JPH0815076A - 漏れ測定方法及びその装置 - Google Patents
漏れ測定方法及びその装置Info
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- JPH0815076A JPH0815076A JP17214894A JP17214894A JPH0815076A JP H0815076 A JPH0815076 A JP H0815076A JP 17214894 A JP17214894 A JP 17214894A JP 17214894 A JP17214894 A JP 17214894A JP H0815076 A JPH0815076 A JP H0815076A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 微量漏れを高精度で測定する漏れ測定方法及
びその装置を提供する。 【構成】 測定台３に気密にセットされた被測定物４に
対して、加圧装置８により漏れ測定媒体を加圧供給す
る。被測定物４に微小漏れが生じていると、その漏れが
流体流路３１ｂ、６ｂを通じて保護膜２７に伝達され、
さらに該保護膜２７を介してダイヤフラム２２に伝達さ
れる。ダイヤフラム２２は伝達された漏れ量に応じて容
積変化する。この容積変化は、変位センサ２５により計
測されて演算処理ユニット１３へ出力され、ダイヤフラ
ム変位量と容積変化の関係から漏れ量を演算する。ダイ
ヤフラム２２が所定以上に変位しないように保護する変
位規制機構２が設けられるとともに、圧力センサ１２に
より漏れ測定系７の内圧を計測して該変位規制機構２の
異常作動を監視して不具合の発生を防止できる。
びその装置を提供する。 【構成】 測定台３に気密にセットされた被測定物４に
対して、加圧装置８により漏れ測定媒体を加圧供給す
る。被測定物４に微小漏れが生じていると、その漏れが
流体流路３１ｂ、６ｂを通じて保護膜２７に伝達され、
さらに該保護膜２７を介してダイヤフラム２２に伝達さ
れる。ダイヤフラム２２は伝達された漏れ量に応じて容
積変化する。この容積変化は、変位センサ２５により計
測されて演算処理ユニット１３へ出力され、ダイヤフラ
ム変位量と容積変化の関係から漏れ量を演算する。ダイ
ヤフラム２２が所定以上に変位しないように保護する変
位規制機構２が設けられるとともに、圧力センサ１２に
より漏れ測定系７の内圧を計測して該変位規制機構２の
異常作動を監視して不具合の発生を防止できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は漏れ測定方法及びその装
置に関するものである。
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】気密性が要求される製品からの漏れを測
定する方法として、圧力降下法及び差圧方法がある。圧
力降下法は、被測定物に所定圧を加えた後気密状態で放
置される測定系の圧力降下により漏れを測定するもので
ある。また、差圧方法は、基準となるマスタと被測定物
との差圧により漏れを測定するものである。
定する方法として、圧力降下法及び差圧方法がある。圧
力降下法は、被測定物に所定圧を加えた後気密状態で放
置される測定系の圧力降下により漏れを測定するもので
ある。また、差圧方法は、基準となるマスタと被測定物
との差圧により漏れを測定するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように圧力変化を利用した漏れ測定方法は、測定精度を
高めるために圧力変化を大きくとろうとすると、配管や
治具等の容積変化が生じたり試験圧力が変動したりし
て、特に微量な漏れを高精度で測定することができない
という問題点がある。また、特開昭５６−１２６７３４
号公報には、ダイヤフラムを用いた漏れ検出装置が開示
されているが、直接漏れ量を測定するものではない。本
発明は上記問題点を解決するためになされたもので、微
量な漏れを高精度で測定することができる漏れ測定方法
及びその装置を提供することを目的とする。
ように圧力変化を利用した漏れ測定方法は、測定精度を
高めるために圧力変化を大きくとろうとすると、配管や
治具等の容積変化が生じたり試験圧力が変動したりし
て、特に微量な漏れを高精度で測定することができない
という問題点がある。また、特開昭５６−１２６７３４
号公報には、ダイヤフラムを用いた漏れ検出装置が開示
されているが、直接漏れ量を測定するものではない。本
発明は上記問題点を解決するためになされたもので、微
量な漏れを高精度で測定することができる漏れ測定方法
及びその装置を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の請求項１に記載の本発明の漏れ測定方法は、被測定物
からの漏れ量に応じたダイヤフラムの容積変化をダイヤ
フラム変位量として出力し、演算手段により前記漏れ量
を演算することを特徴とする。
の請求項１に記載の本発明の漏れ測定方法は、被測定物
からの漏れ量に応じたダイヤフラムの容積変化をダイヤ
フラム変位量として出力し、演算手段により前記漏れ量
を演算することを特徴とする。
【０００５】上記目的を達成するための請求項２に記載
の発明は、請求項１記載の漏れ測定方法において、前記
漏れ量が所定量以上のとき前記ダイヤフラムへの漏れ量
の伝達を阻止して該ダイヤフラムを保護するようにした
ことを特徴とする。
の発明は、請求項１記載の漏れ測定方法において、前記
漏れ量が所定量以上のとき前記ダイヤフラムへの漏れ量
の伝達を阻止して該ダイヤフラムを保護するようにした
ことを特徴とする。
【０００６】上記目的を達成するための請求項３記載の
本発明の漏れ測定装置は、被測定物を装着する測定台
と、漏れ測定媒体をなす流体を加圧して前記被測定物に
供給する加圧手段と、前記被測定物からの漏れ量に応じ
たダイヤフラムの容積変化をダイヤフラム変位量として
出力するダイヤフラム式容積計と、前記ダイヤフラム式
容積計に対する外乱の影響を抑制する安定器とから漏れ
測定系を構成するとともに、前記ダイヤフラム変位量か
ら前記漏れ量を演算する演算手段を備えたことを特徴と
する。
本発明の漏れ測定装置は、被測定物を装着する測定台
と、漏れ測定媒体をなす流体を加圧して前記被測定物に
供給する加圧手段と、前記被測定物からの漏れ量に応じ
たダイヤフラムの容積変化をダイヤフラム変位量として
出力するダイヤフラム式容積計と、前記ダイヤフラム式
容積計に対する外乱の影響を抑制する安定器とから漏れ
測定系を構成するとともに、前記ダイヤフラム変位量か
ら前記漏れ量を演算する演算手段を備えたことを特徴と
する。
【０００７】上記目的を達成するための請求項４記載の
発明は、請求項３記載の漏れ測定装置において、前記被
測定物からの漏れ量が所定量以上のとき前記ダイヤフラ
ム式容積計への漏れ量の伝達を阻止する保護手段を設け
たことを特徴とする。
発明は、請求項３記載の漏れ測定装置において、前記被
測定物からの漏れ量が所定量以上のとき前記ダイヤフラ
ム式容積計への漏れ量の伝達を阻止する保護手段を設け
たことを特徴とする。
【０００８】上記目的を達成するための請求項５記載の
発明は、請求項４記載の漏れ測定装置において、前記保
護手段は、前記被測定物からの漏れ量に応じて変位する
保護膜を有するとともに、該保護膜の所定量以上の変位
を規制する変位規制機構であることを特徴とする。
発明は、請求項４記載の漏れ測定装置において、前記保
護手段は、前記被測定物からの漏れ量に応じて変位する
保護膜を有するとともに、該保護膜の所定量以上の変位
を規制する変位規制機構であることを特徴とする。
【０００９】上記目的を達成するための請求項６記載の
発明は、請求項４又は請求項５記載の漏れ測定装置にお
いて、前記保護手段は、前記漏れ測定媒体が液体である
とき、前記被測定物の装着位置よりも上方に配置するこ
とを特徴とする。
発明は、請求項４又は請求項５記載の漏れ測定装置にお
いて、前記保護手段は、前記漏れ測定媒体が液体である
とき、前記被測定物の装着位置よりも上方に配置するこ
とを特徴とする。
【００１０】上記目的を達成するための請求項７記載の
発明は、請求項３乃至請求項６のいずれかに記載の漏れ
測定装置において、前記安定器は前記ダイヤフラムの容
積変化に比し十分大きな容積を有する密閉容器であるこ
とを特徴とする。
発明は、請求項３乃至請求項６のいずれかに記載の漏れ
測定装置において、前記安定器は前記ダイヤフラムの容
積変化に比し十分大きな容積を有する密閉容器であるこ
とを特徴とする。
【００１１】上記目的を達成するための請求項８記載の
発明は、請求項３乃至請求項７のいずれかに記載の漏れ
測定装置において、前記漏れ測定系の内圧を測定し前記
被測定物の装着異常及び前記保護手段の作動異常を監視
する監視手段を設けたことを特徴とする。
発明は、請求項３乃至請求項７のいずれかに記載の漏れ
測定装置において、前記漏れ測定系の内圧を測定し前記
被測定物の装着異常及び前記保護手段の作動異常を監視
する監視手段を設けたことを特徴とする。
【００１２】
【作用及び発明の効果】請求項１記載の本発明の漏れ測
定方法によれば、出力されるダイヤフラム変位量に基づ
いて演算手段が直接被測定物からの漏れ量を演算する。
漏れを圧力変化としてではなく、ダイヤフラムの容積変
化により直接漏れ量を測定できるから、圧力変化の影響
を受けることなく高精度で測定できる。
定方法によれば、出力されるダイヤフラム変位量に基づ
いて演算手段が直接被測定物からの漏れ量を演算する。
漏れを圧力変化としてではなく、ダイヤフラムの容積変
化により直接漏れ量を測定できるから、圧力変化の影響
を受けることなく高精度で測定できる。
【００１３】請求項２記載の本発明の漏れ測定方法によ
れば、被測定物の漏れ量が所定量以上のとき前記ダイヤ
フラムを保護するため漏れ量の伝達が阻止される。従っ
て、所定量以上の漏れ量が伝達されてダイヤフラムが破
壊されることがない。
れば、被測定物の漏れ量が所定量以上のとき前記ダイヤ
フラムを保護するため漏れ量の伝達が阻止される。従っ
て、所定量以上の漏れ量が伝達されてダイヤフラムが破
壊されることがない。
【００１４】請求項３記載の本発明の漏れ測定装置によ
れば、加圧手段により漏れ測定媒体が加圧されて測定台
に装着された被測定物に供給される。これにより被測定
物から漏れ測定媒体が漏れ出ると、この漏れ量に応じて
ダイヤフラムが容積変化を生じる。この容積変化をダイ
ヤフラム変位量として出力し演算手段により直接漏れ量
を演算する。測定時において大気圧の変動や雰囲気の対
流等の外乱が生じても、安定器により抑制されダイヤフ
ラムに作動に殆ど影響を及ぼさない。従って、圧力変動
等の外乱の影響を受けることなく高精度で漏れ量を測定
できる。
れば、加圧手段により漏れ測定媒体が加圧されて測定台
に装着された被測定物に供給される。これにより被測定
物から漏れ測定媒体が漏れ出ると、この漏れ量に応じて
ダイヤフラムが容積変化を生じる。この容積変化をダイ
ヤフラム変位量として出力し演算手段により直接漏れ量
を演算する。測定時において大気圧の変動や雰囲気の対
流等の外乱が生じても、安定器により抑制されダイヤフ
ラムに作動に殆ど影響を及ぼさない。従って、圧力変動
等の外乱の影響を受けることなく高精度で漏れ量を測定
できる。
【００１５】請求項４記載の本発明の漏れ測定装置によ
れば、被測定物から所定量以上の漏れが生じた場合は、
保護手段によりダイヤフラム式容積計への漏れ量の伝達
が阻止される。従って、所定量以上の漏れ量が伝達され
てダイヤフラムが破壊されるのを防止できる。
れば、被測定物から所定量以上の漏れが生じた場合は、
保護手段によりダイヤフラム式容積計への漏れ量の伝達
が阻止される。従って、所定量以上の漏れ量が伝達され
てダイヤフラムが破壊されるのを防止できる。
【００１６】請求項５記載の本発明の漏れ測定装置によ
れば、変位規制機構の保護膜により被測定物からの漏れ
量に応じた変位が伝達されてダイヤフラムが容積変化を
生じる。漏れ量が所定量以上になると、保護膜の変位が
規制されるからダイヤフラムが所定以上の容積変化を起
こして破壊されることがない。
れば、変位規制機構の保護膜により被測定物からの漏れ
量に応じた変位が伝達されてダイヤフラムが容積変化を
生じる。漏れ量が所定量以上になると、保護膜の変位が
規制されるからダイヤフラムが所定以上の容積変化を起
こして破壊されることがない。
【００１７】請求項６記載の本発明の漏れ測定装置によ
れば、漏れ測定媒体が液体であるとき、被測定物の装着
位置よりも上方に保護手段が配置される。従って、漏れ
測定媒体の漏れ量を確実にダイヤフラム式容積計に伝達
できるとともに、保護手段を確実に機能させることがで
きる。
れば、漏れ測定媒体が液体であるとき、被測定物の装着
位置よりも上方に保護手段が配置される。従って、漏れ
測定媒体の漏れ量を確実にダイヤフラム式容積計に伝達
できるとともに、保護手段を確実に機能させることがで
きる。
【００１８】請求項７記載の本発明の漏れ測定装置によ
れば、ダイヤフラムの容積変化に比し十分大きな容積を
有する密閉容器を漏れ測定系に連結して安定器としたか
ら、大気圧の変動や雰囲気の対流等の外乱が生じても、
ダイヤフラムの容積変化に殆ど影響を及ぼさないから、
測定精度を高精度に維持できる。
れば、ダイヤフラムの容積変化に比し十分大きな容積を
有する密閉容器を漏れ測定系に連結して安定器としたか
ら、大気圧の変動や雰囲気の対流等の外乱が生じても、
ダイヤフラムの容積変化に殆ど影響を及ぼさないから、
測定精度を高精度に維持できる。
【００１９】請求項８記載の本発明の漏れ測定装置によ
れば、監視手段により、前記被測定物の装着異常及び前
記保護手段の作動異常が監視できる。従って、漏れ量を
高精度で測定できるとともに、不具合の発生を防止して
安全に測定できる。
れば、監視手段により、前記被測定物の装着異常及び前
記保護手段の作動異常が監視できる。従って、漏れ量を
高精度で測定できるとともに、不具合の発生を防止して
安全に測定できる。
【００２０】
【実施例】本発明の１実施例を添付図面を参照して説明
する。図１は本発明方法を実施する漏れ測定装置の概略
ブロック図である。図中１はダイヤフラム式容積計、２
は該ダイヤフラム式容積計１を過負荷から保護する変位
規制機構、３は被測定物４を気密に装着する測定台、５
は前記ダイヤフラム式容積計１に連結した安定器であ
る。測定台３、変位規制機構２、ダイヤフラム式容積計
１、安定器５の順に流体流路６ａ〜６ｃにより連結して
気密な漏れ測定系７を構成する。８は測定台３に装着さ
れる被測定物４に漏れ測定媒体を加圧供給する加圧装置
である。
する。図１は本発明方法を実施する漏れ測定装置の概略
ブロック図である。図中１はダイヤフラム式容積計、２
は該ダイヤフラム式容積計１を過負荷から保護する変位
規制機構、３は被測定物４を気密に装着する測定台、５
は前記ダイヤフラム式容積計１に連結した安定器であ
る。測定台３、変位規制機構２、ダイヤフラム式容積計
１、安定器５の順に流体流路６ａ〜６ｃにより連結して
気密な漏れ測定系７を構成する。８は測定台３に装着さ
れる被測定物４に漏れ測定媒体を加圧供給する加圧装置
である。
【００２１】ダイヤフラム式容積計１と変位規制機構２
とを連結する流体流路６ａには大気に連通する開閉弁９
が介装される。測定台３と安定器５にもそれぞれ大気に
も連通する開閉弁１０，１１が配置されている。また、
測定台３には漏れ測定系７の内圧を測定する圧力センサ
１２が配置されている。ダイヤフラム式容積計１及び圧
力センサ１２の信号は、それぞれ演算処理ユニット１３
に入力される。演算処理ユニット１３は中央演算処理装
置、ＲＡＭ，ＲＯＭ等の記憶装置、入出力インターフェ
ース等（いずれも図示しない）から構成され、所定の処
理プログラムを実施して漏れ量を演算したり、前記圧力
センサ１２が測定する漏れ測定系７の内圧に基づいて、
被測定物４の測定台３に対する装着異常や変位規制機構
２の異常作動を監視してインタロックしたりする。
とを連結する流体流路６ａには大気に連通する開閉弁９
が介装される。測定台３と安定器５にもそれぞれ大気に
も連通する開閉弁１０，１１が配置されている。また、
測定台３には漏れ測定系７の内圧を測定する圧力センサ
１２が配置されている。ダイヤフラム式容積計１及び圧
力センサ１２の信号は、それぞれ演算処理ユニット１３
に入力される。演算処理ユニット１３は中央演算処理装
置、ＲＡＭ，ＲＯＭ等の記憶装置、入出力インターフェ
ース等（いずれも図示しない）から構成され、所定の処
理プログラムを実施して漏れ量を演算したり、前記圧力
センサ１２が測定する漏れ測定系７の内圧に基づいて、
被測定物４の測定台３に対する装着異常や変位規制機構
２の異常作動を監視してインタロックしたりする。
【００２２】上記ダイヤフラム式容積計１は、２分割さ
れた左右のボディ２１ａ，２１ｂの中央にダイヤフラム
２２が気密に張設されている。ダイヤフラム２２は流体
流路２３ａ，２３ｂを介して伝達される微小容積変化に
鋭敏に感応するものが用いられる。例えば材質ＳＵＳ４
１０、厚さ０．０５ｍｍのダイヤフラムが好ましい。そ
して、ボディ２１ａ，２１ｂには、ダイヤフラム２２の
変位を許容する凹部２４ａ，２４ｂが形成され前記流体
流路２３ａ，２３ｂにそれぞれ連通している。図２に示
すように、被測定物４からの漏れ出る測定媒体の容積変
化によるダイヤフラム２２の微小変位量は、一般に圧力
センサ等に用いられるリアクタンスの変化を検出する変
位センサ２５により計測して演算処理ユニット１３へ出
力する。
れた左右のボディ２１ａ，２１ｂの中央にダイヤフラム
２２が気密に張設されている。ダイヤフラム２２は流体
流路２３ａ，２３ｂを介して伝達される微小容積変化に
鋭敏に感応するものが用いられる。例えば材質ＳＵＳ４
１０、厚さ０．０５ｍｍのダイヤフラムが好ましい。そ
して、ボディ２１ａ，２１ｂには、ダイヤフラム２２の
変位を許容する凹部２４ａ，２４ｂが形成され前記流体
流路２３ａ，２３ｂにそれぞれ連通している。図２に示
すように、被測定物４からの漏れ出る測定媒体の容積変
化によるダイヤフラム２２の微小変位量は、一般に圧力
センサ等に用いられるリアクタンスの変化を検出する変
位センサ２５により計測して演算処理ユニット１３へ出
力する。
【００２３】ダイヤフラム変位量ｈ（ｍｍ）と容積変化
Ｖ（ｍｍ3）の関係は、ダイヤフラム２２の半径をｒ
（ｍｍ）とすれば次式で表される。
Ｖ（ｍｍ3）の関係は、ダイヤフラム２２の半径をｒ
（ｍｍ）とすれば次式で表される。
【数１】Ｖ＝πｈ（３ｒ2＋ｈ2）／６ ここでダイヤフラム２２の半径ｒを適当な値に設定する
ことにより、上記ダイヤフラム変位量ｈと容積変化Ｖの
関係が、図３に示すようにリニアな比例関係となる。従
って、容積変化Ｖを求めるのに複雑な補正を行う必要も
ないから、漏れ量の計測を簡易な構成により行うことが
できる。
ことにより、上記ダイヤフラム変位量ｈと容積変化Ｖの
関係が、図３に示すようにリニアな比例関係となる。従
って、容積変化Ｖを求めるのに複雑な補正を行う必要も
ないから、漏れ量の計測を簡易な構成により行うことが
できる。
【００２４】変位規制機構２は、被測定物４の過大漏れ
等の場合にダイヤフラム式容積計１へ過負荷が印加され
るのを防止してダイヤフラム２２を保護するためのもの
である。上下に２分割されたボディ２６ａ，２６ｂの中
央に保護膜２７が気密に張設され、上部のボディ２６ａ
に半球面状の凹部２８が形成されている。保護膜２７は
通常の漏れ計測時には漏れ量に応じて変位するが、過大
漏れの場合は該凹部２８に保護膜２７が密着してそれ以
上変位しないように規制される。従って、前記ダイヤフ
ラム２２の容積変化を許容範囲内とし、ダイヤフラム２
２が破壊されないように保護できる。そして、ボディ２
６ａ，２６ｂには流体流路２９ａ，２９ｂが形成され、
流体流路６ａと流体流路６ｂとに連通されている。この
場合、保護膜２７は例えば材質ＳＵＳ３０４、厚さ０．
００５ｍｍの金属薄膜を用いるのが好ましい。尚、漏れ
測定媒体が液体の場合は、変位規制機構２を被測定物４
の装着位置よりも上方でかつ水平に配置する。これによ
り、保護膜２７はボディ２６ｂと平行な水平姿勢とな
り、常に原位置が確保される。
等の場合にダイヤフラム式容積計１へ過負荷が印加され
るのを防止してダイヤフラム２２を保護するためのもの
である。上下に２分割されたボディ２６ａ，２６ｂの中
央に保護膜２７が気密に張設され、上部のボディ２６ａ
に半球面状の凹部２８が形成されている。保護膜２７は
通常の漏れ計測時には漏れ量に応じて変位するが、過大
漏れの場合は該凹部２８に保護膜２７が密着してそれ以
上変位しないように規制される。従って、前記ダイヤフ
ラム２２の容積変化を許容範囲内とし、ダイヤフラム２
２が破壊されないように保護できる。そして、ボディ２
６ａ，２６ｂには流体流路２９ａ，２９ｂが形成され、
流体流路６ａと流体流路６ｂとに連通されている。この
場合、保護膜２７は例えば材質ＳＵＳ３０４、厚さ０．
００５ｍｍの金属薄膜を用いるのが好ましい。尚、漏れ
測定媒体が液体の場合は、変位規制機構２を被測定物４
の装着位置よりも上方でかつ水平に配置する。これによ
り、保護膜２７はボディ２６ｂと平行な水平姿勢とな
り、常に原位置が確保される。
【００２５】測定台３は上記流体流路６ｂに連通する流
体流路３１ａと該流体流路３１ａに連通する２本の流体
流路３１ｂ，３１ｃが形成されている。流体流路３１ａ
には、前記圧力センサ１２が配置され、漏れ測定系７の
内圧を計測して演算処理ユニット１３へ出力する。流体
流路３１ｂは、測定台３に気密に装着された被測定物４
と連通し、流体流路３１ｃには大気に連通する開閉弁１
０が配置されている。また、安定器５は、ダイヤフラム
式容積計１のダイヤフラム２２が大気圧の変動や雰囲気
の対流等による外乱の影響を受けなくするためのもので
ある。安定器５は圧力変化により変形しない所定容積を
有する密閉容器であり、流体流路６ｃによりダイヤフラ
ム式容積計１の流体流路２３ａに気密に連結される。こ
の場合、ダイヤフラム２２の容積変化に比し、安定器５
の容器の容積を十分大きくすることにより、ダイヤフラ
ム２２の容積変化により変化する安定器５の容器内の圧
力変化を無視することができる。
体流路３１ａと該流体流路３１ａに連通する２本の流体
流路３１ｂ，３１ｃが形成されている。流体流路３１ａ
には、前記圧力センサ１２が配置され、漏れ測定系７の
内圧を計測して演算処理ユニット１３へ出力する。流体
流路３１ｂは、測定台３に気密に装着された被測定物４
と連通し、流体流路３１ｃには大気に連通する開閉弁１
０が配置されている。また、安定器５は、ダイヤフラム
式容積計１のダイヤフラム２２が大気圧の変動や雰囲気
の対流等による外乱の影響を受けなくするためのもので
ある。安定器５は圧力変化により変形しない所定容積を
有する密閉容器であり、流体流路６ｃによりダイヤフラ
ム式容積計１の流体流路２３ａに気密に連結される。こ
の場合、ダイヤフラム２２の容積変化に比し、安定器５
の容器の容積を十分大きくすることにより、ダイヤフラ
ム２２の容積変化により変化する安定器５の容器内の圧
力変化を無視することができる。
【００２６】上記流体流路６ａ及び安定器５にそれぞれ
配置された開閉弁９及び１１は、漏れ測定系７に封じ込
められた漏れ測定媒体の熱膨張により、ダイヤフラム式
容積計１のダイヤフラム２２が、いずれか一方に所定値
異常変位した場合に開いて大気に連通させ、該ダイヤフ
ラム２２を原位置に復帰させるためのものである。
配置された開閉弁９及び１１は、漏れ測定系７に封じ込
められた漏れ測定媒体の熱膨張により、ダイヤフラム式
容積計１のダイヤフラム２２が、いずれか一方に所定値
異常変位した場合に開いて大気に連通させ、該ダイヤフ
ラム２２を原位置に復帰させるためのものである。
【００２７】上記構成の漏れ測定装置の作動を、被測定
物（燃料噴射弁）４の漏れを測定する態様で説明する。
測定台３に気密に装着された被測定物４に対して、加圧
装置８により漏れ測定媒体を所定圧力に加圧して供給す
る。被測定物４に微小漏れが生じていると、その漏れが
流体流路３１ｂ、６ｂを通じて保護膜２７に伝達され、
さらに該保護膜２７を介してダイヤフラム２２に伝達さ
れる。ダイヤフラム２２は伝達された漏れ量に応じて容
積変化する。この容積変化は、変位センサ２５により変
位として計測され演算処理ユニット１３へ出力される。
演算処理ユニット１３では、前記図３に示したダイヤフ
ラム変位量ｈ（ｍｍ）と容積変化Ｖ（ｍｍ3）の関係か
ら、漏れ量を演算する。
物（燃料噴射弁）４の漏れを測定する態様で説明する。
測定台３に気密に装着された被測定物４に対して、加圧
装置８により漏れ測定媒体を所定圧力に加圧して供給す
る。被測定物４に微小漏れが生じていると、その漏れが
流体流路３１ｂ、６ｂを通じて保護膜２７に伝達され、
さらに該保護膜２７を介してダイヤフラム２２に伝達さ
れる。ダイヤフラム２２は伝達された漏れ量に応じて容
積変化する。この容積変化は、変位センサ２５により変
位として計測され演算処理ユニット１３へ出力される。
演算処理ユニット１３では、前記図３に示したダイヤフ
ラム変位量ｈ（ｍｍ）と容積変化Ｖ（ｍｍ3）の関係か
ら、漏れ量を演算する。
【００２８】本発明の漏れ測定方法及び漏れ測定装置
は、上記したように被測定物４からの微小漏れを圧力で
はなく、気密状の漏れ測定系７内における漏れ測定媒体
の容積変化として捕らえ、微小容積変化に鋭敏に感応す
る極めて軟質のダイヤフラム２２による変位量を計測し
て、漏れ量を直接測定することができる。また、上記軟
質のダイヤフラム２２を用いることにより、計測時間内
に生じる圧力変化を無視できる程度に変位を微小化で
き、圧力変化によって測定値が影響を受けることがなく
高精度の漏れ測定を行うことができる。
は、上記したように被測定物４からの微小漏れを圧力で
はなく、気密状の漏れ測定系７内における漏れ測定媒体
の容積変化として捕らえ、微小容積変化に鋭敏に感応す
る極めて軟質のダイヤフラム２２による変位量を計測し
て、漏れ量を直接測定することができる。また、上記軟
質のダイヤフラム２２を用いることにより、計測時間内
に生じる圧力変化を無視できる程度に変位を微小化で
き、圧力変化によって測定値が影響を受けることがなく
高精度の漏れ測定を行うことができる。
【００２９】さらに、上記ダイヤフラム２２に対して
は、所定以上に変位しないように保護する変位規制機構
２を設けるとともに、圧力センサ１２により漏れ測定系
７の内圧を計測して該変位規制機構２の異常作動を監視
して不具合の発生を防止できる。
は、所定以上に変位しないように保護する変位規制機構
２を設けるとともに、圧力センサ１２により漏れ測定系
７の内圧を計測して該変位規制機構２の異常作動を監視
して不具合の発生を防止できる。
【００３０】（他の実施例）図４は他の実施例を示した
漏れ測定装置の概略ブロック図である。この漏れ測定装
置は、漏れ箇所を特定できない被測定物４４の漏れ量の
測定を行うもので、該被測定物４４を密閉容器４５内に
装着し、加圧装置８により漏れ測定媒体を加圧供給する
と、漏れ量に応じた容積変化が密閉容器４５内に生じ
る。この容積変化は上記した実施例と同様、流体流路６
ｂ→変位規制機構２→流体流路６ａ→ダイヤフラム式容
積計１へ伝達され、該ダイヤフラム式容積計により測定
され変位量に基づいて漏れ量が演算される。
漏れ測定装置の概略ブロック図である。この漏れ測定装
置は、漏れ箇所を特定できない被測定物４４の漏れ量の
測定を行うもので、該被測定物４４を密閉容器４５内に
装着し、加圧装置８により漏れ測定媒体を加圧供給する
と、漏れ量に応じた容積変化が密閉容器４５内に生じ
る。この容積変化は上記した実施例と同様、流体流路６
ｂ→変位規制機構２→流体流路６ａ→ダイヤフラム式容
積計１へ伝達され、該ダイヤフラム式容積計により測定
され変位量に基づいて漏れ量が演算される。
【図１】本発明を実施する漏れ測定装置の概略のブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】漏れ測定の基本原理を示した説明図である。
【図３】ダイヤフラムの変位と容積変化との関係を示し
た特性図である。
た特性図である。
【図４】他の実施例を示した概略のブロック図である。
１ ダイヤフラム式容積計 ２ 変位規制機構（保護手段） ３ 測定台 ４，４４ 被測定物 ５ 安定器 ７ 漏れ測定系 ８ 加圧装置（加圧手段） １２ 圧力センサ（監視手段） １３ 演算処理ユニット（演算手段、監視手段） ２２ ダイヤフラム ２７ 保護膜 ２８ 凹部
Claims (8)
- 【請求項１】 被測定物からの漏れ量に応じたダイヤフ
ラムの容積変化をダイヤフラム変位量として出力し、演
算手段により前記漏れ量を演算することを特徴とする漏
れ測定方法。 - 【請求項２】 前記漏れ量が所定量以上のとき前記ダイ
ヤフラムへの漏れ量の伝達を阻止して該ダイヤフラムを
保護するようにしたことを特徴とする請求項１記載の漏
れ測定方法。 - 【請求項３】 被測定物を装着する測定台と、漏れ測定
媒体をなす流体を加圧して前記被測定物に供給する加圧
手段と、前記被測定物からの漏れ量に応じたダイヤフラ
ムの容積変化をダイヤフラム変位量として出力するダイ
ヤフラム式容積計と、前記ダイヤフラム式容積計に対す
る外乱の影響を抑制する安定器とから漏れ測定系を構成
するとともに、前記ダイヤフラム変位量から前記漏れ量
を演算する演算手段を備えたことを特徴とする漏れ測定
装置。 - 【請求項４】 前記被測定物からの漏れ量が所定量以上
のとき前記ダイヤフラム式容積計への漏れ量の伝達を阻
止する保護手段を設けたことを特徴とする請求項３記載
の漏れ測定装置。 - 【請求項５】 前記保護手段は、前記被測定物からの漏
れ量に応じて変位する保護膜を有するとともに、該保護
膜の所定量以上の変位を規制する変位規制機構であるこ
とを特徴とする請求項４記載の漏れ測定装置。 - 【請求項６】 前記保護手段は、前記漏れ測定媒体が液
体であるとき、前記被測定物の装着位置よりも上方に配
置することを特徴とする請求項４又は請求項５記載の漏
れ測定装置。 - 【請求項７】 前記安定器は、前記ダイヤフラムの容積
変化に比し十分大きな容積を有する密閉容器であること
を特徴とする請求項３乃至請求項６のいずれかに記載の
漏れ測定装置。 - 【請求項８】 前記漏れ測定系の内圧を測定し前記被測
定物の装着異常及び前記保護手段の作動異常を監視する
監視手段を設けたことを特徴とする請求項３乃至請求項
７のいずれかに記載の漏れ測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06172148A JP3123352B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 漏れ測定方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06172148A JP3123352B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 漏れ測定方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0815076A true JPH0815076A (ja) | 1996-01-19 |
| JP3123352B2 JP3123352B2 (ja) | 2001-01-09 |
Family
ID=15936460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06172148A Expired - Lifetime JP3123352B2 (ja) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | 漏れ測定方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3123352B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5834631A (en) * | 1996-12-18 | 1998-11-10 | Denso Corporation | Leakage measurement method and apparatus using the same |
| US6698273B2 (en) * | 2001-05-02 | 2004-03-02 | Denso Corporation | Method and apparatus for inspecting airtightness of gas sensor |
| JP2005305396A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Koganei Corp | 可撓性タンクとこれを用いた薬液供給装置 |
| US10393523B2 (en) | 2014-06-12 | 2019-08-27 | Denso Corporation | Physical quantity sensor |
| CN114229749A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-25 | 埃斯科特钢有限公司 | 一种具有防护结构的叉车串杆 |
-
1994
- 1994-06-29 JP JP06172148A patent/JP3123352B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5834631A (en) * | 1996-12-18 | 1998-11-10 | Denso Corporation | Leakage measurement method and apparatus using the same |
| US6698273B2 (en) * | 2001-05-02 | 2004-03-02 | Denso Corporation | Method and apparatus for inspecting airtightness of gas sensor |
| JP2005305396A (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-04 | Koganei Corp | 可撓性タンクとこれを用いた薬液供給装置 |
| JP4511868B2 (ja) * | 2004-04-26 | 2010-07-28 | 株式会社コガネイ | 可撓性タンクとこれを用いた薬液供給装置 |
| US7887305B2 (en) | 2004-04-26 | 2011-02-15 | Koganei Corporation | Flexible tank and a chemical liquid supply apparatus using the same |
| US10393523B2 (en) | 2014-06-12 | 2019-08-27 | Denso Corporation | Physical quantity sensor |
| CN114229749A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-03-25 | 埃斯科特钢有限公司 | 一种具有防护结构的叉车串杆 |
| CN114229749B (zh) * | 2021-12-28 | 2024-03-19 | 埃斯科特钢有限公司 | 一种具有防护结构的叉车串杆 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3123352B2 (ja) | 2001-01-09 |
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