JPS60201315A - 反射光学系 - Google Patents
反射光学系Info
- Publication number
- JPS60201315A JPS60201315A JP59057582A JP5758284A JPS60201315A JP S60201315 A JPS60201315 A JP S60201315A JP 59057582 A JP59057582 A JP 59057582A JP 5758284 A JP5758284 A JP 5758284A JP S60201315 A JPS60201315 A JP S60201315A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- concave mirror
- mirror
- optical axis
- convex mirror
- Prior art date
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B17/00—Systems with reflecting surfaces, with or without refracting elements
- G02B17/02—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system
- G02B17/06—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror
- G02B17/0605—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using two curved mirrors
- G02B17/0615—Catoptric systems, e.g. image erecting and reversing system using mirrors only, i.e. having only one curved mirror using two curved mirrors off-axis or unobscured systems in wich all of the mirrors share a common axis of rotational symmetry
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、例えば投影型走査露光装置、特にＬＳＩなど
の製造に使用されるアライナ用光学系などに適用して好
適な反射光学系に関するものである。
の製造に使用されるアライナ用光学系などに適用して好
適な反射光学系に関するものである。
従来のこの種の反射光学系には、例えば同心又は非同心
の凹面鏡、凸面鏡を使用した反射光学系や、凹面鏡、凸
面鏡の外に更に負のメニスカスレンズ及び色収差補正機
構を加えたほぼ同心の反射光学系など、種々の形式のも
のが知られている。
の凹面鏡、凸面鏡を使用した反射光学系や、凹面鏡、凸
面鏡の外に更に負のメニスカスレンズ及び色収差補正機
構を加えたほぼ同心の反射光学系など、種々の形式のも
のが知られている。
そして、これらの反射光学系は軸外の半弧状領域に良像
域が形、成されており、この良像域に対応するマスクの
部分像をウェハー上に形成し、マスク、ウェハーを一体
として反射光学系に対して相対的に走査してマスクの全
体像をウェハー上に形成するアライナが知られている。
域が形、成されており、この良像域に対応するマスクの
部分像をウェハー上に形成し、マスク、ウェハーを一体
として反射光学系に対して相対的に走査してマスクの全
体像をウェハー上に形成するアライナが知られている。
しかしながら、従来の反射光学系の何れも非点収差、及
び像面弯曲が大きく、そのために良像域の幅は極めて狭
く例えば１ｍｍ程度であって、アライナに適応した場合
に多くの走査時間、即ち露光時間を必要とし、時間当り
のウェハー焼付処理量が比較的小さいという難点があっ
た。
び像面弯曲が大きく、そのために良像域の幅は極めて狭
く例えば１ｍｍ程度であって、アライナに適応した場合
に多くの走査時間、即ち露光時間を必要とし、時間当り
のウェハー焼付処理量が比較的小さいという難点があっ
た。
本発明の目的は、このような従来例の欠点を改善し、非
球面凹面鏡を用いて非点収差及び像面弯曲を充分に補正
しつつ、補正像高の良像域を拡大し、更には時間当りの
ウェハー焼付量を増大する反射光学系を提供することに
あり、その要旨は、凹面鏡と凸面鏡のそれぞれの反射面
同志を対向させ、前記凹面鏡の反射面側前方に配置した
被被写体からの光束が、前記凹面鏡、前記凸面鏡、前記
凹面鏡の順に反射した後に結像する反射光学系であって
、前記被写体の前記反射光学系の光軸外の領域から前記
光軸と平行に射出した光線が、前記凹面鏡で反射した後
に前記凸面鏡と前記光軸との交点に入射するように、前
記凹面鏡を非球面としたことを特徴とするするものであ
る。
球面凹面鏡を用いて非点収差及び像面弯曲を充分に補正
しつつ、補正像高の良像域を拡大し、更には時間当りの
ウェハー焼付量を増大する反射光学系を提供することに
あり、その要旨は、凹面鏡と凸面鏡のそれぞれの反射面
同志を対向させ、前記凹面鏡の反射面側前方に配置した
被被写体からの光束が、前記凹面鏡、前記凸面鏡、前記
凹面鏡の順に反射した後に結像する反射光学系であって
、前記被写体の前記反射光学系の光軸外の領域から前記
光軸と平行に射出した光線が、前記凹面鏡で反射した後
に前記凸面鏡と前記光軸との交点に入射するように、前
記凹面鏡を非球面としたことを特徴とするするものであ
る。
本発明を図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
第１図に示す実施例では、凹面鏡旧とそれよりも半径の
小さな凸面鏡Ｍ２とが、これらの光軸０が一致するよう
に置かれると共に、これらの曲率中心が同一方向になる
ようにして、鏡面同志が対向的に配置されている。そし
て、これらの凹面鏡旧と凸面鏡Ｍ２は非球面とされてい
る。
小さな凸面鏡Ｍ２とが、これらの光軸０が一致するよう
に置かれると共に、これらの曲率中心が同一方向になる
ようにして、鏡面同志が対向的に配置されている。そし
て、これらの凹面鏡旧と凸面鏡Ｍ２は非球面とされてい
る。
物体Ｓｌから出射された光束は、凹面鏡Ｍ１．凸面鏡Ｍ
２、凹面鏡旧の順に進行中るため、物体病２１はこれら
の２つの鏡面Ｍ１．８２間で計３回反射された後に、像
面Ｓ２における点Ｐ２に等倍結像されることになり、こ
の反射光学系の絞りの役目を凸面鏡Ｍ２が果している。
２、凹面鏡旧の順に進行中るため、物体病２１はこれら
の２つの鏡面Ｍ１．８２間で計３回反射された後に、像
面Ｓ２における点Ｐ２に等倍結像されることになり、こ
の反射光学系の絞りの役目を凸面鏡Ｍ２が果している。
この反射光学系は凸面鏡Ｍ２の有効径の中心０２に関し
て対称に配置されているので、非対称収差であるコマ収
差や歪曲収差が発生することはないが、通常の光学系で
は非点収差と像面弯曲の発生は免れ難い。
て対称に配置されているので、非対称収差であるコマ収
差や歪曲収差が発生することはないが、通常の光学系で
は非点収差と像面弯曲の発生は免れ難い。
そこで、この反射光学系においては、非点収差と像面弯
曲は非球面凹面鏡に１によって補正するようにされてい
る。このために、第２図の非点収差図で示す補正領域り
内での各像高の光軸０と平行な主光線が、常に凸面鏡Ｍ
２の中心０２へ入射するように凹面鏡旧の非球面形状が
決められている。
曲は非球面凹面鏡に１によって補正するようにされてい
る。このために、第２図の非点収差図で示す補正領域り
内での各像高の光軸０と平行な主光線が、常に凸面鏡Ｍ
２の中心０２へ入射するように凹面鏡旧の非球面形状が
決められている。
この場合、凹面鏡旧は凸レンズと同等の作用をなすから
、補正領域りの各像高に対応した凹面鏡Ｍｌの各入射高
で発生する正の球面収差の値に応じて、負の球面収差が
発生するようにしている。
、補正領域りの各像高に対応した凹面鏡Ｍｌの各入射高
で発生する正の球面収差の値に応じて、負の球面収差が
発生するようにしている。
従って、正負の球面収差が補正領域の各像高でＵいに打
消し合うように非球面凹面鏡旧の形状を選択すれば、各
像高の光軸０に平行な主光線はこの光学系の中心０２に
入射する。つまり、補正領域り内での各像高の無限遠主
光線が常に光学系の中心０２に集光するように補正され
たとき、中心０２での対称性からこの反射光学系全体の
非点収差は補正されたことになる。
消し合うように非球面凹面鏡旧の形状を選択すれば、各
像高の光軸０に平行な主光線はこの光学系の中心０２に
入射する。つまり、補正領域り内での各像高の無限遠主
光線が常に光学系の中心０２に集光するように補正され
たとき、中心０２での対称性からこの反射光学系全体の
非点収差は補正されたことになる。
補正領域りはサジタル像面Ｓとメリデオナル像面ｍの傾
きと許容深度との関係で決定されるから、非点収差の補
正、即ちサジタル像面Ｓとメリデオナル像面ｍの非点隔
差を無くし、補正領域り内の各像高の像面弯曲を小さく
することにより、補正領域りの拡大、スリット幅の増大
を図るために非球面凹面鏡Ｍ１が採用されたのである。
きと許容深度との関係で決定されるから、非点収差の補
正、即ちサジタル像面Ｓとメリデオナル像面ｍの非点隔
差を無くし、補正領域り内の各像高の像面弯曲を小さく
することにより、補正領域りの拡大、スリット幅の増大
を図るために非球面凹面鏡Ｍ１が採用されたのである。
これによって非点収差が補正され、かつ前述したように
光学系の対称性のためにコマ収差や歪曲収差は発生する
ことはないが、より一層高性能のものが要求される場合
には、凹面鏡旧を非球面とすることによって生ずる横収
差が無視できなくなる。そこで実施例では、凸面鏡Ｍ２
を更に非球面化することによって、非球面凹面鏡旧の導
入により生ずる横収差をも補正できるようにしたのであ
る。
光学系の対称性のためにコマ収差や歪曲収差は発生する
ことはないが、より一層高性能のものが要求される場合
には、凹面鏡旧を非球面とすることによって生ずる横収
差が無視できなくなる。そこで実施例では、凸面鏡Ｍ２
を更に非球面化することによって、非球面凹面鏡旧の導
入により生ずる横収差をも補正できるようにしたのであ
る。
第１図において、非球面凹面鏡Ｍ１の働きにより補正領
域り内で各像高の光軸０に平行な主光線は常に凸面鏡Ｍ
２の中心０２に入射するから、凸面鏡Ｍ２を非球面とし
ても主光線関係の収差、即ち非点収差・像面弯曲には全
く影響を与えずに、アッパー光線ＵＲとローワ−光線Ｌ
Ｒの収差を補正することができる。
域り内で各像高の光軸０に平行な主光線は常に凸面鏡Ｍ
２の中心０２に入射するから、凸面鏡Ｍ２を非球面とし
ても主光線関係の収差、即ち非点収差・像面弯曲には全
く影響を与えずに、アッパー光線ＵＲとローワ−光線Ｌ
Ｒの収差を補正することができる。
第１図に示す第１の実施例では凹面鏡旧と凸面鏡Ｍ２は
同心であり、第２図（ａ）、 （ｂ） 、 （ｅ）は上
述したようにその非点収差図、第３図（ａ）〜（ｇ）は
横収差図である。この第１の実施例における光学的構成
の数値例を第１表に記載、する、なお、Ｒｉは光の進行
順序に従って第１番目の光学部材面の曲率半径、Ｄｉは
第１番目の空気間隔であり、正負の符号は光が左から右
に進行する場合を正としている。
同心であり、第２図（ａ）、 （ｂ） 、 （ｅ）は上
述したようにその非点収差図、第３図（ａ）〜（ｇ）は
横収差図である。この第１の実施例における光学的構成
の数値例を第１表に記載、する、なお、Ｒｉは光の進行
順序に従って第１番目の光学部材面の曲率半径、Ｄｉは
第１番目の空気間隔であり、正負の符号は光が左から右
に進行する場合を正としている。
第１表
＊ｉ Ｒ１−−７２０，０１＝−３５１１，０７＊２Ｒ
２−−３８０，９３０２＝ ３５８．０７＊Ｉ Ｒ３＝
−７２０，０３＝ − ここで、木は非球面であり、光軸に関して対称で、光軸
からの距離りにおける平面からの偏りＸを、 Ｘ−（ｈ２ ／Ｒ） ／［１４（１−（ｈ／Ｒ）２ ＞
−２１＋Ｂｈ４＋Ｃｈ６＋Ｄｈ” ＋Ｅｈ’。
２−−３８０，９３０２＝ ３５８．０７＊Ｉ Ｒ３＝
−７２０，０３＝ − ここで、木は非球面であり、光軸に関して対称で、光軸
からの距離りにおける平面からの偏りＸを、 Ｘ−（ｈ２ ／Ｒ） ／［１４（１−（ｈ／Ｒ）２ ＞
−２１＋Ｂｈ４＋Ｃｈ６＋Ｄｈ” ＋Ｅｈ’。
なお、凹面鏡Ｍ１の非球面量をΔＳ、凸面鏡Ｍ２の非球
面量をΔＸとしたとき、 （１）第２図（ａ）、第３図（ａ）の場合＊ Ｉ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ＝ ３．７１３９８・１Ｏ−１２Ｇ＝−３，’４５０
７２・１Ｏ−Ｉ６Ｄ＝ ８．２７７０３０１０−２１
Ｅ＝−７’、、３８７４２・ｌＯ憧Ｇ＊ ２ Ｒ＝−３
ＢＯ，！１１３ Ｂ＝−８，４８１４９０１０−” Ｃ＝−４，１４９２
０・１Ｏ−１４０＝ ２．４０３４３・１０−＋７ Ｅ
＝−４，ｆ１３１０１・１Ｏ−２夏Ａ Ｓ ＝ １．０
０・１Ｏ−６ Δｘ ＝ １．４１ 会１Ｏ−６ （２）第２図（ｂ）、第３図（ｂ）の場合＊Ｉ Ｒ−−
７２０− Ｂ＝ ３．８２５４０・１０−１” Ｃ＝−３，５５４
２０・１ ｇ −１６０＝ ８．５２５ＥｉＯ・１０−
２１ Ｅ＝−７，５８８４０・１０４６＊ ２ Ｒ＝−
３６０，９３ Ｂ＝−１１１，４８１４９−１６−ＩＩ Ｃロー４．１
４９２０Φ１０−ＨＤ＝ ２．４０３４３０１０−’７
Ｅ＝−４，１３３１０１−１０−”ΔＳ ＝ １．０
５φ１０−６ Δｘ ＝ １．２ｆｌ ＊ １Ｏ−６ （３）第２図（ｂ）、第３図（ｃ）の場合＊ Ｉ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ＝ ３．８２５４０・１Ｏ−１２Ｇ＝−３，５５４２
０・１０−”［１＝ ８．５２５ｆｉＯ・１０りＩ Ｅ
＝−７，５８８４０・１６−％＊ ２Ｒ−３８０，９３ Ｂ＝−１，０２０８０−１０引 Ｃ＝−８，５３４１１
９・１ ｇ −１４０＝ ３．７８５４０中１０−１７
Ｅ＝−７，２９３８０−Ｉｏ−２１ΔＳ ＝ １．０
５−１０−６ Δｘ ＝ ２．２１ ａ １０＝ （４）第２図（ｂ）、第３図（ｄ’）の場合＊ ” Ｒ
＝−７２０゜ Ｂ−３，８２５４０−１０−” Ｃ＝−３，５５４２０
−１０−”Ｄ＝ ８．５２５８０・１０′２１ Ｅ＝−
７，５８８４０・１０−２ｇ＊ ２Ｒ＝−３８０，９３ Ｂ−−４，０１８２５１１０−１１Ｇ＝−２，５７１１
０・１０−１ヰＤ＝ １．４８９２８・１０−１” Ｅ
＝−２，８８９６０−１０−２’ΔＳ ＝ １．０５−
１０−’ Δｘ ＝ ８．４２−１０−７ （５）第２図（ｅ）、第３図（ｅ）の場合＊ ’ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ−３，５８５４２−１０’２ Ｇ−３，３’１２８８
・ １０”Ｄ−７，１１４５９５−１０−” Ｅ＝−７
，０７２７０＠１０−’＊２ Ｒ露−３８０，９３ Ｂ−ｆ！、４８１４９− Ｈ）−１１Ｃ−４，１４９２
０−１０’十〇−２，４０３４３−１０−’フ Ｅ−４
，８３１０１−１０−２１Δｓ＝ｓ、ｅｏ・１０−７ Δｘ ＝ １．２８ ＊ １０−” （６）第２図（ｅ）、第３図（ｆ）の場合＊ ” Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ＝ ３．５８５４２−１Ｏ−１２Ｃ−３，３１２８９
−１０”Ｄ＝７．８４５８５−１０４’ Ｅ−，７，０
７２７０−１０”＊ ２ Ｒ−−３８０，９３ Ｂ＝−１，０２０８０−１Ｏ−ＩＩ Ｃ−８，５３４９
９−１０−”４Ｄ−３，７８５４０−１０−” ＩＥ−
−７，２８ＨＯ−１０”ΔＳ ＝ ９．ｆｌＱ・ １０
−’ Δｘ ＝ ２．２１・１０４ （７）第２図（ｅ）、第３図（ｇ）の場合＊ ’ Ｒ−
−７２０゜ Ｂ−３，５８５４２−１０” Ｃ−３，３１２１３９−
１０”Ｄ−７，９４５９５−１０４１Ｅ−７，０７２７
０＠１０”＊２ Ｒ−一３８０．９３ Ｂ−ａ、ｏｔｅ２ｓ−ｘＯ−ｎ ｃ−２，５７＋ｔｏ−
ｔｏ−Ｉ４０−１．４８１１２８−１Ｏ−１７Ｅ−２，
８１１１１１８０−１０−”ΔＳ＝θ９８０・ １０碑 Δｘ ＝ ８．４２・ １０−９ 第４図、第５図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｅ） 、第
６図（ａ）〜（ｇ）は、それぞれ第２の実施例の構成図
、非点収差図、横収差図を示し、凹面鏡旧と凸面鏡Ｍ２
とは非同心である。第２表はこの第２の実施例の数値例
である。
面量をΔＸとしたとき、 （１）第２図（ａ）、第３図（ａ）の場合＊ Ｉ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ＝ ３．７１３９８・１Ｏ−１２Ｇ＝−３，’４５０
７２・１Ｏ−Ｉ６Ｄ＝ ８．２７７０３０１０−２１
Ｅ＝−７’、、３８７４２・ｌＯ憧Ｇ＊ ２ Ｒ＝−３
ＢＯ，！１１３ Ｂ＝−８，４８１４９０１０−” Ｃ＝−４，１４９２
０・１Ｏ−１４０＝ ２．４０３４３・１０−＋７ Ｅ
＝−４，ｆ１３１０１・１Ｏ−２夏Ａ Ｓ ＝ １．０
０・１Ｏ−６ Δｘ ＝ １．４１ 会１Ｏ−６ （２）第２図（ｂ）、第３図（ｂ）の場合＊Ｉ Ｒ−−
７２０− Ｂ＝ ３．８２５４０・１０−１” Ｃ＝−３，５５４
２０・１ ｇ −１６０＝ ８．５２５ＥｉＯ・１０−
２１ Ｅ＝−７，５８８４０・１０４６＊ ２ Ｒ＝−
３６０，９３ Ｂ＝−１１１，４８１４９−１６−ＩＩ Ｃロー４．１
４９２０Φ１０−ＨＤ＝ ２．４０３４３０１０−’７
Ｅ＝−４，１３３１０１−１０−”ΔＳ ＝ １．０
５φ１０−６ Δｘ ＝ １．２ｆｌ ＊ １Ｏ−６ （３）第２図（ｂ）、第３図（ｃ）の場合＊ Ｉ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ＝ ３．８２５４０・１Ｏ−１２Ｇ＝−３，５５４２
０・１０−”［１＝ ８．５２５ｆｉＯ・１０りＩ Ｅ
＝−７，５８８４０・１６−％＊ ２Ｒ−３８０，９３ Ｂ＝−１，０２０８０−１０引 Ｃ＝−８，５３４１１
９・１ ｇ −１４０＝ ３．７８５４０中１０−１７
Ｅ＝−７，２９３８０−Ｉｏ−２１ΔＳ ＝ １．０
５−１０−６ Δｘ ＝ ２．２１ ａ １０＝ （４）第２図（ｂ）、第３図（ｄ’）の場合＊ ” Ｒ
＝−７２０゜ Ｂ−３，８２５４０−１０−” Ｃ＝−３，５５４２０
−１０−”Ｄ＝ ８．５２５８０・１０′２１ Ｅ＝−
７，５８８４０・１０−２ｇ＊ ２Ｒ＝−３８０，９３ Ｂ−−４，０１８２５１１０−１１Ｇ＝−２，５７１１
０・１０−１ヰＤ＝ １．４８９２８・１０−１” Ｅ
＝−２，８８９６０−１０−２’ΔＳ ＝ １．０５−
１０−’ Δｘ ＝ ８．４２−１０−７ （５）第２図（ｅ）、第３図（ｅ）の場合＊ ’ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ−３，５８５４２−１０’２ Ｇ−３，３’１２８８
・ １０”Ｄ−７，１１４５９５−１０−” Ｅ＝−７
，０７２７０＠１０−’＊２ Ｒ露−３８０，９３ Ｂ−ｆ！、４８１４９− Ｈ）−１１Ｃ−４，１４９２
０−１０’十〇−２，４０３４３−１０−’フ Ｅ−４
，８３１０１−１０−２１Δｓ＝ｓ、ｅｏ・１０−７ Δｘ ＝ １．２８ ＊ １０−” （６）第２図（ｅ）、第３図（ｆ）の場合＊ ” Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ＝ ３．５８５４２−１Ｏ−１２Ｃ−３，３１２８９
−１０”Ｄ＝７．８４５８５−１０４’ Ｅ−，７，０
７２７０−１０”＊ ２ Ｒ−−３８０，９３ Ｂ＝−１，０２０８０−１Ｏ−ＩＩ Ｃ−８，５３４９
９−１０−”４Ｄ−３，７８５４０−１０−” ＩＥ−
−７，２８ＨＯ−１０”ΔＳ ＝ ９．ｆｌＱ・ １０
−’ Δｘ ＝ ２．２１・１０４ （７）第２図（ｅ）、第３図（ｇ）の場合＊ ’ Ｒ−
−７２０゜ Ｂ−３，５８５４２−１０” Ｃ−３，３１２１３９−
１０”Ｄ−７，９４５９５−１０４１Ｅ−７，０７２７
０＠１０”＊２ Ｒ−一３８０．９３ Ｂ−ａ、ｏｔｅ２ｓ−ｘＯ−ｎ ｃ−２，５７＋ｔｏ−
ｔｏ−Ｉ４０−１．４８１１２８−１Ｏ−１７Ｅ−２，
８１１１１１８０−１０−”ΔＳ＝θ９８０・ １０碑 Δｘ ＝ ８．４２・ １０−９ 第４図、第５図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｅ） 、第
６図（ａ）〜（ｇ）は、それぞれ第２の実施例の構成図
、非点収差図、横収差図を示し、凹面鏡旧と凸面鏡Ｍ２
とは非同心である。第２表はこの第２の実施例の数値例
である。
第２表
＊ｌ Ｒ１−−７２０，ＤＩ−３５０゜＊２Ｒ２−−３
６１．１８ ０２−３５０゜＊’ Ｒ３−−７２０，ｒ
Ｊ３− − （１）第５図（ａ）、第６ｇ（ａ）の場合本Ｉ Ｒ−７
２０− Ｂ−１，２０３５１−１０−’冨Ｃ−−３．２８７８０
−１０−１６０−９．２０２８０・１０”ｌ Ｅ−８，
９３０９２・１０′２６＊２ Ｒ冨−３６１，１８ Ｂ−１，１１５１４８・ １０−１° Ｇ−１，７８？
３２ ・ ｌＯ−凰ヰＤ−Ｌ３８４５３−２０−１７
Ｍ−−２，９３９４４・ １０引Ａ Ｓ ＝ ３．３０
・ １Ｏ−６ Ａ ｘ ＝ ２．３２− １０’ （２）第５図（ｂ）、第６図（ｂ）の場合＊ Ｉ Ｒ−
−７２０゜ Ｂ−１，２２７５７拳 １０−１１ Ｃ−３，３２８０
００１０−１’Ｄ−θ、３８８９４働１０” Ｅ−４，
００７５０−１０４６＊２ Ｒ冒−３６１，１８ Ｂ■１．９５１４８・１０−” Ｃ富−１，７８７３２
・１０−１４０−１．３８４５３・１０−１７ Ｅ−２
，９３９４４＠ １０−”Ａ Ｓ ＝ ３．４０・ｌＯ
づ Δｘ ＝ ２．３２ ｅ １Ｏ−ｈ （３）第５図（ｂ）、第６図（Ｃ）ｃ７）場合＊ １
Ｒ禦−７２０゜ Ｂ−１，２２７５７・１０−”Ｃ−３，３２９００＠１
０−息６Ｄ−９，３８８１１４・ ｌＯ引 Ｅ−１３，
００７５０・１０４ｂ＊ ２ Ｒ−−３１１１，１８ Ｂ諺 ２．１１２７２２・ １０−” Ｃ禦−２，８５
０１１１３・ １０−’４Ｄ−２．０７８８００１０”
監ワ’Ｅ−−４，４０９１８−１０″２１ΔＳ ＝ ３
．４００１Ｏ−５ Ａ ｘ ＝ ３ＪＯ・ １Ｇ″６ （４）第５図（ｂ）、第６図（ｄ）の場合＊ＩＲ露−７
２０゜ Ｂ−１，２２７５７−１０−１１Ｃ−３，３２８００−
１０−”Ｄ露 ９．３８８１１４ ・ １０′２１ Ｅ
璽−１１，００７５０・ ｌＯ喝＊２Ｒ露−３８１，１
８ Ｂ−１１，７５７４０−１Ｏ−Ｉｔ Ｇ−８，８８３８
８−１０−’Ｄ票 ８．１１１２２８５舎 １０−”
Ｅ−１，４８９７２・ １０４直Ａ Ｓ ＝ ３．４０
・１０−ｊ Δｘ ＝ １．１５＠ １０−’ （５）第５図（ｅ）、第６図（ｅ）の場合水Ｉ Ｒ＝−
７２０゜ Ｂ−１，１７９４４−１０−１’ Ｃ＝−３，２０２２
４０１０−１’Ｄ冨 ９．０１８８３・ １０” Ｅ−
−８，８５４３０・１０−２６＊２ Ｒ−３８１，１Ｂ Ｂ−１，９５１４８・ １０−” Ｃ−１，７８７３２
・１０−’４Ｄ−１．３８４５３−１０＝ Ｅ−２，３
３９４４−１０”ΔＳミ３．２０− １０鵠 Δｘ ＝ ２．３２・ １Ｏ−６ （６）第５図（ｅ）、第６図（ｆ）の場合＊ Ｉ Ｒ−
７２０゜ Ｂ−１，１７１１４４＠１０−’Ｉ Ｃ−３，２０２２
４−１０”Ｄ−１１，０１８８３−１０′２１ Ｅ−８
，８５４３０−１０４６＊２ Ｒ−３ｆ１１．１８ Ｂ輸 ２Ｊ２７２２ ・ １０−１０ Ｇ−−２，８５
０９８・ １０−１ヰＤ−２，０７８８０−１０−ｒＩ
Ｅ−４，４０９１１１１−１０−２菫ΔＳ ＝ ３．２
０φ１Ｏ−５ Ａ ｘ ＝ ３．８０ ・１０−’ （７）第５図（ｅ）、第６図（ｇ）の場合水１Ｒ鴫−７
２０゜ Ｂ−１，１７１１４４や １０七 〇−−３．２０２２
４ 争 １ ｇ −１６Ｄ−９，０１８８３拳１０４１
Ｅ＝−８，１１５４３０・１０−２６＊２ Ｒ敞−３
８１，１８ Ｂ−９，７５７７４暢 １Ｏ−Ｉｔ Ｇ−８，８８３［
！８・ １０−１５Ｄ−８，９２２８５＠ １０−１曾
Ｅ−−１，４１３９７２・ １０−２１、ｄ Ｓ ＝
３．２０−１０−” Ａ ｘ ＝ １．１５− １０−６ 第７図、第８図（ａ） 、 （Ｎ 、 （ｅ） 、第９
図（ａ）〜（ｇ）は、それぞれ第３の実施例の構成図、
非点収差図、横収差図であり、凹面鐘旧と凸面鏡Ｍ２と
は非同心を更に大きくしたものである。第３表はこの第
３の実施例の数値例である。
６１．１８ ０２−３５０゜＊’ Ｒ３−−７２０，ｒ
Ｊ３− − （１）第５図（ａ）、第６ｇ（ａ）の場合本Ｉ Ｒ−７
２０− Ｂ−１，２０３５１−１０−’冨Ｃ−−３．２８７８０
−１０−１６０−９．２０２８０・１０”ｌ Ｅ−８，
９３０９２・１０′２６＊２ Ｒ冨−３６１，１８ Ｂ−１，１１５１４８・ １０−１° Ｇ−１，７８？
３２ ・ ｌＯ−凰ヰＤ−Ｌ３８４５３−２０−１７
Ｍ−−２，９３９４４・ １０引Ａ Ｓ ＝ ３．３０
・ １Ｏ−６ Ａ ｘ ＝ ２．３２− １０’ （２）第５図（ｂ）、第６図（ｂ）の場合＊ Ｉ Ｒ−
−７２０゜ Ｂ−１，２２７５７拳 １０−１１ Ｃ−３，３２８０
００１０−１’Ｄ−θ、３８８９４働１０” Ｅ−４，
００７５０−１０４６＊２ Ｒ冒−３６１，１８ Ｂ■１．９５１４８・１０−” Ｃ富−１，７８７３２
・１０−１４０−１．３８４５３・１０−１７ Ｅ−２
，９３９４４＠ １０−”Ａ Ｓ ＝ ３．４０・ｌＯ
づ Δｘ ＝ ２．３２ ｅ １Ｏ−ｈ （３）第５図（ｂ）、第６図（Ｃ）ｃ７）場合＊ １
Ｒ禦−７２０゜ Ｂ−１，２２７５７・１０−”Ｃ−３，３２９００＠１
０−息６Ｄ−９，３８８１１４・ ｌＯ引 Ｅ−１３，
００７５０・１０４ｂ＊ ２ Ｒ−−３１１１，１８ Ｂ諺 ２．１１２７２２・ １０−” Ｃ禦−２，８５
０１１１３・ １０−’４Ｄ−２．０７８８００１０”
監ワ’Ｅ−−４，４０９１８−１０″２１ΔＳ ＝ ３
．４００１Ｏ−５ Ａ ｘ ＝ ３ＪＯ・ １Ｇ″６ （４）第５図（ｂ）、第６図（ｄ）の場合＊ＩＲ露−７
２０゜ Ｂ−１，２２７５７−１０−１１Ｃ−３，３２８００−
１０−”Ｄ露 ９．３８８１１４ ・ １０′２１ Ｅ
璽−１１，００７５０・ ｌＯ喝＊２Ｒ露−３８１，１
８ Ｂ−１１，７５７４０−１Ｏ−Ｉｔ Ｇ−８，８８３８
８−１０−’Ｄ票 ８．１１１２２８５舎 １０−”
Ｅ−１，４８９７２・ １０４直Ａ Ｓ ＝ ３．４０
・１０−ｊ Δｘ ＝ １．１５＠ １０−’ （５）第５図（ｅ）、第６図（ｅ）の場合水Ｉ Ｒ＝−
７２０゜ Ｂ−１，１７９４４−１０−１’ Ｃ＝−３，２０２２
４０１０−１’Ｄ冨 ９．０１８８３・ １０” Ｅ−
−８，８５４３０・１０−２６＊２ Ｒ−３８１，１Ｂ Ｂ−１，９５１４８・ １０−” Ｃ−１，７８７３２
・１０−’４Ｄ−１．３８４５３−１０＝ Ｅ−２，３
３９４４−１０”ΔＳミ３．２０− １０鵠 Δｘ ＝ ２．３２・ １Ｏ−６ （６）第５図（ｅ）、第６図（ｆ）の場合＊ Ｉ Ｒ−
７２０゜ Ｂ−１，１７１１４４＠１０−’Ｉ Ｃ−３，２０２２
４−１０”Ｄ−１１，０１８８３−１０′２１ Ｅ−８
，８５４３０−１０４６＊２ Ｒ−３ｆ１１．１８ Ｂ輸 ２Ｊ２７２２ ・ １０−１０ Ｇ−−２，８５
０９８・ １０−１ヰＤ−２，０７８８０−１０−ｒＩ
Ｅ−４，４０９１１１１−１０−２菫ΔＳ ＝ ３．２
０φ１Ｏ−５ Ａ ｘ ＝ ３．８０ ・１０−’ （７）第５図（ｅ）、第６図（ｇ）の場合水１Ｒ鴫−７
２０゜ Ｂ−１，１７１１４４や １０七 〇−−３．２０２２
４ 争 １ ｇ −１６Ｄ−９，０１８８３拳１０４１
Ｅ＝−８，１１５４３０・１０−２６＊２ Ｒ敞−３
８１，１８ Ｂ−９，７５７７４暢 １Ｏ−Ｉｔ Ｇ−８，８８３［
！８・ １０−１５Ｄ−８，９２２８５＠ １０−１曾
Ｅ−−１，４１３９７２・ １０−２１、ｄ Ｓ ＝
３．２０−１０−” Ａ ｘ ＝ １．１５− １０−６ 第７図、第８図（ａ） 、 （Ｎ 、 （ｅ） 、第９
図（ａ）〜（ｇ）は、それぞれ第３の実施例の構成図、
非点収差図、横収差図であり、凹面鐘旧と凸面鏡Ｍ２と
は非同心を更に大きくしたものである。第３表はこの第
３の実施例の数値例である。
第３表
＊’ Ｒ１−−７２０，０１諺−３４５゜＊２ Ｒ２−
−３８１，１６０２−３４５゜＊ＩＲ３翼−７２０．
Ｄ３雪 − （１）第８図（ａ）、第９図（ａ）の場合＊ ’ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ−１，７３８１１６Φ１０−” Ｃ−３，３４１７１
＠１０−”Ｄ−１，０２８４９・ １０” Ｅ−１，０
３０１０争 １０−２デ木２ Ｒ−３８１，１８ Ｂ＝ ３．４４１９２・１０−１’ Ｃ−１，４６８６
０＠１０−”Ｄ−１，３４４８２・１０−１７ Ｅ−２
，１９０８８４−１０−２’Ｊ’Ｓ ＝ ５．２０鎗１
０−５ Δｘ＝４．２ｌ−１０−６ （２）第８図（ｂ）、第９図（ｂ）の場合水’ Ｒ＝−
７２０゜ Ｂ＝ １．７８３０４−１Ｏ−Ｉｔ Ｇ＝−３，３９１
８３・ｌＯ逼Ｄ−１，０４３９０−１０−２０Ｅ−１，
０４５８０−１ｏｂ５＊２Ｒ−３８１，１８ Ｂ＝ ３．４４１９２ や １０” Ｃ露−１，４８６
ｆｌｉＯ−１０４今Ｄ−１，３４４８２・１Ｏ−Ｉ７Ｅ
−２，ｌ］０８ｆ１４・ｌＯりＩＡ Ｓ ＝ ５．２２
・１０−′； Δｘ ＝ ４．２１ ＠１Ｏ＝ （３）第８図（ｂ）、第９図（ｃ）の場合＊ ” Ｒ−
−７２０゜ Ｂ−１，７６３０４φ １０−１１ Ｇ−３，３１１１
１８３φ１Ｏ−ＩＧＯ−１，０４３１１１０−１０４０
Ｅ−１，０４５８０−１０”’木２Ｒ−３８１，１８ Ｂ−４，１３０３０＠ １０−凰” Ｃ−１，７５１１
９３−１０−１４０−１，８１３７８・１０−”７ Ｅ
−３，４９０３８・１Ｏ−２１Ｊ Ｓ ＝ ５．２２＠
１０〜ジ Δｘ ＝ ５．１５ ｅ １０’ （４）第８図（ｂ）、第９図（ｄ）の場合＊ Ｉ Ｒ−
７２０゜ Ｂ−１，７８３０４−１０” Ｃ−３，３９１８３・１
Ｏ−１６Ｄ−１，０４３１１１０−１０” Ｅ−１，０
４５８０−１０４５＊２Ｒ御−３８１，１１３ Ｂ−２，８２５８３−１０−１０Ｇ−１，２４８８１−
１０−’４Ｄ−１，４３０１３０−１０−１７Ｅ−２，
４７２Ｊ４・１Ｏ（１ΔＳ ＝ ５．２２・１Ｏ−５ Ａ ｘ ＝ ３．５０−１０−ｈ （５）第８図（ｅ）、第９図（’ｅ）の場合＊ ’ Ｒ
＝−７２０゜ Ｂ＝ １．７１９２８０１０−ＩＩ Ｃ＝−３，３，０
７１３９・１０−１６Ｄ＝ １．０１８０３・１０”
Ｅ＝−１，１）１９８０・１０′２５＊ ２Ｒ＝−３８
１，１１３ Ｂ＝ ３．４４１９２・１Ｏ−１０Ｇ＝−１，４８８６
０・１ ｇ −１４０＝ １．３４４８２・１Ｏ−Ｉ７
Ｅ＝−２，９０８ｆ１４−１０々ｌ、ｄ Ｓ ＝ ５．
１８−１０−＋５ Ａ ｘ ＝ ４．２１・１Ｏ−６ （８）第８図（ｅ）、第９図（ｆ）の場合＊ ｌ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ＝ １．７１９２８・１０−’Ｉ Ｇ＝−３，３０７
８１１０１０−１６０＝ １．０１８０３・１Ｏ−２０
Ｅ−１，０１９８０・１０−２５＊ ２ Ｒ＝−３８１
，１Ｅｉ Ｂ＝ ４．１３０３００ｔｏ−１０Ｇ＝−１，７５９９
３−１０−μＤ＝ １．６１３７８・１０−’ Ｅ ＝
−３、４９０３８愉１０−２１ΔＳ＝５．１８・ｌＯ
−ぢ Δｘ＝５．１５・１Ｏ−６ （７）第８図（ｅ）、第９図（ｇ）の場合＊ Ｉ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ−１，７１９２８・１Ｏ−１１Ｇ＝−３，３０７Ｅ１
９・１０−１６ｏ＝ １．０１８０３−１０−２０ Ｅ
＝−１，０１９１３０−１０−２５＊２Ｒ＝−３ｆ３１
．１Ｂ Ｂ＝ ２．９２５６３・１０−’ＯＣ＝−１，２４Ｅ１
８１・１Ｏ−１４Ｄ＝ １．１４３０８０１０−” Ｅ
−２、４？ ２３４・ｌｏ−２１ΔＳ ＝ ５．１８
・ｌＯ−タ Δｘ ＝ ３．５０・１０−６ 上述の各実施例は凹面鏡Ｍ１．凸面鏡Ｍ２の双方を非球
面としたが、凹面鏡旧のみを非球面とするだけでも非点
収差、像面弯曲の補正は十分に実施できる。
−３８１，１６０２−３４５゜＊ＩＲ３翼−７２０．
Ｄ３雪 − （１）第８図（ａ）、第９図（ａ）の場合＊ ’ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ−１，７３８１１６Φ１０−” Ｃ−３，３４１７１
＠１０−”Ｄ−１，０２８４９・ １０” Ｅ−１，０
３０１０争 １０−２デ木２ Ｒ−３８１，１８ Ｂ＝ ３．４４１９２・１０−１’ Ｃ−１，４６８６
０＠１０−”Ｄ−１，３４４８２・１０−１７ Ｅ−２
，１９０８８４−１０−２’Ｊ’Ｓ ＝ ５．２０鎗１
０−５ Δｘ＝４．２ｌ−１０−６ （２）第８図（ｂ）、第９図（ｂ）の場合水’ Ｒ＝−
７２０゜ Ｂ＝ １．７８３０４−１Ｏ−Ｉｔ Ｇ＝−３，３９１
８３・ｌＯ逼Ｄ−１，０４３９０−１０−２０Ｅ−１，
０４５８０−１ｏｂ５＊２Ｒ−３８１，１８ Ｂ＝ ３．４４１９２ や １０” Ｃ露−１，４８６
ｆｌｉＯ−１０４今Ｄ−１，３４４８２・１Ｏ−Ｉ７Ｅ
−２，ｌ］０８ｆ１４・ｌＯりＩＡ Ｓ ＝ ５．２２
・１０−′； Δｘ ＝ ４．２１ ＠１Ｏ＝ （３）第８図（ｂ）、第９図（ｃ）の場合＊ ” Ｒ−
−７２０゜ Ｂ−１，７６３０４φ １０−１１ Ｇ−３，３１１１
１８３φ１Ｏ−ＩＧＯ−１，０４３１１１０−１０４０
Ｅ−１，０４５８０−１０”’木２Ｒ−３８１，１８ Ｂ−４，１３０３０＠ １０−凰” Ｃ−１，７５１１
９３−１０−１４０−１，８１３７８・１０−”７ Ｅ
−３，４９０３８・１Ｏ−２１Ｊ Ｓ ＝ ５．２２＠
１０〜ジ Δｘ ＝ ５．１５ ｅ １０’ （４）第８図（ｂ）、第９図（ｄ）の場合＊ Ｉ Ｒ−
７２０゜ Ｂ−１，７８３０４−１０” Ｃ−３，３９１８３・１
Ｏ−１６Ｄ−１，０４３１１１０−１０” Ｅ−１，０
４５８０−１０４５＊２Ｒ御−３８１，１１３ Ｂ−２，８２５８３−１０−１０Ｇ−１，２４８８１−
１０−’４Ｄ−１，４３０１３０−１０−１７Ｅ−２，
４７２Ｊ４・１Ｏ（１ΔＳ ＝ ５．２２・１Ｏ−５ Ａ ｘ ＝ ３．５０−１０−ｈ （５）第８図（ｅ）、第９図（’ｅ）の場合＊ ’ Ｒ
＝−７２０゜ Ｂ＝ １．７１９２８０１０−ＩＩ Ｃ＝−３，３，０
７１３９・１０−１６Ｄ＝ １．０１８０３・１０”
Ｅ＝−１，１）１９８０・１０′２５＊ ２Ｒ＝−３８
１，１１３ Ｂ＝ ３．４４１９２・１Ｏ−１０Ｇ＝−１，４８８６
０・１ ｇ −１４０＝ １．３４４８２・１Ｏ−Ｉ７
Ｅ＝−２，９０８ｆ１４−１０々ｌ、ｄ Ｓ ＝ ５．
１８−１０−＋５ Ａ ｘ ＝ ４．２１・１Ｏ−６ （８）第８図（ｅ）、第９図（ｆ）の場合＊ ｌ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ＝ １．７１９２８・１０−’Ｉ Ｇ＝−３，３０７
８１１０１０−１６０＝ １．０１８０３・１Ｏ−２０
Ｅ−１，０１９８０・１０−２５＊ ２ Ｒ＝−３８１
，１Ｅｉ Ｂ＝ ４．１３０３００ｔｏ−１０Ｇ＝−１，７５９９
３−１０−μＤ＝ １．６１３７８・１０−’ Ｅ ＝
−３、４９０３８愉１０−２１ΔＳ＝５．１８・ｌＯ
−ぢ Δｘ＝５．１５・１Ｏ−６ （７）第８図（ｅ）、第９図（ｇ）の場合＊ Ｉ Ｒ＝
−７２０゜ Ｂ−１，７１９２８・１Ｏ−１１Ｇ＝−３，３０７Ｅ１
９・１０−１６ｏ＝ １．０１８０３−１０−２０ Ｅ
＝−１，０１９１３０−１０−２５＊２Ｒ＝−３ｆ３１
．１Ｂ Ｂ＝ ２．９２５６３・１０−’ＯＣ＝−１，２４Ｅ１
８１・１Ｏ−１４Ｄ＝ １．１４３０８０１０−” Ｅ
−２、４？ ２３４・ｌｏ−２１ΔＳ ＝ ５．１８
・ｌＯ−タ Δｘ ＝ ３．５０・１０−６ 上述の各実施例は凹面鏡Ｍ１．凸面鏡Ｍ２の双方を非球
面としたが、凹面鏡旧のみを非球面とするだけでも非点
収差、像面弯曲の補正は十分に実施できる。
また、これらの表において、非球面凹面鏡旧の非球面量
ΔＳはΔＳ＝（ΔＲＨ２−７！ＩＲＨＩ）／ΔＨと定義
する。ここで、ΔＨは第１０図（＋）に示すように非球
面凹面鏡Ｍ２でＨ２−旧で与えられる半弧状の良像域を
示し、ΔＲＨＩ 、 ΔＲＨ２は第１０図（ｂ）に示す
ように高さ）Ｉｔ、 Ｈ２における参照球面からの非球
面量を表している。なお、（ｂ）における実線Ａは点０
３を中心とする参照球面を、点線Ｂは非球面を示してい
る。
ΔＳはΔＳ＝（ΔＲＨ２−７！ＩＲＨＩ）／ΔＨと定義
する。ここで、ΔＨは第１０図（＋）に示すように非球
面凹面鏡Ｍ２でＨ２−旧で与えられる半弧状の良像域を
示し、ΔＲＨＩ 、 ΔＲＨ２は第１０図（ｂ）に示す
ように高さ）Ｉｔ、 Ｈ２における参照球面からの非球
面量を表している。なお、（ｂ）における実線Ａは点０
３を中心とする参照球面を、点線Ｂは非球面を示してい
る。
そして、これらの表から判るように非球面量ΔＳは８
、５／１０’と７ 、５／１０との間にあり、Ａｓが８
．５／１０４よりも小となると非球面の変化量が少なく
なり、非球面の効果が薄れてきて広いスリット巾が得ら
れなくなる。また、ΔＳが７ 、５／１０より大きくな
ると非球面の変化量が増大し、サジタル像面Ｓとメリデ
イオナル像面ｍが離れてゆき、広いスリッ） ｌ”１１
が得られなくなる。
、５／１０’と７ 、５／１０との間にあり、Ａｓが８
．５／１０４よりも小となると非球面の変化量が少なく
なり、非球面の効果が薄れてきて広いスリット巾が得ら
れなくなる。また、ΔＳが７ 、５／１０より大きくな
ると非球面の変化量が増大し、サジタル像面Ｓとメリデ
イオナル像面ｍが離れてゆき、広いスリッ） ｌ”１１
が得られなくなる。
また、凸面鏡Ｍ２の非球面量ΔＸは、凸面鏡Ｍ２の有効
径をＤ、第１０図（ｂ）と同様に光軸から凸面鏡Ｍ２の
有効半径の７割の高さにおける凸面鏡Ｍ２の参照球面か
らめた非球面量をΔＲとするとき、ΔＲ／Ｄと定義して
いる。この非球面量ΔＸは１．２／１０Ｇと８／ｌｏ’
（７）間にあり、ΔＸが１．２／１０６よりも小さくな
ると非球面の効果が少なくなり、ΔＸが８／１０Ｇより
も大きくなると非球面の変化量が増大し、広いスリット
巾が得られなくなる。
径をＤ、第１０図（ｂ）と同様に光軸から凸面鏡Ｍ２の
有効半径の７割の高さにおける凸面鏡Ｍ２の参照球面か
らめた非球面量をΔＲとするとき、ΔＲ／Ｄと定義して
いる。この非球面量ΔＸは１．２／１０Ｇと８／ｌｏ’
（７）間にあり、ΔＸが１．２／１０６よりも小さくな
ると非球面の効果が少なくなり、ΔＸが８／１０Ｇより
も大きくなると非球面の変化量が増大し、広いスリット
巾が得られなくなる。
次に、本発明に係る反射光学系を半導体焼付装置に適応
した例を第１１図、第１２図を使用して説明する。第１
１図は焼付装置の光学的配置を示し、ｌはマスク照明用
光学系であり、水平な光軸に沿って球面ミラー２、円弧
状水銀ランプから成る光源３、レンズ４、フィルタ５．
４５度ミラー６、レンズ７が配置されている。なお、フ
ィルタ５はウェハーに対して感光性を有する光を除去し
、マスクΦウェハーの７ライメント時に照明光路中に挿
入される。このマスク照明用光学系１はマスクを円弧状
に或いは半弧状に開明することによって、反射光学系の
結像領域を円弧状或いは半弧状に制限している。８は１
部水平面に配置されたマスクであり、このマスク８は図
示しない公知のマスク保持具によって保持されている。
した例を第１１図、第１２図を使用して説明する。第１
１図は焼付装置の光学的配置を示し、ｌはマスク照明用
光学系であり、水平な光軸に沿って球面ミラー２、円弧
状水銀ランプから成る光源３、レンズ４、フィルタ５．
４５度ミラー６、レンズ７が配置されている。なお、フ
ィルタ５はウェハーに対して感光性を有する光を除去し
、マスクΦウェハーの７ライメント時に照明光路中に挿
入される。このマスク照明用光学系１はマスクを円弧状
に或いは半弧状に開明することによって、反射光学系の
結像領域を円弧状或いは半弧状に制限している。８は１
部水平面に配置されたマスクであり、このマスク８は図
示しない公知のマスク保持具によって保持されている。
このマスク８の下方には、マスク８の像をウェハー９．
ｈに形成する本発明に係る反射光学系１０が配置されて
いる。なお、物体側Ｓｔと像面Ｓ２側とは先の実施例と
異なり分離されており、それぞれミラー１１．１２によ
って光束偏向して使用される。
ｈに形成する本発明に係る反射光学系１０が配置されて
いる。なお、物体側Ｓｔと像面Ｓ２側とは先の実施例と
異なり分離されており、それぞれミラー１１．１２によ
って光束偏向して使用される。
ウェハー９は公知のウェハー保持具によって保持されて
おり、ウェハー保持具は通常の保持具と同様にｘ、Ｙ、
θ方向に微調整可能となっている。
おり、ウェハー保持具は通常の保持具と同様にｘ、Ｙ、
θ方向に微調整可能となっている。
照明用光学系としてマスク８との間には、アライメント
時に顕微鏡光学系１３が挿入され、マスク８、ウェハー
９が所定の位置関係であるか否かが判断される。マスク
８、ウニ／＼−９が所定の位置関係にない場合は、先に
述べたウェハー保持具のＸ、Ｙ、θ調整部材により、マ
スク８に対してウェハー９を調節移動させて所定の関係
にする。
時に顕微鏡光学系１３が挿入され、マスク８、ウェハー
９が所定の位置関係であるか否かが判断される。マスク
８、ウニ／＼−９が所定の位置関係にない場合は、先に
述べたウェハー保持具のＸ、Ｙ、θ調整部材により、マ
スク８に対してウェハー９を調節移動させて所定の関係
にする。
続いて、この焼付装置の外観が示された第１２図を説明
する。第１２図において、２０はランプハウスであり、
この中に第１１図の照明光学系１が内蔵されている。２
１はアライメント用顕微鏡光学系１３が配置されている
ユニｙ ）であり、このユニット２１は前後に移動可能
に支持されている。２２はマスク支持具、２３はウェハ
ー支持具であり、これらの支持具２２．２３は結合部材
２４によって一体的に移動するように連結されている。
する。第１２図において、２０はランプハウスであり、
この中に第１１図の照明光学系１が内蔵されている。２
１はアライメント用顕微鏡光学系１３が配置されている
ユニｙ ）であり、このユニット２１は前後に移動可能
に支持されている。２２はマスク支持具、２３はウェハ
ー支持具であり、これらの支持具２２．２３は結合部材
２４によって一体的に移動するように連結されている。
ここで、支持具２２．２３は一体的に移動するが、ウェ
ハー９は支持具２３に対して微小移動が可能である。２
５は結合部材２４に固定されたアームであり、このアー
ム２５はガイド２６によって支持されている。そして、
ガイド２６に舎まれる水平移動機構によって、支持具２
２．２３は一体的に水平にかつ直線的に移動される。２
７は反射結像光学系を収納する筒、２８は基台、２９は
ターンテーブル、３０はオートフィーダである。このオ
ートフィーダ３０によってウェハー９はターンテーブル
２９を介してウェハー支持具２３上に自動的に供給され
る。
ハー９は支持具２３に対して微小移動が可能である。２
５は結合部材２４に固定されたアームであり、このアー
ム２５はガイド２６によって支持されている。そして、
ガイド２６に舎まれる水平移動機構によって、支持具２
２．２３は一体的に水平にかつ直線的に移動される。２
７は反射結像光学系を収納する筒、２８は基台、２９は
ターンテーブル、３０はオートフィーダである。このオ
ートフィーダ３０によってウェハー９はターンテーブル
２９を介してウェハー支持具２３上に自動的に供給され
る。
次に、この装置の動作を説明すると、先ずマスク８とウ
ェハー９の相互位置関係のアライメントが行われる。こ
のアライメント時には、前述したフィルタが照明用光学
系１中に挿入され、マスク８上にレンズ４．７によって
半弧状光源像が非感光性の光によって形成される。この
際に、顕微鏡光学系１３もレンズ７とマスク８の間に挿
入されている。この顕微鏡光学系１３によって、マスク
８、ウェハー９のアライメントマークを観察し、両アラ
イメントマークの調整をウェハー支持具２３を操作する
ことによって行う。マスク８、ウェハー９のアライメン
ト終了後に、前述のフィルタ及び顕微鏡光学系１３は光
路から退避する。
ェハー９の相互位置関係のアライメントが行われる。こ
のアライメント時には、前述したフィルタが照明用光学
系１中に挿入され、マスク８上にレンズ４．７によって
半弧状光源像が非感光性の光によって形成される。この
際に、顕微鏡光学系１３もレンズ７とマスク８の間に挿
入されている。この顕微鏡光学系１３によって、マスク
８、ウェハー９のアライメントマークを観察し、両アラ
イメントマークの調整をウェハー支持具２３を操作する
ことによって行う。マスク８、ウェハー９のアライメン
ト終了後に、前述のフィルタ及び顕微鏡光学系１３は光
路から退避する。
同時に、光源３は消灯或いは図示しないシャッタ手段に
よって遮光され、次いで光源３の点灯或いはシャッタの
開放によって、感光性の半弧状光源像がマスク８上に形
成される。これと同時に、アーム２５がガイド２６を水
平方向に移動開始する。この水平移動によってマスク８
全体の像がウェハー９上に焼付けられることになる。
よって遮光され、次いで光源３の点灯或いはシャッタの
開放によって、感光性の半弧状光源像がマスク８上に形
成される。これと同時に、アーム２５がガイド２６を水
平方向に移動開始する。この水平移動によってマスク８
全体の像がウェハー９上に焼付けられることになる。
以ヒ説明したように本発明に係る反射光学系は、凹面鏡
の非球面化により補正領域の各像高でのサジタル像面Ｓ
、メリディオナル像面ｍを広範囲に一致するように補正
することができる。また良像域の拡大、即ちスリット幅
の拡大によって露光装置における露光時間を短縮できる
という効果が得られる。特に、凹面鏡と凸面鏡との同心
性が制限されることがないので、これらの配置位置をさ
ほど問題にせずに、高性能の反射光学系が得られる利点
がある。また、必要に応じて凸面鏡をも非球面とするこ
とにより、非球面の凹面鏡で発生する横収差を補正して
補正像高の良像域を更に拡大することが可能になる。な
お実施例によれば、像高りが１００〜９０ｍｍ即ちスリ
ット巾が約１０ｍｍまでに良像域が拡大されている。
の非球面化により補正領域の各像高でのサジタル像面Ｓ
、メリディオナル像面ｍを広範囲に一致するように補正
することができる。また良像域の拡大、即ちスリット幅
の拡大によって露光装置における露光時間を短縮できる
という効果が得られる。特に、凹面鏡と凸面鏡との同心
性が制限されることがないので、これらの配置位置をさ
ほど問題にせずに、高性能の反射光学系が得られる利点
がある。また、必要に応じて凸面鏡をも非球面とするこ
とにより、非球面の凹面鏡で発生する横収差を補正して
補正像高の良像域を更に拡大することが可能になる。な
お実施例によれば、像高りが１００〜９０ｍｍ即ちスリ
ット巾が約１０ｍｍまでに良像域が拡大されている。
図面は本発明に係る反射光学系に実施例な示し、第１図
、第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｅ） 、第３図（
ａ）〜（ｇ）はそれぞれ本発明の第１の実施例の構成図
、非点収差図、横収差図、第４図、第５図（ａ） 、
（ｂ） 、 （ｅ） 、第６図（ａ’）〜（ｇ）はそれ
ぞれ第２の実施例の構成図、非点収差図、横収差図、第
７図、第８図（ａ） 、 （ｂ）、 （ｅ） 、第９図
（ａ）〜（ｇ）はそれぞれ第３の実施例の構成図、非点
収差図、横収差図、第１０図（ａ）、 （ｂ）は非球面
量ΔＳの説明図、第１１図、第１２図は本発明に係る反
射光学系を使用した焼付装置の構成図である。 符号Ｍｌは凹面鏡、Ｍ２は凸面鏡、ｈは補正領域、０２
は凸面鏡の中心、ΔＨは良像域、Ｓはサジタル像面、ｍ
はメリディオナル像面、■は照明用光学系、８はマスク
、９はウェハー、１０は反射光学系、１３は顕微鏡光学
系である。 特許出願人 キャノン株式会社 第１図 （Ｇ） （ｂ） （ｅ） −〇、ｌｕ υ・−ノ −（Ｊ−ＺＩＪ ｕ、ｚυ Ｕ
、Ｚυ ０，２υ第３図 幹） （ｂ） （ｃ） 第３図 （ｄ） （ｅ） （ｆ） 第３図 （９） 第６図 （Ｃ１） （ｂ） （Ｃ） 第６図 （ｄ） （ｅ） （ｆ） 第６図 （９） 第７図 錦８図 （Ｇ） （ｂ） （ｅ） 第９図 Ｑ） 第９図 （ｂ） （Ｃ） （ｄ） 第９図 （ｅ） （ｆ） （９）
、第２図（ａ） 、 （ｂ） 、 （ｅ） 、第３図（
ａ）〜（ｇ）はそれぞれ本発明の第１の実施例の構成図
、非点収差図、横収差図、第４図、第５図（ａ） 、
（ｂ） 、 （ｅ） 、第６図（ａ’）〜（ｇ）はそれ
ぞれ第２の実施例の構成図、非点収差図、横収差図、第
７図、第８図（ａ） 、 （ｂ）、 （ｅ） 、第９図
（ａ）〜（ｇ）はそれぞれ第３の実施例の構成図、非点
収差図、横収差図、第１０図（ａ）、 （ｂ）は非球面
量ΔＳの説明図、第１１図、第１２図は本発明に係る反
射光学系を使用した焼付装置の構成図である。 符号Ｍｌは凹面鏡、Ｍ２は凸面鏡、ｈは補正領域、０２
は凸面鏡の中心、ΔＨは良像域、Ｓはサジタル像面、ｍ
はメリディオナル像面、■は照明用光学系、８はマスク
、９はウェハー、１０は反射光学系、１３は顕微鏡光学
系である。 特許出願人 キャノン株式会社 第１図 （Ｇ） （ｂ） （ｅ） −〇、ｌｕ υ・−ノ −（Ｊ−ＺＩＪ ｕ、ｚυ Ｕ
、Ｚυ ０，２υ第３図 幹） （ｂ） （ｃ） 第３図 （ｄ） （ｅ） （ｆ） 第３図 （９） 第６図 （Ｃ１） （ｂ） （Ｃ） 第６図 （ｄ） （ｅ） （ｆ） 第６図 （９） 第７図 錦８図 （Ｇ） （ｂ） （ｅ） 第９図 Ｑ） 第９図 （ｂ） （Ｃ） （ｄ） 第９図 （ｅ） （ｆ） （９）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、凹面鏡と凸面鏡のそれぞれの反射面同志を対向させ
、前記凹面鏡の反射面側前方に配置した被被写体からの
光束が、前記凹面鏡、前記凸面鏡、前記凹面鏡の順に反
射した後に結像する反射光学系であって、前記被写体の
前記反射光学系の光軸外の領域から前記光軸と平行に射
出した光線が、前記凹面鏡で反射した後に前記凸面鏡と
前記光軸との交点に入射するように、前記凹面鏡を非球
面としたことを特徴とする反射光学系。 ２、前記凸面鏡を非球面とした特許請求の範囲第１項に
記載の反射光学系。 ３、前記凹面鏡の非球面の形状街前記光軸より離れるに
従い負の屈折力成分が増大するようにした特許請求の範
囲第１項に記載の反射光学系。 ４、前記凸面鏡の非球面の形状を前記光軸より離れるに
従い正の屈折力成分が増大するようにした特許請求の範
囲第２項に記載の反射光学系。 ５、前記被写体を前記光軸からの高さ旧と高さＨ２とで
囲まれる領域ΔＨ内に配置し、前記凹面鏡の参照球面か
らの鼻球面量を負の屈折力を増大させる方向を正符号と
し、前記光軸からの高さ旧と高さＨ２におけるそれぞれ
の非球面量なそれぞれΔＲＨＩ 、 ＡＲＨ２としたと
き、 ８．５／１０４≦１ （ΔＲＨ２−ΔＲ旧）／ΔＨ１≦
７ 、５／Ｉ Ｏ なる条件を満足する特許請求の範囲第１項又は第３項に
記載の反射光学系。 ６、前記凸面鏡の有効径をＤとし、前記光軸から前記凸
面鏡の有効半径の７割の高さにおける前記凸面鏡の参照
球面からの非球面量をΔＲとするとき、 １．２／１０’＜ΔＲ／Ｄ、＜８／１０’なる条件式を
満足するようにした特許請求の範囲第２項又は第４項に
記載の反射光学系。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59057582A JPS60201315A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | 反射光学系 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59057582A JPS60201315A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | 反射光学系 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60201315A true JPS60201315A (ja) | 1985-10-11 |
| JPH0533371B2 JPH0533371B2 (ja) | 1993-05-19 |
Family
ID=13059844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59057582A Granted JPS60201315A (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | 反射光学系 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60201315A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6318626A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-26 | Canon Inc | 投影露光装置 |
| JPS63312639A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-21 | Canon Inc | 露光装置 |
| JPS63312640A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-21 | Canon Inc | 露光装置 |
| JPH03180810A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-06 | Hughes Aircraft Co | 自動車計器群用の二重ミラー虚像表示装置 |
| JPH07147229A (ja) * | 1994-08-04 | 1995-06-06 | Canon Inc | Ｘ線投影露光装置 |
| JPH07147230A (ja) * | 1994-08-04 | 1995-06-06 | Canon Inc | 縮小投影露光装置および半導体製造方法 |
-
1984
- 1984-03-26 JP JP59057582A patent/JPS60201315A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6318626A (ja) * | 1986-07-11 | 1988-01-26 | Canon Inc | 投影露光装置 |
| JPS63312639A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-21 | Canon Inc | 露光装置 |
| JPS63312640A (ja) * | 1987-06-15 | 1988-12-21 | Canon Inc | 露光装置 |
| JPH03180810A (ja) * | 1989-11-30 | 1991-08-06 | Hughes Aircraft Co | 自動車計器群用の二重ミラー虚像表示装置 |
| JPH07147229A (ja) * | 1994-08-04 | 1995-06-06 | Canon Inc | Ｘ線投影露光装置 |
| JPH07147230A (ja) * | 1994-08-04 | 1995-06-06 | Canon Inc | 縮小投影露光装置および半導体製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0533371B2 (ja) | 1993-05-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |