JPS60202642A - Ｘ線管球 - Google Patents
Ｘ線管球Info
- Publication number
- JPS60202642A JPS60202642A JP5835684A JP5835684A JPS60202642A JP S60202642 A JPS60202642 A JP S60202642A JP 5835684 A JP5835684 A JP 5835684A JP 5835684 A JP5835684 A JP 5835684A JP S60202642 A JPS60202642 A JP S60202642A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- wehnelt
- target
- cooling
- ray tube
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
- H01J35/04—Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J35/00—X-ray tubes
- H01J35/02—Details
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、Ｘ線露光装置に使用するＸ線管球のＸ線発生
部における熱遮蔽手段に関する。
部における熱遮蔽手段に関する。
従来、Ｘ線露光装置用のＸ線管球は、ターゲットと管球
のハウジングを冷却する方式の封入型（所謂真空管の形
式）Ｘ線管球が多用されている。
のハウジングを冷却する方式の封入型（所謂真空管の形
式）Ｘ線管球が多用されている。
この形式の管球は、Ｂθ窓を通して軟Ｘ線を管球外に導
き出し、管球の冷却はＢｅ窓近傍のハウジングを水冷す
る構造を有している。この封入型Ｘ線管球は、フィラメ
ントの交換など、ハウジング内部の部品の交換が製造業
者でなければできず、Ｘ線露光装置用Ｘ線管球としては
、実用上の支障があった。一方１．工業用として実用す
る場合、ターゲットやフィラメントなどの消耗部材の交
換、清浄などのサービスが迅速に実施できることが必要
である。このような使用目的には、真空気密室内に各エ
レメントを配設する開放型Ｘ線管球が適しており、いく
つかのその実例がある。しかし、この冷却方式では、タ
ーゲット部の冷却を別にすると、ウェネルト自体は冷却
されておらず、管球のハウジングの冷却のみにとどする
ので、フィラメント交換時は、高温のフィラメントの温
度が十分に低下するまでは、真空を解除して、その交換
を行なうことができず、必然的に装置の休止時間を長く
していた。
き出し、管球の冷却はＢｅ窓近傍のハウジングを水冷す
る構造を有している。この封入型Ｘ線管球は、フィラメ
ントの交換など、ハウジング内部の部品の交換が製造業
者でなければできず、Ｘ線露光装置用Ｘ線管球としては
、実用上の支障があった。一方１．工業用として実用す
る場合、ターゲットやフィラメントなどの消耗部材の交
換、清浄などのサービスが迅速に実施できることが必要
である。このような使用目的には、真空気密室内に各エ
レメントを配設する開放型Ｘ線管球が適しており、いく
つかのその実例がある。しかし、この冷却方式では、タ
ーゲット部の冷却を別にすると、ウェネルト自体は冷却
されておらず、管球のハウジングの冷却のみにとどする
ので、フィラメント交換時は、高温のフィラメントの温
度が十分に低下するまでは、真空を解除して、その交換
を行なうことができず、必然的に装置の休止時間を長く
していた。
また、従来のＸ線管球においては、第１図に示すように
、ウェネルト１．フィラメント２及び偏向電極４に高電
圧源５から負の高電圧をかけ、一方、管球ハウジングと
ターゲット８を接地電位にするように構成されたものが
多用されてきた。しかし、この方式によれば、ターゲッ
トから発生する反跳電子が、管球ハウジングに吸引衡突
し、場合によってはハウジングに穴をあけるような不具
合が発生することがある。
、ウェネルト１．フィラメント２及び偏向電極４に高電
圧源５から負の高電圧をかけ、一方、管球ハウジングと
ターゲット８を接地電位にするように構成されたものが
多用されてきた。しかし、この方式によれば、ターゲッ
トから発生する反跳電子が、管球ハウジングに吸引衡突
し、場合によってはハウジングに穴をあけるような不具
合が発生することがある。
本発明は、従来例に見られる上述の欠点を除去すること
を目的とし、特にウェネルトに冷却手段を配設し併せて
Ｘ線露光装置用として実用性が向上されたＸ線管球を提
供するものである。
を目的とし、特にウェネルトに冷却手段を配設し併せて
Ｘ線露光装置用として実用性が向上されたＸ線管球を提
供するものである。
図面を参照しつつ、以下に本発明を説明する。
第２図は本発明に係るＸ線管球の１実施例の模式図で、
従来例と異なる点は、高圧電源の印加部位と接地電位部
位にあり、かつ第２図には示されないが第３図にその構
成を示すウェネルトの冷却手段を具備することにある。
従来例と異なる点は、高圧電源の印加部位と接地電位部
位にあり、かつ第２図には示されないが第３図にその構
成を示すウェネルトの冷却手段を具備することにある。
第２図から明らかなように、ウェネルト１．フィラメン
ト２．と偏向電極４は接地電位にされ、ターゲット３に
高電圧源５から正の高電圧が印加される。この状態にて
、電源６によりフィラメント２を加熱（例えばほぼ２，
７００°Ｋ）すると、電子線７が出射され、ウェネルト
ｌの作用により集束されつつ、ターゲット３に向って加
速される一接地電位にされている偏向電極４は、その特
定の幾何学形状及び配設位置により、電子線７の軌道を
所定方向に偏向させてターゲット８の所望の位置に照射
させ、Ｘ線８を発生せしめる。このように構成すること
によシ、ターゲット３においてＸ線８とともに発生する
反跳電子は、図示しないハウジング、ウェネルト１．フ
ィラメント２、偏向電極が接地電位またはそれに近い電
位にあるので、たとえ反跳しても高圧が印加されたター
ゲットに引き戻されて上記の対向部位へ飛散することな
く、従来装置において発生する反跳電子の衝突による損
傷などの種々の弊害を防止できる。
ト２．と偏向電極４は接地電位にされ、ターゲット３に
高電圧源５から正の高電圧が印加される。この状態にて
、電源６によりフィラメント２を加熱（例えばほぼ２，
７００°Ｋ）すると、電子線７が出射され、ウェネルト
ｌの作用により集束されつつ、ターゲット３に向って加
速される一接地電位にされている偏向電極４は、その特
定の幾何学形状及び配設位置により、電子線７の軌道を
所定方向に偏向させてターゲット８の所望の位置に照射
させ、Ｘ線８を発生せしめる。このように構成すること
によシ、ターゲット３においてＸ線８とともに発生する
反跳電子は、図示しないハウジング、ウェネルト１．フ
ィラメント２、偏向電極が接地電位またはそれに近い電
位にあるので、たとえ反跳しても高圧が印加されたター
ゲットに引き戻されて上記の対向部位へ飛散することな
く、従来装置において発生する反跳電子の衝突による損
傷などの種々の弊害を防止できる。
本発明の主たる態様であるウェネルトの冷却手段を、２
つの実施例の斜視図を示す第３図及び第４図について説
明する。第３図においてウェネルト１はフィラメント２
に近接してその周りを囲むように構成されているので、
フィラメント２から放射されるふく射熱は直ちにウェネ
ルトに吸収され、容易に昇温する。従って該ウェネルト
にフィラメント２に沿って冷却路を設けこれに冷却媒体
を流通させることによシ、フィラメントを適切な温度に
維持させ、不要な熱を図示しない管球ノ・ウジフグ外に
図示しない冷却装置により搬出し、Ｘ線露光に有害な熱
の影響を抑制できる。すなわち第８図の実施例において
は、フィラメント２を囲んでＵ字形の冷却路９が配設さ
れる。もち論、冷却路９は、冷却効果を発揮するもので
あれば、その形状、構造の選択は自由であり、例えば、
第４図のように２つの冷却路９を上、７２段にし、対称
面に冷却媒体の出入口を設ける。これにより冷却効率が
向上し、かつ対称に２段配置とすることにより均等な冷
却ができる。
つの実施例の斜視図を示す第３図及び第４図について説
明する。第３図においてウェネルト１はフィラメント２
に近接してその周りを囲むように構成されているので、
フィラメント２から放射されるふく射熱は直ちにウェネ
ルトに吸収され、容易に昇温する。従って該ウェネルト
にフィラメント２に沿って冷却路を設けこれに冷却媒体
を流通させることによシ、フィラメントを適切な温度に
維持させ、不要な熱を図示しない管球ノ・ウジフグ外に
図示しない冷却装置により搬出し、Ｘ線露光に有害な熱
の影響を抑制できる。すなわち第８図の実施例において
は、フィラメント２を囲んでＵ字形の冷却路９が配設さ
れる。もち論、冷却路９は、冷却効果を発揮するもので
あれば、その形状、構造の選択は自由であり、例えば、
第４図のように２つの冷却路９を上、７２段にし、対称
面に冷却媒体の出入口を設ける。これにより冷却効率が
向上し、かつ対称に２段配置とすることにより均等な冷
却ができる。
本発明は以上述べたように、ウェネルトに冷却手段を設
は直接に冷却することにより、発熱源近傍において熱を
除去するので、冷却効率が著しく改善され、さらにフィ
ラメントの交換に際してもウェネルトが直接に冷却され
るので、従来のごとくフィラメントの自然放熱を待たず
に、短時間で冷却して、交換のだめの待期時間、従って
装置の休止時間を短縮できる。まだ、ウェネルトが接地
電位であるので、Ｘ線露光装置本体との間で、耐高電圧
用の絶縁対策を施す必要がなく、また高圧電源が印加さ
れた従来例におけるように過電流の流動を防止するだめ
に抵抗値の高い純水の使用に限定されることなく水、油
、気体などいずれの媒体も必要に応じて自由に選択でき
る。さらにターゲットのみが正の高電圧印加、ハウジン
グやウェネルトなどがほぼ接地電位であるため、ターゲ
ットからの反跳電子による衝突被害が避けられる。
は直接に冷却することにより、発熱源近傍において熱を
除去するので、冷却効率が著しく改善され、さらにフィ
ラメントの交換に際してもウェネルトが直接に冷却され
るので、従来のごとくフィラメントの自然放熱を待たず
に、短時間で冷却して、交換のだめの待期時間、従って
装置の休止時間を短縮できる。まだ、ウェネルトが接地
電位であるので、Ｘ線露光装置本体との間で、耐高電圧
用の絶縁対策を施す必要がなく、また高圧電源が印加さ
れた従来例におけるように過電流の流動を防止するだめ
に抵抗値の高い純水の使用に限定されることなく水、油
、気体などいずれの媒体も必要に応じて自由に選択でき
る。さらにターゲットのみが正の高電圧印加、ハウジン
グやウェネルトなどがほぼ接地電位であるため、ターゲ
ットからの反跳電子による衝突被害が避けられる。
第１図は、従来のＸ線管球の電気糸路図、第２図は、本
発明に係るＸ線管球の１実施例の模式図、第３図および
第４図は、本発明に係るウェネルト冷却手段のそれぞれ
の実施例の斜視図である。 １・・・ウェネルト ２・・・フィラメント ３・・・ターゲット ４・・・偏向電極 ５・・・高圧電源 ソ 第３図 第４図
発明に係るＸ線管球の１実施例の模式図、第３図および
第４図は、本発明に係るウェネルト冷却手段のそれぞれ
の実施例の斜視図である。 １・・・ウェネルト ２・・・フィラメント ３・・・ターゲット ４・・・偏向電極 ５・・・高圧電源 ソ 第３図 第４図
Claims (1)
- （１）Ｘ線露光装置に使用するＸ線管樗において、ウェ
ネルトを冷却することを特徴とするＸ線管球。 己） 前記ウェネルトが接地電位にされていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載のＸ線管球。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5835684A JPS60202642A (ja) | 1984-03-28 | 1984-03-28 | Ｘ線管球 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5835684A JPS60202642A (ja) | 1984-03-28 | 1984-03-28 | Ｘ線管球 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60202642A true JPS60202642A (ja) | 1985-10-14 |
Family
ID=13082035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5835684A Pending JPS60202642A (ja) | 1984-03-28 | 1984-03-28 | Ｘ線管球 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60202642A (ja) |
-
1984
- 1984-03-28 JP JP5835684A patent/JPS60202642A/ja active Pending
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