JPS60187380A - 超音波洗浄方法 - Google Patents
超音波洗浄方法Info
- Publication number
- JPS60187380A JPS60187380A JP4212184A JP4212184A JPS60187380A JP S60187380 A JPS60187380 A JP S60187380A JP 4212184 A JP4212184 A JP 4212184A JP 4212184 A JP4212184 A JP 4212184A JP S60187380 A JPS60187380 A JP S60187380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- ultrasonic
- sound pressure
- distance
- cleaned
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は超音波洗浄方法に関するものである。
従来の洗浄装置は第１図に示すように、洗浄柩／内に洗
浄液２を充填し、超音波放射面を兼ねる洗浄槽底部３に
超音波振動子グを取付け、信号発生器りに接続する。一
方、洗浄槽／の下端には導管乙、７を設けて給水バルブ
どと排出パルブタを設けて給排出できるようになってい
る。そして、被洗浄物１０は篭／／等に収納されて洗浄
液コ中に浸漬され、昇降装置／２により吊下されている
。
浄液２を充填し、超音波放射面を兼ねる洗浄槽底部３に
超音波振動子グを取付け、信号発生器りに接続する。一
方、洗浄槽／の下端には導管乙、７を設けて給水バルブ
どと排出パルブタを設けて給排出できるようになってい
る。そして、被洗浄物１０は篭／／等に収納されて洗浄
液コ中に浸漬され、昇降装置／２により吊下されている
。
前記装置において、超音波振動子グの共振周波数付近に
調整された電気信号を、信号発生器左から超音波振動子
グヘ印加することにより洗浄液面に向けて超音波を照射
し、液面と洗浄槽底部３との間に定在波を作り、音圧の
強い部分を利用して洗浄を行っていた。
調整された電気信号を、信号発生器左から超音波振動子
グヘ印加することにより洗浄液面に向けて超音波を照射
し、液面と洗浄槽底部３との間に定在波を作り、音圧の
強い部分を利用して洗浄を行っていた。
しかしながら、定在波の特長と［７て音圧の強い部分と
弱い部分が方向において交互に表われることになり、被
洗浄物全体を強い部分で洗浄することができず、洗浄ム
ラが生じるという問題がある。この洗浄ムラを無くすだ
めに、被洗浄物１０が音圧の強い部分を通過きせるよう
に、昇降装置／２により上下移動させていた。
弱い部分が方向において交互に表われることになり、被
洗浄物全体を強い部分で洗浄することができず、洗浄ム
ラが生じるという問題がある。この洗浄ムラを無くすだ
めに、被洗浄物１０が音圧の強い部分を通過きせるよう
に、昇降装置／２により上下移動させていた。
それ故、昇降装置／２を設備しなければならず、洗浄装
置全体が大型化はれ、複雑になる欠点がある。又、昇降
装置を備えていない場合には人手により被洗浄物１０を
上下動させているので、自動化できない欠点がある。
置全体が大型化はれ、複雑になる欠点がある。又、昇降
装置を備えていない場合には人手により被洗浄物１０を
上下動させているので、自動化できない欠点がある。
本発明者は、定在波の波長変化を種々検討を重ねた結果
、液面と超音波放射面との距離を変化させて音圧の強力
な個所を移動ζせて洗浄をを行うことにより洗浄ムラの
ない洗浄を行うことができることを見出し、本発明とし
て提案Ｌ７たものである。
、液面と超音波放射面との距離を変化させて音圧の強力
な個所を移動ζせて洗浄をを行うことにより洗浄ムラの
ない洗浄を行うことができることを見出し、本発明とし
て提案Ｌ７たものである。
本発明においては、洗浄液の液面（と、超音波放射面と
の距離を変化させる。この距離を変化させることにより
、超音波振動子の電気端子から見た共振周波数が変化す
る。その実測データを第９図に示す。この図からも明ら
か々ように、液面と超音波放射面との距離の変化に対す
る共振周波数の変化率は約９０ ＨＺ ／ ｗｎとなっ
ている。但し、この変化率は超音波振動子の共振の鋭’
ＪＱとも関連しで決まる値である。したがって、液面と
超音波放射面との距離が変化するに従って超音波振動子
の電気端子から見た共振周波数は変化し、その共振筒阪
叙による定在波の波長も変化することになる。この定在
波の波長が変化することにより音圧の強い部分も移動す
ることに寿るから、被洗浄物の位置が固定されていると
仮足すれば、音圧の強い部分が被洗浄物に対し７て移動
することになり、その結果、強い部分にて全体を洗浄し
、洗浄ムラを無くすことができる。
の距離を変化させる。この距離を変化させることにより
、超音波振動子の電気端子から見た共振周波数が変化す
る。その実測データを第９図に示す。この図からも明ら
か々ように、液面と超音波放射面との距離の変化に対す
る共振周波数の変化率は約９０ ＨＺ ／ ｗｎとなっ
ている。但し、この変化率は超音波振動子の共振の鋭’
ＪＱとも関連しで決まる値である。したがって、液面と
超音波放射面との距離が変化するに従って超音波振動子
の電気端子から見た共振周波数は変化し、その共振筒阪
叙による定在波の波長も変化することになる。この定在
波の波長が変化することにより音圧の強い部分も移動す
ることに寿るから、被洗浄物の位置が固定されていると
仮足すれば、音圧の強い部分が被洗浄物に対し７て移動
することになり、その結果、強い部分にて全体を洗浄し
、洗浄ムラを無くすことができる。
次に、本発明方法を第２図に示す第１実施例に基き説明
すると、装置は第１図の昇降装置をなくしたもので他は
全て第１図と同一なので、同一符号を付し構成の説明を
省略する。
すると、装置は第１図の昇降装置をなくしたもので他は
全て第１図と同一なので、同一符号を付し構成の説明を
省略する。
第２図において、排水パルブタを開くことにより洗浄液
）を排出して液面を下げ超音波放射面（洗浄槽底部３）
との距破を短かくする。逆に給水バルブどを開いて洗浄
液ノを導入することにより液面を上昇させ、超音波放射
面との距離を長くする。
）を排出して液面を下げ超音波放射面（洗浄槽底部３）
との距破を短かくする。逆に給水バルブどを開いて洗浄
液ノを導入することにより液面を上昇させ、超音波放射
面との距離を長くする。
前記の排水パルブタと給水バルブどとを操作することに
より液面を変化させ、被洗浄物１０に対する音圧の強い
部分を移動式せて全体を強力に洗浄する。
より液面を変化させ、被洗浄物１０に対する音圧の強い
部分を移動式せて全体を強力に洗浄する。
次に、第３図に示す第２実施例により説明すると、洗浄
槽／に並列して予備タンク／３を設置し、両者を給排水
ポンプ／グで接続し、予備タンク／３の一力に給水バル
ブどを有する導管乙を接続する。
槽／に並列して予備タンク／３を設置し、両者を給排水
ポンプ／グで接続し、予備タンク／３の一力に給水バル
ブどを有する導管乙を接続する。
他は全て第１図と同一なので、同一符号を付し、説明を
省略する。
省略する。
第２実施例においては、液面を低下はせる際には、給排
水ポンプ／グを排出側に駆動することにより洗浄槽／内
の洗浄液λを予備タンク７３内へ排水させ、液面を上昇
きせる際には、給排出ポンプ／グを給水側に駆動して予
備タンク／３から洗浄液２を洗浄ｉ／へ補充する。
水ポンプ／グを排出側に駆動することにより洗浄槽／内
の洗浄液λを予備タンク７３内へ排水させ、液面を上昇
きせる際には、給排出ポンプ／グを給水側に駆動して予
備タンク／３から洗浄液２を洗浄ｉ／へ補充する。
したがって、給排水ポンプ／りの駆動により簡単に距離
を変化させることができる。
を変化させることができる。
本発明方法においては液面を変化きせることにより音圧
の強い個ＦＩＴを変化させ、被洗浄物１０に対する位置
を移動式せて洗浄ムラを無くすことができる。
の強い個ＦＩＴを変化させ、被洗浄物１０に対する位置
を移動式せて洗浄ムラを無くすことができる。
、 自動化に際しては強い音圧個所に被洗浄物を通過さ
せればよいものである。
せればよいものである。
第１図は従来の洗浄装置の断面図、第２図は本発明に係
る超音波洗浄方法の第１実施例の断面図、第３図は第２
実施例の断面図、第９図は液面と超音波放射面の距離と
共振周波数との関係を示す図である。 図中２は洗浄液、３は超音波放射面（洗浄槽底部）、１
０は被洗浄物である。 特許出願人 島田理化工業株式会社 第３図 第４図 距離（ｍｍ）
る超音波洗浄方法の第１実施例の断面図、第３図は第２
実施例の断面図、第９図は液面と超音波放射面の距離と
共振周波数との関係を示す図である。 図中２は洗浄液、３は超音波放射面（洗浄槽底部）、１
０は被洗浄物である。 特許出願人 島田理化工業株式会社 第３図 第４図 距離（ｍｍ）
Claims (1)
- 被洗浄物を浸漬きせだ洗浄液の液面と、超音波放射面と
の距離を変化させて音圧の強力な個所を移動式せて洗浄
を行うことを特徴とする超音波洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4212184A JPS60187380A (ja) | 1984-03-07 | 1984-03-07 | 超音波洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4212184A JPS60187380A (ja) | 1984-03-07 | 1984-03-07 | 超音波洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60187380A true JPS60187380A (ja) | 1985-09-24 |
Family
ID=12627114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4212184A Pending JPS60187380A (ja) | 1984-03-07 | 1984-03-07 | 超音波洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60187380A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009284883A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Miura Co Ltd | 農作物洗浄装置 |
| JP2020038903A (ja) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 株式会社ディスコ | ウェーハの分離方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4841553A (ja) * | 1971-09-30 | 1973-06-18 | ||
| JPS5768183A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Ultrasonic washing device |
| JPS57209677A (en) * | 1981-06-19 | 1982-12-23 | Ricoh Kk | Ultrasonic washing method |
-
1984
- 1984-03-07 JP JP4212184A patent/JPS60187380A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4841553A (ja) * | 1971-09-30 | 1973-06-18 | ||
| JPS5768183A (en) * | 1980-10-17 | 1982-04-26 | Ishikawajima Harima Heavy Ind | Ultrasonic washing device |
| JPS57209677A (en) * | 1981-06-19 | 1982-12-23 | Ricoh Kk | Ultrasonic washing method |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009284883A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Miura Co Ltd | 農作物洗浄装置 |
| JP2020038903A (ja) * | 2018-09-04 | 2020-03-12 | 株式会社ディスコ | ウェーハの分離方法 |
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