JPS60177235A - 真空計の校正装置 - Google Patents
真空計の校正装置Info
- Publication number
- JPS60177235A JPS60177235A JP3233484A JP3233484A JPS60177235A JP S60177235 A JPS60177235 A JP S60177235A JP 3233484 A JP3233484 A JP 3233484A JP 3233484 A JP3233484 A JP 3233484A JP S60177235 A JPS60177235 A JP S60177235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum gauge
- gas
- pressure
- gauge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L27/00—Testing or calibrating of apparatus for measuring fluid pressure
- G01L27/002—Calibrating, i.e. establishing true relation between transducer output value and value to be measured, zeroing, linearising or span error determination
- G01L27/005—Apparatus for calibrating pressure sensors
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は真空計の校正に係るもので、特に真空計のセン
サー間で放電現象が起こるような超高真空領域で微量な
測定ガスを供給して真空計を校正する場合に好適な真空
計の校正９置に関するものである。
サー間で放電現象が起こるような超高真空領域で微量な
測定ガスを供給して真空計を校正する場合に好適な真空
計の校正９置に関するものである。
真空ポンプの上部にマニホルドを取付け、その内部に測
定ガス供給管を設け、また、マニホルドの周囲１こ被校
正用真空計および校正用真空計を取付けたＪＩＳ規格に
よる校正方法は、超高真空領域定ガスを供給する場合は
、超高真空領域で微量なガスを供給することはリークバ
ルブでの調整が困難で、超高真空領域での校正ができな
いという欠点があった。
定ガス供給管を設け、また、マニホルドの周囲１こ被校
正用真空計および校正用真空計を取付けたＪＩＳ規格に
よる校正方法は、超高真空領域定ガスを供給する場合は
、超高真空領域で微量なガスを供給することはリークバ
ルブでの調整が困難で、超高真空領域での校正ができな
いという欠点があった。
本発明の目的は、超高真空計の校正が超高真空領域又・
も測定ガスによって可能であり、超高真空領域で圧力計
セン号−間の放電を防止して超高真空領域まで精度のよ
い校正ができる腐真空祖の校正装置を提供することにあ
る。
も測定ガスによって可能であり、超高真空領域で圧力計
セン号−間の放電を防止して超高真空領域まで精度のよ
い校正ができる腐真空祖の校正装置を提供することにあ
る。
〔発明の＄１．要〕
本発明は、測定ガス供給部と真空計取付部間にオリフィ
スを設けてｉＩｌ定ガス供給部と真空！ＩＩ′！ｖ付部
に圧力差を生じさせ、測定ガス併給部に神助用の真空ポ
ンプを接続し真空引きができるようにして圧力調整を容
易ならしめ、また、超高真空領域で真空針のセンサー間
で放電現象が生じないよう遮蔽板を設け、各真空計およ
びガス分析器に同じ測定ガスの分圧が流れるような構造
にした真空針の校正ｇ置である。
スを設けてｉＩｌ定ガス供給部と真空！ＩＩ′！ｖ付部
に圧力差を生じさせ、測定ガス併給部に神助用の真空ポ
ンプを接続し真空引きができるようにして圧力調整を容
易ならしめ、また、超高真空領域で真空針のセンサー間
で放電現象が生じないよう遮蔽板を設け、各真空計およ
びガス分析器に同じ測定ガスの分圧が流れるような構造
にした真空針の校正ｇ置である。
以下、本発明の一実施例を第１図および第２図により説
明する。
明する。
真空ポンプ１の上部にテス！・ドーム２を接続する。テ
ストドーム２は仕切りＺにより２室に仕切られ、この仕
切り乙にオリフィス３が取付けられ、オリフィス３下部
の室には校正用真空計４１ガス分析ａ５．被校正用真空
計６および遮蔽板７が設けらｎる。一方、オリフィス３
上部の室には真空計８．ガス供給管９および室内真空引
き管１ｏが設けられている。真空引き回路には、夏空ポ
ンプ１１およびバルブ１２が接続さｎている。ガス供給
回路は、水素ガスボンベ】３．減圧弁】４．締切弁１５
の回路と、窒素ガスボンベ１６．減圧弁１７ 、締切弁
１８の回路および連結管四、リークバルブ（９）より構
成されて、いる。
ストドーム２は仕切りＺにより２室に仕切られ、この仕
切り乙にオリフィス３が取付けられ、オリフィス３下部
の室には校正用真空計４１ガス分析ａ５．被校正用真空
計６および遮蔽板７が設けらｎる。一方、オリフィス３
上部の室には真空計８．ガス供給管９および室内真空引
き管１ｏが設けられている。真空引き回路には、夏空ポ
ンプ１１およびバルブ１２が接続さｎている。ガス供給
回路は、水素ガスボンベ】３．減圧弁】４．締切弁１５
の回路と、窒素ガスボンベ１６．減圧弁１７ 、締切弁
１８の回路および連結管四、リークバルブ（９）より構
成されて、いる。
真空計の校正は、まずテストドーム２に接続されている
バルブ】２およびリークバルブ加を完全に締切った状態
でテストドーム２の内圧が到達圧力になるまで真空ポン
プ１で真空引きを行なう。そして、テストドーム２の内
圧が到達圧力になったことを真空計８および校正用真空
計４で確かめると共にガス分析器５で被校正用真空計６
部の残留ガフを分１析する・ 上記残留ガス分析で水素分圧が９５チ以上であることを
確認し、この状態で被校正用真空計６を作動させ、到達
圧力での校正用真空計４との校正を行なう。
バルブ】２およびリークバルブ加を完全に締切った状態
でテストドーム２の内圧が到達圧力になるまで真空ポン
プ１で真空引きを行なう。そして、テストドーム２の内
圧が到達圧力になったことを真空計８および校正用真空
計４で確かめると共にガス分析器５で被校正用真空計６
部の残留ガフを分１析する・ 上記残留ガス分析で水素分圧が９５チ以上であることを
確認し、この状態で被校正用真空計６を作動させ、到達
圧力での校正用真空計４との校正を行なう。
圧力の高い状態での水素ガスによる校正は、水素ガスボ
ンベ１３から減圧弁１４で定圧にし締切弁１５゜リーク
バルブクによって必要量の水素ガスをテストドーム２の
オリフィス３上部の室に供給し、オリフィス３１遮蔽板
７を通り校正用真空計４．ガス分析器５１被校正用真空
計６の取付部の圧力およびガス分圧濃度が同一にさｎた
状態で行なう。
ンベ１３から減圧弁１４で定圧にし締切弁１５゜リーク
バルブクによって必要量の水素ガスをテストドーム２の
オリフィス３上部の室に供給し、オリフィス３１遮蔽板
７を通り校正用真空計４．ガス分析器５１被校正用真空
計６の取付部の圧力およびガス分圧濃度が同一にさｎた
状態で行なう。
テストドーム２内部の真空計４．６の取付部の圧力調整
は、真空引き回路の真空ポンプ１１により２ て真空引きを行ないバルブ神の開度で調圧する。
は、真空引き回路の真空ポンプ１１により２ て真空引きを行ないバルブ神の開度で調圧する。
窒素ガスでの真空計の校正は、上述の水素ガスでの校正
の停台と同様に窒素ガスボンベ１６から減圧弁１７で定
圧にし締切弁１８ 、 Ｕ−クバルブ９によって必ａｔ
の窒素ガスをテストドーム２のオリフィス３の上部室に
供給し、オリフィス３．遮蔽板７を別して校正用真空計
４、被校正用真空計６゜ガス分析器５の取付部の圧力お
よびガス分圧濃度が同一になるように測定ガスを供給し
、ガス分析器５で測定ガス分圧が９５係以上の状態で被
校正用真空計６を校正用真空計４で校正する。
の停台と同様に窒素ガスボンベ１６から減圧弁１７で定
圧にし締切弁１８ 、 Ｕ−クバルブ９によって必ａｔ
の窒素ガスをテストドーム２のオリフィス３の上部室に
供給し、オリフィス３．遮蔽板７を別して校正用真空計
４、被校正用真空計６゜ガス分析器５の取付部の圧力お
よびガス分圧濃度が同一になるように測定ガスを供給し
、ガス分析器５で測定ガス分圧が９５係以上の状態で被
校正用真空計６を校正用真空計４で校正する。
遮蔽板７は、テストドーム２内の圧力が低下しＩＩ！高
真空状態になる真空計のセンサー間で放電現象が発生し
正確な圧力指示ができないので、テストドーム２の外部
から容易にベーキングできる構造とするために設けたも
のである。
真空状態になる真空計のセンサー間で放電現象が発生し
正確な圧力指示ができないので、テストドーム２の外部
から容易にベーキングできる構造とするために設けたも
のである。
超高真空計の校正は、テストドーム２内を超高真空状態
にする必要があり、テストドーム２内を超高真空状態に
するにはテストドーム２内が十分ベーキングできる構造
にする必要がある。
にする必要があり、テストドーム２内を超高真空状態に
するにはテストドーム２内が十分ベーキングできる構造
にする必要がある。
定ガス分圧を同一にするためであり、遮蔽板７のコンダ
クタンスが無視できる程度のコンダクタンスの小さいオ
リフィス３とするものである。
クタンスが無視できる程度のコンダクタンスの小さいオ
リフィス３とするものである。
真空計の校正時には測定ガスをテストドーム２内部にリ
ークバルブ１９で供給量を調整しながら供給するが、超
高真空状態では供給量が少量でリークバルブ四のみでは
微調整ができないため真空ポンプ１１を使用し、テスト
ドーム２の内圧調整を行なうものである。また、測定ガ
スに水素ガスと窒素ガスを用いるのは一般的に容器内の
圧力を測定する際圧力が高い時は窒素分圧が高く、圧力
が低くなると水素分圧が高（なるので、真空針自身とし
ては両者にて校正を行なってお４必要があるためである
。
ークバルブ１９で供給量を調整しながら供給するが、超
高真空状態では供給量が少量でリークバルブ四のみでは
微調整ができないため真空ポンプ１１を使用し、テスト
ドーム２の内圧調整を行なうものである。また、測定ガ
スに水素ガスと窒素ガスを用いるのは一般的に容器内の
圧力を測定する際圧力が高い時は窒素分圧が高く、圧力
が低くなると水素分圧が高（なるので、真空針自身とし
ては両者にて校正を行なってお４必要があるためである
。
本実施例によれば、超高真を計の校正時に超高真空状態
の圧力の低い状態でも、測定ガスの供給と真空ポンプの
併用で超？Ｐｂ真空状態での真空計の校正が可能である
。また、超高真空状１で同じ所に多（の真空針を取イ］
け作動させると、真空計のセン吠−Ｉｌｌで放電現象が
発生し正確な指示値を示さないが、真空計取付部に放電
防止用の遮蔽板を設け、遮蔽板のコンダクタンスで真空
計数イ］部の圧力および測定ガスの分圧に差が生じない
ようにガス供給部と真空計取付部の間にコンダクタンス
の小さいオリフィスを設けたことにより、超高真空状態
で真空計の正確な校正が可能となる。
の圧力の低い状態でも、測定ガスの供給と真空ポンプの
併用で超？Ｐｂ真空状態での真空計の校正が可能である
。また、超高真空状１で同じ所に多（の真空針を取イ］
け作動させると、真空計のセン吠−Ｉｌｌで放電現象が
発生し正確な指示値を示さないが、真空計取付部に放電
防止用の遮蔽板を設け、遮蔽板のコンダクタンスで真空
計数イ］部の圧力および測定ガスの分圧に差が生じない
ようにガス供給部と真空計取付部の間にコンダクタンス
の小さいオリフィスを設けたことにより、超高真空状態
で真空計の正確な校正が可能となる。
本発明によれば、真空剤センサー間での放電を防止し、
真空Ｃ１の校正が超高真空状態で精度よくできるという
効果がある。
真空Ｃ１の校正が超高真空状態で精度よくできるという
効果がある。
第１図は本発明Ｉこよる真空計の校正装置の一実施例を
示す一部断面正面図、第２図は第１図のＡ−入断面図で
ある。 １−・・・真空ポンプ、２・・・・・・テストドーム、
３・・・・・・オリフィス、４・・・・・・校正用真空
針、５・・・・・・ガス分析器、６・・・・・・被校正
用真空引、７・・・・・・遮蔽板、８・・・・・・真空
計、９・・・・・ガス供給管、１０・・・・・・真空引
き管、１Ｊ・・・・・・真空ポンプ、１２・・・・・・
バルブ、１３・・・・・・水素ガスボンベ、１４・・・
・・減圧弁、１５・・・・・・締切弁、１６・・・・・
・預素ガスボンベ、１７・・・・・・減圧弁、１８・・
・・・・締切弁、１９・・・・・・連結管、λ・・・・
・・リークバルブ。
示す一部断面正面図、第２図は第１図のＡ−入断面図で
ある。 １−・・・真空ポンプ、２・・・・・・テストドーム、
３・・・・・・オリフィス、４・・・・・・校正用真空
針、５・・・・・・ガス分析器、６・・・・・・被校正
用真空引、７・・・・・・遮蔽板、８・・・・・・真空
計、９・・・・・ガス供給管、１０・・・・・・真空引
き管、１Ｊ・・・・・・真空ポンプ、１２・・・・・・
バルブ、１３・・・・・・水素ガスボンベ、１４・・・
・・減圧弁、１５・・・・・・締切弁、１６・・・・・
・預素ガスボンベ、１７・・・・・・減圧弁、１８・・
・・・・締切弁、１９・・・・・・連結管、λ・・・・
・・リークバルブ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ テストドームなオリフィスによって２室に仕切り、
真空引き用真空ポンプを接続した下流側の室に被校正用
および校正用真空計とガス分析器を取付けると共に各真
空計間の遮蔽板を設け、ＩＦＩ＝− 上流の室の真空計を取付けると共にガス供給回路と補助
用の真空引き回路を接続り、たことを特徴とする真空針
の校正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3233484A JPS60177235A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 真空計の校正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3233484A JPS60177235A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 真空計の校正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60177235A true JPS60177235A (ja) | 1985-09-11 |
Family
ID=12356049
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3233484A Pending JPS60177235A (ja) | 1984-02-24 | 1984-02-24 | 真空計の校正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60177235A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100724092B1 (ko) | 2005-10-27 | 2007-06-04 | 한국표준과학연구원 | Ｉｎ ―ｓｉｔｕ법에 의한 진공게이지의 절대교정 및 비교교정 장치 및 방법 |
| KR100805926B1 (ko) | 2006-08-22 | 2008-02-21 | 한국표준과학연구원 | 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치 |
| CN102564696A (zh) * | 2012-02-09 | 2012-07-11 | 江苏东方航天校准检测有限公司 | 便携式真空规校准系统及方法 |
| CN102589803A (zh) * | 2012-02-06 | 2012-07-18 | 江苏东方航天校准检测有限公司 | 一种便携式多功能真空校准系统及方法 |
| CN102749170A (zh) * | 2012-07-16 | 2012-10-24 | 卢耀文 | 复合型真空规校准系统及方法 |
| CN102944358A (zh) * | 2012-11-12 | 2013-02-27 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种高低温真空校准装置及方法 |
-
1984
- 1984-02-24 JP JP3233484A patent/JPS60177235A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100724092B1 (ko) | 2005-10-27 | 2007-06-04 | 한국표준과학연구원 | Ｉｎ ―ｓｉｔｕ법에 의한 진공게이지의 절대교정 및 비교교정 장치 및 방법 |
| KR100805926B1 (ko) | 2006-08-22 | 2008-02-21 | 한국표준과학연구원 | 저진공 게이지 및 고진공 게이지의 통합 교정장치 |
| CN102589803A (zh) * | 2012-02-06 | 2012-07-18 | 江苏东方航天校准检测有限公司 | 一种便携式多功能真空校准系统及方法 |
| CN102564696A (zh) * | 2012-02-09 | 2012-07-11 | 江苏东方航天校准检测有限公司 | 便携式真空规校准系统及方法 |
| CN102749170A (zh) * | 2012-07-16 | 2012-10-24 | 卢耀文 | 复合型真空规校准系统及方法 |
| CN102944358A (zh) * | 2012-11-12 | 2013-02-27 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所 | 一种高低温真空校准装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7716993B2 (en) | Gas flow rate verification unit | |
| US7376520B2 (en) | System and method for gas flow verification | |
| US8381755B2 (en) | Pressure type flow rate control reference and corrosion resistant pressure type flow rate controller used for the same | |
| WO2019104450A1 (zh) | 一种新型分压力质谱计校准装置及方法 | |
| JP2635587B2 (ja) | リーク検査装置のディテクタを較正する装置 | |
| JPS60177235A (ja) | 真空計の校正装置 | |
| US5900530A (en) | Method for testing pressure sensors | |
| JP3989629B2 (ja) | 流量検査装置 | |
| CN210293526U (zh) | 气体分压的在线测量装置 | |
| KR101283285B1 (ko) | 유체 누설 공급 장치 | |
| EP0151698B1 (en) | Valve testing system utilizing an artificial atmosphere | |
| CN111896191B (zh) | 一种整体油箱检漏设备现场校准方法及辅助校准设备 | |
| CN207832385U (zh) | 一种通道式标准漏孔校准装置 | |
| JP3875885B2 (ja) | 気密試験方法 | |
| Kangi et al. | The new UME primary standard for pressure generation in the range from 9× 10− 4 Pa to 103 Pa | |
| CN110849946A (zh) | 氧气检测报警器的校准装置及校准方法 | |
| SU1290115A1 (ru) | Способ градуировки вакуумметров | |
| CN219284571U (zh) | 隔爆试验系统的动态爆炸压力验证装置 | |
| CN110987718A (zh) | 一种采用定压法测试吸气材料吸气性能的测试系统 | |
| JPH04204133A (ja) | 基準真空計の校正装置 | |
| CN115165665A (zh) | 一种可在线计量的材料放气精确测试装置及其方法 | |
| CN219978078U (zh) | 一种恒定流量孔与吸阻标准棒的期间检测装置及设备 | |
| JPH0815076A (ja) | 漏れ測定方法及びその装置 | |
| JPH0955185A (ja) | 校正ガス系統を備えたマスフィルター型ガス分析計及びその操作方法 | |
| Fomin | Metrological support of test leak in vacuum |