JPS60211903A - 光磁気記録媒体用磁性体及び磁性膜 - Google Patents

光磁気記録媒体用磁性体及び磁性膜

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JPS60211903A
JPS60211903A JP6862984A JP6862984A JPS60211903A JP S60211903 A JPS60211903 A JP S60211903A JP 6862984 A JP6862984 A JP 6862984A JP 6862984 A JP6862984 A JP 6862984A JP S60211903 A JPS60211903 A JP S60211903A
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JP
Japan
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magnetic
magnetic film
film
magneto
magnetic substance
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JP6862984A
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English (en)
Inventor
Hajime Machida
元 町田
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Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明は光磁気記録媒体に用いられる新規な磁性体及び
磁性膜に関する。
従来技術 近年、半導体レーザ、−光により高密度記録及び再生を
行なうための光磁気記録媒体か盛んに研究されでいる。
この種の記録媒体の最も基本的なものはガラス又はプラ
スチックのような透明基板上にスパッタリング、真空蒸
着等の方法により還移金属(例えばFe、Co)〜希土
類金属(例えばTb、Gd、Dy)非晶質合金磁性体か
らなる磁性膜を設けたものである。このような光磁気記
録媒体への記録、再生は次のようにして行なわれる。即
ち記録は磁性膜のキュリ一温度(又は補償温度)近傍に
おける温度変化に対応した磁気光学特性(この場合は保
磁力)の急激な変化を利用して、情報信号で変調された
レーザー光を予め磁化された磁性膜に照射刃口熱し、逆
向きの外部磁界を印加して磁化の向きを反転させること
により行なわれ、また再生はこうして反転記録された磁
性膜における記録部と非記録部上の磁気光学効果の差を
利用して、偏向されたレーザー光により情報信号を光学
的に検知することにより行なわれる。以上のような記録
、再生を行なうには磁性体又は磁性膜には100〜3や
0J程度のキュリ一温度・及び300〜soo。
エルステッド程度の保持力が必要であると考えられる。
従来の非晶質合金磁性膜(又は磁性体)はいずれもこれ
らの要件には適合するが、合金中の希土類金属は酸化活
性か大きいため、経時と共に大気中の02. )1tO
等の酸化成分により特に表面層か酸化腐食を受けて磁気
光学特性が劣化し、その結果、再生時のエラーか増大し
たり、或いは記録、再生が不能になることもあった。そ
の防止対策として磁性膜上にスパッタリング、真空蒸着
等の方法により810 、8+O@等の保護膜を設ける
ことも知られているが、次のような2つの内的妾因のた
め、根本的な解決策とはならない。即ちその一つは磁性
膜の形成前に既に基板表面に吸着されたO6、真空中(
I 0−6Torr程度)でも残存するCh、原料ター
ゲット中に含まれる0、等が磁性膜の形成時に磁性膜内
に取り込まれ、これか磁性膜の酸化劣化の原因となると
いうものであり、他の一つは磁性膜の形成前に既に基板
表面に付着した大気中のチリが磁性膜の形成時に基板上
にそのま\残存したり、或いは装置(真空容器)内に付
着した蒸着残査が磁性膜の形成時に基板上に移行付着し
て磁性膜の機械的強度を弱めると共に、ピンホールを発
生し、またこのため磁性膜上には保護膜は均一に付着で
きず、結果として磁性膜〜保護膜間にもピンホールか生
じることになり、これらのピンホールを通してO,、H
,0か侵入し、これ力5磁性膜の酸化劣化の原因となる
というものである。
目 的 本発明の目的は非晶質合金磁性膜と同様、半導体レーザ
ー光によって高密度記録が可能であるにも拘わらず、耐
酸化腐食性に優れ、従って経時による磁気光学特性の劣
化が殆んどない光磁気記録媒体用磁性体及びそれよりな
る磁性膜を提供することである。
構 成 本発明の磁性体は一般式 %式% びScの少くとも1種、0 < x≦15)で示される
ものであり、また磁性膜は前記一般式の磁性体よりなる
ものである。
従来、pt及びMnf基本構成とする磁性体か知られて
いる。この種の磁性体は良好な磁気光学特性(特に保持
力)を有しているか、キュIJ−温度が350℃以上と
高いため、半導体レーザー光で記録可能な光磁気記録媒
体用としては適用できなかった。本発明者はこのPtM
n合金系磁性体が酸化され離く、しかも良好な磁気光学
特性を有していることに着目し、これにキュリ一温度を
低下できる金属を添加することを思いついた。勿論、添
加すべき金属はPtMn合金による良好な磁気光学特性
を阻害せず、しかも酸化され難いものでなければならな
い。そこで本発明者は以上のような効果のある金属につ
いて種々検討した結果、sbと前記一般式のMで示され
る金属との混合系が適合することを見出した。
本発明はこのような知見に基づいて達成されたものであ
る。
以上の説明から判るように本発明の磁性体又は磁性膜は
キュリ一温度が350’C以下と低く、しかも良好な磁
気光学特性を保持しているので、半導体レーデ−光で記
録可能な光磁気記録媒体用として適用できる。
本発明の磁性体を作るには夫々所定量のM金属、5bS
pt及びMnを金型に入れ、高純度のアルゴンガス雰囲
気中で溶融して合金ターゲットとすればよい。
以上のようにして得られる本発明の磁性体の具体例とし
ては下記のものが挙げられる。
(1) Sno、IP to、、Mn1.□sbo、e
 f2) Sng、2P tO,8”1.2sbO,8
L31 A 1 o、2 p t o、8Mn L 2
 S b O,3(41Ga O13p t o、v 
Mn L 3 S b o、7(5) InQ、1Pt
00.Mn1.1Sb0.、 (61Pd0.3Pto
、7Mn1.3Sb、7(7J Auo、2 p to
、s Mttl、2 s bO,8(8) Bt O,
4P to、s Mn1.4s bO,6(91Ta6
,4 P io4 Mn4a S 1)6,6 (11
) 2%2 P t04 Mn1.2 S bo、sa
υT l o、3 P to、y M%s SbQ、7
αa C%B P %7 MntB Sb6.7(13
S n 23 P jo、7 Mn L3 S b Q
7041 B1. In。、2Pt0.、Mn、、 s
bo、5(Is B io、G4.□PtO,Mn□、
Sb。、8(l[9B ’o、i Sno、、 Pt、
、8Mn、 Sbo、。
(IηB l o、t Sno、I P jo、s M
n1□81)0.B本発明の磁性体を用いて磁性膜を作
るには一般に耐熱性透明基板上にこの磁性体をターゲッ
トとして基板温度300〜700 ’Cで真空蒸着、ス
パッタリング、イオンシレーティング等の方法テ[Ji
 s o o〜a o o 00X程度に付着させれば
よい。こうして第1図に示すように基板1上に、垂直磁
化された磁性膜2を有する光磁気記録媒体が得られる。
なお場合によっては磁性膜の形成は基板温度300”C
未満で行なうこともできる。但しこの場合は磁性膜形成
後、これに400〜800℃の熱処理を、場合により磁
界を印加しながら、行なって垂直磁化させる必要がある
ココテ基板の材料としては一般にアルミニウムのような
耐熱性金属;普通ガラス;石英ガラス;GGG 単結晶
;す7アイヤ:リチウムタンタレート;結晶化透明ガラ
ス;パイレックスガラス;表面を酸化処理し又は処理し
ない単結晶シリコン@ A40B 、 MgO、ZnO
、A40g o、 MgO、MgO・LiF 、 Y2
0B IILiF 、 BeO、Zr01 a YgO
B 、 Th01 *OaO、LiF 、 YgOB等
の透明セラミック材;無機シIJコン材(例えば東芝シ
リコン社製トスガード510 、住友化学社製スミセラ
ムP)等の無機材料が使用できる。
本発明の磁性膜は第1図のような単層型光磁気記録媒体
に限らず、従来公知のすべての多層型光磁気記録媒体に
適用できる。この釉の多層型の例としては第2〜8図に
示すような構成のものが挙げられる。図中、1′はガイ
ドトラック付き基板、3は反射膜、4は高屈折率の透明
誘電層、5はガイドトラック層、6は保曖膜、7は透明
接着層、8は耐熱層である。ここでガイドトラック付き
基板1′はアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリ
エステル樹脂等の樹脂を射出成型、押出成型、フォトエ
ツチング法等により加工して作られる。なお基板のガイ
ドトラックは記録、再生時のレーザー光を案内するもの
である。反射膜3は0%、At、Ag、Au、Pt 。
8eAa、 TeAs、 TiN 、 TaN 、 C
rN 、シアニン染料、フタロシアニン染料等を真空蒸
着、スパッタリング、イオンブレーティング等の方法で
対象面に膜厚500〜10000X程度に付着させるこ
とにより形成される。なおこの反射膜は、磁性膜を透過
したレーザー光を反射し、再び磁性膜を透過することに
よる磁気光学効果(ファラデー効果と呼ばれる)を増大
させる目的で設けられる。透明誘電層4は810x、 
Tie、、TiO、0eO1゜HfO2,BeO、Th
01.513N4等を前記と同様な方法で対象面に膜厚
400〜50001程度に付着させることにより形成さ
れる。なおこの透明誘電層は磁気光学効果を増大させて
再生出力を向上する目的で設けられる。ガイドトラック
層5は対象面に紫外線硬化性樹脂8塗布した後、ガイド
溝を有する金型を圧着しながら、紫外線を照射して前記
樹脂を硬化させることにより形成される。保霞膜6はア
クリル樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリカーボネート樹脂
、ポリエーテルスルホン樹脂、ポリアミド樹脂、エポキ
シ樹脂、TiN 、 8i3N4 、 TaN’、、8
!01.810等8樹脂の場合は塗布法で、その他の場
合は真空蒸着、ス/ぞツタリング、イオンシレーティン
グ等の方法で対象面に膜厚0.1〜hapm程度に付着
させることにより形成される。なおこの保麹膜は表面層
を保護する目的で設けられる。透明′!#、着層7は反
射膜3を設けたガイドトラック付き基板fの反射膜と磁
性膜28設けた耐熱層8(この層は前記無機材料よりな
るので、「磁性膜を設けた耐熱層」とは前記単層型光磁
気記録材料のことである。)の磁性膜とそエポキシ樹脂
、ポリウレタン、ポリアミド等の樹脂で約2〜1100
p厚程度に接着することにより形成される。即ちこの透
明接着層は単に基板1′上の反射膜3と単層型光磁気記
録材料の磁性膜2とを接合するための層である。なお耐
熱層8は前述のような無機材料よりなるので、基板1に
相尚するが、ここでは磁性膜2の耐熱性向上の目的で設
けられる。厚さは約10〜500ρm程度か適当である
本発明の磁性膜を用いた以上のような光磁気記録媒体へ
の記録、再生は従、来と同じく磁性膜又は基板側から変
調又は偏向されたレーザー光を照射して行なわれる。
効 果 本発明の磁性体又は磁性膜は半導体レーザー光によって
高密度記録可能な光磁気記録媒体用材料として所望のキ
ュリ一温度及び磁気光学特性、特に保磁力を有している
にも拘わらず、耐酸化腐食性を備えているので、磁気光
学特性の経時劣化の少ない光磁気記録媒体を提供できる
実施例1〜17 石英ガラス板上に下記表に示した組成のターゲットをR
fスノぞツタリング法により膜厚1ooo1になるよう
付着させた後、3時間真空中でアンニーリングして磁性
膜を設けた。これら磁性膜のキュリ一温度Tc及び保磁
力Heを同表に示す。
次に以上のようにして得られた各光磁気記録媒体を一方
向に磁化させ、どの磁化の方向とは逆の0.5にエルス
テッドの磁界を印加しながら、出力20mWの半導体レ
ーザー光を記録媒体表面での強度8mW及び周波数I 
MHzのパルスで照射し−C磁気反転せしめ、記録した
ところ、いずれもピット径約15μmの記録ビットが形
成された。
【図面の簡単な説明】
第1〜8図は夫々本発明の磁性体又は磁性膜を用いた光
磁気記録媒体の一例の構成図である。 l・・・基 板 1′・・・ガイドトラック付き基板2
・・・磁性膜 3・・・反射膜 4・・・透明゛誘電# 5・・・ガイドトラック層6・
・・保護膜 7・・・透明接着層 8・・・耐熱層 m″51 巨1 冑ル2;宮1 し 【 し 負35171 冒 し l夕 I。 )57図 角)81シ1

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、一般式 %式% びScの少くとも1種、0 < x≦1.5)で示され
    る光磁気記録媒体用磁性体。 2一般式 %式% び8cの少(とも1種、0 < x≦15)で示される
    磁性体よりなる光磁気記録媒体用磁性膜。
JP6862984A 1984-04-06 1984-04-06 光磁気記録媒体用磁性体及び磁性膜 Pending JPS60211903A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62173657A (ja) * 1986-01-27 1987-07-30 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 光磁気記録媒体
EP0333205A2 (en) * 1988-03-18 1989-09-20 Kuraray Co., Ltd. Optical recording medium

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JPS62173657A (ja) * 1986-01-27 1987-07-30 Konishiroku Photo Ind Co Ltd 光磁気記録媒体
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