JPS601720A - 電子管陰極構体の製造方法 - Google Patents

電子管陰極構体の製造方法

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JPS601720A
JPS601720A JP10916983A JP10916983A JPS601720A JP S601720 A JPS601720 A JP S601720A JP 10916983 A JP10916983 A JP 10916983A JP 10916983 A JP10916983 A JP 10916983A JP S601720 A JPS601720 A JP S601720A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filament
eutectic alloy
electron tube
melting point
soldering
Prior art date
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Pending
Application number
JP10916983A
Other languages
English (en)
Inventor
Mamoru Kurokuzuhara
黒葛原 守
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS601720A publication Critical patent/JPS601720A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/02Manufacture of electrodes or electrode systems
    • H01J9/04Manufacture of electrodes or electrode systems of thermionic cathodes

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、例えばマグネトロンの陰極のように、熱電子
放出用のフィラメントと、このフィラメントを保持する
エンドシールドと、上記フィラメントに電流を供給する
ためのリード線とをろう付けしてなる電子管陰極構体の
製造方法に関するものである。
〔発明の背景〕
第1図に、従来用いられているマグネトロンの陰極構体
の一例を示す。図において、1は熱電子を放出するらせ
ん状のフィラメント、2および3はフィラメント1を保
持する上・下エンドシールド%4.5はエンドシールド
2,3をそれぞれ支持しかつフィラメント1に所定の電
流を通電するためのセンタリードおよびサイドリードで
ある。
通常、マグネトロンの動作中においては、フィラメント
1の中央部で約1,800℃、エンドシールド2.3と
の接合部で約1,200℃もの高温になるため、エンド
シールド2,3およびセンタリード4゜サイドリード5
には、それぞれモリブデンやタングステンなどの高融点
金属を用いる。また、各接合部の機械的・電気的接続に
用いられるろう材6としては、古くは白金を用いたが、
非常に高価であるところから最近はルテニウムとモリブ
デンとの共晶合金が用いられるように表っている。
その場合、ろう付は作業は、ルテニウムとモリブデンの
粉末を共晶合金を得る割合(重量比でRu43%、Mo
57%)で例えばカルピトールアセテートなどの溶剤に
混合してペースト状にしたものを第1図の6で示したよ
うに塗布し、還元雰囲気(N2)中でヒータ(図示せず
)の輻射熱で溶融して行々われる。
しかし、このようなろう付は方法においては、まずRu
−Moからなるろう材は共晶点においても1.945℃
と非常に高い融点を有するために、これを溶融するため
の上記ヒータが短寿命であること、また粉体状のものを
ペースト状として用いることによシ接合部への供給方法
が限定され、加熱溶融時に溶剤が気化されることによっ
て、塗布したろう材が飛散して接合に必要なろう量が不
足したシ、付着してはならない部位をろう付けしてしま
うことが有シ得ることなどの不都合があった。
〔発明の目的〕
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的は、各接合部のろう付けを、低い加熱温度で、し
かもろう材をペースト状にして塗布する方法を用いるこ
となく行なうことが可能な電子管陰極構体の製造方法を
提供することにある。
〔発明の概要〕
このような目的を達成するために、本発明は、ろう材と
してルテニウムとモリブデンとの共晶合金にニッケルを
添加したものを予めワッシャー状もしくはカップ状に成
形して用い、これを各接合部に配置した後加熱溶融する
ことによ)ろう付けを行なうものである。
先ず、同一出願人の出願にかかる特願57−84868
で明らかにしたように、Ru−Moの共晶合金は、5〜
50%のNiを添加することにより容易にその融点を低
下させることができる。すなわち、Ru−M。
共晶合金の粉末に約50重量%のNiを加えると、その
融点はほぼN1の融点1,430℃に近づき、例えば3
0重量%のN1を加えたものでは融点は1.650℃程
度となって、第2図(a)に示したような、アルミナな
どからなるセラミックスペーサ7を、3− 変形やクラック等を発生させることなく装着したままで
ろう付けが行なえる。このセラミックスペーサ7は、図
示のように中央をセンタリード4が貫通するようにして
下エンドシールド3に挿入して用いられるが、リードの
振れによってもろいフィラメント1が破断するのを防ぐ
働きを有する。
もちろん、低融点化により加熱用ヒータの長寿命化がは
かれることは言うまでもない。
一方、このような組成でも、粉末状で用いる場合には、
溶剤を用いてペースト状にして塗布する際lこ前述した
ような種々の不都合が生じることは避けられない。した
がって、本実施例ではペースト状のろう材ではなく、別
に合金化したインゴットをシート状にし、さらにプレス
加工などでワッシャー状にした、第2図(b)に示すよ
うなろう材8を用いた。゛・′すなわち、これを同図(
a)に示すようにフィラメント1.エンドシールド2 
、3 +−@センタリード4.サイドリード5の相互接
合部に配置供給し、その後、加熱溶融して接合する。上
述したように、Ru−MoにNiを添加した組成物を用
い4− ているために、この場合の加工性も良好である。
すなわち、このような成形ろう材を用いる方法でも、R
u−Moの共晶合金そのものによるときは、硬くてもろ
いために成形性が悪く、プレス金型の寿命も短いものと
なつCしまうのに対し、Nlを添加した場合には加工性
が良くなって上述したようなワッシャー状のものが容易
lこ形成できるとともに金型も長寿命化がはかれる。
加工性が良好であることから、第3図に示したろう材9
のようにカップ状に形成することも容易である。すなわ
ち、ろう材9は同図Φ)に示したように中央にセンタリ
ード4が貫通する孔を備えたカップ状lこプレス成形さ
れたもので、これを同図關に示すようにエンドシールド
2の下端に配置供給し、加熱溶融すればフィラメント1
およびエンドシールド2ならびにセンタリード4の接合
を一括して行なうことができ、これらの接合を別々に行
なった第2図の実施例に比較してろう材の供給箇所を3
箇所から2箇所に減らすことができる。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明によれば、ろう材としてル
テニウムとモリブデンとの共晶合金にニッケルを添加し
たものを用いることによシ、その融点を下げ、加熱溶融
用のヒータの長寿命化を可能にするとともにフィラメン
トの保護構造の採用を可能にして信頼性を向上させるこ
とができる。
のみならず、加工性も向上させることができるために、
これを予めワッシャー状もしくはカップ状に成形して各
接合部に配置供給する方法を用いることによシ、溶剤に
よシペースト状にして供給する従来の方法に対し、加熱
溶融時に溶剤に起因して生じるろう量不足および付着部
位の不安定などがなくなり、容易かつ高精度に各接合部
の接合が行なえ、陰極構体の組立性を向上させて電子管
製造コストの低廉化をはかることができる。
なお、組立前に要所を仮溶接しておけば、精度中組立性
において一層効果的である。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来方法によシ製造したマグネトロンの陰極構
体の一例を示す断面図、第2図(a)は本発明の一実施
例を示す陰極構体の断面図、同図中)は成形ろう材を示
す斜視図、第3図(a)は本発明の他の実施例を示す陰
極構体の断面図、同図中)は成形ろう材を示す斜視図で
ある。 1・・・eフィラメント、2I3・・・・エンドシール
ド、46@@番センタリード、5II・・響サイドリー
ド、8,9・・・・ろう材。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 熱電子を放出するフィラメントと、このフィラメントを
    保持する高融点金属からなるエンドシールドと、上記フ
    ィラメントに所定の電流を通電するリードとを各接合部
    において相互にろう付けして機械的lこ固定すると同時
    に電気的に接続する電子管陰極構体の製造方法において
    、上記ろう付けを、ルテニウムとモリブデンとの共晶合
    金にニッケルを添加した組成物からなるろう材を予めワ
    ッシャー状もしくはカップ状に成形してこれを各接合部
    に配置し、その後加熱溶融することにより行なうことを
    特徴とする電子管陰極構体の製造方法。
JP10916983A 1983-06-20 1983-06-20 電子管陰極構体の製造方法 Pending JPS601720A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6376200A (ja) * 1986-09-19 1988-04-06 Hitachi Ltd 半導体集積回路
DE102007050487A1 (de) * 2007-10-19 2009-04-30 W.C. Heraeus Gmbh Zur Schmelzpunktabsenkung modifiziertes MoRu-Hochtemperaturlot
DE102018003786A1 (de) 2017-05-16 2018-11-22 Fanuc Corporation Anzeigevorrichtung und Bearbeitungssystem zum Oszillationsschneiden
DE102019204409A1 (de) 2018-04-05 2019-10-10 Fanuc Corporation Anzeigevorrichtung
DE102019204947A1 (de) 2018-04-24 2019-10-24 Fanuc Corporation Anzeigegerät

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6376200A (ja) * 1986-09-19 1988-04-06 Hitachi Ltd 半導体集積回路
JP2679977B2 (ja) * 1986-09-19 1997-11-19 株式会社日立製作所 半導体集積回路
DE102007050487A1 (de) * 2007-10-19 2009-04-30 W.C. Heraeus Gmbh Zur Schmelzpunktabsenkung modifiziertes MoRu-Hochtemperaturlot
DE102018003786A1 (de) 2017-05-16 2018-11-22 Fanuc Corporation Anzeigevorrichtung und Bearbeitungssystem zum Oszillationsschneiden
DE102019204409A1 (de) 2018-04-05 2019-10-10 Fanuc Corporation Anzeigevorrichtung
DE102019204947A1 (de) 2018-04-24 2019-10-24 Fanuc Corporation Anzeigegerät

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