JPS60198741A - 断線検出機能を有したワイヤボンダ - Google Patents

断線検出機能を有したワイヤボンダ

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JPS60198741A
JPS60198741A JP59054288A JP5428884A JPS60198741A JP S60198741 A JPS60198741 A JP S60198741A JP 59054288 A JP59054288 A JP 59054288A JP 5428884 A JP5428884 A JP 5428884A JP S60198741 A JPS60198741 A JP S60198741A
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高杉　信博
Yasushi Ishii
康 石井
Isamu Yamazaki
勇 山崎
Ryuichi Kyomasu
隆一 京増
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Hitachi Tokyo Electronics Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Ome Electronic Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は断線検出技術、特に、ワイヤボンダによるベレ
ットへのワイヤボンディング時における断線の検出に適
用して効果のある技術に関するものである。
〔背景技術〕
ワイヤボンダによるボンディングを行う場合、ワイヤが
クランパに引っ掛かったりすること等により断線不良を
生じることがある。この断線が発生した場合には可及的
速やかに断線検出を行ってボンディングを中断しないと
、いわゆる空打ちが行われてしまい、大量のボンディン
グ不良を生じてしまうことになる。
そこで、ワイヤ毎に断線検出を行うことが考えられ、そ
の中にはワイヤクランパの電位を検出する方式が考えら
れる。
しかし、ワイヤ毎の断線検出を行う場合にも、断線検出
を何らかの理由で誤ったとすれば、空打ちにより未配線
不良が多量に発生し、作業者が気付くまで不良の発見が
できないという問題があることを本発明者は見い出した
。
特に、放電トーチを利用してワイヤにボールを形成する
方式において断線検出を行う場合、コイルを用いて放電
電流を検出することが考えられるが、この場合には検出
の確実性に次げるという問題点がある。
また、高電圧発生二次側のエネルギー充電用キャパシタ
の電位を検出する方式も考えられるが、確実な検出を融
通性をもって行うことができないということを本発明者
は見い出した。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、ワイヤの断線を確実に検出することの
できる断線検出技術を提供するものである。
本発明の前記ならび忙その他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。
〔発明の概要〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、次の通りである。
すなわち、放電トーチを利用してワイヤにボールを形成
する装置の放電回路内に７オトカプラを設け、このフォ
トカプラにより放電電流の有無または時間に基づいてワ
イヤの断線を検出することにより、断線を確実に検出で
きる等の目的を達成できるものである。
〔実施例１〕 第１図は本発明の一実施例を示す断線検出装置の回路−
である。
この実施例において、ワイヤ１は基端側か接地された状
態でスプール２に巻かれ、先端側はクランパ３、キャピ
ラリー４を経て下方に延び、下端は放電電極５に接近し
ている。放電電極５はワイヤ１．キャピラリー４．スプ
ール２．接地、保護用ダイオード６、フォトカプラＰＣ
１，変圧器７゜抵抗Ｒ８を経て放電回路を形成している
。フォトカプラＰＣＩの出力側はトランジスタＴＲ８の
ベース入力に接続され、増巾されるようＫなっている。
７オトカプラＰＣＩは、放電回路の種々の容量成分によ
り、放電電極５とワイヤ１の先端との間に放電がなくて
も放電または充電電流が７オトカプラＰＣＩＫよって検
出されてしまうことを防止するために設けられたボリュ
ーム用の可変抵抗Ｒ２と接続されているが、この可変抵
抗Ｒ１の代り処置定抵抗を用いることも可能である。　
。
放電の有無はトランジスタＴＲ８だけでも十分検出でき
る。ただし、ワイヤ１の状態によっては、放電時間が短
かい場合にはエネルギー不足となり、良好なボール形成
ができない。そこで、本実施例では、トランジスタＴＢ
Ｓに可変抵抗Ｒ８、コンデンサＣを接続し、これらのＲ
１とＣとにより、一定時間以下の放電は不良として放電
無しの状態と同じにすることによって、不良放電、不良
ボールを検出できるよう構成されている。なお、これら
のＲ３とＣはワンシ目ットマルチバイプレータの如き回
路に置き換えてもよい。
さらに、前記可変抵抗Ｒ８はインバータ８を介して第２
のフォトカプラＰＣ２に接続されている。
このフォトカプラＰＣ２は外部制御部への出力を行う場
合に電気的に制御するためのものである。
なお、第１図の符号９は高圧制御回路を示している。
〔実施例２〕 第２図は本発明の実施例２を示すブロック図である。
この実施例は、放電回路のワイヤのみを直接接地させ、
そのワイヤの接地電位を検出して放電トリガすなわち電
圧を制御するものである。
すなわち、本実施例では、ワイヤｌはスプール２側の端
部のみで接地されている。そして、トリガ回路１０は高
電圧発生回路１１を経て電極５に接続され、またクラン
パ３はワイヤ電位検出回路１２を経てトリガ回路１０に
接続されている。
本実施例における放電は、高電圧発生回路１１から電極
５、キャピラリー４、スプール２、接地、該回路１１の
マイナス電極の順序で行われる。
したがって、ワイヤ１がたとえばＡ部で断線し、スプー
ル端側か非接地となった場合、開路となって、放電しな
いので、放電有無検出回路で検出されるはずであるが、
実際には高電圧が発生されると、様々な容量成分に充電
されるため、放電が行われてしまう。ワイヤは接地され
ていない状態の為、これらの容量の充電電圧が、ワイヤ
の電位として残存しペレット上のボンディング時に素子
に印加されることになる。この電位が素子破壊電位より
高い為、素子を破壊に至らしめる。又、一方放電が行な
われる為、放電有無検出回路は、ワイヤの断線なしと判
断し、ボンディング動作を続行するので、次々と素子を
破壊していくことになる。
そこで、本実施例では、たとえばワイヤ電位検出回路で
クランパ３の電位を検出し、接地状態になければ、トリ
ガ回路１０を制御して高電圧を発生しないようになって
いる。それ故、たとえばＡ部の断線によりワイヤ１が非
接地になると、放電が行われないので、異常の検出が可
能となる。また、本実施例では、ワイヤ１が接地状態で
なげれば放電しないので、ワイヤ１が非接地で放電され
ることにより放電エネルギーが蓄積されて素子破壊電圧
を超え、素子を破壊することを防止できる。
〔効果〕
（１）　ワイヤの断線検出を放電回路内に設けたフォト
カプラで行なうことにより、断線検出を確実に行うこと
ができる。
（２）　ワイヤの接地状態を検出し、接地状態になけれ
ば放電しないことにより素子の破壊を防止することがで
きる。
（３）　フォトカプラで高圧部分と制御回路部分が分離
されるので、ノイズが低減される。
（４）　装置のコストが安くなる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
たとえば、放電回路の構成等は前記以外のものを用いる
ことができる。
〔利用分野〕
以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるワイヤボンダの断線
検出に適用した場合について説明したが、それに限定さ
れるものではなく、たとえば、それ以外にも放電トーチ
、放電回路を使用する他の装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す回路図、第２図は本発
明の他の実施例を示すブロック図である。 ｌ・・・ワイヤ、２・・・スプール、３・・・クランパ
、４・・・キャピラリー、５・・・電極、６・・・保護
用ダイオード、７・・・変圧器、８・・・インバータ、
９・・・高圧制御回路、１０・・・トリガ回路、１１・
・・高電圧発生回路、１２・・・ワイヤ電位検出回路、
ＰＣＩ・・・フォトカプラ、ＰＣ２・・・７オトカプラ
、Ｒ７・・・抵抗、Ｒ２゜代理人　弁理士　高　橋　明
　夫

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １、放電トーチを利用してワイヤにボールを形成する装
    置であって、放電回路内に７オトカプラを設け、この７
    オトカプラにより放電電流の有無または時間によってワ
    イヤの断線を検出することを特徴とする断線検出装置。 ２．７オトカプラは、ワイヤが接地状態にない場合、放
    電による電圧印加の影響を受けないように保護されてい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の断線検
    出装置。 ３、断線検出装置がワイヤボンダに用いられることを特
    徴とする特許請求の範囲第１項及び第２項記載の断線検
    出装置。 ワイヤの接地状態を検出し、接地状態にない場合は放電
    しない様にすることにより素子に破壊電圧以上の電圧が
    印加されない様にして素子を保護することを特徴とする
    装置。
JP59054288A 1984-03-23 1984-03-23 断線検出機能を有したワイヤボンダ Granted JPS60198741A (ja)

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JP59054288A JPS60198741A (ja) 1984-03-23 1984-03-23 断線検出機能を有したワイヤボンダ

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JPS60198741A true JPS60198741A (ja) 1985-10-08
JPH0444420B2 JPH0444420B2 (ja) 1992-07-21

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0412544A (ja) * 1990-05-02 1992-01-17 Kaijo Corp 半導体組立装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0412544A (ja) * 1990-05-02 1992-01-17 Kaijo Corp 半導体組立装置

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JPH0444420B2 (ja) 1992-07-21

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