JPS60201524A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS60201524A JPS60201524A JP5549784A JP5549784A JPS60201524A JP S60201524 A JPS60201524 A JP S60201524A JP 5549784 A JP5549784 A JP 5549784A JP 5549784 A JP5549784 A JP 5549784A JP S60201524 A JPS60201524 A JP S60201524A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
- insulating substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(a) 発明の技術分野
本発明は磁気ディスク装置に用いられる磁気記録媒体の
改良に係り、特にガラス、セラミンク等からなる非磁性
の絶縁性基板を用いた磁気記録媒体に関するものである
。
改良に係り、特にガラス、セラミンク等からなる非磁性
の絶縁性基板を用いた磁気記録媒体に関するものである
。
山) 技術の背景
一般に磁気ディスク装置に用いられている磁気記録媒体
、即ち磁気ディスクは、数1aN程度の厚さのアルミニ
ウム、又はアルミニウム合金等からなる円板状のディス
ク基板を主体とし、このディスク基板の表面にγ−Fe
203、或いはCo−Cr合金等の磁性層を形成して構
成されている。ところで従来の磁気ディスクの基板とし
ては、上記したように比較的硬度の低いアルミニウム、
又はアルミニウム合金等が用いられているため、非常に
損傷され易く、磁気ヘッドとの回転摺動中に生じた損傷
に起因してヘッドクラッシュが発生する問題があり、デ
ィスク基板の表面耐久性の向上が要望されている。
、即ち磁気ディスクは、数1aN程度の厚さのアルミニ
ウム、又はアルミニウム合金等からなる円板状のディス
ク基板を主体とし、このディスク基板の表面にγ−Fe
203、或いはCo−Cr合金等の磁性層を形成して構
成されている。ところで従来の磁気ディスクの基板とし
ては、上記したように比較的硬度の低いアルミニウム、
又はアルミニウム合金等が用いられているため、非常に
損傷され易く、磁気ヘッドとの回転摺動中に生じた損傷
に起因してヘッドクラッシュが発生する問題があり、デ
ィスク基板の表面耐久性の向上が要望されている。
そこでこのような要望に対して近来、上記損傷、が発生
し難い高い硬度を有し、かつ高記録密度化に伴って要求
される、より高度な平面化及び平滑面化に極めて有利な
ガラス、又はセラミンク等からなる基板を、ディスク基
板として磁気ディスクに通用することが提案されている
。
し難い高い硬度を有し、かつ高記録密度化に伴って要求
される、より高度な平面化及び平滑面化に極めて有利な
ガラス、又はセラミンク等からなる基板を、ディスク基
板として磁気ディスクに通用することが提案されている
。
(C) 従来技術と問題点
しかしながら上記のようにガラス、又はセラミック等か
らなるディスク基板を用いた磁気ディスクにあっては、
当該磁気ディスクを高速回転した際に、空気との摩擦に
より表面帯電が生じ易(、この帯電現象が過度になると
、結果的には磁気ヘッドとの間で放電が発生し、この放
電によるノイズによって磁気ディスクに対する情報の読
み出しエラーを引き起こしたり、又過度の放電により磁
気ディスク面、或いは磁気ヘッドの先端面を損傷させる
欠点があった。
らなるディスク基板を用いた磁気ディスクにあっては、
当該磁気ディスクを高速回転した際に、空気との摩擦に
より表面帯電が生じ易(、この帯電現象が過度になると
、結果的には磁気ヘッドとの間で放電が発生し、この放
電によるノイズによって磁気ディスクに対する情報の読
み出しエラーを引き起こしたり、又過度の放電により磁
気ディスク面、或いは磁気ヘッドの先端面を損傷させる
欠点があった。
ld) 発明の目的
本発明は上記従来の欠点を解消するため、空気との回転
摩擦により帯電した表面電荷を簡単な漏電膜付加構成に
よりディスク支持機構を介して排除し得るようにした新
規なガラス、又はセラミック等からなるディスク基板を
用いた磁気記録媒体を提供することを目的とするもので
ある。
摩擦により帯電した表面電荷を簡単な漏電膜付加構成に
よりディスク支持機構を介して排除し得るようにした新
規なガラス、又はセラミック等からなるディスク基板を
用いた磁気記録媒体を提供することを目的とするもので
ある。
(e) 発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、非磁性の絶縁性基板
面に、金属、或いは金属酸化物から成る磁性膜を設けた
磁気記録媒体において、上記絶縁性基板と磁性膜との間
に、Ti+Si+Zr+ V、Nb+Ta+Cr +
W + Mo + Mnの内の何れかの窒化物からなる
漏電膜を介在したことを特徴とする磁気記録媒体を提供
することによって達成される。
面に、金属、或いは金属酸化物から成る磁性膜を設けた
磁気記録媒体において、上記絶縁性基板と磁性膜との間
に、Ti+Si+Zr+ V、Nb+Ta+Cr +
W + Mo + Mnの内の何れかの窒化物からなる
漏電膜を介在したことを特徴とする磁気記録媒体を提供
することによって達成される。
(f) 発明の実施例
以下図面を用いて本発明の実施例について詳細に説明す
る。
る。
第1図は本発明に係る磁気記録媒体の一実施例を示す要
部断面図である。同図において、lはガラス、又はセラ
ミック等からなる非磁性の絶縁性基板であり、該絶縁性
基板1上の全面に、例えば膜厚が0.05μmの導電性
のTi窒化物、又はSi窒化物からなる漏電膜2が形成
され、その上面に例えばγ−Fe203等の金属酸化物
、或いはCo−Cr合金から成る磁性膜3を設けた構造
がとられている。
部断面図である。同図において、lはガラス、又はセラ
ミック等からなる非磁性の絶縁性基板であり、該絶縁性
基板1上の全面に、例えば膜厚が0.05μmの導電性
のTi窒化物、又はSi窒化物からなる漏電膜2が形成
され、その上面に例えばγ−Fe203等の金属酸化物
、或いはCo−Cr合金から成る磁性膜3を設けた構造
がとられている。
尚、上記構成の磁気記録媒体を得るには、先ず平面仕上
げを行った例えばガラス製の絶縁性基板1上の全面に、
Tiをスパッタ・ターゲットとし、N2、或いはNHa
雰囲気中で反応スパッタリングにより膜厚が0.05μ
mのTi窒化物からなる漏電膜2を形成する。次に上記
Ti窒化物からなる漏電膜2上にα−Fe203BNを
0.2pmの厚さに、同様の反応スパッタリングにより
形成し、該α−pe203膜をhet N2中、約30
0℃に加熱して還元熱処理を施し、Fea 04 膜に
変態させた後、空気中において約300℃に加熱して酸
化熱処理を行うことにより、前記Fea 04 llt
’をyFe203に変態した磁性llll3を有する所
望の磁気記録媒体を形成することができる。
げを行った例えばガラス製の絶縁性基板1上の全面に、
Tiをスパッタ・ターゲットとし、N2、或いはNHa
雰囲気中で反応スパッタリングにより膜厚が0.05μ
mのTi窒化物からなる漏電膜2を形成する。次に上記
Ti窒化物からなる漏電膜2上にα−Fe203BNを
0.2pmの厚さに、同様の反応スパッタリングにより
形成し、該α−pe203膜をhet N2中、約30
0℃に加熱して還元熱処理を施し、Fea 04 膜に
変態させた後、空気中において約300℃に加熱して酸
化熱処理を行うことにより、前記Fea 04 llt
’をyFe203に変態した磁性llll3を有する所
望の磁気記録媒体を形成することができる。
上記のように磁気記録媒体を構成することによって、該
磁気記録媒体21を高速回転した際に、帯電した表面電
荷は、−第2図に示すように該媒体21に設けた漏電1
11!2よりディスク支持機構22及び回転スピンドル
23を介して装置のアース回路24へ排除され、従来の
如き放電現象の発生が解消される。
磁気記録媒体21を高速回転した際に、帯電した表面電
荷は、−第2図に示すように該媒体21に設けた漏電1
11!2よりディスク支持機構22及び回転スピンドル
23を介して装置のアース回路24へ排除され、従来の
如き放電現象の発生が解消される。
又、5前記漏電膜2は、金属膜に比べて非常に硬度が高
いので磁気ヘッドとの摺動により損傷され難い効果も期
待できる。
いので磁気ヘッドとの摺動により損傷され難い効果も期
待できる。
(a 発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明に係る磁気記録
媒体の構成によれば、ガラス、又はセラミンク等からな
る非磁性の絶縁性基板を用いているかために、高速回転
による空気摩擦によって帯電する磁気記録媒体の表面電
荷を、簡単な漏電膜付加構成によりディスク支持機構を
介して容易に排除することが可能となる。従って従来の
如き放電現象、又、該放電に起因する障害が解消され、
非磁性の絶縁性基板を用いた磁気記録媒体に適用して実
用上優れた効果を奏する。
媒体の構成によれば、ガラス、又はセラミンク等からな
る非磁性の絶縁性基板を用いているかために、高速回転
による空気摩擦によって帯電する磁気記録媒体の表面電
荷を、簡単な漏電膜付加構成によりディスク支持機構を
介して容易に排除することが可能となる。従って従来の
如き放電現象、又、該放電に起因する障害が解消され、
非磁性の絶縁性基板を用いた磁気記録媒体に適用して実
用上優れた効果を奏する。
第1図は本発明に係る磁気記録媒体の一実施例を示す要
部断面図、第2図は本発明の磁気記録媒体に帯電した電
荷の排除径路を説明するための概略装置図である。 図面において、1は非磁性の絶縁性基板、2は漏電膜、
3はγ−Fe203磁性膜、21は磁気、記録媒体、2
2はディスク支持機構、23は回転スピンドル、24は
アース回路を示す。
部断面図、第2図は本発明の磁気記録媒体に帯電した電
荷の排除径路を説明するための概略装置図である。 図面において、1は非磁性の絶縁性基板、2は漏電膜、
3はγ−Fe203磁性膜、21は磁気、記録媒体、2
2はディスク支持機構、23は回転スピンドル、24は
アース回路を示す。
Claims (1)
- 非磁性の絶縁性基板面に、金属、或いは金属酸化物から
成る磁性膜を設けた磁気記録媒体において、上記絶縁性
基板と磁性膜との間に、Ti+Si+Zr+V、Nb、
Ta+Cr、W、Mo、Mnの内の何れかの窒化物から
なる漏電膜を介在したことを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5549784A JPS60201524A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5549784A JPS60201524A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60201524A true JPS60201524A (ja) | 1985-10-12 |
Family
ID=13000278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP5549784A Pending JPS60201524A (ja) | 1984-03-22 | 1984-03-22 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60201524A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6849326B1 (en) | 2000-10-10 | 2005-02-01 | Seagate Technology Llc | Niobium alloy seedlayer for magnetic recording media |
-
1984
- 1984-03-22 JP JP5549784A patent/JPS60201524A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6849326B1 (en) | 2000-10-10 | 2005-02-01 | Seagate Technology Llc | Niobium alloy seedlayer for magnetic recording media |
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