JPS60230025A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JPS60230025A JPS60230025A JP8644284A JP8644284A JPS60230025A JP S60230025 A JPS60230025 A JP S60230025A JP 8644284 A JP8644284 A JP 8644284A JP 8644284 A JP8644284 A JP 8644284A JP S60230025 A JPS60230025 A JP S60230025A
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- JP
- Japan
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- piezoelectric substrate
- surface acoustic
- infrared
- acoustic wave
- conductive
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 9
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/38—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using extension or expansion of solids or fluids
- G01J5/44—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using extension or expansion of solids or fluids using change of resonant frequency, e.g. of piezoelectric crystals
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は赤外線検出に用いる弾性表面波素子の構造に関
する。
する。
従４覗構成とその問題点
近年、弾性表面波素子は民生用の赤外線検出器、非接触
温度計に用いられるようになった。
温度計に用いられるようになった。
第１図に従来の赤外線検出に用いられる弾性表面波素子
の一部を破断した側面図を示す。１は表面に弾性表面波
を送受信するだめの交差指型電極２．３を有する圧電性
基板、圧電性基板１は中央部に円形の凹部４を有するパ
ッケージ基台５に絶縁性接着剤６により接着されている
。パッケージ基台６の外縁部に赤外透過窓７を有するパ
ッケージキャップ８が溶接されている。リード端子９と
前記電極２，３とはワイヤ１０によりそれぞれ電気的に
接続されている。
の一部を破断した側面図を示す。１は表面に弾性表面波
を送受信するだめの交差指型電極２．３を有する圧電性
基板、圧電性基板１は中央部に円形の凹部４を有するパ
ッケージ基台５に絶縁性接着剤６により接着されている
。パッケージ基台６の外縁部に赤外透過窓７を有するパ
ッケージキャップ８が溶接されている。リード端子９と
前記電極２，３とはワイヤ１０によりそれぞれ電気的に
接続されている。
このような構成の弾性表面波素子を赤外線検出器として
用いた場合の動作を以下に示す。
用いた場合の動作を以下に示す。
赤外線が赤外透過窓７を通して、圧電性基板１上に照射
され、圧電性基板１の温度が変化する。
され、圧電性基板１の温度が変化する。
このとき圧電性基板１の温度変化が大きくなるよう、圧
電性基板１の板厚は薄い方がよい。通常は１００〜２０
０μｍ程度である。圧電性基板１の温度が変化すると、
交差指型電極２，３により送受信される弾性表面波の伝
搬時間が変化する。従って、このような弾性表面波素子
を用いて、遅延線型の発振器を構成しておくと、前記弾
性表面波の伝搬時間の変化は発振周波数の変化となる。
電性基板１の板厚は薄い方がよい。通常は１００〜２０
０μｍ程度である。圧電性基板１の温度が変化すると、
交差指型電極２，３により送受信される弾性表面波の伝
搬時間が変化する。従って、このような弾性表面波素子
を用いて、遅延線型の発振器を構成しておくと、前記弾
性表面波の伝搬時間の変化は発振周波数の変化となる。
この発振周波数を検知することにょシ赤外線検出器とな
る。
る。
このような弾性表面波素子の構成では、赤外線検出器と
して用いた場合以下のような問題点かあった。
して用いた場合以下のような問題点かあった。
圧電性基板１の板厚が１００〜２００μｍと薄すため、
前記交差指型電極２，３の静電容量が、パッケージ基台
５の影響を受ける。すなわち、圧電性基板１の前記パッ
ケージ基台５の四部４との相対位置により、前記電極２
，３の静電容量が変化する。また、絶縁性接着剤６の厚
さのバラツキによっても、前記電極２，３の静電容量が
変化する。前記電極２，３の静電容量が変動するため、
前記弾性表面波素子の伝搬特性、特に素子の挿入損失、
位相特性が不安定となる要因となっていた。
前記交差指型電極２，３の静電容量が、パッケージ基台
５の影響を受ける。すなわち、圧電性基板１の前記パッ
ケージ基台５の四部４との相対位置により、前記電極２
，３の静電容量が変化する。また、絶縁性接着剤６の厚
さのバラツキによっても、前記電極２，３の静電容量が
変化する。前記電極２，３の静電容量が変動するため、
前記弾性表面波素子の伝搬特性、特に素子の挿入損失、
位相特性が不安定となる要因となっていた。
テ
１ さらに、圧電性基板１の板厚が薄いため、基板に照
射された赤外線が基板を透過し、赤外線に対する感度が
低下する要因ともなっていた。
射された赤外線が基板を透過し、赤外線に対する感度が
低下する要因ともなっていた。
発明の目的
本発明は上記従来の問題点を解消するもので、交差指型
電極の静電容量を安定化し、赤外線に対する感度を向上
した弾性表面波素子を提供することを目的とする。
電極の静電容量を安定化し、赤外線に対する感度を向上
した弾性表面波素子を提供することを目的とする。
発明の構成
本発明は表面に弾性表面波を送受信するだめの一組の交
差指型電極を形成した圧電性基板の裏面に、導電性の赤
外反射膜を形成し、導電性接着剤を用いてパッケージ基
台に接着してなる弾性表面波素子であり、この構成によ
り電極の静電容量を安定化し、かつ、赤外線に対する感
度を向上するものである。
差指型電極を形成した圧電性基板の裏面に、導電性の赤
外反射膜を形成し、導電性接着剤を用いてパッケージ基
台に接着してなる弾性表面波素子であり、この構成によ
り電極の静電容量を安定化し、かつ、赤外線に対する感
度を向上するものである。
実施例の説明
本発明の一実施例による弾性表面波素子を第２図に示す
。
。
同図において、従来例と共通の構成要素は第１図と同じ
番号を付している。１１は圧電性基板１′の裏面に設け
た導電性の赤外反射膜としてのアルミ蒸着膜を示す。膜
厚１０００人とした。１２は圧電性基板１−をパッケー
ジ基台５に接着するための導電性接着剤を示す。圧電性
基板１としてニオブ酸リチウムを用い、交差指型電極は
弾性表面波の波長が２０２ｍ１中心周波数が１７４ＭＨ
２となる構成とした。
番号を付している。１１は圧電性基板１′の裏面に設け
た導電性の赤外反射膜としてのアルミ蒸着膜を示す。膜
厚１０００人とした。１２は圧電性基板１−をパッケー
ジ基台５に接着するための導電性接着剤を示す。圧電性
基板１としてニオブ酸リチウムを用い、交差指型電極は
弾性表面波の波長が２０２ｍ１中心周波数が１７４ＭＨ
２となる構成とした。
圧電性基板の板厚と、中心周波数１７４ＭＨｚにおける
挿入損失との関係を従来例とともに第３図に示す。図に
おける測定値は、素子３個の平均値を示す。
挿入損失との関係を従来例とともに第３図に示す。図に
おける測定値は、素子３個の平均値を示す。
本発明の実施例においては、圧電性基板の板厚に関係な
く挿入損失がほぼ一定であるが、従来例は素子板厚が薄
くなるとともに急激に挿入損失が増加している。
く挿入損失がほぼ一定であるが、従来例は素子板厚が薄
くなるとともに急激に挿入損失が増加している。
圧電性基板の板厚と、交差指型電極の静電容量との関係
を第４図に示す。
を第４図に示す。
本発明の実施例においては、静電容量の変化は従来例に
比べ小さく、またそのバラツキも小さくなっている。こ
のバラツキはパッケージ基台５の中央凹部４と圧電性基
板１との相対的な位置関係によるものと思われる。
比べ小さく、またそのバラツキも小さくなっている。こ
のバラツキはパッケージ基台５の中央凹部４と圧電性基
板１との相対的な位置関係によるものと思われる。
圧電性基板の板厚２、中心層波訪シの明部を笛５図に示
す。同図における測定値は素子３個の平均値を示す。本
発明の実施例に比べ、従来例は中心周波数が大幅に増加
している。これは、第４図に示しだ静電容量の変化によ
る、位相特性のバラツキによるものと考えられる。
す。同図における測定値は素子３個の平均値を示す。本
発明の実施例に比べ、従来例は中心周波数が大幅に増加
している。これは、第４図に示しだ静電容量の変化によ
る、位相特性のバラツキによるものと考えられる。
赤外線入力に対する感度の比較を表１に示す。
感度は、対象物体を１００°Ｃとし、シャッタの開閉に
伴なう発振周波数の変化を測定した。々お、圧電性基板
の板厚は２００ ｐ ｍとした。
伴なう発振周波数の変化を測定した。々お、圧電性基板
の板厚は２００ ｐ ｍとした。
表１ 赤外線に対する感度の比較
表１より、本発明の実施例の方が従来例に比べ感度が約
１５チ向上していることがわかる。
１５チ向上していることがわかる。
以上説明したように、本発明の実施例によれば、圧電性
基板の裏面に導電性の赤外反射膜を設けると２により、
挿入損失、静電容量、中心周波数などの伝搬特性が安定
化するとともに、赤外線に対する感度も向上した。
基板の裏面に導電性の赤外反射膜を設けると２により、
挿入損失、静電容量、中心周波数などの伝搬特性が安定
化するとともに、赤外線に対する感度も向上した。
なお、本実施例において、第２図に示した導電性接着剤
１２は基板１とパッケージ基台５との間に全面にわたっ
て設けであるが、導電性赤外反射膜１１とパッケージ基
台５とを電気的接続がとれればよく、ごく一部であって
もよい。
１２は基板１とパッケージ基台５との間に全面にわたっ
て設けであるが、導電性赤外反射膜１１とパッケージ基
台５とを電気的接続がとれればよく、ごく一部であって
もよい。
また、導電性赤外反射膜は、第２図に示したように圧電
性基板１の裏面全面にわたって設けだが、交差指型電極
の対面にさえあればよい。
性基板１の裏面全面にわたって設けだが、交差指型電極
の対面にさえあればよい。
さらに、導電性赤外反射膜の交差指型電極と対向しない
部分に、第６図に示すようＫ、電気絶縁性の格子状のス
リットを形成すると、伝搬特性を損うことなく、赤外線
に対する感度が向上すると考えられる。同図は圧電性基
板１の裏面を示す。
部分に、第６図に示すようＫ、電気絶縁性の格子状のス
リットを形成すると、伝搬特性を損うことなく、赤外線
に対する感度が向上すると考えられる。同図は圧電性基
板１の裏面を示す。
１３は交差指型電極、１４は島状の導電性接着剤１ 対
膜、１５はエツチングにより前記反射膜を取り除いた電
気絶縁性の格子状のスリットを示す。このように構成す
ることにより、導電性赤外反射膜により熱損失が減少し
、赤外ｆｌｌｉＩＫ対する感度がより向上することが期
待できる。
膜、１５はエツチングにより前記反射膜を取り除いた電
気絶縁性の格子状のスリットを示す。このように構成す
ることにより、導電性赤外反射膜により熱損失が減少し
、赤外ｆｌｌｉＩＫ対する感度がより向上することが期
待できる。
発明の効果
本発明による弾性表面波素手によれば弾性表面波の伝搬
特性が安定化し、また、赤外線に対する感度が向上する
。
特性が安定化し、また、赤外線に対する感度が向上する
。
第１図は従来の弾性表面波素子の側断面図、第２図は本
発明の一実施例による弾性表面波素子の側断面図、第３
図、第４図、第５図は弾性表面波素子の特性図、第６図
は本発明の他の実施例による圧電性基板の裏面図である
。 １・・・圧電性基板、２，３・・・交差指型電極、６・
・絶縁性接着剤、１１・・・導電性赤外反射膜、１２・
・・導電性接着剤、１５・・電気絶縁性格子状のスリッ
ト。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図 ÷ キ４！：明θ文ぶレノクリ −Ｘ−従搬々す 第４図 一〇−一 ）Ｆか月め−ｉ絶イタリ １−Ｘ−梃泉夕Ｉｊ 第５図 一一〇−一 シトレー６’ｉ月の９〔ツａイクリーＸ−
従粂砂」
発明の一実施例による弾性表面波素子の側断面図、第３
図、第４図、第５図は弾性表面波素子の特性図、第６図
は本発明の他の実施例による圧電性基板の裏面図である
。 １・・・圧電性基板、２，３・・・交差指型電極、６・
・絶縁性接着剤、１１・・・導電性赤外反射膜、１２・
・・導電性接着剤、１５・・電気絶縁性格子状のスリッ
ト。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第３図 ÷ キ４！：明θ文ぶレノクリ −Ｘ−従搬々す 第４図 一〇−一 ）Ｆか月め−ｉ絶イタリ １−Ｘ−梃泉夕Ｉｊ 第５図 一一〇−一 シトレー６’ｉ月の９〔ツａイクリーＸ−
従粂砂」
Claims (2)
- （１）表面に弾性表面波を送受信するための一組の交差
指型電極を形成した圧電性基板の裏面に、導電性の赤外
反射膜を形成し、導電性接着剤を用いてパッケージ基台
に接着してなる弾性表面波素子。 - （２）圧電性基板の裏面に形成された導電性赤外反射膜
に、交差指型電極と対向しない部分に、電気絶縁性の格
子状スリットを形成してなる特許請求の範囲第１項記載
の弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8644284A JPS60230025A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8644284A JPS60230025A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60230025A true JPS60230025A (ja) | 1985-11-15 |
Family
ID=13887029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8644284A Pending JPS60230025A (ja) | 1984-04-27 | 1984-04-27 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60230025A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20210381952A1 (en) * | 2018-04-05 | 2021-12-09 | Haesung Ds Co., Ltd. | Saw based optical sensor device and package including the same |
-
1984
- 1984-04-27 JP JP8644284A patent/JPS60230025A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20210381952A1 (en) * | 2018-04-05 | 2021-12-09 | Haesung Ds Co., Ltd. | Saw based optical sensor device and package including the same |
| US11674890B2 (en) * | 2018-04-05 | 2023-06-13 | Haesung Ds Co., Ltd. | Saw based optical sensor device and package including the same |
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