JPS6020691B2 - 微小温度検出方法 - Google Patents
微小温度検出方法Info
- Publication number
- JPS6020691B2 JPS6020691B2 JP52002239A JP223977A JPS6020691B2 JP S6020691 B2 JPS6020691 B2 JP S6020691B2 JP 52002239 A JP52002239 A JP 52002239A JP 223977 A JP223977 A JP 223977A JP S6020691 B2 JPS6020691 B2 JP S6020691B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- detection method
- light
- light source
- temperature detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
- G01K11/12—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in colour, translucency or reflectance
- G01K11/16—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in colour, translucency or reflectance of organic materials
- G01K11/165—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in colour, translucency or reflectance of organic materials of organic liquid crystals
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は物質の表面温度を高分解能にして高感度に検
出する微４・温度検出方法に関するものである。
出する微４・温度検出方法に関するものである。
被測定物質から放射される赤外線を観測してその物質の
温度を測定する赤外線検出法は各方面に広く用いられて
いる。
温度を測定する赤外線検出法は各方面に広く用いられて
いる。
しかし、常温に近い物質から放射される赤外線波長は１
０仏前後にピークをもつ長波長スペクトル分布をもつた
め、分解能が低く、微小部分の温度測定には適していな
い。また、微小部分からの放射赤外線エネルギーは微弱
であるために、高感度の赤外線検出器を必要とする欠点
があった。そこで、試料の表面に二次媒体を形成せしめ
、二次媒体により可視光に交換することにより情報の短
波長化を行い、分解能を上げることが考えられる。
０仏前後にピークをもつ長波長スペクトル分布をもつた
め、分解能が低く、微小部分の温度測定には適していな
い。また、微小部分からの放射赤外線エネルギーは微弱
であるために、高感度の赤外線検出器を必要とする欠点
があった。そこで、試料の表面に二次媒体を形成せしめ
、二次媒体により可視光に交換することにより情報の短
波長化を行い、分解能を上げることが考えられる。
実際、二次媒体として液晶を塗布し、可視光を照射すれ
ば或る程度の微小部分まで温度検出できると言われてい
る。しかし、液晶のような二次媒体は一般に温度感度が
低いので、微小部分の微弱な温度変化をとらえるために
は特殊な構成が必要である。第１図は従釆の温度検出方
法の例を示している。
ば或る程度の微小部分まで温度検出できると言われてい
る。しかし、液晶のような二次媒体は一般に温度感度が
低いので、微小部分の微弱な温度変化をとらえるために
は特殊な構成が必要である。第１図は従釆の温度検出方
法の例を示している。
試料１に二次媒体として液晶２が塗布されている。白色
光源３から入射した光のうち特定の波長のものは液晶２
においてブラッグ条件を満足し反射する。この反射光を
検出器４において解析すれば試料１表面の温度を知るこ
とができる。しかし、検出器４においては反射光のスペ
クトルをハーフミラーやフィル夕を用いて分解し、信号
成分を柚出すので、この分光系において重畳されるノイ
ズＳ／Ｎ比を低下させる。また白色光に含まれる赤外成
分は液晶２の温度を上昇させるので試料１の絶対温度を
精度よく知ることは困難である。本発明は微小部分から
放射される微弱エネルギーをとらえ高感度で温度測定す
るために、試料表面に形成せしめた二次媒体に照射する
光源として複数種の単色光を用いることを特徴とするも
ので、以下に図面を用いて詳細に説明する。第２図は本
発明の原理説明図であって、試料１上に二次媒体例えば
液晶２が形成せしめられている。
光源３から入射した光のうち特定の波長のものは液晶２
においてブラッグ条件を満足し反射する。この反射光を
検出器４において解析すれば試料１表面の温度を知るこ
とができる。しかし、検出器４においては反射光のスペ
クトルをハーフミラーやフィル夕を用いて分解し、信号
成分を柚出すので、この分光系において重畳されるノイ
ズＳ／Ｎ比を低下させる。また白色光に含まれる赤外成
分は液晶２の温度を上昇させるので試料１の絶対温度を
精度よく知ることは困難である。本発明は微小部分から
放射される微弱エネルギーをとらえ高感度で温度測定す
るために、試料表面に形成せしめた二次媒体に照射する
光源として複数種の単色光を用いることを特徴とするも
ので、以下に図面を用いて詳細に説明する。第２図は本
発明の原理説明図であって、試料１上に二次媒体例えば
液晶２が形成せしめられている。
ｎ個の単色光源３一１，３−２，・・・・・・３−ｎか
ら出た光は二次媒体としての液晶２で選択され１種類の
単色光のみが検出器４へ到達する。どの単色光源からの
光が到達したかを知れば、検出器４において到達光の波
長を弁別することなく、光強度を観測するのみで試料１
の温度を知ることができる。この方式ではノイズ成分が
重畳されることが少なく、Ｓ／Ｎ比の高い温度測定が可
能になるほか、レーザのような指向性の高い単色光源を
用いれば、より微小部分の測定が可能になる。また、ｎ
個の単色光源の波長として近接したものを用いれば測定
温度感度を上げることができる。第３図は本発明の実施
例であって、試料である集積回路装置のチップ１０１ら
放出される発熱を解析して機能検査に応用する例である
。チップ１０１の表面には二次媒体として液晶２が塗布
されている。単色光源３−１または単色光源３−２の何
れかの光が、同時に開くことのないシャツ夕５またはシ
ャツ夕６を通過して液晶２に到達する。しかるに、ディ
ジタルの集積回路装置は内部の論理状態（０または１）
のチップ亀０１上の素子から発熱があるか否かに対応さ
せることができる。従って、素子７から発熱していると
きは単色光源３−１からの光を、素子７から発熱してい
ないときには単色光源３−２からの光を反射するように
単色光源３−１、単色光源３−２および液晶２の種類を
適当に選べば、集積回路装置の内部論理状態を集積回路
装置のテストピンを増加させることなく知ることができ
る。以上述べたように、物質の表面に形成した二次媒体
に複数種の単色光を入射させれば、微小部分の温度を高
分解能、高感度に測定できる利点がある。
ら出た光は二次媒体としての液晶２で選択され１種類の
単色光のみが検出器４へ到達する。どの単色光源からの
光が到達したかを知れば、検出器４において到達光の波
長を弁別することなく、光強度を観測するのみで試料１
の温度を知ることができる。この方式ではノイズ成分が
重畳されることが少なく、Ｓ／Ｎ比の高い温度測定が可
能になるほか、レーザのような指向性の高い単色光源を
用いれば、より微小部分の測定が可能になる。また、ｎ
個の単色光源の波長として近接したものを用いれば測定
温度感度を上げることができる。第３図は本発明の実施
例であって、試料である集積回路装置のチップ１０１ら
放出される発熱を解析して機能検査に応用する例である
。チップ１０１の表面には二次媒体として液晶２が塗布
されている。単色光源３−１または単色光源３−２の何
れかの光が、同時に開くことのないシャツ夕５またはシ
ャツ夕６を通過して液晶２に到達する。しかるに、ディ
ジタルの集積回路装置は内部の論理状態（０または１）
のチップ亀０１上の素子から発熱があるか否かに対応さ
せることができる。従って、素子７から発熱していると
きは単色光源３−１からの光を、素子７から発熱してい
ないときには単色光源３−２からの光を反射するように
単色光源３−１、単色光源３−２および液晶２の種類を
適当に選べば、集積回路装置の内部論理状態を集積回路
装置のテストピンを増加させることなく知ることができ
る。以上述べたように、物質の表面に形成した二次媒体
に複数種の単色光を入射させれば、微小部分の温度を高
分解能、高感度に測定できる利点がある。
第１図は従来考えられる試料検出方式の例を示す横成説
明図、第２図は本発明の原理を説明するための構成略図
、第３図は本発明の一実施例を示す構成説明図である。 １……試料、２……液晶、３……光源、３−１，３−２
，３−ｎ……単色光源、４……検出器、５，６…・・・
シャツ夕、７…・・・素子、１０１…・・・集積回路装
置のチップ。第１図 第２図 第３図
明図、第２図は本発明の原理を説明するための構成略図
、第３図は本発明の一実施例を示す構成説明図である。 １……試料、２……液晶、３……光源、３−１，３−２
，３−ｎ……単色光源、４……検出器、５，６…・・・
シャツ夕、７…・・・素子、１０１…・・・集積回路装
置のチップ。第１図 第２図 第３図
Claims (1)
- １ 試料となる物質の表面に二次媒体を形成せしめ、こ
の二次媒体に光線を入射させ、その反射光より表面温度
を読み取る微小温度検出方法において、入射光として複
数種の単色光を用いることを特徴とする微小温度検出方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52002239A JPS6020691B2 (ja) | 1977-01-12 | 1977-01-12 | 微小温度検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52002239A JPS6020691B2 (ja) | 1977-01-12 | 1977-01-12 | 微小温度検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5387783A JPS5387783A (en) | 1978-08-02 |
| JPS6020691B2 true JPS6020691B2 (ja) | 1985-05-23 |
Family
ID=11523796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52002239A Expired JPS6020691B2 (ja) | 1977-01-12 | 1977-01-12 | 微小温度検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6020691B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59210352A (ja) * | 1983-05-16 | 1984-11-29 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 熱伝導率測定法 |
| JPS6029620A (ja) * | 1983-07-28 | 1985-02-15 | Nec Kansai Ltd | 液晶温度検出装置 |
| DE10119599A1 (de) * | 2001-04-21 | 2002-10-31 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Bestimmung von Temperaturen an Halbleiterbauelementen |
-
1977
- 1977-01-12 JP JP52002239A patent/JPS6020691B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5387783A (en) | 1978-08-02 |
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