JPS60211989A - レ−ザ発振器 - Google Patents
レ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS60211989A JPS60211989A JP59068889A JP6888984A JPS60211989A JP S60211989 A JPS60211989 A JP S60211989A JP 59068889 A JP59068889 A JP 59068889A JP 6888984 A JP6888984 A JP 6888984A JP S60211989 A JPS60211989 A JP S60211989A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- laser light
- groove
- light
- linearly polarized
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08059—Constructional details of the reflector, e.g. shape
- H01S3/08068—Holes; Stepped surface; Special cross-section
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/05—Construction or shape of optical resonators; Accommodation of active medium therein; Shape of active medium
- H01S3/08—Construction or shape of optical resonators or components thereof
- H01S3/08054—Passive cavity elements acting on the polarization, e.g. a polarizer for branching or walk-off compensation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、直線偏光のレーザ発振お工び円偏光のレー
ザ光t&:得るためのレーザ発振器の構成に関するもの
である。
ザ光t&:得るためのレーザ発振器の構成に関するもの
である。
従来この種の発振器として第1図に示すものがあった5
図におりて、(1)は真空容器、(2)はレーザ媒質、
(3)は全反射鏡、(4)は部分透過鏡、(5)はレー
ザ光である。全反射鏡(3)と部分透過鏡(4)はレー
ザy(、(5)の光軸上に対向して配置されている。
図におりて、(1)は真空容器、(2)はレーザ媒質、
(3)は全反射鏡、(4)は部分透過鏡、(5)はレー
ザ光である。全反射鏡(3)と部分透過鏡(4)はレー
ザy(、(5)の光軸上に対向して配置されている。
次に動作について説明する。容器(1)内のレーザ媒質
(2)を放電やフラッシュランプなどで励起すると、全
反射鏡(3)と部分透過鏡(4)との間でレーザ発振が
起こり、部分透過鏡(4)からレーザ光(5)を出力す
る。
(2)を放電やフラッシュランプなどで励起すると、全
反射鏡(3)と部分透過鏡(4)との間でレーザ発振が
起こり、部分透過鏡(4)からレーザ光(5)を出力す
る。
従来のレーザ発振器は以上のように構成されているので
、レーザ光(5)の偏光方向を決定するための手段がな
く、その偏光方向は不安定であった。
、レーザ光(5)の偏光方向を決定するための手段がな
く、その偏光方向は不安定であった。
このためレーザにより金属、特に鉄系金属を切断する時
は、切断方向により切断性能に差がでたり、切断面が斜
めになる1寸だ切断後に材料から切り出された加工物が
自由落下しないなどの欠点があった。
は、切断方向により切断性能に差がでたり、切断面が斜
めになる1寸だ切断後に材料から切り出された加工物が
自由落下しないなどの欠点があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去するた
めになされたもので、全反射鏡又は部分透過鏡の少なく
ともいづれか一方の反射面に線状の溝を設けることによ
り、直線偏光のレーザ光が得られるレーザ発振器を提供
するものである。贅た、上記によって得られた直線偏光
のレーザ光をフェーズリターダで円偏光のレーザ光に変
換することで二均−で安定したレーザ切断特性?得るこ
とを目的としている。
めになされたもので、全反射鏡又は部分透過鏡の少なく
ともいづれか一方の反射面に線状の溝を設けることによ
り、直線偏光のレーザ光が得られるレーザ発振器を提供
するものである。贅た、上記によって得られた直線偏光
のレーザ光をフェーズリターダで円偏光のレーザ光に変
換することで二均−で安定したレーザ切断特性?得るこ
とを目的としている。
以下、この第1の発明の一実施例を第2陳1〜第4図に
ついて説明する。図において、(1)、 (2) 、
(4)は上記従来の発振器と全く同じものである。(6
)は第4図に示すように反射面に90°の■溝(7)を
複数体育した全反射鏡、(8)は上記90″の■溝(7
)によって発生した直線偏光のレーザ光、(9)は全反
射鏡(6)の9デの■溝(7)に入射するレーザ光であ
る。
ついて説明する。図において、(1)、 (2) 、
(4)は上記従来の発振器と全く同じものである。(6
)は第4図に示すように反射面に90°の■溝(7)を
複数体育した全反射鏡、(8)は上記90″の■溝(7
)によって発生した直線偏光のレーザ光、(9)は全反
射鏡(6)の9デの■溝(7)に入射するレーザ光であ
る。
レーザ切断では、均一な切断特性を持った加工物を得る
ためには安定した円偏光のレーザ光を出力することが要
求される。このためにはレーザ発振器は直線偏光のレー
ザ光を発生するようにすることが望ましく、それにはレ
ーザ発振空洞内に適当な偏光素子を備えることが必要で
ある。以上のことから全反射億(6)の反射面に設けら
れた溝(7)は。
ためには安定した円偏光のレーザ光を出力することが要
求される。このためにはレーザ発振器は直線偏光のレー
ザ光を発生するようにすることが望ましく、それにはレ
ーザ発振空洞内に適当な偏光素子を備えることが必要で
ある。以上のことから全反射億(6)の反射面に設けら
れた溝(7)は。
溝方向の偏光を持つレーザ光の減衰が最も少ないと−う
特徴を持っているため、レーザ発振は第3図に示すよう
に、5(7)を90°の■溝とすることにJ:り全反射
鏡(6)に入射するレーザ光(9)は同一方向に反射さ
れて損失が少なくなるとともに反射時に偏光を持つこと
になり、直線偏光のレーザ光(8)を発生することがで
きる。理論的には、溝(7)の幅はレーザ光の波長に近
い程レーザ発振における損失が少なく、また溝の間隔も
レーザ光の波i 1’i!:近い程効果が大きい、した
がって溝の本数は、上記の条件を満足する限りなるべく
多く設けるのが理想である。なお、上記実施例では90
°の■溝(7)ヲ全反射鏡(6)に設けたが、部分透過
鏡(4)又は、全反射鏡(3)と部分透過@(4)の両
方に設けても所期の目的を達成し得ることはいうまでも
ない。
特徴を持っているため、レーザ発振は第3図に示すよう
に、5(7)を90°の■溝とすることにJ:り全反射
鏡(6)に入射するレーザ光(9)は同一方向に反射さ
れて損失が少なくなるとともに反射時に偏光を持つこと
になり、直線偏光のレーザ光(8)を発生することがで
きる。理論的には、溝(7)の幅はレーザ光の波長に近
い程レーザ発振における損失が少なく、また溝の間隔も
レーザ光の波i 1’i!:近い程効果が大きい、した
がって溝の本数は、上記の条件を満足する限りなるべく
多く設けるのが理想である。なお、上記実施例では90
°の■溝(7)ヲ全反射鏡(6)に設けたが、部分透過
鏡(4)又は、全反射鏡(3)と部分透過@(4)の両
方に設けても所期の目的を達成し得ることはいうまでも
ない。
ところで、上記実施例では■溝(7)の幅お工び間隔を
光の波長に近い程良いとしているが、■溝(7)の幅、
間隔共光の波長より広くても同様の効果は期待できる。
光の波長に近い程良いとしているが、■溝(7)の幅、
間隔共光の波長より広くても同様の効果は期待できる。
また■溝(7)の本数につbても多い方が理想的ではあ
るが1〜数本でも直線(社)光のレーザ光を得ることが
可能である。
るが1〜数本でも直線(社)光のレーザ光を得ることが
可能である。
次に、第2の発明の一実施例全犯5図、第6図ニ)イテ
説明する。図VC督u で、(L)、 (2)、(4)
、(6)〜(8)は上記第1の発明の発振器と全く同じ
ものである。ただし、全反射鏡(6)はレーザ光の伝搬
路に配設されたフェーズリターダαOの傾きにKt L
で第6図に示す工うに■藺(7)の角度′が45′にな
るように設けられている。なお、この第2の発明は、レ
ーザ光の伝搬路にフェーズリターダ(JOを配設し、■
溝(7)の角度を4♂となるように設けたことを除けば
上記第1の発明と全く同様である。
説明する。図VC督u で、(L)、 (2)、(4)
、(6)〜(8)は上記第1の発明の発振器と全く同じ
ものである。ただし、全反射鏡(6)はレーザ光の伝搬
路に配設されたフェーズリターダαOの傾きにKt L
で第6図に示す工うに■藺(7)の角度′が45′にな
るように設けられている。なお、この第2の発明は、レ
ーザ光の伝搬路にフェーズリターダ(JOを配設し、■
溝(7)の角度を4♂となるように設けたことを除けば
上記第1の発明と全く同様である。
上述したように、全反射鏡(6)又は部分透過鏡(4)
の少なくともいづれか一方の反射面に設けられた■溝(
7)により、レーザ発振されたレーザ光は直線偏光のレ
ーザ光(8)となって部分透過&(4)から出力される
。この直線偏光のレーザ光(8)は、レーザ光の伝搬路
に配設されたフェーズリターダ(lOの傾きに対して、
第6図に示すように■溝(7)の角彦を、4ぎにするこ
とで、上記フェーズリターダαOに反射されて円偏光の
レーザ光Hとなる。この場合■溝の角度は45°に近い
程最適な円偏光に近いレーザ光が得られることばいう゛
までもない。
の少なくともいづれか一方の反射面に設けられた■溝(
7)により、レーザ発振されたレーザ光は直線偏光のレ
ーザ光(8)となって部分透過&(4)から出力される
。この直線偏光のレーザ光(8)は、レーザ光の伝搬路
に配設されたフェーズリターダ(lOの傾きに対して、
第6図に示すように■溝(7)の角彦を、4ぎにするこ
とで、上記フェーズリターダαOに反射されて円偏光の
レーザ光Hとなる。この場合■溝の角度は45°に近い
程最適な円偏光に近いレーザ光が得られることばいう゛
までもない。
以上のように、この発明によればレーザ発振空洞内に直
線偏光を発生させる素子、つまり全反射鏡又は部分透過
鏡の少なくともいづれか一方の反射面に複数の■溝を設
けたことKより、安定しンで直線偏光のレーザ光が得ら
れる効果がある。
線偏光を発生させる素子、つまり全反射鏡又は部分透過
鏡の少なくともいづれか一方の反射面に複数の■溝を設
けたことKより、安定しンで直線偏光のレーザ光が得ら
れる効果がある。
またレーザ光の伝搬路にフェーズリターダを配設し、こ
のフェーズリターダの頷きに対して上記■溝の角度ヲ4
5°にしたことでフェーズリターダに反射されたレーザ
光は円偏光のレーザ光に変換される。この円偏光のレー
ザ光での切断においては、特に、鉄系の金属の場合、切
J1味に差が生じることなく、均一で安定しブと切断特
性が得られるすぐれた効果、イバちる。
のフェーズリターダの頷きに対して上記■溝の角度ヲ4
5°にしたことでフェーズリターダに反射されたレーザ
光は円偏光のレーザ光に変換される。この円偏光のレー
ザ光での切断においては、特に、鉄系の金属の場合、切
J1味に差が生じることなく、均一で安定しブと切断特
性が得られるすぐれた効果、イバちる。
第1図は従来のレーザ発振器を示す概略構成(2)、第
2図〜第4図はこの第1の発明の一実施例を示す図で、
第2図は構成図、第3図は1/溝の詳細図、第4図は全
反射鏡の側面□□□、箒5図、第6(2)は第2の発明
の一亭施例を示すL」で、ρう5図は構成図、第6図は
全反射鏡の正面臼である。 図にお(八て、<3) 、 (6)は全反射鏡、(4)
は部分透過鏡、(7)は■溝、(8)は直線何発の17
−ザ光、(10はフェーズリターダ、Ql)は円偏光の
t/−ザ光である。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分?示す。 代理人 大岩増雄 第1図
2図〜第4図はこの第1の発明の一実施例を示す図で、
第2図は構成図、第3図は1/溝の詳細図、第4図は全
反射鏡の側面□□□、箒5図、第6(2)は第2の発明
の一亭施例を示すL」で、ρう5図は構成図、第6図は
全反射鏡の正面臼である。 図にお(八て、<3) 、 (6)は全反射鏡、(4)
は部分透過鏡、(7)は■溝、(8)は直線何発の17
−ザ光、(10はフェーズリターダ、Ql)は円偏光の
t/−ザ光である。 なお、図中同一符号は同一、又は相当部分?示す。 代理人 大岩増雄 第1図
Claims (4)
- (1) レーザ光の光軸上に対向して設けられた全反射
鏡と部分透過鏡とを有するレーザ発振器において、上記
全反射鏡又は部分透過鏡の少なくともいづれか一方の反
射面に線状のi#全設け、tことを特徴とするレーザ発
振器。 - (2)溝は90°の■溝であることを特徴とする特許請
求の範囲第1項記載のレーザ発振器。 - (3) レーザ光の光軸上に対向して全反射鏡と部分透
過鏡とを有するレーザ発振器において、上記−、この発
生した直 線偏光のレーザ光を円偏光のレーザ光に変換するための
フェーズリターダを上記レーザ光の伝搬路に配設したこ
とを特徴とするレーザ発振器。 - (4) alは90°のV’r8であること金持1′!
Iとする特許請求の範囲第8項記載のレーザ発振器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59068889A JPS60211989A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | レ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59068889A JPS60211989A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | レ−ザ発振器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60211989A true JPS60211989A (ja) | 1985-10-24 |
JPH0239872B2 JPH0239872B2 (ja) | 1990-09-07 |
Family
ID=13386670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59068889A Granted JPS60211989A (ja) | 1984-04-06 | 1984-04-06 | レ−ザ発振器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60211989A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01125884A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
WO1989006449A1 (en) * | 1988-01-08 | 1989-07-13 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
JPH02288280A (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-28 | Nec Corp | 横放電励起パルスガスレーザ装置 |
-
1984
- 1984-04-06 JP JP59068889A patent/JPS60211989A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01125884A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-05-18 | Fanuc Ltd | レーザ発振装置 |
WO1989006449A1 (en) * | 1988-01-08 | 1989-07-13 | Fanuc Ltd | Laser oscillator |
US4977574A (en) * | 1988-01-08 | 1990-12-11 | Fanuc Ltd. | Laser oscillator |
JPH02288280A (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-28 | Nec Corp | 横放電励起パルスガスレーザ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0239872B2 (ja) | 1990-09-07 |
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