JPS60191760A - 表面処理装置 - Google Patents
表面処理装置Info
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- JPS60191760A JPS60191760A JP59043882A JP4388284A JPS60191760A JP S60191760 A JPS60191760 A JP S60191760A JP 59043882 A JP59043882 A JP 59043882A JP 4388284 A JP4388284 A JP 4388284A JP S60191760 A JPS60191760 A JP S60191760A
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- Japan
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- gap
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、磁気テープ、フレキシブル磁気ディスク、ハ
ード磁気ディスク等の磁気記録媒体、又は、とれらの基
体等の被研磨物に対し表面研磨を行なう際に用いる表面
処理装置に関するものである。
ード磁気ディスク等の磁気記録媒体、又は、とれらの基
体等の被研磨物に対し表面研磨を行なう際に用いる表面
処理装置に関するものである。
近来、磁気テープ、フレキシブル磁気ディスク。
及び、ハード磁気ディスク等の磁気記録媒体は、高記録
密度化に伴ない、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間隙を
ザブミクロン以下とすることが望寸れ、これに応じて再
生信号の欠落を阻止するため、磁気記録媒体の表面粗さ
も０１μｍ Ｒａ以下であることが要求されるに至って
おシ、この釉の媒体に対する表面処理手段としては、一
般に、いわゆるカレンダ処理とラッピング処理とが採用
されている。
密度化に伴ない、磁気ヘッドと磁気記録媒体との間隙を
ザブミクロン以下とすることが望寸れ、これに応じて再
生信号の欠落を阻止するため、磁気記録媒体の表面粗さ
も０１μｍ Ｒａ以下であることが要求されるに至って
おシ、この釉の媒体に対する表面処理手段としては、一
般に、いわゆるカレンダ処理とラッピング処理とが採用
されている。
ただし、特に可撓体の揚台、テープ状のものはカレンダ
処理が採用されているのに対し、フレキシブル磁気ディ
スク等の平板状のものでは通常カレンダ処理を施した後
、更に、両面同時ラッピング処理を施すものとなってい
る。
処理が採用されているのに対し、フレキシブル磁気ディ
スク等の平板状のものでは通常カレンダ処理を施した後
、更に、両面同時ラッピング処理を施すものとなってい
る。
しかし、カレンダ処理では被研磨物の基体が可搾性フィ
ルム状であることを要するため、面Ｍ”＋ｆｔＥ＝ｉを
確保することが困難であると共に、被研磨物の表面粗さ
は、これの表面に塗布された高分子樹Ｊｌ！’ｊ’等を
用いたバインダの性質とカレンダロールの表面粗さとに
よって定まシ、磁気記録媒体又はその基体を銑面状に平
滑とすることが不可能となる欠点を生じている。
ルム状であることを要するため、面Ｍ”＋ｆｔＥ＝ｉを
確保することが困難であると共に、被研磨物の表面粗さ
は、これの表面に塗布された高分子樹Ｊｌ！’ｊ’等を
用いたバインダの性質とカレンダロールの表面粗さとに
よって定まシ、磁気記録媒体又はその基体を銑面状に平
滑とすることが不可能となる欠点を生じている。
また、ラッピング処理においては、磁性層が薄くなれば
、ラッピング処理によって厚さに不均一が生じ、または
、研磨粉が薄状可撓体であるため、いわゆるｒＳ面写シ
現象が生じ、実用上の障害となり、この裏面写シを回避
するためには、可撓体を挾み込む両面同時ラッピングを
行なうものとなるが、この場合には可掃体にある程度以
上の剛性が要求され、少なくとも基体として用いるＰＥ
Ｔ （ポリエチレンテレフタレート）が７０μｍ以」二
であるか、あるいは、これを使用した磁気テープに研磨
の対象が限定される欠点を生ずる。
、ラッピング処理によって厚さに不均一が生じ、または
、研磨粉が薄状可撓体であるため、いわゆるｒＳ面写シ
現象が生じ、実用上の障害となり、この裏面写シを回避
するためには、可撓体を挾み込む両面同時ラッピングを
行なうものとなるが、この場合には可掃体にある程度以
上の剛性が要求され、少なくとも基体として用いるＰＥ
Ｔ （ポリエチレンテレフタレート）が７０μｍ以」二
であるか、あるいは、これを使用した磁気テープに研磨
の対象が限定される欠点を生ずる。
一方、ｉ：’３ｊ、：’）により保持した磁性流体中に
被研磨物を挿入し、とれを高速回転させることにより被
研ル″Ｆ物の表面を研磨する手段が提案され、公知とな
っているが、この手段では、磁性流体を所定部位へ保持
する目的上、磁場を発生する磁石の磁極間隙を少としな
ければならない制約を生じ、この制約下において被研磨
物を磁極間に挿入し、かつ、被研磨物自体を高速回転さ
るる必要があシ、被研［ｆ１物が小形の回転体に限定さ
れると共に、被研磨物を高速回転させる駆動装置が大型
化し、かつ、大消費電力を要する欠点が生じている。
被研磨物を挿入し、とれを高速回転させることにより被
研ル″Ｆ物の表面を研磨する手段が提案され、公知とな
っているが、この手段では、磁性流体を所定部位へ保持
する目的上、磁場を発生する磁石の磁極間隙を少としな
ければならない制約を生じ、この制約下において被研磨
物を磁極間に挿入し、かつ、被研磨物自体を高速回転さ
るる必要があシ、被研［ｆ１物が小形の回転体に限定さ
れると共に、被研磨物を高速回転させる駆動装置が大型
化し、かつ、大消費電力を要する欠点が生じている。
本発明は、従来のかかる欠点を根本的に解決する目的を
有し、被研磨物の挿入される間隙を設けたうえ、互に対
向して設けた１対の磁極間へ、磁性粉を含む磁性流体を
保持させると共に、この磁性流体を振動させるための超
音波振動子を設け、磁性粉を含む磁性流体の超音波振動
によシ被研磨物の表面を研磨するものとした極めて効果
的な、表面処理装置を提供するものである。
有し、被研磨物の挿入される間隙を設けたうえ、互に対
向して設けた１対の磁極間へ、磁性粉を含む磁性流体を
保持させると共に、この磁性流体を振動させるための超
音波振動子を設け、磁性粉を含む磁性流体の超音波振動
によシ被研磨物の表面を研磨するものとした極めて効果
的な、表面処理装置を提供するものである。
以下、実施例を示す図によって本発明の詳細な説明する
。
。
第１図は、要部を拡大して示す斜視図であり、ｊａ 、
ｊｂは永久磁石又は電磁石の磁極、２は磁性流体、３ａ
は磁性流体２中に含まれた磁性粉、３ｂは必要に応じ適
量として磁性流体２中へ添加された研磨粉、である。
ｊｂは永久磁石又は電磁石の磁極、２は磁性流体、３ａ
は磁性流体２中に含まれた磁性粉、３ｂは必要に応じ適
量として磁性流体２中へ添加された研磨粉、である。
ここにおいて、互に対向しかつ間隙を設けた１対の磁極
１ａ、１ｂｉｌＪ：、永久磁石を用いる場合であれば、
磁性流体３との対向面が一方はＮ極、他力がＳ極になる
ものとして構成すればよく、研磨粉３ｂは、Ａｌ２Ｏ，
粉等の通常使用される研１ｇ材が選択のうえ用いられる
。また、この例では、超音波振動子として圧電振動子４
が用いられ、磁性流体２の側方へ設けであり、圧電振動
子４は、図上省略した圧電体の表具両面へ貼着した電極
５ａ 、 ５ｂ間へリード線６ａ、６ｂを介し、交流電
源７によシ所定周波数の交流電圧を印加しておシ、可撓
性磁気記録妨、体又はその基体、等の被研磨物８は、磁
ａ１ａ＋ｉｂの間隙へ挿入されたうえ、図上省略しプｃ
５駆動（Ａ２４’＋’ｋに上り矢印方向へ移動するもの
となっている。なお、（１１（（性流体２．圧箱１振動
子４及びこれらの各４：１成部品は既に公知のものが用
いられる。
１ａ、１ｂｉｌＪ：、永久磁石を用いる場合であれば、
磁性流体３との対向面が一方はＮ極、他力がＳ極になる
ものとして構成すればよく、研磨粉３ｂは、Ａｌ２Ｏ，
粉等の通常使用される研１ｇ材が選択のうえ用いられる
。また、この例では、超音波振動子として圧電振動子４
が用いられ、磁性流体２の側方へ設けであり、圧電振動
子４は、図上省略した圧電体の表具両面へ貼着した電極
５ａ 、 ５ｂ間へリード線６ａ、６ｂを介し、交流電
源７によシ所定周波数の交流電圧を印加しておシ、可撓
性磁気記録妨、体又はその基体、等の被研磨物８は、磁
ａ１ａ＋ｉｂの間隙へ挿入されたうえ、図上省略しプｃ
５駆動（Ａ２４’＋’ｋに上り矢印方向へ移動するもの
となっている。なお、（１１（（性流体２．圧箱１振動
子４及びこれらの各４：１成部品は既に公知のものが用
いられる。
ただし、磁極１ａ 、ｌｂは、永久磁石又は電磁石によ
り発生する磁場によって磁性流体２を保持できるもので
あればよく、形状、材質等の選択が任意であシ、圧電振
動子４は、磁性流体２を超音波によりＩｌｉに動して振
動させるととカ；できれば、設置部位の選定が自在であ
ると共に、超音波振動子としては磁歪振動子等の他のも
のを用いてもよい。
り発生する磁場によって磁性流体２を保持できるもので
あればよく、形状、材質等の選択が任意であシ、圧電振
動子４は、磁性流体２を超音波によりＩｌｉに動して振
動させるととカ；できれば、設置部位の選定が自在であ
ると共に、超音波振動子としては磁歪振動子等の他のも
のを用いてもよい。
なお、圧電振動子は図上省略した支持体により所定部位
へ支持される。
へ支持される。
しだがって、第１図においては、被研）り“１を物８を
磁極ｌａ ｌＩｂの間隙へ挿入し、圧電振動子４の励振
によシ振動する磁性流体２中を通過させれば、この間に
、被研磨物８の表裏両面に存在する突起・異物等は、ミ
クロ的に超音波振励する磁性粉３ａおよび研磨粉３ｂと
の衝突によシ除去され、表裏両面が高精度に研磨される
。なお、磁性流体２中の磁性粉３ａは磁極１ａ、１ｂに
よって発生した磁場中に保持されるが、これと同時に、
磁性粉３ａと共に混在する研磨粉３ｂも磁ｊ７θ中に保
持されるものとなる。
磁極ｌａ ｌＩｂの間隙へ挿入し、圧電振動子４の励振
によシ振動する磁性流体２中を通過させれば、この間に
、被研磨物８の表裏両面に存在する突起・異物等は、ミ
クロ的に超音波振励する磁性粉３ａおよび研磨粉３ｂと
の衝突によシ除去され、表裏両面が高精度に研磨される
。なお、磁性流体２中の磁性粉３ａは磁極１ａ、１ｂに
よって発生した磁場中に保持されるが、これと同時に、
磁性粉３ａと共に混在する研磨粉３ｂも磁ｊ７θ中に保
持されるものとなる。
ただし、処丹速度は、圧電振動子４の形状、印加電圧、
および、磁性流体２．磁性５３＆ならびに研磨粉３ｂの
種類・粒径等と共に、被研磨物８の移動速度に依存して
定まるため、８吸に応じてこれらの最適値を選択すれば
よい。
および、磁性流体２．磁性５３＆ならびに研磨粉３ｂの
種類・粒径等と共に、被研磨物８の移動速度に依存して
定まるため、８吸に応じてこれらの最適値を選択すれば
よい。
ｔｌ）２図は他の実ｈｖ１部１ｊを示す斜視図であり、
このｊＪら合は被研磨物８としてフレキシブル磁気ディ
スクが適用ネれ、被研［、Ｐ物８はモータ２１によって
１り肩１ｉ１７され、矢印Ａの方向に回転する。一方、
この例でｉ１′、１１、’Ｍ４音カン振動子として磁歪
振動子２２を用いており、磁■ミ振動子２２は、公知の
とおシ、例えｉＪ：Ｎ１−ＣＬＩフェライト又は金属磁
性体等を主体とし、磁路の一部に超音波振動効率を最適
にするだめのバイアス磁界用永久磁石と、励磁用巻線と
を備えている。
このｊＪら合は被研磨物８としてフレキシブル磁気ディ
スクが適用ネれ、被研［、Ｐ物８はモータ２１によって
１り肩１ｉ１７され、矢印Ａの方向に回転する。一方、
この例でｉ１′、１１、’Ｍ４音カン振動子として磁歪
振動子２２を用いており、磁■ミ振動子２２は、公知の
とおシ、例えｉＪ：Ｎ１−ＣＬＩフェライト又は金属磁
性体等を主体とし、磁路の一部に超音波振動効率を最適
にするだめのバイアス磁界用永久磁石と、励磁用巻線と
を備えている。
才だ、磁４Ｊ４１＆＋１ｂは、磁心２３および励磁用の
巻線２４による電磁石２５の一部であシ、巻線２４へ接
続された励磁用電源２６にょシ励磁されて磁界を発生し
、第１図と同様、対向する間隙中に磁性流体２を保士４
しておシ、この間隙中へ被研ＩＩ″？物８の少くとも一
部が挿入される。
巻線２４による電磁石２５の一部であシ、巻線２４へ接
続された励磁用電源２６にょシ励磁されて磁界を発生し
、第１図と同様、対向する間隙中に磁性流体２を保士４
しておシ、この間隙中へ被研ＩＩ″？物８の少くとも一
部が挿入される。
ここにおいて、磁性粉３ａおよび研磨粉３ｂを含む磁性
流体２は、磁極１＆の上方かつ磁心２３の側面に設けた
磁歪振動子２２によって励振され、被研磨物８の回転は
高速とする必をがなく、電磁石２５を矢印Ｂの方向へ移
動させることにより、被研磨物８０表？’）両面に対し
ほぼ全体の表面処理が可能となる。ただし、磁歪振動子
２２の代りに第１図の圧電振動子４を用いても同様であ
る。
流体２は、磁極１＆の上方かつ磁心２３の側面に設けた
磁歪振動子２２によって励振され、被研磨物８の回転は
高速とする必をがなく、電磁石２５を矢印Ｂの方向へ移
動させることにより、被研磨物８０表？’）両面に対し
ほぼ全体の表面処理が可能となる。ただし、磁歪振動子
２２の代りに第１図の圧電振動子４を用いても同様であ
る。
したがって、本発明によれは、磁性ｂ１シ体中において
被研磨物を高速回転させることが不可欠であった従来の
研磨手段とは、つぎのとおり明ｉ（ｉな相違が生ずる。
被研磨物を高速回転させることが不可欠であった従来の
研磨手段とは、つぎのとおり明ｉ（ｉな相違が生ずる。
即ち、従来の手段では、被研磨物を高速回転させること
によシ、静止または、はぼ静止状態にある磁性流体との
高相対速度を得、これによって研磨を可能としているの
に対し、本発明では被研Ｂ１Ｐ物８を移動させることが
基本的には不要であり、磁性流体２のミクロ的な超音波
振動の結果として研磨が行われるものとなり、被研磨物
８の拶動け、純粋に研磨効率と新しい研磨面へ移行する
だめの移動とのみに着目すればよく、装置全体を低電力
により駆動できると共に、全体の小匹ν化が容易となる
。
によシ、静止または、はぼ静止状態にある磁性流体との
高相対速度を得、これによって研磨を可能としているの
に対し、本発明では被研Ｂ１Ｐ物８を移動させることが
基本的には不要であり、磁性流体２のミクロ的な超音波
振動の結果として研磨が行われるものとなり、被研磨物
８の拶動け、純粋に研磨効率と新しい研磨面へ移行する
だめの移動とのみに着目すればよく、装置全体を低電力
により駆動できると共に、全体の小匹ν化が容易となる
。
ただし、以上の実施例では、長尺状被研磨物８に対して
―：圧１ａ振！１．：’Ｉ）子４を、円板状被研磨物８
に刻しては磁歪振動子２２又は圧電振動子４を例に挙げ
て説明し／仁が、本発明はこれらの実施例に拘束される
ものではなく、処悉装随の性能、被処理物の形状＄４’
３’ Ｊ’Ｌ ｅｊ−に応じ、これらのいずれかを組イ
１せれはよい。
―：圧１ａ振！１．：’Ｉ）子４を、円板状被研磨物８
に刻しては磁歪振動子２２又は圧電振動子４を例に挙げ
て説明し／仁が、本発明はこれらの実施例に拘束される
ものではなく、処悉装随の性能、被処理物の形状＄４’
３’ Ｊ’Ｌ ｅｊ−に応じ、これらのいずれかを組イ
１せれはよい。
“また、土３７もの実施例では可撓体の被研磨物８を用
い／Ｃが、硬り′↓シ、１ヨ板を用いたハード磁気ディ
スクにもｊ１′１川できることは勿に６ｊ１である。
い／Ｃが、硬り′↓シ、１ヨ板を用いたハード磁気ディ
スクにもｊ１′１川できることは勿に６ｊ１である。
なお、＋）１ ？ｉｌｆ ｎ”ｉ’ ｑ′ｙＪ８ ｆ高
速回転させる盛装がなく、装（ｉ′ｊの構成が簡単とな
り、広面積の長尺状壕ｆｒ、は円板状被７ｉ１１暦物に
対しても連続処理が可能となるため、高第１１度の表面
乎ｆａｔ度が吸求される磁気記録４ｊｉ１．体又はその
基体等に好適であるうえ、磁極１ｍ。
速回転させる盛装がなく、装（ｉ′ｊの構成が簡単とな
り、広面積の長尺状壕ｆｒ、は円板状被７ｉ１１暦物に
対しても連続処理が可能となるため、高第１１度の表面
乎ｆａｔ度が吸求される磁気記録４ｊｉ１．体又はその
基体等に好適であるうえ、磁極１ｍ。
１ｂの寸法を微小とし、磁性流体２の局在面積を微小化
ずれ＆、ｌ： 、微細研磨等による部品の局部的な加工
にも適用できる静、種々の変形が自在である。
ずれ＆、ｌ： 、微細研磨等による部品の局部的な加工
にも適用できる静、種々の変形が自在である。
以−にの説明によシ明らかなとおシ本発明によれは、被
六旧群物を磁性流体中において高速により回転させる必
扱かなく、装置′ｔの所要’ｉＵ、力が低減しかつ構成
が簡単になると共に、広面イ賀の被ＴＤ＋磨物から微細
な被研い物に到るまで任意な形状がっ硬肌のものを処理
対象とすることができるため、処理対象物の適用領域が
飛Ｂｈ（的に拡大し、特に、高’４’＋′ｆ庶の表面平
渭度を扱求される磁気記〈）を媒イト又に１：その基体
の連続処理上好適となり、これらの生産ｔｌ二が向上す
る等、各種の表面仙ｎ″シ処〃トにおいて顯階な効果が
得られる。
六旧群物を磁性流体中において高速により回転させる必
扱かなく、装置′ｔの所要’ｉＵ、力が低減しかつ構成
が簡単になると共に、広面イ賀の被ＴＤ＋磨物から微細
な被研い物に到るまで任意な形状がっ硬肌のものを処理
対象とすることができるため、処理対象物の適用領域が
飛Ｂｈ（的に拡大し、特に、高’４’＋′ｆ庶の表面平
渭度を扱求される磁気記〈）を媒イト又に１：その基体
の連続処理上好適となり、これらの生産ｔｌ二が向上す
る等、各種の表面仙ｎ″シ処〃トにおいて顯階な効果が
得られる。
第１図は本発明の実施例を示す俣部拡犬斜視図、第２図
は他の実施例を示す斜視図である。 ｊａ、ｌｈ・・・・磁極、２・・・・磁性流体、３ａ
・・・・磁性粒子、３ｂ ・・・・伺磨粉、４・嗜・・
圧電振動子、８・命・・被萌Ｌ１・物、２２台・・拳磁
φ振動子。 特許出願人 日本電信’Ｌ話公社 代 理 人 山 川 政 樹
は他の実施例を示す斜視図である。 ｊａ、ｌｈ・・・・磁極、２・・・・磁性流体、３ａ
・・・・磁性粒子、３ｂ ・・・・伺磨粉、４・嗜・・
圧電振動子、８・命・・被萌Ｌ１・物、２２台・・拳磁
φ振動子。 特許出願人 日本電信’Ｌ話公社 代 理 人 山 川 政 樹
Claims (1)
- 被研磨物の挿入される間隙を設けかつ互に対向して設け
た１対の磁極と、該磁極間に保持された磁性粉を含む磁
性流体と、該磁性流体を振動させるための超音波振動子
とを備えたととを特徴とする表面処理装ｕ１．。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59043882A JPS60191760A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 表面処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59043882A JPS60191760A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 表面処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60191760A true JPS60191760A (ja) | 1985-09-30 |
Family
ID=12676074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59043882A Pending JPS60191760A (ja) | 1984-03-09 | 1984-03-09 | 表面処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60191760A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4734964A (en) * | 1985-10-24 | 1988-04-05 | Cooper Lasersonics, Inc. | Apparatus for refurbishing acoustic members |
| JP2002144221A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-21 | Kyoei Denko Kk | 刃先の精密仕上げ方法 |
-
1984
- 1984-03-09 JP JP59043882A patent/JPS60191760A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4734964A (en) * | 1985-10-24 | 1988-04-05 | Cooper Lasersonics, Inc. | Apparatus for refurbishing acoustic members |
| JP2002144221A (ja) * | 2000-11-13 | 2002-05-21 | Kyoei Denko Kk | 刃先の精密仕上げ方法 |
| JP4695731B2 (ja) * | 2000-11-13 | 2011-06-08 | 共栄電工株式会社 | 刃先の精密仕上げ方法 |
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