JPS60178455A - 電子写真感光体 - Google Patents

電子写真感光体

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Publication number
JPS60178455A
JPS60178455A JP3336584A JP3336584A JPS60178455A JP S60178455 A JPS60178455 A JP S60178455A JP 3336584 A JP3336584 A JP 3336584A JP 3336584 A JP3336584 A JP 3336584A JP S60178455 A JPS60178455 A JP S60178455A
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JP
Japan
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film
layer
heat
photoreceptor
cylindrical
Prior art date
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Pending
Application number
JP3336584A
Other languages
English (en)
Inventor
Takashi Kubo
久保 敬司
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Publication of JPS60178455A publication Critical patent/JPS60178455A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/005Materials for treating the recording members, e.g. for cleaning, reactivating, polishing
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03GELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
    • G03G5/00Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
    • G03G5/14Inert intermediate or cover layers for charge-receiving layers
    • G03G5/147Cover layers

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子写真感光体に関する。
電子写真感光体(d所定の特性を得るため、あるいは適
用される電子写真プロセスの種類に応じて種々の構成を
とるものである。そして、電子写真感光体の代表的なも
のとして、支持体上に光導電層が形成されている感光体
および表面に絶縁層を備えた感光体があり、広く用いら
れている。支持体と光導電層から構成される感光体は、
最も一般的な電子写真プロセスによる、即ち、帯電、画
像露光および現像、更忙必要に応じて転写による画像形
成に用いられる。まだ、絶縁層を備えた感光体について
、この絶縁層は、光導電層の保護、感光体の機械的強度
の改善、暗減衰特性の改善、または、特定の電子写真プ
ロセスに適用されるため等の目的のために設けられるも
のである。このような絶縁層を有する感光体または、絶
縁層を有する感光体を用いる電子写真プロセスの代表的
な例は、例えば、米国特許第2860048号公報、特
公昭41−16429号公報、特公昭46−3713号
公報、特公昭42−23910号公報、特公昭43−2
4748号公報、特公昭42−19747号公報、特公
昭36−4121号公報、などに記載されている。
電子写真感光体は、当然のことであるが、適用される電
子写真プロセスに応じた所定の感度、電気特性、更には
光学特性を備えていることが要求されるが、一般に、耐
久性、耐熱性、耐湿性、耐コロナイオン性等に優れた光
導電層を備えていることも望まれる。この点で、アモル
ファスシリコン(以下ra−3iJと称する)は、従来
汎用されているSe、5eTe、OdS、ZnOなどの
他の光導電材料に較べて機械的強度、耐熱性、耐湿性等
に優れたものであり、従来の光導電材料にとって代わる
可能性を有するものであり、例えば、独国公開第274
6967号公報、同第2855718号公報には電子写
真用像形成部材として独国公開第2933411号公報
には光電変換読取装置への応用が記載されている、 しかしながら、従来のa−8iで構成された光導電層を
有する電子写真感光体は機械的強度に優れる反面、コロ
ナ放電で生成した窒素化合物等が表面に付着した場合に
除去し難く、画像流れ等の原因になる。
また、表面硬度が高い反面、トナー融着が発生し易くク
リーニング不良の原因となり易い。
また、コロナ帯電によシピンホールが発生し、ベタ画像
において白抜けとして現われる。
本発明の目的は、前述の如き欠点を解決したアモルファ
スシリコン感光体を提供するものである。さらに、本発
明の他の目的は、簡単な再生手段により、再使用可能な
電子写真感光体を提供するものである。
本発明は、円筒形基体と主としてアモルファスシリコン
から成る光導電層と円筒形熱収縮フィルムよシ成る絶縁
層を有する電子写真感光体において、アモルファスシリ
コン感光層に滑剤を付着した後、円筒形熱収縮フィルム
を該感光層にかぶせて熱収縮させて形成した絶縁層が設
けられていることを特徴とする電子写真感光体から構成
される。アモルファスシリコン感光体の絶縁層として、
円筒形熱収縮フィルムを用いる場合にアモルファスシリ
コン感光体は、表面の摩擦低抗が大きいため、円筒形熱
収縮フィルムの熱収縮時に収縮ムラが発生する。
このため、本発明においては、アモルファスシリコン感
光体に滑剤を付着させた後、円筒形熱収縮フィルムを該
感光体にかぶせ熱収縮を行なうものである。
a −Siは通常、グロー放電法、スパッターリング法
、イオンブレーティング法、真空蒸着法等の堆積法によ
って支持体上に堆積される。グロー放電法、スパッタリ
ング法およびイオンブレーティング法は放電現象を利用
する堆積法であり、堆積室内においてガスプラズマ雰囲
気を所定時間維持して必俄な月のa−8i層を堆積させ
る方法であり、特に有効である。a−8iの形成用物質
としては、シリコン単体の外、堆積中に分解してシリコ
ンを生ずるケイ素化合物が用いられる。このようなシリ
コン化合物として代表的なのは、S iH4,S i 
2H6などのシリコン水素化合物である。a −S i
の形成については、必要に応じてa−8iの光電利得の
制御のために、必要に応じて水素(H)、酸素、窒素お
よびまだは炭素などを加えることも有効である。a−8
iへのHの含有の代表的な方法は、a −Siの堆積層
を形成する際、堆積装置系内にSiH4,Si2H6等
の化合物および又はH2の形で導入し、気体放電によっ
てそれらの化合物又はH2を分解して、維持°さ−れた
a −3i中に、堆積の成長に併せて含有させる。堆積
されるa−8iに酸素、窒素および炭素を含有きせる場
合についても、水素を含有させる場合と同様な手法で行
なうことができる。
a −Siに酸素、窒素および炭素を含有させるに用い
られるものとしては、これらの単体およびこれの元素の
化合物である。このような酸素化合物としては、510
2 + 513N4 + Co r CO2など窒素化
合物としてはNO、NO2、□3など、炭素化合物とし
ては、炭素数1〜4の飽和炭化水素、炭素数1〜4のエ
チレン系炭化水素、炭素数2〜3のアセチレン系炭化水
素等が挙げられる。例えば、飽和炭化水素としてはメタ
ン。
エタン、フロパン、 n −ブタン、エチレン系炭化水
素としては、エチレン、プロピレン、ブテン−1,ブテ
ン−2,インブチレン、アセチレン系炭化水素としては
、アセチレン、メチルアセチレンが挙けられる。a −
S iの形成には、例えば酸素、窒素、酸化物、窒化物
、炭化物等の化合物のガスをa −Siを形成する原料
ガスと共に−内部を減圧にし得る堆積室内に導入して該
堆積室内でグロー放電を生起させれば良い。又、例えば
a−8iをスパッタリング法で形成する場合には、所望
の例えば、(S 1 +C) r (Si+5102)
(Si + 5i3N4)なる成分で混合成形したスパ
ッター用のターゲットを使用するか、SlウェハーとC
3iOz又はS i 3N4ウエハーの二枚のターゲッ
トを使用して、スパッターリングを行うが、又は酸素ガ
スや窒素ガス又は、炭素、酸素、又は窒素を含んだ化合
物のガスを、例えばArガス等のスパッター用のガスと
共に堆積室内に導入して、Slのターゲットを使用して
スパッターリングを行ってa −Siを形成すれば良い
。酸素、窒素又は炭素のa−8iへの含有量は、適宜設
定されるものであるが、通常の場合0.1〜30 at
omic%、好適には0.1〜20 atomic%、
最適には、0.2〜15 atomic%とされるのが
望ましい。
a−8iを放電現象を利用する堆積法によって形成する
場合には、所望のプラズマ雰囲気を形成するに有効な放
電現象を堆積室内に生起させるに、放’fEN流密度を
、通常は0.1〜10 mA/cm2AC又はDC電流
とするのが良く、又充分なパワーを得る為には 通常1
00〜500■、好適には300〜500Vの電圧に’
tJ整され、投入される電力としては、通常0,1〜5
0W、好適には、0.5〜IOWとされるのが良い。又
、%には、ACの場合、その周波数は、通常0.2〜3
0MH2%好適には5〜20 MHzとされるのが望ま
しい。a −S iは 製造時の不純物のドーピングに
よって真性にし得、又その伝導型を制御することができ
る。a−8i中にドーピングされる不純物としては、a
−8iをP型にするには、周期律表第■族Aの元素、例
えばB 、 At 、 Ga 。
Jn 、 TL等が好適なものとして挙げられ、 n型
にする場合には、周期律表第V族Aの元素、例えば、N
 、 P 、 A8 、 Sb 、 B1等が好適なも
のとして挙げられる。
回能形熱収縮フィルムは、ポリエチレン、ポリプロピレ
ン、ポリエステル等の熱可塑性樹脂から成り、公知のイ
ンフレーション法により、1筒状に成膜されるものであ
る。
アモルファスシリコン感光体表面に付着される滑剤とし
ては、ポリテトラフルオロエチレン、ステアリン酸亜鉛
、ステアリン酸カル/ウム、ステアリン醒ブチル、ステ
アリン酸モノグリセリド、オレイン酸モノグリセリド、
リノール酸モノグリセリド、リシノール酸モノグリセリ
ド、ステアリン酸アミド、メナレンビスステアロアミド
、エチレンビスステアロアミド等がある。
こノシ等の滑剤をスプレー等を利用してアモルファスシ
リコン感光体表面ば付着させる4、実施例1 円筒形At )ラムの表面に第1図に示す装置を用い、
次表に示す条件で層形成を行なった。層形成は、次の様
な手順で行なった。10〜12の各パルプが閉じられて
いることを確認した後、グロー放電堆積尾2及び各ガス
配管内を排気する次に真空度が10−6torrになっ
た時点で6〜9の各パルプを閉じる。基体シリンダー上
に補助層を形成する場合、ガスボンベ1oより、SiH
4/f(eガス、ガスボンベ11よりNOガスをパルプ
7.8を開けて、配管内に導入させる。
引き続いてパルプ6を開いて夫々のガスをグロー放電堆
積室内に流入させる。反応室内の圧力が所望の値となる
よう真空計を見ながらメインパルプ5の開口を調整する
。基体シリンダー1の温度が加熱ヒーター4により所望
の温度に設定されていることを確認した後、14.14
’の電極間でグロー放電を生起させ、層堆積を行なう。
同様の方法で、非晶質層(I)、非晶質層(II)の層
形成を行なう。
、kl基板温度:’25o°C 放電周波数 : 13 、56 M Hz反応室内圧 
:非晶質層(1)形成時Q、3Torr〃(It) 〃
0.2Torr 次いで、1.0μm以下に解砕したポリテトラフルオロ
エチレン(商品名ニルプロント2.ダイキン工業@製)
をエタノール中に分散させた後、エアレススプレーで該
感光体表面に付着させる。エタノールを蒸発させた後、
円筒形熱収縮ホリエチレンテレフタレートフィルム(商
品名、 Ho5taphanshrjnk Film 
、 KALLE 製)を該感光体にかぶせ、120°C
で30分間の熱収縮を行ない、絶縁層を形成した。
比較例1 ポリテトラフルオロエチレンを感光体表面に付着させな
かったことを除いては、実施例1と同様にして得られた
感光体。
比較例2 実施例1と同様にして感光層のみを形成しカー感光体。
実施例2 滑剤として、ステアリン酸亜鉛を感光体表面に付着させ
たことを除いては、実施例1と同様忙して得られた感光
体。
実施例1,2およ−び#L較例1の慶光体−を布縁の複
写機(キャノン製rNp−500REJ)を改造した機
械に設置し、前露光/前除電、−次帯電、画像無光/二
次除電、全面露光、現像、転写、定加の一連のプロセス
により画出しを行なった。
また、比較例2の感光体に対しては、重版の複写機(キ
ャノン製rNP−500REJ)を改造した機械に設置
し、前に光/前帯電、−次帯電、画像露光、現像、転写
、定着の一連のプロセスによシ画出しを行なった。
この結果を次表に示す。
この様に、クリーニング性、画像流れに対しでは、表面
層がアモルファスシリコンよシも線状ポリマーの方が優
れている。一方、摺擦キズに関しては、ポリマーフィル
ムであるだめ、アモルファスシリコン表面層よりも弱い
。しかしながら、このm%XキズはCeO2等で研摩す
ること罠よシ、実質上間逢のないレベルにすることがで
き再使用可能である。また、キズの深くなったフィルム
は感光体表面から簡単に剥すことが可能であシ、しかる
後、新しいフィルム絶縁層を該感光体表面に形成するこ
とにより、実質上新ドラムとして再使用することができ
る。
【図面の簡単な説明】
図は、本発明による電子写真感光体の製造に用いる光導
電層製造用装置の1態様を示す。 lはAtドラム、 2はグロー放電堆積室、3は固定部
材、 4はヒーター、 5.6,7,8,9,10,11.12はパルプ、13
は高周波電源、14.14’は電極、15.16.17
はボンベを示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 円筒形基体と主としてアモルファスシリコンか
    ら成る光導電層と円筒形熱収縮フィルムより成る絶縁層
    を有する電子写真感光体において、アモルファスシリコ
    ン感光層に滑剤を付着した後、円筒形熱収縮フィルムを
    該感光層にかぶせて熱収縮させて形成した絶縁層が設け
    られていることを特徴とする電子写真感光体1.
JP3336584A 1984-02-25 1984-02-25 電子写真感光体 Pending JPS60178455A (ja)

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JP3336584A JPS60178455A (ja) 1984-02-25 1984-02-25 電子写真感光体

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JPS60178455A true JPS60178455A (ja) 1985-09-12

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ID=12384551

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JP3336584A Pending JPS60178455A (ja) 1984-02-25 1984-02-25 電子写真感光体

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5536633A (en) * 1993-11-30 1996-07-16 Eastman Kodak Company Heat stabilized silver chloride photographic emulsions containing sulfur donors and sulfinate compounds

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5536633A (en) * 1993-11-30 1996-07-16 Eastman Kodak Company Heat stabilized silver chloride photographic emulsions containing sulfur donors and sulfinate compounds

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