JPS60196007A - 弾性表面波装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （ａ）　発明の技術分野 本発明（は比ｉ［基板上にダメ指電極より４１を成した
２ケのトランスジー−サを並列接続してなる弾性表面波
Ｉ４置に関する。

（ｂ）　従来技術と問題点 従来、同一の前退ｊ・副波数を有し、温度特性の少ない
弾性表向波装置を実現するために夫々温度特性の異なる
圧電）、に、１焚上に作られた弾性表向波装置を２ケ組
合せて周波数温度特性の改善を計っている。

ここ（・て弾性表向波装置の周波数は圧電＾（板の材質
、交叉用のピッチ（以下、波（ｅ−と称す）、膜厚等ｆ
（よって決定される。

以下、従来の５１１１＠′表面波装置′ｆｆ：ｍ　１図
に従って説明する。図中１は第１弾性表面波装置、２は
第２弾性表面波装置、１−１．　］−２，２−１，２−
２は入力端子、１−３．１−４．２−３．２−４は出力
端子を示す０ 第２１１）、　（ＩＩ）は夫々異なる頂点温度特性（Ｔ
、。

Ｔ２　）を有する弾性表面波装置１及び２の周波数温度
特性を示す。

第１図において、同一の周波数を有し、頂点温度特性の
夫々界なる弾性表面波装置１及び２を並列接続して周波
数温度特性の改傅を計るに際し、第２図に示す周波数温
度特性（１）を有する弾性表面波装置１と第２図に示す
周波数温度特性（ｎ）を有する弾性表面波装置２の夫々
の入力端子１−１〜１−４及び出力端子２−１〜２−４
を並列接続して、ｌケの弾性表面渡架＋ｅｌ　ｋ構成す
ると、その総合の周波数温度特性は第２図に示す如く周
波数温度特性が大幅Ｃ（改善され、温度特性の安定な弾
性表面波装置とすることが出来る。

すなわち、温度による周波数の許容変化郊−をΔＦとす
るとき、弾性表面波装置］のみの場合使用温度範囲はΔ
Ｔ、であり、弾性表面波装置２のみの場合使用温度範囲
はΔＴ！であるが、弾性表面波装置σ】、２を並列接続
することにより、その使用温度範囲がΔＴと改善される
。しかし、上記の構成は夫々異なった圧電基板上に又又
指電極Ｖごて作らた弾性表面波装置を２ケ必要とする欠
点がある。

（ｃ）　発明の目的 本発明は上記の欠点を解決するために、１ケの圧電基板
上に２組のトランスジー−サを構成して周波数温度特性
を改善した弾性表面波装置を提供することを目的とする
。

（ｄ）　発明の構成 本発明はｉｉＩ記の目的を達成するために、圧電基板上
の父叉指ＦＭ、極よりなる複数の入出カドランスジー−
すを並列接続してなる弾性表１ｎ１波装置において、前
記トランスジ、〜−サの夫々の中心周波数を同一にする
とともに、該トランスジっ一−サの夫々の波長と膜厚金
変えて夫々のトランスジー−サの周波数温度特性の頂点
温度を異ならせる手段を設けたこと全特徴とする〇 （ｅ）　発明の実施例 本発明は圧電基板上に夫々周波数温度特性が異なる様に
第１及び第２トランスジー−ザの夫々の波長２膜厚を変
えて構成し、夫々全並列接続して周波数温度特性を改善
したものである。

以下、図面に従って本発明の詳細な説明する。

第３図は本発明の弾性表面波装置の一実施例構成図を示
す。図中、３１ｌ−１：ＥＦ　′一基板、４−１．４−
２は入力端子、４−３．４−４は出力端子、５に発振器
、６−１〜６−８は共通電極、７−１〜７−ｎ、８−］
〜８−ｎ。

９−１〜９−ｎ、１０−１〜１０−ｎ、１１−１〜１１
〜ｎ、１２−１〜１２−ｎ、１３−１〜１３−ｎ、１４
−１〜１４−ｎは交叉指形の電極、１５は負荷を示す。

第３図において、発振器５より出力された１Ｈ号は入力
端子４−１．４−２を経て圧電基板上３に設置された共
通電極６−１．６−２．６−３及び６−４によってなる
第１トランスジユーサ及び共通電ｆ６−５．Ｇ−６及び
６−７．６−８によって々る第２トランスジ＝−サをに
仁で負荷１５（（特定の周波数の信号を出力端子４−３
．４−４を経て伝送する。

上３ピの第１トランスジユーサの共通電極６−１゜６−
２側の入力部にて、人力された信号に同調して共振し、
その共振出力は共通電極６−３．６−４側の受（宮邸１
１こて波」Ｘ、１厚厚によって決定される特定の周波数
に選択され出力される。

上記の第２トランスジユーサの共通４極６−５゜６−６
側の入力部及び６−７．６−８側の受信部においても前
ｉ己の第１トランスジューサと同様の手法（（て共振及
び周波数の選択が行われ、特定の周波数の信号が負荷］
５に供給される。

上記の第１トランスジー−サの周波数温１斐特性Ｉｔｅ
ｍ　４　ｉ’４（イ）Ｖこ示す如くなり、第２トランス
ジユーザの周波数温度、ｊ￥性（徒弟４図（ロ）に示す
叩くなる。

第１トランスジユーサ及び潟２トランスジューサを並列
接続したその総合特性１ｄ８Ｔ４図（ハ）に示す如くな
り、周波数温度特性が曲名の（イ）、（ロ）に比して改
善されている。

第５図は本発明に係る同−周波数で使用する第１トラン
スジー−サ及び叱２トランスジユーザの周波数温度特性
全改善するために調整する波１にと膜厚の説明図で、説
明上第３図の第１トランスジー−サの共通電極６−１．
６−２の波長と膜厚についで説明する図中、ｔは膜厚、
λは波長を示す。

第１トランスジー−サの共振周波数（以下、周波数ｆ、
と称す）ｆｏは波長λ、膜ｊツｔに対し、夫々次の関係
全ゼする。

１ ｆ、ｃｃ′Ｔ、　ｆｏＣＣＨ たけ変化させること（どこよｐｌ　ｆｏを一定にするこ
とが可能である。この原理を用いて、第１トランスジー
−サ周波数ｆ、全一定にすることが出来る。

また、周波数温度特性の頂点温度（Ｔｏ）ｌ−１：、Ｔ
Ｏｃｃ丁 である。それ故、周波数を同一にして頂点温度の異なる
トランスジューサを作ることができる。

（ｆ）　発明の詳細 な説明した如く、従来弾性表面波装置の温度特性全改善
するためには、同一周波数を有し、頂点温度特性の異な
る２ケの弾性表面波装置を必要とする欠点があったが、
本発明によれば同一基板上に作られた第１及び第２トラ
ンスジユーサの膜厚、波長を調整することにより、温度
特性の優れた弾性表面波装置を実現出来る利点を有する
。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の同一周波数の２ケの弾性表面波装置でイ
１７？成した弾性表面波装置、第２図は第１図の周波数
温度特性、第３図は本発明の実施例、第４図は第、３図
の周波数温度特性、第５図は本発明に係る波長と膜厚を
示す。 図中、１，２はトランスジー−サ（弾性表面波装置）、
１−１〜１−４．２−１〜２−４は端子、３は圧１Ｈ，
基板、４−１〜４−４は端子、５は発振器、６−１〜６
−８は共辿電祢、７−１〜７−ｎ、８−１〜８−ｎ、９
−１−９−ｎ、１Ｏ−１−１０−ｎ、１ｌ−１−１１−
ｎ、１２−１−１２−ｎ、１３−１〜１３−ｎ、１４−
１〜１４−ｎは−を極、１５は発振器、λは波長、Ｌは
膜厚を示す。・′！ｆ）Ｉ　図 １、Ｊ 勇　２　図 第３図 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 圧心基根上の交叉指電仲よりなる複数の入出力トランス
   ジー−サを並列接続してなる弾性表面波装置にｔ・いて
   、前記トランスジー−サの夫々の中心周波数を同一にす
   るとともに、該トランスジ−サの夫々の波シと膜厚を変
   えて夫々のトランスジー−サの周波数温度特性の頂点温
   度を異ならせる手段を設けたこと全特徴とするガ【性表
   ｍｉ波装置。