JPS60213753A - クリ−ンベンチ - Google Patents
クリ−ンベンチInfo
- Publication number
- JPS60213753A JPS60213753A JP59070340A JP7034084A JPS60213753A JP S60213753 A JPS60213753 A JP S60213753A JP 59070340 A JP59070340 A JP 59070340A JP 7034084 A JP7034084 A JP 7034084A JP S60213753 A JPS60213753 A JP S60213753A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air curtain
- air
- head
- blow
- working space
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/163—Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は無塵条件下での作業を必要とする、たとえば精
密機器や電子部品などの製造ラインなどに好適なりリー
ンベンチに関するものである。
密機器や電子部品などの製造ラインなどに好適なりリー
ンベンチに関するものである。
従来例の構成とその問題点
近年、ＩＣ半導体工業、精密機器工業など数多くの分野
で、よシ高い清浄度の無菌、無塵環境がめられている。
で、よシ高い清浄度の無菌、無塵環境がめられている。
このような背景の中でクリーンベンチはクリーンルーム
と共に、作業環境の清浄度を保つ上で重要な役割を担っ
ている。
と共に、作業環境の清浄度を保つ上で重要な役割を担っ
ている。
以下図面を参照しながら、上述したような従来のクリー
ンベンチについて説明する。
ンベンチについて説明する。
第１図は従来例の概要図である。
従来例のクリーンベンチは、第１図に示すように、１は
作業台、２は作業台１の三方を囲む枠、３は送風機、４
はプレフィルタ−１５は高性能フィルター（以下、ＨＥ
ＰＡフィルターと呼ぶ）、６は送風機３の吐出側とＨｌ
ｉ：ＰＡフィルター６との間に設けた空気拡散室、７は
作業台１の上で、しかも枠２で三方を門主れたところに
形成された作業空間、８は作業空間、７とＨＥＰＡフィ
ルター６との間にあり、作業空間７内を照らす照明手段
、９は照明手段８の光が直接作業者に入らないようにす
る散光板、１ｏはエアカーテン吹出口、１１は空気流通
抵抗体である。
作業台、２は作業台１の三方を囲む枠、３は送風機、４
はプレフィルタ−１５は高性能フィルター（以下、ＨＥ
ＰＡフィルターと呼ぶ）、６は送風機３の吐出側とＨｌ
ｉ：ＰＡフィルター６との間に設けた空気拡散室、７は
作業台１の上で、しかも枠２で三方を門主れたところに
形成された作業空間、８は作業空間、７とＨＥＰＡフィ
ルター６との間にあり、作業空間７内を照らす照明手段
、９は照明手段８の光が直接作業者に入らないようにす
る散光板、１ｏはエアカーテン吹出口、１１は空気流通
抵抗体である。
以上のように構成されたクリーンベンチについて以下そ
の動作について説明する。
の動作について説明する。
送風機３が運転されると、室内空気１２ぽプレフィルタ
−４を通り空気拡散室６に入り、均一にＨＥＰＡフィル
ター６に供給される。ＨＥＰＡフイルター５を通過した
空気は再び空気流通抵抗体１１ 、！：ＨＥＰＡフィル
ター５の吹出口の間の拡散空間１３で均一の静圧にされ
、空気流通抵抗体１１、散光板９を通り作業空間７に供
給される。
−４を通り空気拡散室６に入り、均一にＨＥＰＡフィル
ター６に供給される。ＨＥＰＡフイルター５を通過した
空気は再び空気流通抵抗体１１ 、！：ＨＥＰＡフィル
ター５の吹出口の間の拡散空間１３で均一の静圧にされ
、空気流通抵抗体１１、散光板９を通り作業空間７に供
給される。
この時、ＨＥＰＡフィルター６を通過した空気の一部は
空気流通抵抗体１１のないエアカーテン吹出口１０より
空気流通抵抗体１１を通る空気よりも速い空気が吹出さ
れ、作業空間７と通路側、あるいは非作業側との間にエ
アカーテンを形成し、その二つの空間を分離する。また
作業空間７内の照明は照明手段８によシ透光性の散光板
９と、透光性の空気流通抵抗体１１を通して行なわれる
。
空気流通抵抗体１１のないエアカーテン吹出口１０より
空気流通抵抗体１１を通る空気よりも速い空気が吹出さ
れ、作業空間７と通路側、あるいは非作業側との間にエ
アカーテンを形成し、その二つの空間を分離する。また
作業空間７内の照明は照明手段８によシ透光性の散光板
９と、透光性の空気流通抵抗体１１を通して行なわれる
。
しかしながら、上記のような構成では作業者が作業空間
７に手、あるいは頭や上体を入れた時には、エアカーテ
ンの風速が速いため、逆に手や頭からダストが吹き落と
され、作業台内の一部を汚染するという重大な欠点を有
していた。
７に手、あるいは頭や上体を入れた時には、エアカーテ
ンの風速が速いため、逆に手や頭からダストが吹き落と
され、作業台内の一部を汚染するという重大な欠点を有
していた。
発明の目的
本発明は上記従来例の欠点に鑑みてなされたもので、作
業者が手や頭などを作業空間に入れる時にはエアカーテ
ンを停止できるクリーンベンチを提供するものである。
業者が手や頭などを作業空間に入れる時にはエアカーテ
ンを停止できるクリーンベンチを提供するものである。
発明の構成
との目的を達成するために本発明のクリーンベンチは、
空気中のダストを除去するための高性能フィルター （
以下ＨＥＰＡフィルターと呼ぶ）と、前記ＨＥＰＡフィ
ルターに室内空気を供給するだめの送風機と、作業台を
照らす照明手段と、前記照明が直接作業者に入らないよ
うにする散光板と、作業台の上の清浄空間と作業台の外
を分離するだめのエアカーテン吹出口と、エアカーテン
吹出空気と作業舎内吹出空気の速度を調整する空気流通
抵抗体と、前記エアカーテン吹出口からの吹出空気を停
止できる可動式のエアカーテン停止板とから構成されて
いる。
空気中のダストを除去するための高性能フィルター （
以下ＨＥＰＡフィルターと呼ぶ）と、前記ＨＥＰＡフィ
ルターに室内空気を供給するだめの送風機と、作業台を
照らす照明手段と、前記照明が直接作業者に入らないよ
うにする散光板と、作業台の上の清浄空間と作業台の外
を分離するだめのエアカーテン吹出口と、エアカーテン
吹出空気と作業舎内吹出空気の速度を調整する空気流通
抵抗体と、前記エアカーテン吹出口からの吹出空気を停
止できる可動式のエアカーテン停止板とから構成されて
いる。
この構成によって、作業者が作業空間内に手や頭部など
を入れる時にその必要を認めるならばエアカーテンを停
止して、高流量のエアカーテン吹出空気による手や頭部
からのダストの飛散、落下等を抑えることができる。
を入れる時にその必要を認めるならばエアカーテンを停
止して、高流量のエアカーテン吹出空気による手や頭部
からのダストの飛散、落下等を抑えることができる。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について図面を参照にしながら説
明する。
明する。
第２図は本発明の一実施例の概略図である。第２図にお
いて第１図と同じ部材については詳細な説明を省略した
。
いて第１図と同じ部材については詳細な説明を省略した
。
１４はエアカーテン休止板で、エアカーテンが必要な時
にはエアカーテン停止板１４を第２図点線のように下方
に引き降ろし、拡散空間１３とエアカーテン吹出口１０
が連通ずるようにする。またエアカーテンを停止させる
時には、エアカーテン停止板１４を第２図の如く上方に
押し上げ、エアカーテン吹出口１ｏにＨＥＰＡフィルタ
ー５を通過した空気が遮断されるようにする。
にはエアカーテン停止板１４を第２図点線のように下方
に引き降ろし、拡散空間１３とエアカーテン吹出口１０
が連通ずるようにする。またエアカーテンを停止させる
時には、エアカーテン停止板１４を第２図の如く上方に
押し上げ、エアカーテン吹出口１ｏにＨＥＰＡフィルタ
ー５を通過した空気が遮断されるようにする。
以上のように本実施例によれば、作業空間７内に手や頭
部を入れる時にエアカーテンを停止させた場合、手や頭
部の下方のダスト数は大きく減少する。第３図にこの時
の測定の概要を、第４図にはこの時のダストをエアカー
テンの有、無について比較プロットした。第４図からも
明らかな通りｐ−ｘ ） カラｙ ｐ −ＲＯＹＣＯ＃
４１５０ 、作業台上１０（７）、 １ ｃ ｆ ／
Ｍ Ｘ １分×３回サンプリングでエアカーテンは同一
のクリーンベンチについても使 でい分ける必要がある
ことがわかる。つまシ作業空間７に手や頭等を入れる時
には第３図ａのように吹、Ｄ、。から必流速。速い、ア
カ−ｆ７を停止し、作業空間内の装置を監視する時や無
人時には第３図すの如くエアカーテン１４しておけば作
業空間内をより清浄に保つことができる０発明の効果 以上のように本発明は、エアカーテン吹出口からの吹出
空気を停止させる可動式のエアカーテン停止板を用いる
ことにより、作業者が手や頭等を作業空間に入れる時に
はエアカーテンを停止させ作業空間に入れた手や頭等か
らのダストの落下、飛散を防止し、また作業空間内を監
視するような場合にはエアカーテンを使用し、作業空間
と作業者通路とを完全に分離して、作業者通路からの作
業空間の汚染を防止でき、その実用的効果は大なるもの
がある。
部を入れる時にエアカーテンを停止させた場合、手や頭
部の下方のダスト数は大きく減少する。第３図にこの時
の測定の概要を、第４図にはこの時のダストをエアカー
テンの有、無について比較プロットした。第４図からも
明らかな通りｐ−ｘ ） カラｙ ｐ −ＲＯＹＣＯ＃
４１５０ 、作業台上１０（７）、 １ ｃ ｆ ／
Ｍ Ｘ １分×３回サンプリングでエアカーテンは同一
のクリーンベンチについても使 でい分ける必要がある
ことがわかる。つまシ作業空間７に手や頭等を入れる時
には第３図ａのように吹、Ｄ、。から必流速。速い、ア
カ−ｆ７を停止し、作業空間内の装置を監視する時や無
人時には第３図すの如くエアカーテン１４しておけば作
業空間内をより清浄に保つことができる０発明の効果 以上のように本発明は、エアカーテン吹出口からの吹出
空気を停止させる可動式のエアカーテン停止板を用いる
ことにより、作業者が手や頭等を作業空間に入れる時に
はエアカーテンを停止させ作業空間に入れた手や頭等か
らのダストの落下、飛散を防止し、また作業空間内を監
視するような場合にはエアカーテンを使用し、作業空間
と作業者通路とを完全に分離して、作業者通路からの作
業空間の汚染を防止でき、その実用的効果は大なるもの
がある。
明の一実施例でのダスト測定の卿図、第４図は１本発明
の一実施例のダスト測定の結果である。 ３・・・・・・送風機、６・・・・・・高性能フィルタ
ー、１゜・・・・・・エアカーテン吹出口、１４・・・
・・・エアカーテン停止板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図
の一実施例のダスト測定の結果である。 ３・・・・・・送風機、６・・・・・・高性能フィルタ
ー、１゜・・・・・・エアカーテン吹出口、１４・・・
・・・エアカーテン停止板。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 第２図 第３図
Claims (1)
- フィルターと、送風機と、清浄空間と非清浄空間を分離
するためのエアカーテン吹出口と、前記エアカーテン吹
出口からの吹出空気を停止搭せる可動式のエアカーテン
停止板とから成るクリーンベンチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59070340A JPS60213753A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | クリ−ンベンチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59070340A JPS60213753A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | クリ−ンベンチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60213753A true JPS60213753A (ja) | 1985-10-26 |
Family
ID=13428585
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59070340A Pending JPS60213753A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | クリ−ンベンチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60213753A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7297050B2 (en) | 2001-05-14 | 2007-11-20 | Acanthe | Method and device for diffusing a protective flux with regard to a surrounding environment |
| US9011215B2 (en) | 2004-07-23 | 2015-04-21 | Oy Halton Group Ltd. | Control of exhaust systems |
| US9127848B2 (en) | 2007-05-04 | 2015-09-08 | Oy Halton Group Ltd. | Autonomous ventilation system |
| US9494324B2 (en) | 2008-12-03 | 2016-11-15 | Oy Halton Group Ltd. | Exhaust flow control system and method |
| US9574779B2 (en) | 2008-04-18 | 2017-02-21 | Oy Halton Group, Ltd. | Exhaust apparatus, system, and method for enhanced capture and containment |
| US9587839B2 (en) | 2007-08-28 | 2017-03-07 | Oy Halton Group Ltd. | Autonomous ventilation system |
-
1984
- 1984-04-09 JP JP59070340A patent/JPS60213753A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7297050B2 (en) | 2001-05-14 | 2007-11-20 | Acanthe | Method and device for diffusing a protective flux with regard to a surrounding environment |
| US9011215B2 (en) | 2004-07-23 | 2015-04-21 | Oy Halton Group Ltd. | Control of exhaust systems |
| US9188354B2 (en) | 2004-07-23 | 2015-11-17 | Oy Halton Group Ltd. | Control of exhaust systems |
| US10184669B2 (en) | 2004-07-23 | 2019-01-22 | Oy Halton Group Ltd | Control of exhaust systems |
| US11242999B2 (en) | 2004-07-23 | 2022-02-08 | Oy Halton Group Ltd. | Control of exhaust systems |
| US9127848B2 (en) | 2007-05-04 | 2015-09-08 | Oy Halton Group Ltd. | Autonomous ventilation system |
| US9587839B2 (en) | 2007-08-28 | 2017-03-07 | Oy Halton Group Ltd. | Autonomous ventilation system |
| US10302307B2 (en) | 2007-08-28 | 2019-05-28 | Oy Halton Group Ltd. | Autonomous ventilation system |
| US9574779B2 (en) | 2008-04-18 | 2017-02-21 | Oy Halton Group, Ltd. | Exhaust apparatus, system, and method for enhanced capture and containment |
| US10471482B2 (en) | 2008-04-18 | 2019-11-12 | Oy Halton Group Ltd. | Exhaust apparatus, system, and method for enhanced capture and containment |
| US9494324B2 (en) | 2008-12-03 | 2016-11-15 | Oy Halton Group Ltd. | Exhaust flow control system and method |
| US10082299B2 (en) | 2008-12-03 | 2018-09-25 | Oy Halton Group Ltd. | Exhaust flow control system and method |
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