JPS60223322A - Cmos semiconductor integrated circuit device - Google Patents

Cmos semiconductor integrated circuit device

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Publication number
JPS60223322A
JPS60223322A JP59078457A JP7845784A JPS60223322A JP S60223322 A JPS60223322 A JP S60223322A JP 59078457 A JP59078457 A JP 59078457A JP 7845784 A JP7845784 A JP 7845784A JP S60223322 A JPS60223322 A JP S60223322A
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JP
Japan
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voltage
input signal
changes
low level
level
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Pending
Application number
JP59078457A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kazutaka Mori
和孝 森
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Publication of JPS60223322A publication Critical patent/JPS60223322A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03KPULSE TECHNIQUE
    • H03K19/00Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
    • H03K19/02Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components
    • H03K19/08Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices
    • H03K19/094Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors
    • H03K19/0944Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors using MOSFET or insulated gate field-effect transistors, i.e. IGFET
    • H03K19/09448Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors using MOSFET or insulated gate field-effect transistors, i.e. IGFET in combination with bipolar transistors [BIMOS]

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Abstract

PURPOSE:To attain high speed, low power consumption and high circuit integration by applying an input signal to a gate of the 2nd conduction type MOSFET, applying its input signal to the 1st conduction type well layer with a prescribed time of delay so as to activate a parasitic bipolar transistor existing in the 2nd conductor type MOSFET as an active element. CONSTITUTION:When an input signal Vin changes from a low level to a high level, a voltage at an output terminal (b) of a CMOS inverter IV1 changes from a high level to a low level, and a voltage at a terminal (d) via a delay circuit 8 comprising inverters IV2, IV3 changes from a high level to a low level. When the input signal Vin changes from the high level to the low level, the voltage at the output terminal (b) of the CMOS inverter IV1 changes from the low level to the high level. Thus, a voltage is impressed between a gate and a base of an N- channel MOSFETN1, which is turned on and a floating capacitance CL is charged. The N-channel MOSFET is driven in high speed with higher current drive capability than a P-channel MOSFET.

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、0MO8(相補型絶縁ゲート電界効果トラン
ジスタ)半導体集積回路装置に適用して特に有効な技術
に関するもので、たとえばCMO8半導体集積回路装置
における出力バッファ回路に利用して有効な技術に関す
るものである。
Detailed Description of the Invention [Technical Field] The present invention relates to a technology that is particularly effective when applied to an 0MO8 (complementary insulated gate field effect transistor) semiconductor integrated circuit device, such as an output buffer in a CMO8 semiconductor integrated circuit device. It relates to techniques that are effective for use in circuits.

〔背景技術〕[Background technology]

MOSFET(絶縁ゲート型電界効果トランジスタ)に
よるディジタル回路は、ピンチオフ電圧による電流飽和
のため電流駆動能力が小さい欠点をもつ0この欠点を補
う方法として同一基板上・に0MO8とバイポーラトラ
ンジスタを共存させて形成することが考えられる。しか
しながらこのように形成した場合、製造プロセスをきわ
めて複雑にするか、−万の素子の特性を犠牲にしなくて
はならない。たとえばP型のウェル層を用いた0MO8
のプロセスを用いて、上記P型のウェル層をベースとし
たNPNトランジスタを形成する技術が知られている(
特開昭57−130461号公報参照)。この場合、C
,MOSの性能のためP型のウニA’Nは2〜4μmK
される。これに伴いNPNパイボー2トランジスタのベ
ース幅も2〜4μmになりhFEやfTなどのトランジ
スタ特性が悪いものになってしまう。さらにホトマスク
の合わせ余裕等の制限によりバイポーラトランジスタの
面積が大きくなってしまう。
Digital circuits using MOSFETs (insulated gate field effect transistors) have the drawback of low current drive capability due to current saturation due to pinch-off voltage.To compensate for this drawback, MOSFETs and bipolar transistors are formed on the same substrate together. It is possible to do so. However, when formed in this way, either the manufacturing process becomes extremely complicated or the characteristics of the device must be sacrificed. For example, 0MO8 using a P-type well layer
There is a known technology for forming an NPN transistor based on the P-type well layer using the process described above (
(Refer to Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-130461). In this case, C
, P-type sea urchin A'N is 2 to 4 μmK due to MOS performance.
be done. Along with this, the base width of the NPN pibo-2 transistor also becomes 2 to 4 μm, resulting in poor transistor characteristics such as hFE and fT. Furthermore, the area of the bipolar transistor becomes large due to limitations such as photomask alignment margins.

〔発明の目的〕[Purpose of the invention]

本発明の目的は、高速でかつ低消費電力化を図るととも
に、高い電流駆動能力を持ち高集積化を図ったCMO8
半導体集積回路装蓋を提供するものである。
The purpose of the present invention is to provide a CMO8 with high speed and low power consumption, high current drive capability, and high integration.
The present invention provides a semiconductor integrated circuit cover.

本発明の前記ならびにそのほかの目的と新規な特徴は、
本明細誉の記述および絡付図面から明らかになるであろ
う。
The above and other objects and novel features of the present invention include:
It will become clear from the description of this specification and the accompanying drawings.

〔発明の概要〕[Summary of the invention]

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、1記のとおりである。
A brief summary of typical inventions disclosed in this application is as follows.

すなわち、N型の半導体基板上に、P型のウェル層を有
するCMO8回路においてNチャンネルMO8FETの
ゲートに入力信号を供給し、上記入力信号を一定時間遅
らせて、上記NチャンネルMO8FETの寄生バイポー
ラトランジスタに供給し、この寄生バイポーラトランジ
スタを能動素子として動作させ、高い電流駆動能力を持
たせることにより、高速でかつ低消費電力化を図り、さ
らに高い電流駆動能°力をもち高集積化を図ったCMO
8半導体集積回路装置を実現するものである。
That is, in a CMO8 circuit having a P-type well layer on an N-type semiconductor substrate, an input signal is supplied to the gate of an N-channel MO8FET, and the input signal is delayed for a certain period of time to be applied to the parasitic bipolar transistor of the N-channel MO8FET. This parasitic bipolar transistor operates as an active element and has high current drive capability, achieving high speed and low power consumption.
8 semiconductor integrated circuit device.

し実施例1〕 第1図は、N型の基板上にP型のウェル層を形成したN
チャンネルMO8FETの断面図である。
Example 1] Figure 1 shows an N-type well layer formed on an N-type substrate.
FIG. 3 is a cross-sectional view of a channel MO8FET.

同図において、MlはNチャンネルMO8FETである
。1はN型基板であり、2はフィールド酸化膜、3はP
型拡散層で作られるウェル層を示″1−04はN1型半
導体層でありMO8FETM、のソース・ドレイン頭載
であり、5はP′″型半導体層テする。6はゲート電極
を形成するポリシリコン層、7はゲート絶縁膜を示す。
In the figure, Ml is an N-channel MO8FET. 1 is an N-type substrate, 2 is a field oxide film, and 3 is a P
1-04 is an N1 type semiconductor layer which is mounted on the source/drain of MO8FETM, and 5 is a P''' type semiconductor layer. 6 is a polysilicon layer forming a gate electrode, and 7 is a gate insulating film.

この状態において同図に示すように寄生バイポーラトラ
ンジスタQ1.Q2が存在する。一般的には、この寄生
NPNバイポーラトランジスタはP型つェル層給電端子
Bを低電位(接地電源ゼロボルト)に固定していたため
動作することはなかった。本実施例では、上記端子Bに
第2図に示すようにNチャンネルMO8FETM、のゲ
ートに供給される信号と同極性の信号を遅延回路8によ
り遅延させて供給する。この場合、コレクタ端子Cは、
CMOSレベルの高電位vDD(5ボルト)に接続する
In this state, as shown in the figure, the parasitic bipolar transistor Q1. Q2 exists. Generally, this parasitic NPN bipolar transistor did not operate because the P-type well layer power supply terminal B was fixed at a low potential (ground power supply zero volts). In this embodiment, a signal having the same polarity as the signal supplied to the gate of the N-channel MO8FETM is delayed by a delay circuit 8 and is supplied to the terminal B as shown in FIG. In this case, the collector terminal C is
Connect to high potential vDD (5 volts) at CMOS level.

〔実施例2〕 第3図に上記NチャンネルMO8FET及びNPNバイ
ポーラトランジスタの複合素子をCMO8半導体集積回
路における出力バッファ回路に適用した回路図を示す。
[Embodiment 2] FIG. 3 shows a circuit diagram in which the composite element of the N-channel MO8FET and NPN bipolar transistor is applied to an output buffer circuit in a CMO8 semiconductor integrated circuit.

同図に示されているように、第1図及び第2図における
端子Cは電源電圧VDD I端子Eは出力端子e、ゲー
ト端子Gは端子bKi合される。この端子すは、CMO
Sインバータ■V、を一段介して入力端子aに結合され
る。また、この端子すは、CMOSインバータ■■2を
介して端子Cに結合され、更にこの端子Cは、CMOS
インバータIV3を介して端子dに結合されている。こ
のCMOSインバータIv2と工v3とによって、上記
第2図で述べた遅延回路8が構成されている。また、同
図において、M2は、Nチャンネル型MO8FETであ
り、そのソースは回路の接地電位点に、そのゲートは、
上記端子Cに、そのドレインは、上記出力端子eにそれ
ぞれ結合されている。特に制限されないが、CMOSイ
ンバータIV、及び遅延回路8を構成するCMOSイン
バータIV2.IV、は、電源電圧VDDの約2分の1
のしきい値電圧を持つようにされる。
As shown in FIGS. 1 and 2, the terminal C in FIGS. 1 and 2 is connected to the power supply voltage VDD, the I terminal E is connected to the output terminal e, and the gate terminal G is connected to the terminal bKi. This terminal is for CMO
It is coupled to the input terminal a via one stage of the S inverter (V). In addition, this terminal is coupled to a terminal C via a CMOS inverter
It is coupled to terminal d via inverter IV3. The CMOS inverter Iv2 and the inverter V3 constitute the delay circuit 8 described in FIG. 2 above. Furthermore, in the same figure, M2 is an N-channel type MO8FET, whose source is at the ground potential point of the circuit, and whose gate is
The terminal C has its drain coupled to the output terminal e. Although not particularly limited, CMOS inverter IV and CMOS inverter IV2 . IV is approximately 1/2 of the power supply voltage VDD
It is made to have a threshold voltage of .

入力端子aは、半導体集積回路内部の信号配線に接続さ
れ、出力端子eはポンディングパッド、ワイヤ、LSI
パッケージを介して外部の回路実装基板上の信号配線に
接続される。容量CLは、それらの信号配線に浮遊する
容itを示す。この容量CLは、出力端子eにおける電
圧がローレベルかラハイレヘル、マタハハイレベルから
ローレベルに変化するときに充放電が生じる。この動作
を高速に行なうには、出力端子eを駆動する素子に大電
流を駆動できる能力が必要となってくる。
Input terminal a is connected to signal wiring inside the semiconductor integrated circuit, and output terminal e is connected to a bonding pad, wire, LSI
Connected to signal wiring on an external circuit mounting board via the package. The capacitance CL indicates the capacitance it floating in those signal wirings. This capacitor CL is charged and discharged when the voltage at the output terminal e changes from a low level to a high level, or from a high level to a low level. In order to perform this operation at high speed, the element that drives the output terminal e needs to have the ability to drive a large current.

第4図は、第3図に示す出力バッファ回路の動作を説明
するための動作波形図である。
FIG. 4 is an operational waveform diagram for explaining the operation of the output buffer circuit shown in FIG. 3.

次に、この波形図を用い動作を説明する。Next, the operation will be explained using this waveform diagram.

入力信号Vinがローレベルからハイレベルに変化した
時、CMOSインバータIV、の出力端子すの電圧はハ
イレベルからローレベルに変化シ、インバータ■V2及
び■vsからなる遅延回路8を弁した端子dの電圧はハ
イレベルからローレベルに変化する。これによりトラン
ジスタQ 1* Q21MOS F E TR44はオ
フ状態になる。この時NチャンネルMO8FETM!の
ゲートにはハイレベルの電位が供給され、オン状態にな
る□したがって浮遊容量CLの電荷は、上記Nチャンネ
ルMOsFETM、を介して放電され、出力信号V。u
lはハイレベルからローレベルに変化する。逆に入力信
号Vinがハイレベルからローレベルに変化すると、C
MOSインバータIV、の出力端子すの電圧はローレベ
ルからハイレベルに変化する。この時、CMOSインバ
ータIV、、IV、による遅延回路8を介した端子dの
電圧は、まだローレベルにある。このためNチャンネル
MO8FETM、のゲートと基板との間に電圧が印加さ
れ、上記NチャンネルMO8FETM+はオン状態とな
り浮遊容量CLに充電され始める。NチャンネルMO8
FETは、PチャンネルMO8FE’rに比して、高い
電流駆動能力を持つため高速に動作する。出力端子eの
電圧が上昇するに従ってNチャンネルMO8FETM、
の等価抵抗は増大し、一定電圧以上は上昇しなくなる。
When the input signal Vin changes from low level to high level, the voltage at the output terminal d of the CMOS inverter IV changes from high level to low level. The voltage changes from high level to low level. As a result, the transistor Q1*Q21MOSFETR44 is turned off. At this time, N-channel MO8FETM! A high-level potential is supplied to the gate of □, which turns it on. Therefore, the charge in the floating capacitance CL is discharged through the N-channel MOsFETM, and the output signal V. u
l changes from high level to low level. Conversely, when the input signal Vin changes from high level to low level, C
The voltage at the output terminal of MOS inverter IV changes from low level to high level. At this time, the voltage at the terminal d via the delay circuit 8 formed by the CMOS inverters IV, , IV is still at a low level. Therefore, a voltage is applied between the gate of the N-channel MO8FETM and the substrate, and the N-channel MO8FETM+ is turned on and the stray capacitance CL begins to be charged. N channel MO8
The FET has a higher current drive capability than the P-channel MO8FE'r, so it operates at high speed. As the voltage at the output terminal e increases, the N-channel MO8FETM,
The equivalent resistance of increases and the voltage does not rise above a certain level.

しかしながら遅延回路8を構成するCMOSインバータ
IV、。
However, the CMOS inverter IV forming the delay circuit 8.

IV、を介して端子dがローレベルから/%イレベルに
変化すると、NPN)ランジスタQ+ −Q2がオン状
態となり、出力端子eの電圧は電源電圧VDDからトラ
ンジスタのレベルシフト量■□一段下った電圧まで強力
に引き上げられる。′また出力端子eに負荷となるTT
L等の入力端子を接続して負荷電流を印刀口してもNP
N )ランジスタによる高い電流駆動能力によって出力
端子eの電圧は高電圧に保持される。
When the terminal d changes from the low level to the /% high level via IV, the NPN transistor Q+ -Q2 turns on, and the voltage at the output terminal e becomes a voltage one step lower than the power supply voltage VDD by the transistor level shift amount ■□ It can be strongly pulled up to. ' Also, TT which becomes a load on the output terminal e
Even if the input terminals such as L are connected and the load current is applied to the input terminal, NP
N) The voltage at the output terminal e is maintained at a high voltage due to the high current drive capability of the transistor.

〔効果〕〔effect〕

(1)N型の半導体基板士にP型のウェル層を有する0
M03回路において、Nチャンネル型MO8FETのゲ
ートに入力信号を供給し、さらに上記Nチャンネル型M
O8FETの寄生・(イボーラトランジスタに上記入力
信号を一定時間遅延させて供給し、この寄生バイポーラ
トランジスタを能動素子として動作させることにより、
Nチャンネル型MO8FETが高速動作を行なし・、寄
生・(イボーラトランジスタが高い電流駆動は行なうた
め、高速でかつ低消費電力を図った出力バッファ回路を
形成できるという効果が得られる。
(1)0 with a P-type well layer on an N-type semiconductor substrate
In the M03 circuit, an input signal is supplied to the gate of the N-channel type MO8FET, and the input signal is further supplied to the gate of the N-channel type MO8FET.
O8FET parasitic (by supplying the above input signal to the Ibora transistor with a certain time delay and operating this parasitic bipolar transistor as an active element,
Since the N-channel type MO8FET does not operate at high speed and the parasitic (Ibora) transistor performs high current drive, it is possible to form an output buffer circuit with high speed and low power consumption.

(2)上記0M08回路において同一領域にNチャンネ
ル型MO8FETとNPNバイポーラトランジスタを複
合して形成することにより、上記同様な理由により高い
電流駆動能力をもち高集積化を実現した出力バッファ回
路を形成できるという効果が得られる。
(2) By forming an N-channel MO8FET and an NPN bipolar transistor in the same area in the 0M08 circuit described above, it is possible to form an output buffer circuit with high current drive capability and high integration for the same reason as above. This effect can be obtained.

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明し゛たが、本発明は上記実施例に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更
可能であることはいうまでもない。たとえば、本発明の
複合素子をLSI内部の長い配線を駆動させる回路等に
用いても同様の効果が得られる。
Although the invention made by the present inventor has been specifically explained above based on examples, it is to be understood that the present invention is not limited to the above-mentioned examples and can be modified in various ways without departing from the gist thereof. Not even. For example, similar effects can be obtained by using the composite element of the present invention in a circuit for driving long wiring inside an LSI.

し利用分野〕 本発明によれば、相補型MO8FETで構成された半導
体集積回路装置における出カバソファ回路等に適用して
広く利用できるものである。
Field of Application] According to the present invention, it can be widely applied to an output cover sofa circuit in a semiconductor integrated circuit device configured with complementary MO8FETs.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は、本発明を適用した半導体集積回路装置の断面
図である。 第2図は、第1図の等何回路図である。 第3図は、本発明の複合素子を用いた出力バッファ回路
の回路図である。 第4図は、第3図の動作を説明するための動作波形図で
ある。 1・・・N型基板、2・・・フィールド酸化膜、3・・
・P型ウェル領域、4・・・N?層佃域、5・・・P′
″層領域、6・・・ゲート電極、7・・・ゲート酸化膜
、8・・・遅延回路、B・・・ベース、E・・・エミッ
タ、C・・・コレクタ、G・・・ゲート入力、Ml、M
t・・・Nチャンネル型MO8FET、Ql−Qh・・
・NPNバイポーラトランジスタ、IV、 〜I V、
 ・ CMOSインバータ、代理人 計理士 高 橋 
明 大 第 1 図 第 2 図 第 4 図 eLt
FIG. 1 is a sectional view of a semiconductor integrated circuit device to which the present invention is applied. FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of FIG. 1. FIG. 3 is a circuit diagram of an output buffer circuit using the composite element of the present invention. FIG. 4 is an operation waveform diagram for explaining the operation of FIG. 3. 1... N-type substrate, 2... Field oxide film, 3...
・P-type well region, 4...N? layer Tsukuda area, 5...P'
"Layer region, 6... Gate electrode, 7... Gate oxide film, 8... Delay circuit, B... Base, E... Emitter, C... Collector, G... Gate input , Ml, M
t...N channel type MO8FET, Ql-Qh...
・NPN bipolar transistor, IV, ~IV,
・CMOS inverter, agent accountant Takahashi
Meiji University Figure 1 Figure 2 Figure 4 eLt

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、第2導伝型の半導体基板上に第」導伝型のウェル層
を有する相補型絶縁ゲート電界効果トランジスタにおい
て、第2導伝型MO8FETのゲート電極に入力信号を
供給し、該入力信号を一定時間遅延させて上記第1導伝
型のウェル層に供給することにより、上記第2導伝型M
O8FETに存在する寄生バイポーラトランジスタを能
動素子として動作させることを特徴とするCMO8半導
体集積回路装置。
1. In a complementary insulated gate field effect transistor having a well layer of a second conductivity type on a semiconductor substrate of a second conductivity type, an input signal is supplied to a gate electrode of a second conductivity type MO8FET, and the input signal is By supplying M to the well layer of the first conductivity type with a certain time delay, the second conductivity type M
A CMO8 semiconductor integrated circuit device characterized in that a parasitic bipolar transistor existing in an O8FET operates as an active element.
JP59078457A 1984-04-20 1984-04-20 Cmos semiconductor integrated circuit device Pending JPS60223322A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61244121A (en) * 1985-04-23 1986-10-30 Nippon Texas Instr Kk Output circuit
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