JPS593887B2 - 多重チヤネル音響電気コンボルバ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 発明の分野 この発明は一般に音響電気、または空間電荷増強コンボ
ルバに関するものであり、より特定的には、互いに反対
方向に伝播する表面弾性波に関連する電界を検出するた
めの結合手段が分布された複数個のチャネルを有する音
響電気コンボルバに関するものである。

先行技術の説明 音響電気、または空間電荷増強コンボルバの動作は、た
とえば、半導体材料の層またはウェハにおける電荷キャ
リアと、圧電膜またはサブストレーｌを互いに反対方向
に伝播する表面弾性波によって発生された電界との非線
形相互作用または一連の半導体ダイオードで混合する非
線形信号に基づく。

この種タイプのこれまでの装置は、ニオブ酸リチウムの
圧電サブストレートと音響ビーム上に離隔された、また
はサブストレート上の、弾性波のための伝播経路の上に
離隔された、シリコンのウェハとを用いる。

圧電サブストレートとシリコンウェハとの間のエアギャ
ップの間隔は１０００オングストロームのオーダである
。

そのような装置について議論するため、たとえば、’
Ｇ、Ｓ、ＫｉｎｏｔＷ、Ｒ，５ｈｒｅｖｅ およびＨ，
Ｒ，Ｇａｕｔｉｅｒ。

“Ｐａｒａｍｅｔｒｉｃ Ｉｎｔｅｒａｃｔｉｏｎｓ
ｏｆＲａｙ １ ｅ ｉ ｇｈ Ｗａｖｅ ｓ 、”１
９７２ ＵｌｔｒａｓｏｎｉｃＳｙｍｐｏｓｉｕｍ
Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ、丁ＥＥＥＣａｔ。

扁７２ ＣＨＯ７０８−８ＳＵ、２８５−２８７頁、
ならびにＪ 、Ｍ、 Ｓｍ１ｔｈ、 Ｅ、５ｔｅｒｎ。

およびＡｂｒａｈａｍ Ｂｅｒｓ、 ” Ａｃｃｕｍｕ
ｌａｔｉｏｎ−Ｌａｙｅｒ ５ｕｒｆａｃｅ −Ｗａｖ
ｅ Ｃｏｎｖｏｉｖｅｒ、 ”Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ
ｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ、 Ｖｏｌ 、９ 、Δ６６
５Ｍａｒｃｈ ２２，１９７３．１４５−１４６頁を
参照されたい。

上記の記事に議論したエアギャップコンボルバにおいて
、出力信号は１対の電極で検知される。

その電極の一方は半導体ウェハの外側または頂部面上に
ありかつ他方は圧電サブストレートの底部または外側面
上にある。

エアギャップコンボルバの主な欠点は、半導体ウェハが
圧電サブストレートからエアギャップを横切って正確か
つ均一に離隔されなければならないような形態では、一
貫した結果を得るのに必要とされるトレランスで多量に
製造するのが困難で費用がかかるということである。

しかしながら、もしも半導体ウェハが圧電サブストレー
トと直接接触して配置されれば、それは表面弾性波の伝
播と干渉する。

それゆえに、インターディジタルトランスジューサタッ
プのアレイの利用およびマルチスｌ−ＩＪツブ結合器に
興味が向けられる。

マルチストリップ結合器は圧電表面弾性波のベクトルに
垂直な圧電表面弾性波伝播媒体の表面に設けられる平行
に密接に一定間隔を隔てた狭いストリップの導体材料の
アレイである。

マルチストリップ結合器は相互作用領域、または伝播経
路上にあり、そこから外方へ延びる。

このようなマルチストリップ結合器はＦ 、 Ｇ、 Ｍ
ａｒ ｓｈａ Ｉ ｌ およびＥ、Ｇ、Ｓ。

ＰＡＩＧＥ、“Ｎｏｖｅｌ Ａｃｃｏｕｓｔｉｃ−８ｕ
ｒｆａｃｅ−Ｗａｖｅ Ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ Ｃｏ
ｕｐｌｅｒ ｗｉｔｈＤｉｖｅｒｓｅ Ａｐｐｌｉｃａ
ｔｉｏｎｓ、”ＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓＬｅｔｔｅｒｓ
、Ｖｏｌ、７ 、Ａｌ ６ 、Ａｕｇｕｓｔ １２
。

１９７１．４６０−４６２頁に説明される。

マルチストリップ結合器が、サブストレート上の圧電膜
の上を伝播する表面弾性波に関連の電界の垂直成分を、
同じサブストレートの隣接領域にまたは類似する別個の
サブストレートへ結合するために用いられてもよい。

半導体材料のスｔ−ＩＪツブは表面弾性波と干渉するこ
となく音響ビームの外側で、マルチストリップ結合器と
接触して配置されることができる。

マルチストリップ結合器の結合しているストリップと機
械的な接触をするようにプレスされた、制御された厚さ
の薄い二酸化シリコンコーティングを有するシリコンチ
ップを有するマルチストリップ結合コンボルバが、Ｗ、
Ｒ。

５ｈｒｅｖｅおよびＧ、Ｓ、Ｋｉｎｏ、 ”５ｔｒｉ
ｐＣｏｕｐｌｅｄ Ａｃｃｏｕｓｔｉｃ Ｃｏｎｖｏｌ
ｖｅｒｓ”１９７３Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｓ Ｓｙｍｐ
ｏｓｉｕｍ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ。

Ｉ Ｅ Ｅ Ｅ Ｃａ ｔ 、４７３ ＣＨ０８０
７９ＳＵ、１４５−１４７頁に説明されている。

マルチ結合コンボルバのための機械的なコンタクトのモ
デルは、エアギャップ装置よりも優れたいくつかの利点
を提供し、コンボルバのためのマルチストリップ結合概
念の利用の最も将来有望な可能性は、圧電気および半導
体媒体が同じ結晶サブストレートに並んで形成される膜
であるモノリシック構造に対する応用にある。

このアプローチは、集積回路の製造のために現在用いて
いる十分に確立された、かつそれほど高価でないリング
ラフィ技術によって、コンボルバ装置のフアプリケーシ
ョンが大量生産におけるトレランスに近づくことができ
るという利点を有している。

モノリシックマルチストリップ結合コンボルバはこの発
明の発明者であるＬ 、 Ｒ，Ａｄｋ ｉｎｓの“５ｔ
ｒｉｐ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ａ ＩＮ ａｎｄ Ｓｉ
ｏｎＳａｐｐｈｉ ｒｅ Ｃｏｎｖｏｌｖｅｒｓ、
” １９７３Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｓ Ｓｙｍｐｏｓ
ｉｕｍ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ。

Ｉ ＥＥＥ Ｃａｔ、／１６７３ ＣＨＯ８０７８
ＳＵ、１４８−１５１頁およびり、Ｒ，Ａｄｋｉｎｓの
“Ｍｏｎｏｌ １ｔｈｉｃ Ａｌｕｍｉｎｕｍ Ｎ１ｔ
ｒｉｄｅ ／Ｓ ｉｌ １ｃｏｎ −ｏｎ−８ａｐｐｈ
ｉｒｅ Ｓ ｔｒ １ｐＣｏｕｐｌｅｄ Ｃｏｎｖｏｌ
ｖｅｒｓ” １９７４Ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃｓ Ｓｙｍ
ｐｏｓｉｕｍ Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ。

ＩＥＥＥ Ｃａｔ、Ａ７４ ＣＨＯ８９６−ＩＳＵ
、２２８−２３１頁において議論されている。

マルチストリップ結合コンボルバのための用途は、１９
７６年７月２０日にり、Ｒ，Ａｄｋｉｎｓに発行された
アメリカ合衆国特許第３９７０７７８号の“Ｍｏｎｏｌ
ｉ ｔｈｉｃ Ａｃｏｕｓｔｏ −ｅｌｅｃｔｒｉｃＩ
ｍａｇｅ Ｐｉｃｋ −ｕｐ Ｄｅｖｉｃｅ”に開示さ
れる０表面弾性波遅延ラインの相互作用領域、または伝
播経路に沿って分布されかつ非線形信号混合のため並列
または直列接続されたダイオードへ個別的に接続される
インターディジクルトランスジューサタップのアレイを
用いることは、１９７７年４月５田こ発行されたアメリ
カ合衆国特許第４０１６５１４号のＲｅｅｄｅｒ他の”
ＤｉｏｄｅＣｏｕｐｌｅｄ Ｔａｐｐｅｄ Ａｃｃｏｕ
ｓｔｉｃ ＤｅｌａｙＬｉｎｅ Ｃｏｒｒｅｌａｔｏｒ
ａｎｄ Ｃｏｎｖｏｌｖｅｒ” に図解される。

この明細書を通じて、用語「結合手段」および「結合器
」の使用は、特に限定しない限り、インターディジクル
トランスジューサのアレイ、マルチストリップ結合器お
よびそれらの均等物を等しく示すように意図している。

いくつかの形式のコンボルバの性能の比較が０、Ｗ、Ｑ
ｊｔｏの“Ｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌ Ｃｏｍｐａｒｉｓ
ｏｎｏｆ Ｓｐａｃｅ−Ｃｈａｒｇｅ−Ｅｎｈａｎｃｅ
ｄＡｃｏｕｓｔｉｃ ５ｕｒｆａｃｅ Ｗａｖｅ Ｃｏ
ｎｖｏｌｖｅｒｓ−”Ｐｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓ ｏｆ
Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ ｏｎ ０ｐｔＯｐｔｉｃａｌ
ａｎｄ Ａｃｃｏｕｓｔｉｃａｌ Ｍｉｃｒｏ −Ｅｌ
ｅｃｔｒｏｎｉｃｓ、 Ｎｅｗ Ｙｏｒｋ、Ｐｏ１ｙｔ
ｅｃｈｎｉｃＰｒｅｓｓ、１９７５、５１１−５２８頁
で行なわれている。

空間電荷増強手段を備えた表面弾性波コンボルバは組合
わせられた媒体コンボルバ、分離された媒体コンボルバ
、ストリップ結合コンボルバ、ならびに並列および直列
ダイオードコンボルバを含む。

コンボルバに対するメリットの主たる形態はその時間−
バンド幅積（ＴＢ）である。

信号処理応用に対して、実施可能なほどの大きいＴＢを
有するのが望ましい。

なぜならば、ＴＢは装置またはシステムが処理すること
ができる情報量の測定であるからである。

表面弾性波コンボルバにおいて、ＴＢは表面弾性液入カ
ドランスジューサ間の距離に比例するかまたは等何曲に
、互いに反対方向に伝播する表面弾性波のための伝播経
路の長さに比例するということが当業者にとって明らか
となろう。

この距離が大きくなればなるほど、ＴＢも大きくなる。

しかしながら、先行技術の単チャネルコンボルバにおい
ては、インターディジタルトランスジューサタップのア
レイまたはマルチストリップ結合器のような結合手段が
伝播経路のすべてにわたって実質的に配置されているの
で、伝播経路を無限に延長すれば、必ず不利益を負うこ
とになる。

もしも伝播経路を長くすれば、したがって、結合手段も
長くすれば、圧電材料の上に横たわる導体材料の量が増
大することになるので、問題が生じる。

望ましくない分散および反射、またはスキャツタリング
効果がこの付加的な導体材料によって増大される。

損失もまた増える。さらに、比較的長い伝播経路にわた
って延びる単チャネル結合を製作するための条件は、現
在利用可能なリングラフイフアプリケーション設備およ
び技術の上限大きさを越えそうである。

現在のリングラフィの開発は電子装置をより大きくする
のではなく、より小さくするという希望に集中している
。

Ｖぐロロ／Ｔｌ甘匡■五 この発明は、圧電材料上を互いに反対方向に伝播する表
面弾性波に関連の電界の変動が、表面弾性波の相互作用
領域から実質距離に設けられた空間電荷増強手段へ結合
される形式の音響電気コンボルバである。

この説明はマルチストリップ結合コンボルバならびに並
列および直列ダイオードコンボルバを含む。

この形式の複数個の類似する単チャネル音響電気コンボ
ルバが並列に相互接続されて多重チャネルコンボルバを
形成する。

空間電荷増強手段を、相互作用領域に生じる電界変動に
さらすための結合手段は、前記複数個の単チャネルコン
ボルバの上に分布される。

別個の単チャネルコンボルバごとの結合器はそのコンボ
ルバの伝播経路の部分上に延びている。

その部分は全伝播経路よりも短い。

複数個の単チャネルコンボルバの伝播経路上のそのよう
な部分における結合手段の分布は、好ましくは、全相互
作用領域の均等物が空間電荷増強手段へ結合されるよう
なものである。

この発明による多重チャネルコンボルバを形成するよう
に組合わせられる単チャネルコンボルバの数については
何ら固有の制限はないので、所望通りのまたは実施可能
なだけの多数の単チャネルコンボルバを組合わせること
ができる。

各々の個個の単チャネルコンボルバは、その相互作用領
域の一部のみが結合手段によって空間電荷増強手段と関
連するように構成される。

単チャネルコンボルバ上の全伝播経路がたとえ比較的長
くても、結合器に関連する各単チャネルコンボルバ上の
伝播経路の部分または一部は比較的短い。

好ましい実施例においては、１個の完全な伝播経路に関
連するものと等価な出力信号が複数個の相互接続された
単チャネルコンボルバの電界変動効果を組合わせ、また
は総和することによって得られる。

このように、多重チャネルコンボルバの等価伝播経路は
複数個の単チャネルコンボルバの各々上の伝播経路の長
さを所望する長い長さに作ることによって比較的長く作
られ得ることができる。

その結果中じる多重チャネルコンボルバは対応する比較
的長い時間−バンド幅積を有する。

しかしながら、複数個の単チャネルコンボルバの各各に
は比較的短い結合器がその上に配置されているので、長
い結合器を作ろうとするときに出会うフアプリケーショ
ンの困難さが避けられる。

１個の伝播経路上に比較的長い結合器を用いることによ
って生じる分散効果、反射効果および損失もまた回避さ
れる。

好ましい実施例の説明 第１図は、並列に３個の類似する単チャネルマルチスト
リップ結合コンボルバ１２，１４おヨヒ１６を相互接続
することによって実現された多重チャネル音響電気コン
ボルバ１０を示すことによって、この発明を図解してい
る。

３個の単チャネルコンボルバは図解の目的のみのため第
１図の実施例に示される。

その２個程度の、または非常に多くの単チャネルコンボ
ルバが相互接続されてこの発明による多重チャネルコン
ボルバを形成する。

類似の単チャネルコンボルバ１２，１４おヨヒ１６の各
々は、たとえば、水晶または窒化アルミニウムの圧電材
料の実質的に平面的な本体１８を含む。

表面弾性波を起こすための２個の入力インターディジタ
ルトランスジューサ２０が圧電材料の各本体１８上に設
けられ、各々は表面弾性波を互いに反対方向に伝播させ
るための本体１８上の伝播経路２２の両端近くにある。

伝播経路２２、または等制約に、相互作用領域２２が、
コンボルバ１２，１４および１６の各々上のトランスジ
ューサ２０間に延びる点線間にある領域として示される
。

伝播経路２２は各々両端矢印２４によって示されるのと
実質的に同じ長さしを有する。

この長さＬは、多重チャネルコンボルバ１０のための所
望の時間−バンド幅積を与えるのに必要とされるのと同
じ程度大きく選ばれている。

単チャネルコンボルバ１２，１４および１６の左側の入
力インターディジクルトランスジューサ２０のすべては
並列にワイヤ対２６．２８によって信号入力源３０へ相
互接続される。

単チャネルコンボルバ１２，１４および１６の右側の入
力インターディジタルトランスジューサ２０のすべては
並列にワイヤ対３２，３４によって信号入力源３６へ相
互接続される。

単チャネルコンボルバ１２，１４および１６は、各々、
相互作用領域２２に生じる電界変動を半導体材料の本体
４０．４４および４Ｂへそれぞれに転送または結合する
ためのマルチストリップ結合器３８．４２および４６を
それぞれ含む。

半導体材料の本体４０．４４および４８は、それらが個
別的に関連する伝播経路２２から都合のよい距離離れて
各々設けられる。

半導体材料の本体４０゜４４および４８に誘起される出
力電圧は各々出力回路５０へ結合される。

数個の出力回路５０は接続点５２で個々の出力電圧を総
和するように並列に相互接続される。

総和電圧は回路５６によって負荷５４へ与えられる。

出力回路５０と接続点５２との間に結合されるバッファ
増幅器５８が、もし必要であれば、インピーダンスマツ
チングおよび位相調節を与えるために含まれてもよい。

第１図に示す多重チャネルコンボルバ１０は負荷５４へ
総和電圧を与えるように設計されており、その負荷５４
は時間−バンド幅積を有し、その等何物は、伝播経路お
よびマルチストリップ結合器の両方が長さＬを有する単
チャネルマルチストリップ結合コンボルバによって与え
られる。

多重チャネルコンボルバ１０では、この結果は単チャネ
ルコンボルバ１２，１４および１６の各々上の伝播経路
２２のある選ばれた部分において実質的に等しい長さの
３個のマルチストリップ結合器３８゜４２および４６を
分布することによって達成される。

これらの３個の等しい長さのマルチストリップ結合器３
８．４２および４６は各々両端矢印６０によって示され
るように、Ｌ／３の長さを有する。

マルチストリップ結合器３Ｂ、４２および４６の長さの
総和は多重チャネルコンボルバ１０に対して望まれる等
価な経路長さＬに等しい。

第１図に示すように、マルチストリップ結合器３８．４
２および４６の位置の分布もまた、伝播経路の長さおよ
びマルチストリップ結合器の長さが同じ長さＬである単
チャネルコンボルバのそれと等価な総和電圧を与えるよ
うに選ばれる。

このことは、３個のマルチストリップ結合器３８゜４２
および４６のグループが３個の等価な伝播経路上に分布
される長さＬの１個の結合器と等価であると考えられる
ということを認識することによって理解される。

等価な伝播経路上の任意の１個の小さな領域に対応する
電界変動がより小さな結合器のグループの１個だけによ
って１回だけ検知されるように、それらのそれぞれの伝
播経路の選ばれた部分上のより小さな結合器を分布する
ことによって、３個のより小さな結合器３Ｂ、４２およ
び４６と１個のより長い結合器との等個性が確保される
。

換言すれば、マルチストリップ結合器３Ｂ 、４２およ
び４６はそれらの等価な複合機能においてオーバラップ
またはギャップなしに、それらのそれぞれの伝播経路２
２上に設けられる。

マルチストリップ結合器のグループの各々は連続的であ
る必要はなく、にもかかわらず等価な結果が得られると
いうことをここで注目する必要があろう。

たとえば、伝播経路２２の中央の１／３全体に対し電界
結合を与えるよりもむしろ、単チャネルコンボルバ１４
のマルチストリップ結合器４２が伝播経路２２の各１／
３ごとの中央の１／３に対する結合を与えるように３個
の別々の部分に設けられることができる。

応じて、マルチストリップ結合器３８および４６が伝播
経路２２の各１／３ごとのもののそれぞれ左端および右
端の１／３のものに対する結合を与えるように各々３個
の別々の部分に設けられることができる。

この発明は、結合器のグループのパラメータが好ましい
実施例に対して上述したように制限されるものに限定さ
れるものでないということをここで知るのが適当である
。

グループにおける個々の結合器は必ずしも長さが他のも
のに等しくある必要はない。

長さの総和がＬに等しい限り、長さＬの１個の結合器と
等個性が保持されるように作られることができる。

この制限でさえ常に必要または望ましいわけではない。

なぜならば有益な信号処理は、ここに説明した多重チャ
ネル音響電気装置において達成されてもよいからであり
、Ｌよりも小さな長さを有する個々の結合器が、複数個
の伝播経路上の対応する点の電界変動が１以上の結合器
によって検出されオーバラップを生じ、結合器には全く
よらないで検出されてギャップを生じ、かつ分布された
結合器によって、検知されてこれらの効果の組合わせを
つくるような方法で、多重チャネル装置の数個の伝播経
路上に分布される。

オーバラップやギャップがないときでも、伝播経路の全
長さＬよりも小さな等価な経路長さを有する装置を形成
する結合器の組合わせが望まれる場合は、容易に形成さ
れかつ用いられることができる。

第２図は３個の類似する単チャネルダイオードコンボル
バ６４，６６および６８を並列に相互接続することによ
って実現される多重チャネル音響電気コンボルバ６２を
示すことによって、この発明を図解している。

ダイオードコンボルバ（直列および並列型）がＲｅｅｄ
ｅｒ他のアメリカ合衆国特杵築４０１６５１４号に詳細
に議論されており、ダイオードコンボルバ構成の詳細を
与える目的でそれをこの明細書へ参照することとによっ
て援用する。

単チャネルコンボルバ６４．６６および６８は圧電材料
からなる実質的に平面的な本体１８と、本体１１の伝播
経路２２に沿って互いに反対方向に伝播する表面弾性波
を起こすための入力インターディジタルトランスジュー
サ２０をを含む。

伝播経路２２は、各々、好ましい実施例おいては、両端
矢印２４によって示されるような同じ長さＬを実質的に
有する。

長さしは、多重チャネルコンボルバ６２のための所望の
時間−バンド幅を提供するのに必要とされるのと同じ大
きさであるように選ばれる。

単チャネルコンボルバ６４，６６および６８の左側の入
力インターディジクルトランスジューサ２０は、信号入
力源３０へのワイヤ対２６、２Ｂによって並列に相互接
続される。

単チャネルコンボルバ６４，６６および６８の右側の入
力インターディジクルトランスジューサ２０は信号入力
源３６へのワイヤ対３２．３４によって相互接続される
。

単チャネルコンボルバ６４．６６および６８は、各々、
相互作用領域２２に生じる電界変動を空間電荷増強手段
７２へ転送または結合するためのインターディジクルト
ランスジューサタップ７０゜７４および７６のアレイを
それぞれ含む。

ダイオードコンボルバにおいて、空間電荷増強は直列ま
たは並列に相互接続された順バイアス半導体ダイオード
の少なくとも１個のアレイによって行なわれる。

ダイオードコンボルバの回路網がインターディジクルト
ランスジューサタップ７０．７４および７６のアレイと
相互接続されて複数個の単チャネルコンボルバ６４．６
６および６８の電界変動効果の非線形信号混合および総
和を行なった多重チャネルコンボルバ６２のための組合
わせられた出力信号を形成する。

出力口７Ｂとともに、ダイオードおよびこれらの相互接
続のアレイは、ボックス７２に含まれるように第２図に
おいて一般的に示されている。

インターディジタルトランスジューサおよびダイオード
の相互接続の詳細を知るために、前述したＲｅｅｄｅｒ
他の特許の第１図および第２図を参照されたい。

その第１図は直列接続されたダイオード空間電荷増強手
段を示しており、第２図は並列接続されたダイオード空
間電荷増強手段を示している。

ダイオード回路網および出力口７８を、単チャネルコン
ボルバ６４上の伝播経路２２の最も左端の１／３にまた
がっているインターディジタルトランスジューサタップ
のアレイ７０と、単チャネルコンボルバ６６上の伝播経
路２２の中央の１／３にまたがっているインターディジ
タルトランスジューサタップのアレイＴ４と、単チャネ
ルコンボルバ６８上の伝播経路２２の最も右端の１／３
にまたがっているインターディジクルトランスジューサ
タップのアレイ７６とに並列相互接続するのを図解する
のに便利なように、ボックス７２はこの発明の開示の第
２図において離れて破断して示されている。

第２図に示すように、インターディジタルトランスジュ
ーサアレイ７０．７４および７６の位置分布は好ましく
は全コンボルバ６２のための総和された出力電圧を供給
するように選ばれており、前記コンボルバ６２は、伝播
経路長さおよびそれに関連のインターディジタルトラン
スジューサタップのアレイの長さが同じ長さＬを有する
単チャネルコンボルバのそれと等価である。

第２図に示した好ましい実施例においては、単チャネル
コンボルバ６４．６６および６Ｂは、両端矢印６０によ
って示される等しい長さＬ ／ ３であるインターディ
ジタルトランスジューサタップ７０．７４および７６の
アレイをそれぞれに有する。

インターディジクルトランスジューサタップは上述した
マルチストリップ結合コンボルバに関して議論した複数
個の単チャネルダイオードコンボルバにわたって分布さ
れるように、同じ考察が関連する変動にも行なわれると
いうこと当業者にとって明らかであろう、っ この発明を好ましい実施例で説明したが、用いられた言
葉は限定のためよりもむしろ説明のための用語であり、
前掲の特許請求の範囲内における変化はその幅広い観点
においてこの発明の真の範囲および精神から逸脱するこ
となくなされるということが理解されるべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図はマルチストリップ結合器が電界変動の効果を空
間電荷増強手段へ転送する、この発明による多重チャネ
ル音響電気コンボルバの概略図である。 第２図はインターディジクルトランスジューサタップが
電界変動の効果を空間電荷増強手段へ転送する、この発
明による多重チャネル音響電気コンボルバの概略図であ
る。 図において、１０は多重チャネル音響電気コンボルバ、
１２，１４および１６は単チャネルマルチストリップ結
合コンボルバ、１８は圧電器材料の本体、２０はインタ
ーディジタルトランスジューサ、２２は伝播経路、２６
，２Ｂ、３２および３４はワイヤ対、３０および３６は
信号入力源、３Ｂ、４２および４６はマルチストリップ
結合器、５０は出力回路、５４は負荷、および５８はバ
ッファ増幅器を示す。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 多重チャネル音響電気コンボルバであって、並列に
   接続された第１の入力インターディジクルトランスジュ
   ーサと並列に接続される第２の入力インターテ゛イジタ
   ルトランスジューサとを有する複数個の単チャネル音響
   電気コンボルバを備え、前記単チャネル音響電気コンボ
   ルバの各々は、所定の長さを有する伝播経路に沿って電
   界変動を誘起して表面弾性波を互いに反対方向に伝播さ
   せるための圧電材料の本体と、 前記電界変動と相互に作用する空間電荷増強手段と、 前記電界変動を検知しかつそれらを前記空間電荷増強手
   段へ結合するための結合手段とを備え、前記結合手段は
   前記伝播経路の部分上に設けられ、前記部分は前記所定
   の伝播経路の長さよりも短く、かつ 任意の１つの結合手段によって検知された電界変動が他
   の結合手段によって検知された変動と実質的に異なるよ
   うに、異なるコンボルバに関する部分が伝播経路上に分
   布され、 前記多重チャネル音響電気コンボルバはさらに、前記複
   数の単チャネルコンボルバの前記空間電荷増強手段の前
   記電界変動の効果を１個の出力信号に結合するための手
   段を備えた、多重チャネル音響電気コンボルバ。 ２ 前記伝播経路の前記所定長さは前記複数個の類似す
   る単チャネル音響電気コンボルバの各々に対して同じで
   ある、特許請求の範囲第１項記載の多重チャネル音響電
   気コンボルバ。 ３ 前記伝播経路の前記部分の長さは前記複数個の類似
   する単チャネル音響電気コンボルバの各々に対して同じ
   である、特許請求の範囲第２項記載の多重チャネル音響
   電気コンボルバ。 ４ 前記複数個の伝播経路の前記部分上に前記結合手段
   を配置するための分布は、前記部分のうちの任意のもの
   の前記長さよりも大きな有効伝播経路を前記多重チャネ
   ルコンボルバへ与えるように選ばれる、特許請求の範囲
   第３項記載の多重チャネル音響電気コンボルバ。 ５ 前記有効伝播経路長さは実質的に前記所定の伝播経
   路長さに等しい、特許請求の範囲第４項記載の多重チャ
   ネル音響電気コンボルバ。 ６ 前記空間電荷増強手段は半導体材料の本体を含み、
   かつ前記結合手段はマルチストリップ結合器である、特
   許請求の範囲第１項記載の多重チャネル音響電気コンボ
   ルバ。 ７ 前記空間電荷増強手段は相互接続されたダイオード
   のアレイを含み、かつ、前記結合手段はインターディジ
   タルトランスジューサタップのアレイである、特許請求
   の範囲第１項記載の多重チャネル音響電気コンボルバ。 ８ 前記複数個の類似する単チャネル音響電気コンボル
   バのための前記空間電荷増強手段へ結合される前記電界
   変動の効果を組合わせた出力信号のための出力手段をさ
   らに備えた、特許請求の範囲第１項記載の多重チャネル
   音響電気コンボルバ。