JPS60220902A - 感温素子 - Google Patents
感温素子Info
- Publication number
- JPS60220902A JPS60220902A JP59077434A JP7743484A JPS60220902A JP S60220902 A JPS60220902 A JP S60220902A JP 59077434 A JP59077434 A JP 59077434A JP 7743484 A JP7743484 A JP 7743484A JP S60220902 A JPS60220902 A JP S60220902A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- silicon carbide
- thin film
- sensitive element
- temperature sensing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Thermistors And Varistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、感温素子に関する。更に詳しくは、基板上に
形成させた薄膜状の感温素子に関する。
形成させた薄膜状の感温素子に関する。
現在使用されている感温素子−には多くの種類があり、
それぞれに特徴を有している。特に、最近のエレクトロ
ニクス化の動きから、感温素子も人間の目でみて読みと
れるだけのものではなく、温度制御や他の機器制御に使
える電気的な信号を出せるようなものが望まれている。
それぞれに特徴を有している。特に、最近のエレクトロ
ニクス化の動きから、感温素子も人間の目でみて読みと
れるだけのものではなく、温度制御や他の機器制御に使
える電気的な信号を出せるようなものが望まれている。
かかる用途に現在イ市 １）さ す１τ し１ ス去２
ｆ Ｉｌｄ 側イｋＶ寸Ｃハ寄話■ハ廿 −タスクが
あるが、炭化けい素薄膜は熱衝撃によって基板から剥離
する現象（チッピング）がよくみられるため、製品の不
良率が高いなどの欠点を有している。
ｆ Ｉｌｄ 側イｋＶ寸Ｃハ寄話■ハ廿 −タスクが
あるが、炭化けい素薄膜は熱衝撃によって基板から剥離
する現象（チッピング）がよくみられるため、製品の不
良率が高いなどの欠点を有している。
本発明者は、チッピング現象などを生ずることなく、耐
久性にすぐれ、かつ温度に対する比例性、応答性が良く
、室温付近から高温迄の広い温良範囲にわたっての測定
に好適に使用し得る感温素子をめて種々検討の結果、絶
縁性の感温素子基板の上に炭化けい素合金抵抗体よりＩ
よる薄膜を形成させたものが、かかる目的に十分適合し
得るものであることを見出した。
久性にすぐれ、かつ温度に対する比例性、応答性が良く
、室温付近から高温迄の広い温良範囲にわたっての測定
に好適に使用し得る感温素子をめて種々検討の結果、絶
縁性の感温素子基板の上に炭化けい素合金抵抗体よりＩ
よる薄膜を形成させたものが、かかる目的に十分適合し
得るものであることを見出した。
従って、本発明は感温素子に係り、この感温素子は、導
体基板上の絶縁被膜の上または絶縁基板の上に炭化けい
素合金抵抗体の薄膜を形成させてなる。
体基板上の絶縁被膜の上または絶縁基板の上に炭化けい
素合金抵抗体の薄膜を形成させてなる。
導体基板としては、例えばステンレス鋼ＳＵＳ ３０４
薄板などが用いられ、その上にスパッタリング法、反応
性スパッタリング法、プラズマ、常圧または減圧ＯＶＤ
法などによって設けられる絶縁被服としては、例えば二
酸化けい累、四窒化三けい素などが用いられる。また、
絶縁基板としては、例えばガラス、石英、アルミナなど
からなる基板が、使用温度に応じてそれぞれ選択して用
いられる。
薄板などが用いられ、その上にスパッタリング法、反応
性スパッタリング法、プラズマ、常圧または減圧ＯＶＤ
法などによって設けられる絶縁被服としては、例えば二
酸化けい累、四窒化三けい素などが用いられる。また、
絶縁基板としては、例えばガラス、石英、アルミナなど
からなる基板が、使用温度に応じてそれぞれ選択して用
いられる。
これらの感温素子基板上への炭化けい素合金抵抗体薄膜
の形成は、炭化けい素とこれと合金化される物質、例え
ばステンレス鋼ＳＵＳ ３０４との複合ターゲットを用
い、高周波スパッタリングすることにより行われる。ス
テンレスｉ ＳＵＳ ３０４との複合ターゲットは、例
えば直径６インチ、厚さ％インチの円板状ＳＵＳ ３０
４の一方の面側に、直径２インチ、厚さ％インチの円板
状炭化けい素焼給体を２枚対をなす位置にそれぞれステ
ンレス鋼ねじを用いて押止めして用いる。
の形成は、炭化けい素とこれと合金化される物質、例え
ばステンレス鋼ＳＵＳ ３０４との複合ターゲットを用
い、高周波スパッタリングすることにより行われる。ス
テンレスｉ ＳＵＳ ３０４との複合ターゲットは、例
えば直径６インチ、厚さ％インチの円板状ＳＵＳ ３０
４の一方の面側に、直径２インチ、厚さ％インチの円板
状炭化けい素焼給体を２枚対をなす位置にそれぞれステ
ンレス鋼ねじを用いて押止めして用いる。
高周波スパッタリングは、常法にならって行われるが、
それに先立って感温素子基板上を所望形状のパターンを
有するステンレス鋼製の密着マスクで覆い、そのパター
ンに沿った形状の炭化けい素合金抵抗体の薄膜が、約０
．５〜１μｍ程度の厚さで形成されるようにスパッタリ
ング処理が行われる。第１図に平面図として示されたｌ
１８温素子は、石英基板１上にＳ４０− ＳＵＳ ３Ｑ
４合金抵抗体のパターン２を、線幅２個、線間間隙２園
で形成させたものであり、この抵抗体の両端部には出力
取出電極３，３′が超音波ボンディングにより取付けら
れている。
それに先立って感温素子基板上を所望形状のパターンを
有するステンレス鋼製の密着マスクで覆い、そのパター
ンに沿った形状の炭化けい素合金抵抗体の薄膜が、約０
．５〜１μｍ程度の厚さで形成されるようにスパッタリ
ング処理が行われる。第１図に平面図として示されたｌ
１８温素子は、石英基板１上にＳ４０− ＳＵＳ ３Ｑ
４合金抵抗体のパターン２を、線幅２個、線間間隙２園
で形成させたものであり、この抵抗体の両端部には出力
取出電極３，３′が超音波ボンディングにより取付けら
れている。
この感温素子について、大気中での各温度における抵抗
値を測定すると、第２図のグラフに示されるように、室
温における抵抗値を初期抵抗値としたとき、測定温度の
上昇に対する抵抗値の減少割合（抵抗変化率）は、はぼ
−直線となる良好な比例性を有していることが分る。ま
た、測定：ＩｉＡ度の最高温度である２２５℃に２４０
時間保持した後でも、その初期の抵抗値を維持しでいる
ので、耐久性の点でもすぐれている。
値を測定すると、第２図のグラフに示されるように、室
温における抵抗値を初期抵抗値としたとき、測定温度の
上昇に対する抵抗値の減少割合（抵抗変化率）は、はぼ
−直線となる良好な比例性を有していることが分る。ま
た、測定：ＩｉＡ度の最高温度である２２５℃に２４０
時間保持した後でも、その初期の抵抗値を維持しでいる
ので、耐久性の点でもすぐれている。
耐久性に関連して、炭化けい素薄膜サーミスタの場合に
は、温度衝撃によるチッピング現象が起り易いこと前述
の如くであるが、本発明に係る感温素子は、室温＃２２
５℃という急激な温度変化を１０サイクル行なっても、
これがチッピングなどによって破損する現象は認められ
なかった。また、炭化けい累単独のものと比較して、池
の合金素材を一緒に用いるため、耐食性の改善や材料費
の低廉化も同時にもたらされる。
は、温度衝撃によるチッピング現象が起り易いこと前述
の如くであるが、本発明に係る感温素子は、室温＃２２
５℃という急激な温度変化を１０サイクル行なっても、
これがチッピングなどによって破損する現象は認められ
なかった。また、炭化けい累単独のものと比較して、池
の合金素材を一緒に用いるため、耐食性の改善や材料費
の低廉化も同時にもたらされる。
更に、応答性に関しても、抵抗体が薄膜で形成されてい
るため、他の感温素子と比較して良好であり、またヒス
テリシスもないので信頼性の高い感温素子が提供される
。
るため、他の感温素子と比較して良好であり、またヒス
テリシスもないので信頼性の高い感温素子が提供される
。
このような良好な性質を示す本発明の感温素子は、定電
圧回路に組込み、抵抗値の変化を電位差として取出すな
どのそれの一般的な用途に好適に用いられる。
圧回路に組込み、抵抗値の変化を電位差として取出すな
どのそれの一般的な用途に好適に用いられる。
第１図は、本発明に係る感温素子の一態様の平面図であ
る。−また、第２図は、本発明の感温素子の温度変化に
対する抵抗値の変化を示すグラフであるＯ （符号の説明） １・・・・・・絶縁基板 ２・・・・・・炭化けい素合金抵抗体薄膜パターン代理
人 弁理士 吉 １）俊 夫 第１図 ５３′
る。−また、第２図は、本発明の感温素子の温度変化に
対する抵抗値の変化を示すグラフであるＯ （符号の説明） １・・・・・・絶縁基板 ２・・・・・・炭化けい素合金抵抗体薄膜パターン代理
人 弁理士 吉 １）俊 夫 第１図 ５３′
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、導体基板上の絶縁被膜の上または絶縁基板の上に炭
化けい素合金抵抗体の薄膜を形成させてなる感温素子。 ２、炭化けい素合金抵抗体の薄膜がステンレス＄７ Ｓ
ＵＳ ３０４との合金から形成されている特許請求の範
囲第１項記載の感温素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59077434A JPS60220902A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 感温素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59077434A JPS60220902A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 感温素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60220902A true JPS60220902A (ja) | 1985-11-05 |
| JPH0369161B2 JPH0369161B2 (ja) | 1991-10-31 |
Family
ID=13633902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59077434A Granted JPS60220902A (ja) | 1984-04-17 | 1984-04-17 | 感温素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60220902A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388802A (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-19 | エヌオーケー株式会社 | 感温素子 |
| JPS63283002A (ja) * | 1987-05-14 | 1988-11-18 | Shinei Tsushin Kogyo Kk | ＳｉＣ感湿素材およびＳｉＣ感湿センサー |
-
1984
- 1984-04-17 JP JP59077434A patent/JPS60220902A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6388802A (ja) * | 1986-10-02 | 1988-04-19 | エヌオーケー株式会社 | 感温素子 |
| JPS63283002A (ja) * | 1987-05-14 | 1988-11-18 | Shinei Tsushin Kogyo Kk | ＳｉＣ感湿素材およびＳｉＣ感湿センサー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0369161B2 (ja) | 1991-10-31 |
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