JPS60221436A - プラスチツク表面欠陥の除去方法 - Google Patents

プラスチツク表面欠陥の除去方法

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JPS60221436A
JPS60221436A JP60040982A JP4098285A JPS60221436A JP S60221436 A JPS60221436 A JP S60221436A JP 60040982 A JP60040982 A JP 60040982A JP 4098285 A JP4098285 A JP 4098285A JP S60221436 A JPS60221436 A JP S60221436A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明はプラスチック材料の表面処理に関し、特に表面
溶解物質の除去方法に関する。
従来の技術とその問題点 プラスチック製品及び部材においてはスクラッチ等の表
面傷は極めて普通のことである。光学素子の如く部材が
連続して使用される場合にはかかる傷は性能に有害な影
響を与える。また部材に表面被覆が設けられる場合には
表面欠陥の存在により被覆の一体性が制限される。
表面欠陥の除去がプラスチック材料の溶融により行なわ
れることがある。しかしこれは多くのプラスチック材料
には適用できず、また当然部材自体の変形をまねく。こ
の問題点を解決するため、プラズマ溶融法特に部材の表
面のみを加熱するパルスプラズマ溶融法が使用される。
例えば英国特許出願Ｎ　ｏ、２１０５７２９　Ａには、
１リットル当り少なくとも数ｋＷのパワー密度を生ぜし
めるプラズマパルスによる平均パワーの低い強力無線周
波数パルスプラズマに基体表面を曝すことを特徴とする
、感熱基体材料の表面処理方法が記載されている。
表面の加熱は出願Ｎ　ｏ、２１０５７２９　Ａに記載の
方法で行なえるが、プラズマによる架橋形成のため実効
融点が上昇するため適切な表面溶融を得るのは困難であ
った。
本発明の目的はこの欠点を減少又は解決するにある。
問題点を解決するための手段 本発明によれば、アルゴンが主たる又は単一の成分であ
るパルス状無線周波数プラズマにプラスチック表面を曝
すことを特徴とする、表面溶融によりプラスチック表面
から欠陥を除去する方法が提供される。
また本発明においては大略プラスチック表面のスクラッ
チ等の欠陥は、アルゴンと水素との混合物からなるパル
ス状無線周波数プラズマに表面を曝すことで除去される
。溶融後表面は、平滑表面層を形成するよう架橋形成を
行なうためアルゴンプラズマに曝される。
パルスアルゴンプラズマを使用することにより有効な表
面溶融が行なわれる。プラズマは３０体積％以下の水素
を含むのが有利である。これにより表面溶融を起こすの
に必要な無線周波数のパワーが減少することがわかって
いる。これはプラズマ中に発生した水素原子の化学作用
によりプラスチック表面での平均分子量が減少するため
表面の融点が低下することによると考えられる。平滑化
が完了すると（通常数分後）、表面は表面の融点を上げ
る架橋形成を起こさせるよう無水素アルゴンプラズマに
曝される。
実施例 図面を参照するに、表面を処理しようとするプラスチッ
ク部材１０は真空室１１内に置かれる。
室１１中の部材１０が置かれる部分は、パルス状無線周
波数発生器１３に接続されたコイル１２により囲まれて
いる。発生器のパワー出力値は重要ではないが勿論部材
１０の表面溶融を起こすに充分でなければならない。そ
のためには６０ｋＷの発生器が適当である。発生器は２
〜３　ｋＷ／　Ｉ！、のエネルギー密度をもたらすのが
有利である。典型的にはパルス幅は１〜５ｍｓであり、
繰返し周波数は５〜２０Ｈ２である。ガス分圧は１０〜
２００ｍ　ｔｏｒｒであるのが好ましい。室１１はポン
プ１５へ連なる排気口１４から排気され、入口１７を介
して吸込マニホルド１６からガス又は蒸気を供給される
。
使用時部材１０は室１１内へ挿入され次いで室１１は排
気口１４から排気される。アルゴン又はアルゴンと水素
との混合物が入口１７を介して室に入れられ、プラスチ
ック部材１０の表面溶融を起こすプラズマを開始させる
ため発生器に通電される。プラズマ中の水素は体積で３
０％を越えてはならない。水素が多すぎると表面の分子
量が低下しすぎて浸食が起こり表面が削られる。アルゴ
ン中の水素の最適濃度は５〜１０体積％である。
平滑化が完了するとく典型的には１〜１０分後）プラズ
マへの水素供給が遮断され、部材はアルゴンプラズマに
曝される。これにより表面の架橋形成が起こり融点が上
昇する。次いで発生器への通電が遮断され室は大気圧ま
で戻される。発生器の出力を上げれば水素を使用しなく
ても溶融が起こる。この場合プラスチック表面は溶融し
、つまり平滑化が起こってから架橋が形成される。
以下例により本発明を説明する。
例 直径２インチ（５，０８ｃｍ　）のポリカーボネート円
盤の表面欠陥が走査電子顕微１１（ＳＥＭ）技術を用い
て検査された。円盤表面にはスクラッチ及び微小粒があ
り、欠陥の平均は３０ミクロンであった。
円盤は圧力１００１１１　ｔｏｒｒのアルゴンプラズマ
に８分間曝された。発生器のパルス幅は２ＩｌｌＳであ
り、繰返し周波数は１４Ｈ２であった。計算によるエネ
ルギー密度は２．５ｋＷ／　ｅであった。処理終了後Ｓ
ＥＭ技術により決定された平均表面欠陥は２００ｎ−以
下であった。
この例により本発明の方法の有効性が証明される。
処理を受けたプラスチック部材は場合により、次いで例
えば英国公開特許出願Ｎ　ｏ、２１０５７２９又は同日
出願である英国特許出願Ｎ　ｏ、８４０５６４９に記載
された方法によりプラズマ蒸着表面が設Ｃノられる。
【図面の簡単な説明】
図はパルスプラズマ処理装置の概略図である。 １０・・・プラスチック部材、１１・・・室、１２・・
・コイル、１３・・・パルス状無線周波数発生器、１４
・・・排気口、１５・・・ポンプ、１６・・・吸込マニ
ホルド、１７・・・入口。 特許出願人　スタンダード　テレフォンズアンド　ケー
ブルス　パブリック 第１頁の続き ■Ｉｎｔ、Ｃ１，’　識別記号　庁内整理番号／／　Ｂ
　２９　Ｇ　７１１０４　６６５３−４Ｆ＠発　明　者
　サレツシュ　ミシュリ　イギリス国うル　オージャ　
７幡地 ［相］発　明　者　イアン　ポール　レウ　イギリス国
ニリン　−　ワイダブ エセツクス　バーロー　カーターズ　メッドエセツクス
　バーロー　フォース　アベニュリューシーエー　（番
地なし） 手続補正書 昭和６０年３月２８日 特許庁長官　志　賀　学　殿 １、事件の表示 昭和６０年　特許願　第４０９８２号 ２、発明の名称 プラスチック表面欠陥の除去方法 ３、補正をする者 事件との関係　特許出願人 住　所　イギリス国　ロンドン　ダブリューシー２アー
ル１デイーニー　ストランド　１９０番地名　称　スタ
ンダード　テレフォンズ　アンド　ケーブルスパブリッ
ク　リミテッド　カンパニー 代表者　マーク　チャールズ　デニス （国籍　イギリス国） ４、代理人 住　所　〒１０２　東京都千代田区麹町５丁目７番地５
、補正命令の日付 自発補正 ６、補正の対象 図面。 ７、補正の内容 図面の浄書（内容に変更なし）を別紙の通り補充する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 （１）アルゴンが主たる又は単一の成分であるパルス状
    無線周波数プラズマにプラスチック表面を曝すことを特
    徴とする、表面溶融によりプラスチック表面から欠陥を
    除去する方法。 ■　プラズマは３０体積パーセント以下の水素を含むこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のプラスチッ
    ク表面欠陥の除去方法。 ■　プラズマは５乃至１０体積パーセントの水素を含む
    ことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のプラスチ
    ック表面欠陥の除去方法。 ４）表面は２ｈｗ／ｇ乃至３　ｋｗ／　ｉのエネルギー
    密度を受けることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
    載のプラスチック表面欠陥の除去方法。 ６）　プラズマの圧力はｉｏ＋ｎ　ｔｏｒｒ乃至２００
    １＋１　ｔｏｒｒであることを特徴とする特許請求の範
    囲第４項０　パルス幅は１ｍｓ乃至５ｍｓであることを
    特徴とする特許請求の範囲第５項記載のプラスチック表
    面欠陥の除去方法。 の　パルスの繰返し周波数は５Ｈｚ乃至２０１−１ｚで
    あることを特徴とする特許請求の範囲第６項記載のプラ
    スチック表面欠陥の除去方法。 （ａ　プラスチック本体を、プラスチックの表面溶融を
    起こさせるような体積比でアルゴンと水素とを含むパル
    ス状無線周波数プラズマに曝し、溶融表面をパルス状無
    線周波数アルゴンプラズマに曝して表面に架橋形成する
    ことを特徴とする表面溶融によるプラスチック本体の表
    面処理方法。 ■）後から被覆を表面に設けることを特徴とする特許請
    求の範囲第１項又は第８項記載の方法。 （１０）該被覆はプラズマ蒸着被覆であることを特徴と
    する特許請求の範囲第９項記載の方法。 （１１）特許請求の範囲第１項記載の方法により処理さ
    れたプラスチック部材。
JP60040982A 1984-03-03 1985-03-01 プラスチツク表面欠陥の除去方法 Granted JPS60221436A (ja)

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