating thickness of 50 μm. At this time, the conveyance speed was 5 m/min, the wind speed was 3 m/sec, and the temperature inside the dryer was 80°C, 90°C, 100°C.
℃, 110℃, and 120'C.

次いで、厚さ35μmのポリエチレンフィルム保護フィ
ルムをして乾燥塗膜上にラミネートして、その後、ロー
ルに巻き取った。得られたドライフィルムレジストは、
保護フィルムを剥離しながら塗布膜面を銅張積層板に熱
ラミネートし、銅張積層板の温度が室温に戻った後、ポ
リエステルフィルム面にフォトツールを密着して超高圧
水銀灯で露光した。フォトツールは50μm、60μm
A polyethylene protective film with a thickness of 35 μm was then laminated onto the dried coating, and then wound up into a roll. The obtained dry film resist is
The coated film surface was thermally laminated to the copper-clad laminate while peeling off the protective film, and after the temperature of the copper-clad laminate returned to room temperature, a photo tool was closely attached to the polyester film surface and exposed to light using an ultra-high pressure mercury lamp. Photo tools are 50μm and 60μm
.

80μm、100μm幅のラインアンドスベイスパター
ンを用いた。また、超高圧水銀灯はウシオ電機US)1
−1020を用い。100mJ/ca照射した。この際
の露光強度はウシオ電機紫外線強度計1117−100
に受光器UVD−365Pを取りつけて測定し、5mw
/crAとした。露光後20分放置して支持フィルムを
剥離して、2%炭酸ナトリウム水溶液で現像した。現像
は液温30℃、スプレー圧1.4kg/−とし、スプレ
ーと基板の距離を10cmとして行なった。次いで、中
性洗剤水溶液に室温で約1分間浸漬し、脱脂後オーバー
フロータンクでスプレー水洗を約1分間行ない、その後
約20%の過硫酸アンモニウム水溶液中に1分間浸漬し
た。再びスプレー水洗洗浄を約1分間行なった後、約1
5%の硫酸水溶液に1分間浸漬し、再びスプレー水洗を
1分間行なった。次いで、硫酸銅メッキ槽に入れて75
分間、2.3A/dn?でメッキを行なった。この時の
盪度は22℃で行なった。メッキ終了後直ちに水洗し、
15%硼弗酸水溶液に浸漬し、次いで18分間1.8A
/drrr、22℃でハイスローハンダメッキを行なっ
た。
A line and width pattern with widths of 80 μm and 100 μm was used. In addition, ultra-high pressure mercury lamps are manufactured by Ushio Inc. (US) 1
-1020 is used. Irradiation was performed at 100 mJ/ca. The exposure intensity at this time is Ushio Inc. UV intensity meter 1117-100.
Attach a photodetector UVD-365P to the
/crA. After exposure, the support film was peeled off after being left for 20 minutes, and developed with a 2% aqueous sodium carbonate solution. Development was carried out at a liquid temperature of 30 DEG C., a spray pressure of 1.4 kg/-, and a distance of 10 cm between the spray and the substrate. Next, it was immersed in a neutral detergent aqueous solution at room temperature for about 1 minute, and after degreasing, it was spray washed with water in an overflow tank for about 1 minute, and then immersed in an about 20% ammonium persulfate aqueous solution for 1 minute. After spray washing again for about 1 minute,
It was immersed in a 5% aqueous sulfuric acid solution for 1 minute, and then sprayed and washed with water again for 1 minute. Next, put it in a copper sulfate plating tank and heat it for 75 minutes.
2.3 A/dn per minute? The plating was done with The stirring temperature at this time was 22°C. Rinse with water immediately after plating,
Immersed in 15% borofluoric acid aqueous solution, then 1.8A for 18 minutes
/drrr, high-slow solder plating was performed at 22°C.

ハンダメッキ液の配合は次の通りである。The composition of the solder plating solution is as follows.

錫 15 g/6 鉛 10 g/A 遊離遊離酸弗酸 400 g/j! 遊離硼酸 21.6g/j! ペプトン 5.2 g / 12 メツキ終了後、水洗を行ない、その後乾燥した。Tin 15 g/6 Lead 10 g/A Free acid hydrofluoric acid 400 g/j! Free boric acid 21.6g/j! Peptone 5.2 g/12 After the plating was completed, it was washed with water and then dried.

ドライフィルム中の残存溶剤量及び現像性と耐メッキ性
を表2、に示した。高温で乾燥する場合は熱硬化を起こ
して現像が不可能となり、残存溶剤が多いとメッキ時に
メッキもぐりを起こしたり、コールドフロー現像を起こ
す。
Table 2 shows the amount of residual solvent, developability, and plating resistance in the dry film. If dried at high temperatures, heat curing will occur and development will become impossible, and if there is a large amount of residual solvent, plating may peel off during plating or cold flow development may occur.

実施例14〜18 実施例6で調合したバインダレジン溶液を用いて、実施
例9〜13と同様な方法でドライフィルムレジストを作
り、同様な評価を行なった。その結果を表2に示す。
Examples 14 to 18 Using the binder resin solution prepared in Example 6, dry film resists were made in the same manner as in Examples 9 to 13, and the same evaluations were performed. The results are shown in Table 2.

比較例2〜6 比較例1のイソプロピルアルコールに代えて、メチルセ
ロソルブを重合溶媒にして重合し、バインダレジン溶液
を調整した。実施例9〜13と同様な方法でドライフィ
ルムレジストを作り、同様な評価を行なった。その結果
を表2に示す。
Comparative Examples 2 to 6 In place of isopropyl alcohol in Comparative Example 1, methyl cellosolve was used as a polymerization solvent for polymerization to prepare a binder resin solution. Dry film resists were made in the same manner as in Examples 9 to 13, and evaluated in the same manner. The results are shown in Table 2.

以下余白 実施例19〜23 実施例11のバインダレジン組成比を下記のように変化
させ、他の重合条件、溶剤添加比、塗布液配合、塗布法
、乾燥法を同一にしてドライフィルムレジストを得た。
Below are blank spaces Examples 19 to 23 Dry film resists were obtained by changing the binder resin composition ratio of Example 11 as shown below and keeping other polymerization conditions, solvent addition ratio, coating liquid formulation, coating method, and drying method the same. Ta.

このドライフィルムを実施例11と同じ現像法で最適現
像を行なった後、5%水酸化ナトリウム水溶液で剥離を
行なった。剥離は55℃に剥離液を調整しスプレー圧1
.0 kg/aaとしてスプレーと基板の距離を10a
mとして行なった。
After this dry film was optimally developed using the same developing method as in Example 11, it was peeled off using a 5% aqueous sodium hydroxide solution. For stripping, adjust the stripping solution to 55℃ and spray pressure 1.
.. Assuming 0 kg/aa, the distance between the spray and the substrate is 10a.
It was conducted as m.

この時のバインダレジンの重量平均分子量と剥離片を目
視で観察した結果を表3に示す。
Table 3 shows the weight average molecular weight of the binder resin and the results of visual observation of peeled pieces.

手続補正書(自発) 昭和59年4月18日 特許庁長官若杉和夫殿 1、事件の表示 昭和58年特許願第187699号 2、発明の名称 光重合性樹脂組成物 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 名称 (603)三菱レイヨン株式会社4、代理人 住所 〒105東京都港区虎ノ門−丁目8番10号5、
補正の対象 6、補正の内容 (1)明細書2頁1行〜2行「対して不溶性・・・対し
て可溶性」を「対して可溶性もしくは膨潤性でかつ水に
対して不溶性」と補正する。
Procedural amendment (voluntary) April 18, 1980 Kazuo Wakasugi, Commissioner of the Japan Patent Office 1, Indication of the case 1987 Patent Application No. 187699 2, Name of the invention Photopolymerizable resin composition 3, Person making the amendment Case Relationship with Patent applicant name (603) Mitsubishi Rayon Co., Ltd. 4, agent address 5-8-10 Toranomon-chome, Minato-ku, Tokyo 105
Target of amendment 6, contents of amendment (1) Lines 1 to 2 of page 2 of the specification, “insoluble in… soluble in water” should be amended to “soluble or swellable in water and insoluble in water” .

(2)明細書7頁1行「点が75℃以下」を「点が80
℃以下」と補正する。
(2) Page 7, line 1 of the specification “The point is below 75°C” is changed to “The point is below 80°C”
℃ or less”.

(3)明細書7頁4行「メタアクリル酸」を「メンダレ
ノン溶剤の欄を次のように補正する。
(3) On page 7 of the specification, line 4, “methacrylic acid” should be amended as follows: “Mendarenone solvent”.

(5)同頁同表中実施例5に対応する各Sを次のように
補正する。
(5) Each S corresponding to Example 5 in the same page and table is corrected as follows.

「 」 (6)明細書24頁の表中実施例23に対応するメタア
クリル酸メチルの欄の数値を「35」と補正する。
(6) The numerical value in the methyl methacrylate column corresponding to Example 23 in the table on page 24 of the specification is corrected to "35".

(7)明細書25頁表3中実施例23に対応するP (
MMA/MA/MAA)組成比の欄をIt’35/10
155Jと補正する。
(7) P corresponding to Example 23 in Table 3 on page 25 of the specification (
MMA/MA/MAA) Composition ratio column It'35/10
Corrected to 155J.

以上that's all

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] イソプロピルアルコール溶媒またはこれを主成分とする
混合溶媒中で溶液重合して得たバインダ用熱可塑性重合
体溶液、該バインダ用熱可塑性重合体の溶解性を向上す
るための溶剤、架橋剤として分子中に少なくとも2個の
エチレン性不飽和基を有する単量体、及び、活性光線に
より光活性可能な光重合開始剤からなる光重合性樹脂組
成物。
A solution of a thermoplastic polymer for a binder obtained by solution polymerization in an isopropyl alcohol solvent or a mixed solvent containing this as a main component, a solvent for improving the solubility of the thermoplastic polymer for a binder, and a crosslinking agent in the molecule. A photopolymerizable resin composition comprising a monomer having at least two ethylenically unsaturated groups, and a photopolymerization initiator that can be photoactivated by actinic radiation.
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