JPS60220857A - 超音波探傷装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ 本発明はアレイ型探触子を用いた電子走査型の超音波探
傷装置の改良に関する。

［発明の技術的背景とその問題点］ 電子走査型の超音波探傷装置は、例えばパルス反射法で
は、複数個の超音波振動子を直線状、曲線状或いは平面
状に配列したアレイ型探触子を用い、各振動子を夫々遅
延させて励振し、被検体中に形成される超音波ビームを
走査、集束制御すると共に各振動子で受信して得た超音
波受信信号を夫々遅延させて加算することにより、被検
体の所望領域内から超音波情報を選択的に収集し、被検
体の探傷に供するようにしたものである。

ここで、アレイ型探触子の送受信面にアクリル、水等の
接触媒体を介して探傷する場合について第１図を参照し
て説明する。即ち、アレイ型探触子１の中央部から送信
される超音波主ビーム２に注目し、所望の集束点３（距
離１２）から図中のように演算される仮想集束点４（距
離Ｊ１２×Ｃ２／Ｃ１）を中心とした円筒面５と各振動
子の距離差６に対応した時間差を各振動子に与えて夫々
励振する。このように励振すると各振動子からの超音波
ビームは所望の集束点３に集束せず、所謂集差を生じる
。この巣差は、接触媒体（距離１，１：音速Ｃ１）７と
被検体く音速Ｃ２）８の音速差Ｃ１−０２が大きく、ま
た、被検体８中の超音波ビーム１１１１２が、アレイ型
探触子の開口寸法Ａに比較して十分大きくない場合に著
しく生じるものである。

従って上記接触媒体７を用いた探傷では各振動子に遅延
時間を与えて励振しても、十分な超音波集束が得られず
、よって良好な超音波探傷は行なえなかった。

また、上述した電子走査型の超音波探傷装置では、各振
動子に対応させて送信器が必要である。

また受信信号は夫々送信時に対応して所定の時間だけ遅
延させ波形加締することが必要である。この場合、この
受信信号の遅延方式としては、遅延線を組合わせたアナ
ログ遅延方式や、ＣＯＤ素子、アナログ／デジタル変換
によるデジタル遅延方式等があるが、これらの遅延方式
では上記送信器の設置個数の必要性と相まって構成が複
雑であり、信号処理が複雑であるという不具合があった
。

次に電子走査型の超音波探傷装置における超音波ビーム
を直線状に走査させるリニア走査（直線層）方式につい
て説明する。即ち、この直線走査方式では、方位分解能
を高めるためには走査密度を高める必要がある。このた
め、第２図に示すように超音波主ビーム２を微小角度だ
け偏向送受信する所謂微小角セクタにより同一の振動子
で２倍の情報を得るようにした方式もある。しかし乍ら
、探傷深さに応じ、即ち、距離方向での実質的な走査線
密度は異なり、よって大幅な距離分解能の向上は望めな
く、また、この微小角セクタでは超音波集束精度が不充
分なため分解能向上は十分に発揮できない。更に、セク
タ走査、リニア走査共に特に超音波集束を探傷中に所望
の探１ｍ領域を選定する毎に予めＲＯＭ等に書込まれた
遅延時間データを随時変更する必要があり、試験状況に
随時対応できないという不都合を生じていた。特にリニ
ア走査を水浸法等で使用する場合には、水距離が種々変
化するため、その変化に随時対応して超音波集束制御の
できる装置の出現が強く望まれていた。

［発明の目的１ 本発明は上記事情に基づいてなされたもので、その目的
とするところは、集差のない超音波集束を１９、また、
超音波送信器の数を少くするとともに、受信信号のｉ！
延を簡素化し、さらに超音波の集束領域を探傷試験中に
随時変更、設定可能とした超音波探傷装置を提供するこ
とにある。

［発明の概要］ 本発明による超音波探傷方法は、局部水浸法等のように
、アレイ型探触子と被検体との間に超音波接触媒体を介
して探傷する場合に、各振動子の送信タイミングを、上
記被検体と上記超音波接触媒体との超音波屈折角度に基
づき設定し、超音波送信時の超音波集束点を、振動子の
配列ピッチの整数部の１毎に振動子配列方向に移動させ
て電子走査するに際し、上記送信タイミングを規定する
遅延時間を超音波送信時だけに設定し、受信時には、各
振動子からの受信信号を同時加算するようにし、さらに
、超音波集束点の設定位置を画像表示器上に表示される
超音波探傷時のＡスフ−１表示およびＢスフ−１表示か
ら、上記超音波接触媒体中のビーム伝播距離と被検体中
の所望探傷領域までのビーム伝播距離とを得て随時集束
に必要な各超音波振動子の遅延時間を設定することによ
り所望の位置で超音波集束を得るようにしたことを特徴
としている。

［発明の実施例］ 以下本発明に係る超音波探りｍ装置を、第３図に示す一
実施例に従い説明する。第３図において、１は複数の振
動子９から構成されたアレイ型接触子である。１０は各
振動子９夫々に対応された複数の超音波送信器で構成さ
れる送信器群である。

１１は各振動子９夫々からの受信信号を選定する電子ス
イッチである。１２は電子スイッチ１１を通過した受信
信号が取込まれる複数の受信器で構成される受信器群で
ある。１３は受信器群１２の夫々の受信器の出力を取込
み、それらを加算する加算器である。

１４は送信器群１０の各送信器に送信遅延時間信号を与
え、受信器群１４の各受信器に上記送信遅延時間信号に
同期した受信遅延時間信号を与える遅延時間設定器であ
る。１５はデータ設定器１６からの信号に基づき、ｉ！
延延時膜設定器１４電子スイッチ１１および加算器１３
へ制御信号を与えると共に信号処理器１７と信号の入出
力を行なうコンピュータである。上記のおいてデータ設
定器１６は信号処理器１７のデータ読取りをｉｌＪ　ｍ
する信号を設定するものである。１８は、信号処理器１
７の出力を表示する画像表示器であり、この画像表示器
１８で得られた信号は信号処理器１７に入力される。

次に上記構成の詳細について第３図および第４図を参照
して説明する。

即ち、第３図において、送信器群１０の各振動子は、遅
延時間設定器１４からのパルス信号を受けることにより
対応する振動子９に励振用単発波を与えるものである。

遅延時間設定器１４は、コンピュータ１５からの遅延時
間データを受取り、内部のレジスターにプリセット可能
としており、さらに所定のレジスターのデータプリセッ
トが終了すると遅延時間設定器１４の内部発振器が作動
しプリセットされた随に応じて送信器群１０ヘパルス信
号を送信するものである。

なお、遅延時ＩＩｌ設定器１４内のレジスターの選定は
、電子スイッチ１１のセットと加算器１３の加締信号の
選定と信号処理器１７への選定された振動子群データの
送信とをコンピュータ１５より出力されるものである。

次に、電子スイッチ１１で選定された振動子群９からの
受信信号群は夫々受信曙群１２で増幅された後、加算器
１３に入力されこの加算器１３内でアナログ加算される
。ここで加算器１３は入力された受信信号を非遅延加算
又は遅延加暮するもであり、この加算受信信号は加算器
１３が内蔵する減衰器及び増幅器によって適正信号レベ
ルにまで調整した後信号処理器１７に入力される。

信号処理器１７に入力された加算受信信号は、信号処理
器１７内で検波された後、任意に設定できる信号処理器
１７内のディスクリレベルによってＣＲＴ　（陰極線管
）を有した画像表示器１８への輝度変調用信号を生成す
る。この輝度変調用信号は、所定の信号レベルを１００
％とすれば、１００％以上、１００〜５０％、５０％〜
２０％、２０％以下の各段階に対して階調を持った信号
出力であり、もちろん超音波の距離減衰特性を考慮した
輝度変調用信号となっている。また、信号処理器１７は
、コンピュータ１５からの選定された振動子群のデータ
と超音波集束点位置のデータを受け、画像表示器１８へ
の画像掃引用信号を作成して出力する。さらに、画像表
示器１８からは後述するカーソル位置信号を受け、画像
掃引速度との対応から、カーソル位置を超音波ビーム伝
播距離長さに換算してコンピュータへ出力する。なおま
た、信号処理器１７は、画像表示器１８から、画像表示
用走査１１群を選択したデータ出力を受け、Ａスコープ
表示群を選定し、これらのＡスコープ表示用の波形信号
群を画像表示器１８へ出力している。

画像表示器１８は前述したようにＣＲＴの画像掃引上の
任意に移動設定勾能なカーソルとＡスコープ表示用の走
査線群の選定カーソルとを表示するとともに、これらの
カーソル位置信号を信号処理器１７へ出力している。ま
た、信号処理器１７から画像表示用の掃引信号と輝度変
調信号を受け、被探傷材のＢスコープ像（断面画像）を
表示するとともに、Ａスフ−１表示の波形信号群を受け
、Ａスフ−１表示をＣＲＴに行う。

次にデータ設定器１６は、例えば第４図に示すようにデ
ジタルスイッチ１９等により、外部から電子走査の設定
に必要な、超音波接触媒体での音速Ｃ１と、被検体での
音速Ｃ２と、アレイ型探触子１の振動子配列ピッチＰと
送受信時の振動子９の組合せの数と、電子走査線のピッ
チとをデコーダ２０およびインボート２１を介してデー
タバスラインによりコンピュータ１５へ与えるものであ
る。コンピュータ１５は、これらの数値データと、前記
した信号処理器１７からのカーソル位置に対応した超音
波伝播距離によって超音波接触媒体長さと被検体中の超
音波集束距離とを用いて、所定の各振動子に設定すべき
遅延時間を演篩する。また、ンピュータ１５は、信号処
理器１７から出力される画像掃引用信号に同期してタイ
ミング信号を信号処理器１７から受け、このコンピュー
タ１７内にあらかじめ設定されたプログラムに従い次回
に走査すべき振動子群の組合せを選定して遅延時間設定
器１４、電子スイッチ１１、加算器１３および信号処理
器１７へ出力するものである。

次に本実施例の作用（探傷方法）を列挙して順に説明す
る。

第１の方法、第５図に示すように、アレイ型探触子１の
選定された振動子群による探触子開口寸法Ａの中央点Ｐ
から距離ａ１にある振動子９に与える遅延時間ΔＴ１は
次のように定められる。ここでアレイ型探触子１と被検
体８とが角度θで傾いて設定されているとする。この場
合には、超音波接触媒体７の音速Ｃ１と被検体８の音速
Ｃ２とから下記式（１）で示されるスネルの法則によっ
て被検体８への超音波ビーム屈折角ψが容易にめられる
。さらに中央点Ｐからの超音波ビームが超音波接触媒体
７中を距離Ｊ１１だけ伝播し、被検体８中を集束点３ま
で距＠Ｊ１２だけ伝播することを知り、下記式（２）で
決定される。

ｓｉｎθ／（：１　＝ｓ石ψ／Ｃ２・　（１）ΔＴｔ＝
（（ａ、−ｂ、ｃｏｓ）２＋（ｔｔ’　ｂｔｓｔ評ｙづ
ンＣ１＋（ＬしＧｓ石ψ＋ｂ４）２＋（ｔ２ｃｏｓ９’
）”　）／Ｃ２（１−ｓ　／Ｃｓ　＋ｔ”／Ｃｚ　）　
・・・（２）ここで、旧は第５図に示されるように、８
１位置の振動子からの超音波ビームと中央点Ｐからの超
音波ビームとが被検体８の表面−上でなす距離であり、
スネルの法則により下記（３）でめられる。

（ｔＩｔ１ｎθ＋ａ　１ｃ＋ｙｓＯＪ　）／（ｆ（ａｔ
　Ｊｒｏｓ”３”４−（τ二♀ｎ／／）’ＸＣ４）＝　
（ｔ２５ｌｎ９’＋Ｊ　）／（（Ｃ１ｚ　＋ｍ＠＋ｂ　
Ｉ５”＋−α；ｃｐｓ（ｐ　）”×１２）−（３）ここ
で、旧は式（３）で陰関数となっており、一般に、閉じ
た形ではめることは困ｔｉである。

この第１の方法では、式（３）を変形し、下記式（４）
のように表わし、（４）式のルート内に示されるｂ：を
、式（５）のｂ１″で近似的に与えている。即ち、第６
図に示すように仮想集束点４′を被検体８０表面から距
Ｍｆ２ＸＣ２／Ｃ１に与えた的前記位置ａ１の撮動子９
からの超音波ビームが被検体８の表面上で中央点Ｐから
の超音波ビームとなす距離であり、ｂｉ”＝ａ量°Ｌ２
Ｃ＊／　（ｔＩＣ１＋ｔ２　Ｃ２）αＳθ　・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（５）
従って式（４）と式（５）とからｂｌが下記式（６）か
ら容易に決定され、式（２）から遅延時間ΔＴ１が得ら
れる。

・・・・・・・・・・・・（６） 一方、アレイ型探触子１が被検体８と平行に配置された
場合には簡略となり、夫々（２）′　式および（６）′
式で示される。

ＪＴ　Ｈ＝　Ｊ覆”ｂ　１　）”　＋ｌｉ　２／Ｃ１＋
　ｌｂ　１　”＋ｊｚ灸ｔ（ｔ％Ｃ１＋ＭＪ・・・・・
・・・・（２）′ （２）と（６）式または（２）′　と（６）２式によっ
て演算され度であっても式＋２１．（３１を用いて厳密
にめた値の１％以下の精度で一致し、従来式（５）と式
（２）からめた遅延時間ΔＴ１の値が厳密値と１０９６
以上の誤差を生じていたのに較べ、極めて高１１度とな
る。

以上述べたように、本例では、データ設定器１６からの
出力に基づき容易に超音波ビーム屈折角ψがめられ、こ
の超音波屈折角ψにより遅延時間ΔＴｌ　（送信タイミ
ング）が設定されるので、所望の位置に超音波集束がな
され、良好な探傷画像（Ａスコープ、Ｂスコープ）が１
誇られる。

次に、本実施例における第２の方法である電子走査方向
へ超音波集束点を振動子配列ピッチのＮ／間　（Ｎ、Ｍ
は整数、Ｎ≦（Ｍ／２＞）だけ移動させて電子走査する
場合の作用例を説明する。

即ち、第７図（ａ）に示すように、所定の振動子の組合
せを同一としたまま、超音波主ビーム２が、被検体８の
所定の集束深さ位置Ｊ１２で振動子ピッチＰのＮ／間だ
け移動するように遅延時間ΔＴｉを設定するものであり
、式（６）または（６）′　によって与えられるａｌに
超音波集束点の移動量ＰＸ　（Ｎ／間）だけ加算、或い
は減衰した値を用いてｂｌを演算し、式（２または式（
２）′　から遅延時間ΔＴ１が得られる。第７図（ｂ）
には振動子ピッチＰの１／３だけ超音波集束点を左右に
移動させた例を示したが、振動子の組合せＡ！とＡ２と
Ａ３とで夫々・印、０印およびＸ印で示されるように超
音波集束点が移動され、超音波の走査線密度が振動子ピ
ッチＰの３倍となることが認められる。なお、第７図（
ａ）（ｂ）は簡単のために超音波接触媒体を有さない場
合について示したものであるが、もちろん、第１の方法
の如く超音波接触媒体７を用いた場合にも適用できる。

第８図は上述した方法によって、電子走査する例膏示し
たものである。即ち、超音波主ビーム２を第８図中の一
点鎖線の８１方向へ傾は電子走査２２した後、次に実線
Ｓ２方向へ傾け、電子走査し、さらに破線Ｓ３方向に傾
けて電子走査している。このように電子走査毎に超音波
主ビーム２のの傾き方向を変更することにより、−回の
電子走査時には、第８図に示すように被検体８への超音
波屈折角が特定化されるため、被検体８内部の欠陥２３
の傾き角に応じた超音波反射を生じる。したがって特定
化された超音波屈折角に応じた超音波探傷画像が１ｑら
れ、傾斜欠陥に対する判断も容易となる。

上記においては、第１の方法と第２の方法とを併用して
行う場合、また個別に行なう場合とがあり随時選定でき
るものである。

次に本実施例の第３の方法である超音波送信時に超音波
ビームの集束と集束点の移動とを行い、受信時には超音
波ビームを平行ビームとして、すなわち各振動子間での
遅延時間を与えずに受信信号の加算を行なう方法の作用
例と効果について説明する。即ち、第９図は超音波ビー
ムの送信および受信時の様相を図示したものである。第
９図において超音波送波ビーム２４は遅延時間の制御に
より集束されて欠陥２３に入射されるが、反射された超
音波ビームは欠陥の反射指向性に従う。したがって、本
方法によれば超音波集束された超音波ビームの領域から
の反射エコーを通常の一探触子で受波すると同等の効果
を生じる。これにより通常の一探触子法による超音波の
送信および受信に比較し本方法によれば集束精度が従来
より高いため方位分解能が格段に向上するものである。

第１０図は、人工的な横穴の欠陥２３を探傷しアレイ型
探触子を用い送信と受信を超音波集束させた場合、送信
だけ超音波集束させ、受信は集束させない場合、送信と
受信をともに集束させない場合の超音波受信波形を示し
たものである。この第１０図からも超音波集束が送信時
だけ行なわれても十分な探傷性能があることが認められ
る。なお第１０図は超音波媒体を介さない時の例であり
、第１０図（ａ）は探傷の様相を示しており、第１０図
（ｂ）においてＥｌは送信時及び受信時共に超音波集束
でない場合の欠陥２３　（Ａ）の反射エコーのＡスフ−
１表示であり、Ｅ２は送信時には超音波集束で受信時に
は超音波集束がない場合の欠陥２３　（Ａ）の反射エコ
ーのＡフコ−１表示であり、Ｅ３は送信、受信時共に超
音波集束の場合の欠陥２３　（Ａ）の反射エコーのＡフ
コ−１表示である。

第１０図（ａ＞（ｂ）に示される如く、超音波接触媒体
を用いた場合でも同様な効果が得られることは明らかで
ある。よって、アナログ信号の遅延加算を行なう複雑な
構成が省略できる。上記のおいては、第１、第２、第３
の方法を併用して行なう場合、また個別に行なう場合と
があり随時選定できるものである。

次に本実施例の第４の方法である被検体の断面像表示（
Ｂスコープ表示）の作用例について説明する。

第１１図（ａ）は被検体８を超音波接触媒体７を介し欠
陥２３を探傷する時の図である。本例ではアレイ型探触
子１が被検体８の表面に対して若干傾いており、超音波
主ビーム２は被検体中に屈折して入射している。この場
合の探ＩＩ　ｌｉｊ＆は第１１図（ｂ）のように示され
る。即ち、画像表示器１８のＣＲＴ２４上には、アレイ
型探触子１からの送波パルス２５に対応して全走査線の
送波パルス画像２６と、超音波接触媒体７と被検体の境
界部の反射パルス２７ら対応して境界部反射パルス画像
２８と、欠陥２３からの反射パルス２９に対応した欠陥
部反射パルス画像３０とが表示される。したがって、Ｃ
ＲＴ上には被検体８のＢスコープ像（断面画像）とＡス
コープ像とが超音波ビーム伝播路程を同一の掃引軸とし
て表示されている。ここで、Ａスコープ像として表示さ
れる走査線は既に記述したように、Ａスコープ表示用走
査線群の選定カーソル３１でＣＲＴ上に表示される。

したがってＡスコープ像はこれらの選定された走査線群
が重ね合わされて表示される。また画像掃引方向へは任
意に移動設定可能なカーソル３２が表示され、カーソル
３２Ｔ１）により、送波パルス２５から超音波接触媒体
７を通過する時間が検出され、カーソル３２（ｚにより
被検体８の表面から超音波集束させる点までの時間が検
出されるものであり、前述したように遅延時間を演樟す
ることができる。

、これにより、探傷試験中に検出される欠陥に対し随時
超音波集束点を演界し、設定することが可能となるため
探傷精度が向上することが可能となる。

なお、第１１図に示した例ではＡフコ−１表示として検
波波形を示したが、もちろん検波する前のＲＦ波形表示
することも可能であり、ざらにＡスフ−１表示上に超音
波ビーム伝播路程に伴うディスクリレベルの変化を重ね
て表示してもよい。

上記においては、第１、第２、第３、第４の方法を併用
して行なう場合、また個別に行なう場合とがあり随時選
定できるものである。

本実施例は以下の列挙した如く変形して実施してもよい
。即ち、 ■　本実施例では、被検体８の表面とアレイ型探触子１
の振動配列方向と直行した方向が平行に配置された場合
を示したが、もちろん第′１２図に示すように傾けて配
置してもよい。

■　本実施例では送信用振動子群と受信用振動子群を同
一としたが、受信用振動子群と送信用振動子群とを異な
らせて実施してもよい。この場合には第１３図（ａ）に
示すように受信用振動子群を固定し、送信用振動子群だ
けを電子走査２２させ、第１３図（ｂ）に示すように送
波用振動子群を固定し、受渡用振動子群だけを電子走査
２２させたりすることが可能となる。したがって、従来
、タンデム探傷法を本実施例により更に精度よく実現で
きるものである。

■　送信用振動子群の遅延時間をプログラム的に順次変
更し、所謂セクタ走査（扇形走査）方式で超音波ビーム
を送信することもできる。なお、上記■の場合には、例
えばＣＲＴ上のＢスコープ表示は、第１４図に示すよう
に受信用振動子群３３と送信用振動子群３４の主ビーム
間の距離りと、遅延時間制御による送波ビーム設定角度
αと、アレイ型探触子と、被検体との距離１３を知るこ
とにより、受信信号のビーム伝播時間りを用い下記式（
７）によって画像掃引信号Ｔを作成すればよい。

・・・・・・・・・・・・　（７） ここで、Ｃ２’　、Ｃ２は夫々被検゛体への超音波ビー
ム送信時および受信時の音速であり、Ｌ＝は超音波接触
媒体中の音速である。もちろんＣ２−Ｃ２Ｊの場合より
簡略化された式となることは明らかである。

となり、ビーム伝播時間りに応じて作成すれはよい。さ
らに画像掃引信号Ｔから超音波ビーム集束のための遅延
時間を演界するためには前記した画像掃引上のカーソル
から下記式によって、１１および１２をめ式（２）また
は式（２１’　を用いればよい。

なお、１３は送信用振動子群と受信用振動子群を十分近
づけて被検体の表面からの反射エコーを検出することに
より、容易にＣＲＴ画像上のカーソルを設定してめられ
る。また、送信時と受信時の被検体中の音速Ｃ２’　、
Ｃ２は、送波ビーム設定角度αからスネルの法則によっ
て超音波ビームのモード（縦波、横波、表面波等）を選
定することによって決定できる。なお、送信ビーム設定
角度αによっては、被検体に複数の超音波モードが生じ
るが、送波ビーム設定角度αが定まれば被検体中への屈
折角βは超音波モードによって定まるため、超音波エコ
ーがいずれの送信時の超音波モードによっているもので
あるかは、第１４図に示した幾何学的関係から容易に判
定できる。なおまた、送波ビーム設定角をαとして場合
には、各振動子の遅延時間設定は式（２又は式（２）′
　の値に、前記設定角に対応した遅延時間が付加される
。例えば８１位置の振動子についてはａｉ　ｓｉｎθ／
Ｃｊの遅延時間が加算されるものであることは言うまで
もない。

上記方式以外に本発明ではその要旨を逸脱しない範囲で
種々変形して実施できるものである。

［発明の効果］ 以上述べたように本発明によれば、以下の如くの効果を
奏する超音波探傷装置が提供できる。即ち、超音波ビー
ムの集束が高精度に実施できる。

また、任意の超音波ビーム集束距離で超音波ビームを電
子操作方向に微小に移動できるため、少い超音波振動数
で高い電子走査密度を得ることが可能となり探傷分解能
が向上する。

さらに、超音波ビームを送信する時だけ各振動子の励振
時点に遅延時間を持たせ、受信時には各娠動子間に遅延
時間を持たせないため、アナログ信号の遅延加算という
複雑な回路が不要となる他、装置の小型化が可能となる
。さらに、受信信号の遅延加算を行なわず平行ビームと
して受信するため、受信時も集束を行うに比べ、広範囲
の領域を見逃しなく探傷できる。

また、Ｂフコ−１画像の掃引信号上にカーソルを配置し
ているため、カーソル位置を任意に移動することにより
、所望の領域に超音波ビームを集束でき、したがって被
検体の内部欠陥の探ｆｌｆｌ１度が向上する。

さらに、Ｂスコープ上の任意の電子走査ｍｕのＡスフ−
１表示を随時得られるため、所定の欠陥からの反射エコ
ー信号を得ることができるため、欠陥の性状に伴う反射
エコーの微妙な特徴を把握でき、探傷結果の判断が正確
となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の超音波集束における集差を説明する図、
第２図は微小角セクター操作を説明する図、第３図は本
発明に係る超音波探傷装置の一実施例を示すブロック図
、第４図は第３図におけるデータ設定器の一例を示す図
、第５図は本実施例の超音波集束を説明する図、第６図
は本実施例の超音波集束のための計算方式を説明する図
、第７図は本実施例の超音波集束点の移動を説明する図
、集束無しによる効果を説明する図、第１０図は本実施
例の超音波集束の効果を説明する図、第１１図は本実施
例におけるＣＲＴ表示される一例を示す図、第１２図及
び第１３図は夫々本発明の他の実施例を説明する図、第
１４図は第１３図における適用法を説明する図である。 １・・・アレイ型探触子、１０゛・・・送信器群、１１
・・・電子スイッチ、１２・・・受信器群、１３・・・
加算器、１４・・・遅延時間設定器、１５・・・コンピ
ュータ、１６・・・データ設定器、１７・・・信号処理
器、１８・・・画像表示器。 出願人代理人　弁理士　鈴江武彦 第２図 第４図 第５図 第８図 Ｃ，ｌ＞　Ｃｂ） 第１０図 （ａ） 第・１１１Ｊ：１ （戎） （ｂ） ｌフ　ｔｔ　ｊｔ（υ　３２（２） 第１２１」 （改） （ｂ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 被検体との間に超音波接触媒体を配置したアレイ型探触
   子を用いて電子走査する超音波探傷装置において、送信
   時にお番ブる上記被検体と上記超音波接触媒体との超白
   波屈折角度と、振動子配列ビッヂと、超音波干渉を生じ
   せしめる振動子の数と、上記超音波接触媒体での音速と
   、上記被検体での音速と、上記アレイ型探触子と上記被
   検体との交差角度とを夫々設定するデータ設定器を備え
   、画像表示器上の超音波ビーム伝播時間方向に移動設定
   されるカーソルの位置から算定される上記超音波接触媒
   体中の超音波伝播時間及び上記被検体中の超音波集束が
   所望される領域までの超音波伝播時間と、上記データ設
   定器からの出力とにより上記アレイ型探触子の各振動子
   の送信タイミングを設定して上記被検体の所望の領域に
   超音波集束を生じせしめ、上記アレイ型探触子の振動子
   配列方向に振動子配列ピッチＰの１／Ｎ（Ｎは整数）だ
   け集束位置をずらせる毎に走査し、上記振動子配列ピッ
   チＰの１／２を越えない範囲まで集束位置を順次移動さ
   せ、受信時には、上記各振動子からの受信信号を遅延さ
   せることなく加棹すると共に超音波探傷画像を構成する
   画像走査線を選定し、この選定された画像走査線又は画
   像走査線群のＡスフ−１表示を８スコ一プ表示と共に画
   像表示するように構成したことを特徴とする超音波探傷
   装置。