JPS60201711A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
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- JPS60201711A JPS60201711A JP5859284A JP5859284A JPS60201711A JP S60201711 A JPS60201711 A JP S60201711A JP 5859284 A JP5859284 A JP 5859284A JP 5859284 A JP5859284 A JP 5859284A JP S60201711 A JPS60201711 A JP S60201711A
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- Acoustics & Sound (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の技術分野１
本発明は、例えば弾性表面波フィルタや弾性表面波共振
子等として用いられる弾性表面波装置に関する。
子等として用いられる弾性表面波装置に関する。
［発明の技術的背景とその問題点］
従来から、弾性表面波フィルタとじては、第１図および
第２図に示したように、圧電基板１の主面上に、電極指
が対向するよう配置された対をなす櫛形電極２．３およ
び４．５で入力側電極Ｅ ＩＮおよび出力側電極Ｅ ｏ
ｕｔを構成したものが知られている。
第２図に示したように、圧電基板１の主面上に、電極指
が対向するよう配置された対をなす櫛形電極２．３およ
び４．５で入力側電極Ｅ ＩＮおよび出力側電極Ｅ ｏ
ｕｔを構成したものが知られている。
これらの櫛形電極２．３および４．５の電極指２ａ 、
２ａ・・・、３ａ 、３ａ・・・、電極指４ａ 、 ４
ａ・・・、５ａ 、５ａ・・・は、２本ずつ相互に差し
込むように交叉されている。また通常、このような櫛形
電極については、弾性表面波フィルタが所望の出力周波
数特性が得られるように、入力側電極Ｅ ＩＮ 。
２ａ・・・、３ａ 、３ａ・・・、電極指４ａ 、 ４
ａ・・・、５ａ 、５ａ・・・は、２本ずつ相互に差し
込むように交叉されている。また通常、このような櫛形
電極については、弾性表面波フィルタが所望の出力周波
数特性が得られるように、入力側電極Ｅ ＩＮ 。
出力側電極ＥＯυ１のいずれか一方の側の電極指の交叉
幅Ｌ＋、Ｌｚ・・・を変化させたり（アボタイズ法）あ
るいは同極の電極指間距離Ｐ＋ 、Ｐ２・・・を適当に
変化せることにより（間引き電極法）重み付けが施こさ
れている。
幅Ｌ＋、Ｌｚ・・・を変化させたり（アボタイズ法）あ
るいは同極の電極指間距離Ｐ＋ 、Ｐ２・・・を適当に
変化せることにより（間引き電極法）重み付けが施こさ
れている。
第１図に示した弾性表面波フィルタでは、交叉幅の変更
による重み付けが入力側電極Ｅ ＩＮ側の電極指に施さ
れている。
による重み付けが入力側電極Ｅ ＩＮ側の電極指に施さ
れている。
上述したような弾性表面波フィルタでは、例えば入力側
電極Ｅ ＩＮの櫛形電極２．３に広域の周波数帯をもつ
電気信号が入力されると、電極指２ａ。
電極Ｅ ＩＮの櫛形電極２．３に広域の周波数帯をもつ
電気信号が入力されると、電極指２ａ。
２ａ・・・および３ａ 、３ａ・・・により圧電基板１
に弾性表面波が発生し、この弾性表面波が出力側電極Ｅ
Ｏυｌの電極指４ａ 、４ａ・・・、５ａ 、５ａ・・
・に伝播して再び電気信号に変換され、出力側電極Ｅ
ｏｕｔの櫛形電極４．５から所望の帯域の周波数の電気
信号が出力される。なお、上記の如く電極指を２本ずつ
相互に交叉させるのは、表面波の反射を打ち消させる効
果を得るためである。
に弾性表面波が発生し、この弾性表面波が出力側電極Ｅ
Ｏυｌの電極指４ａ 、４ａ・・・、５ａ 、５ａ・・
・に伝播して再び電気信号に変換され、出力側電極Ｅ
ｏｕｔの櫛形電極４．５から所望の帯域の周波数の電気
信号が出力される。なお、上記の如く電極指を２本ずつ
相互に交叉させるのは、表面波の反射を打ち消させる効
果を得るためである。
しかしながら、上述したような櫛形電極は電極指の交叉
幅１１、Ｌ２・・・、あるいは同極の電極指開側１１１
１ＰＩ、Ｐ２の変更による重み付けが施されると、弾性
表面波装置が設計上の特性を呈しないことがあった。
幅１１、Ｌ２・・・、あるいは同極の電極指開側１１１
１ＰＩ、Ｐ２の変更による重み付けが施されると、弾性
表面波装置が設計上の特性を呈しないことがあった。
本発明者等は、この点について検討をすすめた結果、そ
の原因が櫛形電極の異極の電極指間の距離Ｇ＋ 、Ｇ２
・・・が各位置で異なっているために、電界強度が各位
置で相違し、その結果、励振効率が不均一になってしま
うことにあることを発見した。
の原因が櫛形電極の異極の電極指間の距離Ｇ＋ 、Ｇ２
・・・が各位置で異なっているために、電界強度が各位
置で相違し、その結果、励振効率が不均一になってしま
うことにあることを発見した。
［発明の目的］
本発明はかかる知見に基いてなされたものぐ、櫛形電極
の各位置における励振効率が一定になり、常に設計上の
特性を呈する弾性表面波装置の提供を目的としＣいる。
の各位置における励振効率が一定になり、常に設計上の
特性を呈する弾性表面波装置の提供を目的としＣいる。
［発明の概要］
すなわち本発明の弾性表面波装置は、異極を構成する複
数の櫛形電極の電極指を対向させ、異極性の電極指を複
数本ずつ互いに差し込むように交叉させて重板上に形成
してなる櫛形電極を有する弾性表面波装置において、前
記櫛形電極の隣接する異極性の電極指間が一定間隔とさ
れていることを特徴としている。
数の櫛形電極の電極指を対向させ、異極性の電極指を複
数本ずつ互いに差し込むように交叉させて重板上に形成
してなる櫛形電極を有する弾性表面波装置において、前
記櫛形電極の隣接する異極性の電極指間が一定間隔とさ
れていることを特徴としている。
本発明は櫛形電極の異極の電極指間の距離が各位置で異
なっていると、各位置における電界強度が異なり、各交
叉指ぐの励振効率が不均一になるという実験事実に基づ
くものＣある。
なっていると、各位置における電界強度が異なり、各交
叉指ぐの励振効率が不均一になるという実験事実に基づ
くものＣある。
［発明の実施例］
以下、本発明の詳細を図面に示す一実施例につい゛Ｃ説
明する。、 第３図は本発明の弾性表面波装置における櫛形電極の形
状を模式的に示す図であり、第２図と共通する部分には
共通の符号が付されている。
明する。、 第３図は本発明の弾性表面波装置における櫛形電極の形
状を模式的に示す図であり、第２図と共通する部分には
共通の符号が付されている。
なＪ） Ｎ櫛形電極は、信号の入力側電極Ｅ ＩＮおよ
び出力側電極Ｅ ｏｕｔとじで、基板１上に所定の距離
をおい“Ｃ−組ずつ形成されるが、本発明はいずれの側
の電極にも適用可能であるので、同図には入力側電極の
主要部分のみが示されている。
び出力側電極Ｅ ｏｕｔとじで、基板１上に所定の距離
をおい“Ｃ−組ずつ形成されるが、本発明はいずれの側
の電極にも適用可能であるので、同図には入力側電極の
主要部分のみが示されている。
同図において符号２．３は入力側電極Ｅ ＩＮの櫛形電
極を示しＣおり、電極指２ａ、２ａ・・・、電極指３ａ
、３ａ・・・が延出している。さらにこれら電極指は
２本ずつ相互に差し込むように交叉している。
極を示しＣおり、電極指２ａ、２ａ・・・、電極指３ａ
、３ａ・・・が延出している。さらにこれら電極指は
２本ずつ相互に差し込むように交叉している。
そして、隣接する電極指２ａと電極指３ａとの距離、す
なわち異極指間側１１ｔＧは各位置で同一にされている
。
なわち異極指間側１１ｔＧは各位置で同一にされている
。
なお、交叉幅Ｌ＋、ｌ−２・・・、あるいは同極指間距
離ＰＩ、Ｐ２・・・、および電極指輪Ｗｌ、Ｗ２・・・
は従来通り各位置で異なっている。（第３図においては
交叉幅、同極指間距離が共に異なっているが、通常はい
ずれか一方を異ならせることにより重み付けが施される
。） しかして、本実施例の弾性表面波装置においては、異極
指間距離Ｇが各位置で同一にされているので、重み付け
を交叉幅Ｌｌ、Ｌ２・・・、同極指間距離ＰＩ、Ｐ２・
・・の変更により施しても、各位置での電界強度はほぼ
等しくなる。
離ＰＩ、Ｐ２・・・、および電極指輪Ｗｌ、Ｗ２・・・
は従来通り各位置で異なっている。（第３図においては
交叉幅、同極指間距離が共に異なっているが、通常はい
ずれか一方を異ならせることにより重み付けが施される
。） しかして、本実施例の弾性表面波装置においては、異極
指間距離Ｇが各位置で同一にされているので、重み付け
を交叉幅Ｌｌ、Ｌ２・・・、同極指間距離ＰＩ、Ｐ２・
・・の変更により施しても、各位置での電界強度はほぼ
等しくなる。
従って各位置での励振効率が均一になり、弾性表面波装
置が設計上の特性に近い特性を示すようになる。
置が設計上の特性に近い特性を示すようになる。
第４図は本発明の他・の実施例を示す図であり、第３図
に示したものと同様に異極指間距離Ｇが各位置で同一に
されているが、これとともに電極指幅Ｗもそれぞれ同一
にされている。
に示したものと同様に異極指間距離Ｇが各位置で同一に
されているが、これとともに電極指幅Ｗもそれぞれ同一
にされている。
従つＣ１交叉幅Ｌｌ、Ｌ２・・・、あるいは同極指開側
１ｉ１ｔＰ＋、Ｐｚ・・・の変更によって重み付けを施
し−Ｃも各位置での励振効率はより一層一定に保たれ、
これに伴なってリップルおよびスプリアスも減少する。
１ｉ１ｔＰ＋、Ｐｚ・・・の変更によって重み付けを施
し−Ｃも各位置での励振効率はより一層一定に保たれ、
これに伴なってリップルおよびスプリアスも減少する。
なお、以上の実施例では、本発明を弾性表面波フィルタ
に適用した場合の実施例について説明したが、本発明は
これらの実施例にに限定されるべきものではなく、表面
波共振子、遅廷線、さらには表面波増幅器等の［相］形
電極にも適用することもできる。
に適用した場合の実施例について説明したが、本発明は
これらの実施例にに限定されるべきものではなく、表面
波共振子、遅廷線、さらには表面波増幅器等の［相］形
電極にも適用することもできる。
また、上記実施例では対向する異極の電極指が２本ずつ
交叉する櫛形電極に本発明を適用しＩこ場合つい【説明
したが、本発明は゛電極指が３本ずつ交叉する櫛形電極
においても、異極指間距離あるいはこれとともに電極指
幅を一定にり°ることにより実施可能である。
交叉する櫛形電極に本発明を適用しＩこ場合つい【説明
したが、本発明は゛電極指が３本ずつ交叉する櫛形電極
においても、異極指間距離あるいはこれとともに電極指
幅を一定にり°ることにより実施可能である。
本発明は、特に電極指の同極指間距離Ｐ ＋ 、Ｐｚ・
・・を大ぎく変化させて重み付けを施しＣなる、いわゆ
るチャープ形の分散、非分敵影遅延線の櫛形電極に適用
すると励振効率の均一化効果が顕暑ぐある。
・・を大ぎく変化させて重み付けを施しＣなる、いわゆ
るチャープ形の分散、非分敵影遅延線の櫛形電極に適用
すると励振効率の均一化効果が顕暑ぐある。
［発明の効果］
以上説明したＪ、うに本発明の弾性表面波装置では、櫛
形電極の隣接する異極性の電極指の指間距離を一定にし
たので、各位置で発生ずる電界強度がほぼ等しくなり、
励振効率が均一になって、弾性表面波装置が段ム１上の
１！ｉ性ｒするようになる。
形電極の隣接する異極性の電極指の指間距離を一定にし
たので、各位置で発生ずる電界強度がほぼ等しくなり、
励振効率が均一になって、弾性表面波装置が段ム１上の
１！ｉ性ｒするようになる。
第１図は従来の弾性表面波装置における櫛形電極の構造
を概略的に示す図、第２図はその要部を示す図、第３図
は本発明の弾性表面波装置の一実施例の要部を示す図、
第４図は本発明の他の実施例の要部を示す図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・圧電基
板２．３．４．５・・・櫛形電極 ２ａ 、２ａ １３ａ 、３ａ ・・・・・・・・・・・・電極指 Ｅ ＩＮ・・・・・・・・・・・・・・・・・・入力側
電極Ｅ ０１１・・・・・・・・・・・・・・・・・・
出力側電極Ｐ＋、Ｐｚ・・・・・・・・・同４〜指間距
離Ｇｓ ＧＩ、Ｇ２・・・異極指間距離 Ｗ、Ｗｌ、Ｗ２・・・電極指幅 Ｌｌ、Ｌ２・・・・・・・・・交叉幅 代理人弁理士 須 山 仏 − 第１図 第２図 第３図 第４図 手 続 補 正 書 （自発） 昭和６０年２月２５日 特許庁長官 殿 ２、発明の名称 弾性表面波装置 ３、補正をする者 事件との関係・特許出願人 神奈川県用崎市幸区堀用町７２番地 （３０７）株式会社 東芝 ４、代理人 〒１０１ 昭和５９年４月２日名称変更済（一括ン明 細 川 １、発明の名称 弾性表面波装置 ２、特許請求の範囲 （１）異極を構成する複数の櫛形電極の電極指を対向さ
せ、異極性の電極指を複数本ずつ互いに差させて基板上
に形成してなる櫛形電極を有する弾性表面波装置におい
て、前記櫛形電極の隣接する異極性の電極指間が一定間
隔とされていることを特徴とする弾性表面波装置。 （２）対向する電極指が、２本ずつ互いに差し込むよう
に交叉して基板上に形成されている特許請求の範囲第１
項記載の弾性表面波Ｖｉ置。 （３）各電極指の幅寸法が、互いに等しくされている特
許請求の範囲第１項または第２項記載の弾性表面波装置
。 （４）電極指が、交叉幅により重み付けされて形成され
ている特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれか１
項記載の弾性表面波装置。 ３、発明の詳細な説明 ［発明の技術分野］ 本発明は、例えば弾性表面波フィルタや弾性表面波共振
子等として用いられる弾性表面波装置に関する。 ［発明の技術的背景とその問題点］ 従来から、弾性表面波フィルタとしては、第１図および
第２図に示したように、圧電基板１の主面上に、電極指
が対向するよう配置された対をなす櫛形電極２．３およ
び４．５で入力側電極Ｅ ＩＮおよび出力側電極Ｅ ｏ
ｕｔを構成したものが知られている。 これらの櫛形電極２．３および４．５の電極指２ａ１２
ａ・・・、３ａ 、３ａ・・・、電極指４ａ 、 ４ａ
・・・、５ａ、５ａ−は、２本ずつ相互に差し込むよう
に交叉されている。また通常、このような櫛形電極につ
いては、弾性表面波フィルタが所望の出力周波数特性が
得られるように、入力側電極Ｅ ＩＮ 。 出力側電極Ｅ ０１＋１のいずれか一方の側の電極指の
交叉幅１１．Ｌ２・・・を変化さＶたり（アボタイズ法
）あるいは同極の電極指間距離ＰＩ、Ｐｚ・・・を適当
に変化せることにより（間引き電極法）重み付けが施こ
されている。 第１図に示した弾性表面波フィルタでは、交叉幅の変更
による重み付けが入力側電極Ｅ ＩＮ側の電極指に施さ
れている。 上述したような弾性表面波フィルタでは、例えば入力側
電極Ｅ ＩＮの櫛形電極２．３に広域の周波数帯をもつ
電気信号が入力されると、電極指２ａ。 ２ａ・・・および３ａ 、３ａ・・・により圧電基板１
に弾性表面波が光生し、この弾性表面波が出力側電極Ｅ
ｏｕｔの電極指４ａ、４ａ−・・、５ａ 、５ａ −
・・に伝播して再び電気伝号に変換され、出力側電極Ｅ
ｏｕｔの櫛形電極４．５から所望の帯域の周波数の電
気信号が出力される。なお、上記の如く電極指を２本ず
つ相互に交叉させるのは、表面波の反射を打ち消させる
効果を得るためである。 しかしながら、上述したような櫛形電極は電極−の交叉
幅Ｌｌ、Ｌ２・・・、あるいは同極の電極指開路１１１
ｆＰ＋、Ｐｚの変更による重み付けが施されると、弾性
表面波装置が設計上の特性を呈しないことがあった。 本発明者等は、この点について検討をすすめた結果、そ
の原因が櫛形電極の異極の電極指間の距離Ｇ＋ 、Ｇ２
・・・が各位置で異なっているために、電界強度が各位
置で相違し、その結果、励振効率が不均一になってしま
うことにあることを発見した。 ［発明の目的］ 本発明はかかる知見に基いてなされたもので、櫛形電極
の各位置における励振効率が一定になり、常に設計上の
特性を呈する弾性表面波装置の提供を目的としている。 ［発明の概要］ すなわら本発明の弾性表面波装置は、異極を構成する複
数の櫛形電極の電極指を対向させ、異極性の電極指を複
数本ずつ互いに差し込むように交叉させ、この異極性の
電極指にはさまれてなる同極性の複数の電極指を電極指
群としこの各電極指群の間隔を少なくとも一部異ならさ
せて基板上に形成してなる櫛形電極を有する弾性表面波
装置において、前記櫛形電極の隣接する異極性の電極指
間が一定間隔とされていることを特徴としている。 本発明は櫛形電極の異極の電極指間の距離が各位置で異
なっていると、各位置における電界強度が異なり、各交
叉指での励振効率が不均一になるという実験事実に基づ
くものである。 ［発明の実施例］ 以下、本発明の詳細を図面に示す一実施例について説明
する。 第３図は本発明の弾性表面波装置における櫛形電極の形
状を模式的に示す図であり、第２図と共通する部分には
共通の符号が付されている。 なお、櫛形電極は、信号の入力側電極Ｅ ＩＮおよび出
力側電極Ｅ ｏｕｔとじて、基板１上に所定の距離をお
いて一組ずつ形成されるが、本発明はいずれの側の電極
にも適用可能であるので、同図には入・ 力側霜極の主
要部分のみが示されている。 同図において符号２．３は入力側電極Ｅ ＩＮの櫛形電
極を示しており、電極指２８ Ｍ ２ａ・・・、電極指
３ａ 、３ａ・・・が延出している。、さらにこれら電
極指は２本ずつ相互に差し込むように交叉している。 そして、隣接する電極指２ａと電極指３ａとの距離、す
なわち異極指間距離Ｇは各位置で同一にされている。 なお、交叉幅Ｌｌ、Ｌ２・・・、あるいは同極指間距離
Ｐ＋、Ｐｚ・・・、および電極指幅Ｗｌ、Ｗ２・・・は
従来通り各位置で異なっている。また、交差幅’ｌ、Ｌ
２を示す矢印は互いに異極性の各電極指の間隔の中点に
引かれており、この矢印Ｌ１．Ｌ２の間隔を異極性の電
極指にはさまれてなる同極性の複数の電極指からなる電
極指群とし、この各電極指群の間隔のうら少なくとも１
個が他の間隔と異なる間隔である。 しかして、本実施例の弾性表面波装置においては、異極
指間距離Ｇが各位置で同一にされているので、■み付け
を交叉幅Ｌｌ、Ｌ２・・・、同極指問距離Ｐ Ｉ 、Ｐ
２・・・の変更により施しても、各位置での電界強度
はほぼ等しくなる。 従って各位置での励振効率が均一になり、弾性表面波装
置が設計上の特性に近い特性を示すようになる。 第４図は本発明の他の実施例を示す図であり、第３図に
示したものと同様に異極指間距離Ｇが各位置で同一にさ
れているが、これとともに電極指幅Ｗもそれぞれ同一に
されている。 従って、交叉幅し１、［２・・・、あるいは同極指間距
離ＰＩ、Ｐ２・・・の変更によって重み付けを施しても
各位置での励振効率はより一層一定に保たれ、これに伴
なってリップルおよびスプリアスも減少する。 なお、以上の実施例では、本発明を弾性表面波フィルタ
に適用した場合の実施例について説明したが、木頼明は
これらの実施例にに限定されるべきものではなく、表面
波共振子、遅延線、さらには表面波増幅器等の櫛形電極
にも適用することもできる。 また、上記実施例では対向する異極の電極指が２本ずつ
交叉する櫛形電極に本発明を適用した場合ついて説明し
たが、本発明は電極指が３本ずつ交叉する櫛形電極にお
いても、異極指間距離あるいはこれとともに電極指幅を
一定にすることにより実施可能である。 本発明は、特に電極指の同極指間距離Ｐ＋、Ｐ２・・・
を大きく変化させて重み付けを施してなる、いわゆるチ
ャープ形の分散、非分敵影遅延線の櫛形電極に適用する
と励振効率の均一化効果が顕著である。 ［発明の効果］ 以上説明したように本発明の弾性表面波装置では、櫛形
電極の隣接する異極性の電極指の指間距離を一定にした
ので、各位置で発生する電界強度がほぼ等しくなり、励
振効率が均一になって、弾性表面波装置が設ｚ１上の特
性を呈するようになる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は従来の弾性表面波装置における櫛形電極の構造
を概略的に示す図、第２図はその要部を示す図、第３図
は本発明の弾性表面波装置の一実施例の要部を示す図、
第４図は本発明の他の実施例の要部を示す図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・圧電基
板２．３．４．５・・・櫛形電極 ２ａ 、 ２ａ ％ ３ａ 、 ３ａ ・・・・・・・・・・・・電極指 Ｅ ＩＮ・・・・・・・・・・・・・・・・・・入力側
電極Ｅ ｏｌＩｔ・・・・・・・・・・・・・・・・・
・出力側電極ＰＩ、Ｐ２・・・・・・・・・同極指間距
離Ｇ、Ｇ＋ 、Ｇ２・・・異極指間距離 Ｗ１Ｗ＋ 、Ｗ２・・・電極指幅 Ｌｌ、Ｌ２・・・・・・・・・交叉幅 代理人弁理士 須 山 佐 − 第３図
を概略的に示す図、第２図はその要部を示す図、第３図
は本発明の弾性表面波装置の一実施例の要部を示す図、
第４図は本発明の他の実施例の要部を示す図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・圧電基
板２．３．４．５・・・櫛形電極 ２ａ 、２ａ １３ａ 、３ａ ・・・・・・・・・・・・電極指 Ｅ ＩＮ・・・・・・・・・・・・・・・・・・入力側
電極Ｅ ０１１・・・・・・・・・・・・・・・・・・
出力側電極Ｐ＋、Ｐｚ・・・・・・・・・同４〜指間距
離Ｇｓ ＧＩ、Ｇ２・・・異極指間距離 Ｗ、Ｗｌ、Ｗ２・・・電極指幅 Ｌｌ、Ｌ２・・・・・・・・・交叉幅 代理人弁理士 須 山 仏 − 第１図 第２図 第３図 第４図 手 続 補 正 書 （自発） 昭和６０年２月２５日 特許庁長官 殿 ２、発明の名称 弾性表面波装置 ３、補正をする者 事件との関係・特許出願人 神奈川県用崎市幸区堀用町７２番地 （３０７）株式会社 東芝 ４、代理人 〒１０１ 昭和５９年４月２日名称変更済（一括ン明 細 川 １、発明の名称 弾性表面波装置 ２、特許請求の範囲 （１）異極を構成する複数の櫛形電極の電極指を対向さ
せ、異極性の電極指を複数本ずつ互いに差させて基板上
に形成してなる櫛形電極を有する弾性表面波装置におい
て、前記櫛形電極の隣接する異極性の電極指間が一定間
隔とされていることを特徴とする弾性表面波装置。 （２）対向する電極指が、２本ずつ互いに差し込むよう
に交叉して基板上に形成されている特許請求の範囲第１
項記載の弾性表面波Ｖｉ置。 （３）各電極指の幅寸法が、互いに等しくされている特
許請求の範囲第１項または第２項記載の弾性表面波装置
。 （４）電極指が、交叉幅により重み付けされて形成され
ている特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれか１
項記載の弾性表面波装置。 ３、発明の詳細な説明 ［発明の技術分野］ 本発明は、例えば弾性表面波フィルタや弾性表面波共振
子等として用いられる弾性表面波装置に関する。 ［発明の技術的背景とその問題点］ 従来から、弾性表面波フィルタとしては、第１図および
第２図に示したように、圧電基板１の主面上に、電極指
が対向するよう配置された対をなす櫛形電極２．３およ
び４．５で入力側電極Ｅ ＩＮおよび出力側電極Ｅ ｏ
ｕｔを構成したものが知られている。 これらの櫛形電極２．３および４．５の電極指２ａ１２
ａ・・・、３ａ 、３ａ・・・、電極指４ａ 、 ４ａ
・・・、５ａ、５ａ−は、２本ずつ相互に差し込むよう
に交叉されている。また通常、このような櫛形電極につ
いては、弾性表面波フィルタが所望の出力周波数特性が
得られるように、入力側電極Ｅ ＩＮ 。 出力側電極Ｅ ０１＋１のいずれか一方の側の電極指の
交叉幅１１．Ｌ２・・・を変化さＶたり（アボタイズ法
）あるいは同極の電極指間距離ＰＩ、Ｐｚ・・・を適当
に変化せることにより（間引き電極法）重み付けが施こ
されている。 第１図に示した弾性表面波フィルタでは、交叉幅の変更
による重み付けが入力側電極Ｅ ＩＮ側の電極指に施さ
れている。 上述したような弾性表面波フィルタでは、例えば入力側
電極Ｅ ＩＮの櫛形電極２．３に広域の周波数帯をもつ
電気信号が入力されると、電極指２ａ。 ２ａ・・・および３ａ 、３ａ・・・により圧電基板１
に弾性表面波が光生し、この弾性表面波が出力側電極Ｅ
ｏｕｔの電極指４ａ、４ａ−・・、５ａ 、５ａ −
・・に伝播して再び電気伝号に変換され、出力側電極Ｅ
ｏｕｔの櫛形電極４．５から所望の帯域の周波数の電
気信号が出力される。なお、上記の如く電極指を２本ず
つ相互に交叉させるのは、表面波の反射を打ち消させる
効果を得るためである。 しかしながら、上述したような櫛形電極は電極−の交叉
幅Ｌｌ、Ｌ２・・・、あるいは同極の電極指開路１１１
ｆＰ＋、Ｐｚの変更による重み付けが施されると、弾性
表面波装置が設計上の特性を呈しないことがあった。 本発明者等は、この点について検討をすすめた結果、そ
の原因が櫛形電極の異極の電極指間の距離Ｇ＋ 、Ｇ２
・・・が各位置で異なっているために、電界強度が各位
置で相違し、その結果、励振効率が不均一になってしま
うことにあることを発見した。 ［発明の目的］ 本発明はかかる知見に基いてなされたもので、櫛形電極
の各位置における励振効率が一定になり、常に設計上の
特性を呈する弾性表面波装置の提供を目的としている。 ［発明の概要］ すなわら本発明の弾性表面波装置は、異極を構成する複
数の櫛形電極の電極指を対向させ、異極性の電極指を複
数本ずつ互いに差し込むように交叉させ、この異極性の
電極指にはさまれてなる同極性の複数の電極指を電極指
群としこの各電極指群の間隔を少なくとも一部異ならさ
せて基板上に形成してなる櫛形電極を有する弾性表面波
装置において、前記櫛形電極の隣接する異極性の電極指
間が一定間隔とされていることを特徴としている。 本発明は櫛形電極の異極の電極指間の距離が各位置で異
なっていると、各位置における電界強度が異なり、各交
叉指での励振効率が不均一になるという実験事実に基づ
くものである。 ［発明の実施例］ 以下、本発明の詳細を図面に示す一実施例について説明
する。 第３図は本発明の弾性表面波装置における櫛形電極の形
状を模式的に示す図であり、第２図と共通する部分には
共通の符号が付されている。 なお、櫛形電極は、信号の入力側電極Ｅ ＩＮおよび出
力側電極Ｅ ｏｕｔとじて、基板１上に所定の距離をお
いて一組ずつ形成されるが、本発明はいずれの側の電極
にも適用可能であるので、同図には入・ 力側霜極の主
要部分のみが示されている。 同図において符号２．３は入力側電極Ｅ ＩＮの櫛形電
極を示しており、電極指２８ Ｍ ２ａ・・・、電極指
３ａ 、３ａ・・・が延出している。、さらにこれら電
極指は２本ずつ相互に差し込むように交叉している。 そして、隣接する電極指２ａと電極指３ａとの距離、す
なわち異極指間距離Ｇは各位置で同一にされている。 なお、交叉幅Ｌｌ、Ｌ２・・・、あるいは同極指間距離
Ｐ＋、Ｐｚ・・・、および電極指幅Ｗｌ、Ｗ２・・・は
従来通り各位置で異なっている。また、交差幅’ｌ、Ｌ
２を示す矢印は互いに異極性の各電極指の間隔の中点に
引かれており、この矢印Ｌ１．Ｌ２の間隔を異極性の電
極指にはさまれてなる同極性の複数の電極指からなる電
極指群とし、この各電極指群の間隔のうら少なくとも１
個が他の間隔と異なる間隔である。 しかして、本実施例の弾性表面波装置においては、異極
指間距離Ｇが各位置で同一にされているので、■み付け
を交叉幅Ｌｌ、Ｌ２・・・、同極指問距離Ｐ Ｉ 、Ｐ
２・・・の変更により施しても、各位置での電界強度
はほぼ等しくなる。 従って各位置での励振効率が均一になり、弾性表面波装
置が設計上の特性に近い特性を示すようになる。 第４図は本発明の他の実施例を示す図であり、第３図に
示したものと同様に異極指間距離Ｇが各位置で同一にさ
れているが、これとともに電極指幅Ｗもそれぞれ同一に
されている。 従って、交叉幅し１、［２・・・、あるいは同極指間距
離ＰＩ、Ｐ２・・・の変更によって重み付けを施しても
各位置での励振効率はより一層一定に保たれ、これに伴
なってリップルおよびスプリアスも減少する。 なお、以上の実施例では、本発明を弾性表面波フィルタ
に適用した場合の実施例について説明したが、木頼明は
これらの実施例にに限定されるべきものではなく、表面
波共振子、遅延線、さらには表面波増幅器等の櫛形電極
にも適用することもできる。 また、上記実施例では対向する異極の電極指が２本ずつ
交叉する櫛形電極に本発明を適用した場合ついて説明し
たが、本発明は電極指が３本ずつ交叉する櫛形電極にお
いても、異極指間距離あるいはこれとともに電極指幅を
一定にすることにより実施可能である。 本発明は、特に電極指の同極指間距離Ｐ＋、Ｐ２・・・
を大きく変化させて重み付けを施してなる、いわゆるチ
ャープ形の分散、非分敵影遅延線の櫛形電極に適用する
と励振効率の均一化効果が顕著である。 ［発明の効果］ 以上説明したように本発明の弾性表面波装置では、櫛形
電極の隣接する異極性の電極指の指間距離を一定にした
ので、各位置で発生する電界強度がほぼ等しくなり、励
振効率が均一になって、弾性表面波装置が設ｚ１上の特
性を呈するようになる。 ４、図面の簡単な説明 第１図は従来の弾性表面波装置における櫛形電極の構造
を概略的に示す図、第２図はその要部を示す図、第３図
は本発明の弾性表面波装置の一実施例の要部を示す図、
第４図は本発明の他の実施例の要部を示す図である。 １・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・圧電基
板２．３．４．５・・・櫛形電極 ２ａ 、 ２ａ ％ ３ａ 、 ３ａ ・・・・・・・・・・・・電極指 Ｅ ＩＮ・・・・・・・・・・・・・・・・・・入力側
電極Ｅ ｏｌＩｔ・・・・・・・・・・・・・・・・・
・出力側電極ＰＩ、Ｐ２・・・・・・・・・同極指間距
離Ｇ、Ｇ＋ 、Ｇ２・・・異極指間距離 Ｗ１Ｗ＋ 、Ｗ２・・・電極指幅 Ｌｌ、Ｌ２・・・・・・・・・交叉幅 代理人弁理士 須 山 佐 − 第３図
Claims (4)
- （１）異極を構成する複数の櫛形電極の電極指を対向さ
せ、異極性の電極指を複数本ずつ互いに差し込むように
交叉させて基板上に形成してなる櫛形′？Ｂ極を有する
弾性表面波装置においＣ１前記櫛形電極の隣接する異極
性の電極指間が一定間隔とされていることを特徴とする
弾性表面波装置。 - （２）対向する電極指が、２本ずつ互いに差し込むよう
に交叉して基板上に形成されている特許請求の範囲第１
項記載の弾性表面波装置。 - （３）各電極指の幅寸法が、互いに等しくされ−Ｃいる
特許請求の範囲第１項または第２項記載の弾性表面波装
置。 - （４）電極指が、交叉幅により重み付Ｉ′Ｊされて形成
されている特許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれ
か１項記載の弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5859284A JPS60201711A (ja) | 1984-03-27 | 1984-03-27 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5859284A JPS60201711A (ja) | 1984-03-27 | 1984-03-27 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60201711A true JPS60201711A (ja) | 1985-10-12 |
Family
ID=13088756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5859284A Pending JPS60201711A (ja) | 1984-03-27 | 1984-03-27 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60201711A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01236714A (ja) * | 1988-03-16 | 1989-09-21 | Shosuke Sasaki | 弾性表面波装置 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS5419634A (en) * | 1977-07-15 | 1979-02-14 | Hitachi Ltd | Elastic surface wave transducer |
| JPS5533555B2 (ja) * | 1973-06-26 | 1980-09-01 | ||
| JPS5884517A (ja) * | 1981-11-16 | 1983-05-20 | Toshiba Corp | 弾性表面波トランスジユ−サ |
| JPS60140917A (ja) * | 1983-12-28 | 1985-07-25 | Toshiba Corp | 弾性表面波トランスジユ−サ |
-
1984
- 1984-03-27 JP JP5859284A patent/JPS60201711A/ja active Pending
Patent Citations (5)
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