JPS60168072A - 載物台 - Google Patents

載物台

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JPS60168072A
JPS60168072A JP2387584A JP2387584A JPS60168072A JP S60168072 A JPS60168072 A JP S60168072A JP 2387584 A JP2387584 A JP 2387584A JP 2387584 A JP2387584 A JP 2387584A JP S60168072 A JPS60168072 A JP S60168072A
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JP
Japan
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stage
moving means
orthogonal
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moving
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JP2387584A
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稔 増田
宣良 藤井
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Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
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Mitsutoyo Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔1支術分野] 本発明は、載物台に係り、史に詳しくは、謂わゆるlI
′I交2軸移動型の載物台に関する。
[背j;(技術] 直交するX−Y軸方向の夫々に移動調整IIf能に構成
された載物台は、顕微鏡や投影検査機等の検査体の位置
決め、或いは、各種工作機械の加工物の位置決め等、広
範に利用されている。
このような載物台にあっては、従来、山型案内レール利
用の謂わゆる3枚毛ね構造とされるものがあったが、構
成部品の加工粕漬が高い割には横振れを上のに防11で
きないA・、総合的に観て粕漬の良好なものではなかっ
た。また、移動の際の摺動抵抗が過大であり操作性に劣
り、更に、組立てや分解の困難性を伴なうものであった
。しかも、大型で高重量化し易く、スペース効率も低い
等、種々の問題点があった。
そこで、このようなAilわゆる3枚重ね構造の載物台
の問題点を解消するものとして、基台の上にテーブルを
転がり手段を介して目、山移動I桂能とした、aj7わ
ゆる2枚重ね構造の載物台が既に本出願人により提案さ
れている(特開昭58−106514号)。この既提案
装置により、前述した種々の問題点が解消されたが、使
用目的によっては、公お次のような不都合を生しさせる
ことがあった。
即ち、(V基台]二に転がり手段等を介して載置された
テーブルをばね等の付勢手段により所定方向に(=j勢
させながら、この付勢手段に抗してXY軸方向から力を
加え、内者の力の釣合いにより基台」−の前記テーブル
を所定位置に位置決めしようとするものであるため、移
動手段に大きな負荷が加わらざるを得なかった。そのた
め、テーブルの移動調整に際して微弱な力により高精庶
な微調整を行なうことが困難であり、しかも、前記負荷
がテーブルの移動位置(ストローク)毎に変動してしま
フものであった。■ばね等を介在させるため、スペース
効率の向上が不十分である。■テーブルの1端而側の略
中央位置にばね等の付勢手段が横!、IJる構造である
ため、テーブルの例えば中央部等に透視部を設けること
が困難である。そのため、載物台を光学機器等に採用し
てテーブルの中央に光路を設けることができなかった。
〔発明の目的] 本発明の目的は、微弱な力にはり高粕漬な微調整を行な
うことができ、スペース効率に優れ、テーブル中央部等
に光路を確保することも容易な載物台を提供することに
ある。
[発明の構成] そのため、本発明は、少なくともl Miの直交側面を
有するテーブルを基台の−Lに全方向に移動++)能に
保持するとともに、前記テーブルの直交側面に当接する
係合部を備えた移動手段を前記直交側面に対応して基台
上に設けて前記テーブルを位置規制し、riFj記テー
ブルの各直交側面側とこれに対応する移動手段側との夫
々に空間を隔てて分離して設けられ当該直交側面と当該
移動手段の係合都合される結合手段を用いることにより
常時結合することとし、これにより、ばね等の伺勢手段
により前記移動手段に前記直交側II′+1を押4=1
けることなく前記結合手段によりテーブルと移動手段と
を結合することをII)能にし11.つ前記移動11段
により1)11記直交側面を軽快に案内することをもn
f能にして微弱な力により高精瓜な微調整を行なうこと
ができるようにし、また、テーブルのト端面にばね等を
配置させなくとも済むようにする等してスペース効−4
<を向トさせ、更に、テーブル中央部をばね!′9か横
切るものでないためテーブル中央部等に透視部を設ける
等して光路を確保することも容易なものと1.て、lj
u記1」的を達成しようとするものである。
[実施例の説明J 以ト、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
朋記本体12のト部フレーム12Bの先端にはシ1降台
21がH降ul能に取付けられ、この昇降台211−に
は載物台22が同定されている。また、+iij記シ1
隆台21は、ト部フレーム12Bに設けられた昇降グイ
ヤル23により昇降駆動されるようになっており、この
昇降タイヤル23よる昇降台21の−1−駆動により載
物台22上に載置された図小しない検査体@ rti+
記対物レンズ鏡筒14の焦点位置に合わせること、いわ
ゆるピント合わせができるよ)になっている。
第2,3図には前記載物台22が拡大して/Rされいる
。これらの図において、載物台22は、シ1降台21−
ヒに固定された基台31と、テーブル32とを有し、−
(−面を1・、滑に加にされた基台31の」−にはテー
ブル32が全方向に移動可能に保持されている。
テーブル32は全体として1枚板状の所定の広さのカラ
ス板等の透明板より形成され、即ち、その全域が透光部
とされ、一方、前記基台31の−F一端面におけるチル
プル32との接触範囲内には低摩擦手段としての四弗化
エチレン被膜等の低摩擦体の薄1摸35が形成され、テ
ーブル32は基台3l−1xを極めて滑らかに滑動され
るようになっている。
また、基台31の例えば中央部には透光部37が穿設さ
れ、透光部37により基台31とテーブル32とのトー
者が光透過されるようになってl、)る。別言すれば、
前記基台31およびテーブル32を貫通する光路が確保
されている。
テーブル32の側端面には、少なくとも2辺が11いに
直交する直交側面41が設けられており、これIう直交
側面41の夫々には、直交側面41の方向に沿って所定
r#41隔だけ隔てた2個所において係合部としての回
転ローラ42か当接されている。
組の回転ローラ42は夫々直交側面41に対応して設け
られた位置規制部材43に回転自在に支持され、位置規
制部材43には2本のガイドボスト44が水11.方向
に固定されており、これらカイトボスト44は前記基台
31に設けられた案内ブロック45に摺動自在に支承さ
れている。案内ソロ、、 745の中央部にはマイクロ
メータの調整機構(+fi’iわゆるマイクロメータヘ
ット)からなる移動手段46が取付けられ、この移動手
段46の先端は前記位置規制部材43の背面に固定され
、tilt記先端の進退動とともに位置規制部材43が
同11′を進退するようになっている。これら移動手段
46は共にその先端側の移動量をエンコーダにより検知
する検知手段が内蔵されItつ前記移動量を大小するテ
ジタル表不装置等の表ボ部47を有している。
1iIj記位置規制部材43(移動手段46側)および
テーブル32(直交側面41側)の夫々には磁力作用体
としての永久磁石51および52が夫々取+1けられて
おり、これら両永久磁イi51および52により、直交
側面41と、係合部としての回転ローラ42と、を磁力
作用により力、l/)に結合させる結合子段53か構成
されている。なお、ここにおいて、両水久磁石51.5
2は1リノ転ローラ42の介在により11iいに直接接
触はしないよう離隔して配置されている。即ち、両磁石
51わよび52は空1!1を隔てて分離している。また
、両永久磁イー1りlおよび52は他の磁力の大きさを
有するものと交換+4丁能であり、しかも、その取付位
置も調整II)能となっており、従って、両永久磁イ、
51および52相隼間に作用する吸引力の大きさが調整
IIf能に構成されている。
次に、本実施例の作用につき説明する。
テーブル32の」−面に検査体(図ボせず)を載置し、
必要により固定し、昇鋒タイヤル23よる検査体″9の
」ニド動によりピント合わせを行なった後、これを任益
の方向に移動する隙は、移動手段46を操作してその先
端を進退動させる。
この先端に取付けられた位置規制部材43と直交側面4
1とは!Lいに結合手段53により常時不++j分的に
結合されており、tiη記先端の進退動とともにテーブ
ル32はX軸方向或いはY軸方向に治って進退動するこ
ととなる。このとき、他方のf4交側血41はその位置
規制部材43の回転ローラ42によりY軸方自戒いはX
軸方向の何れかに案内される。案内側の直交側面41に
あっても結合り段53により位置規制部材43と常時不
uf分的に結合されている。
このようにして移動手段46を操作するわけであるが、
移動手段46は々4いに直交するX−Y軸の夫々に設け
であるため、夫々の移動手段46を選択的に用いること
により、テーブル32を基台311、の(xy座標上の
)任愈の位置に移動することかできる。
このような本実施例によれば次のような効果がある。
直交側面41と、これに対応する移動手段46の保合部
としての回転ローラ42と、を結合手段53をJl(′
、いて磁力作用により左いに結合させるものであり、例
えは、ばね′、9・の44勢手段により直交側面41を
回転ローラ42側に押付けるものではないため、移動手
段46の調整の際に移動手段46に大きな負荷が加わる
ことがない。従って、微弱な力により高精度な微調整を
行なうことができる。すなわち、操作性に優れている。
また、案内側については、1・14水久磁イ、51およ
び52か空111■を隔てて位置規r+if部材43お
よびデ゛−プル32の夫々に分離して配設され、別盲゛
すれは、内水久イGイ151および52が直接接触しな
(゛構成であるため、案内側の直交側面41を軽く案内
することができ、この点からも微弱な力により高精度な
微調整を行なうことができる。なお、もし、両永久磁石
51および52がカーいに直接接触する構成であるとき
には、案内側の直交側面41と位置規制部材43とが必
要以上の力で強1.!ilに磁力接!1してしまい、円
滑な案内が望めないものとなる。
また、基台31とテーブル32とは低摩擦手段としての
tiJ+、 IIQ 35を介してカいに接触され、し
がt旨T −〕’ k 32はその中央部がカラス39
= (7) 1 M板状の透明板33より形成されてな
る軽量なものであるため、テーブル32は基台31−1
−を極めて円滑に移動自在とされており、この点からも
チルプル32の微調整が容易である。
史に、総カラス製等のテーブル32は、高精1ルなl’
 4j I−1’ l口1とすることが加r−1−容易
である等、加11−からも高精1&化が実現し易い。
史にまた、テーブル32を基台31上がう着脱すること
か1)ム中であり、例えば、複数のテーブル32を川、
uニジ、1つのテーブル32を基台31上に保4Ilさ
ゼて検査を行っている間に、取外し状態にある他のテー
ブル32」−にIC部品等の細かい検査体を配列載置さ
せておき、テーブル32ご゛と交換することができる。
従って、多数検査を効率良く行うことができるとともに
、テーブル上への検査体の載置作業も容易となる。
また、両水久磁イー+51および52相ll−に作用す
る(e力の大きさを、磁石51および52を交換したり
両者間の距離を調整する等して、容易に調整することが
でき、実用上極めて便宜で・西る。
また、テーブル32のト端面倒にばね等の比較的容積を
占る構造体を配置するものでなく、基台31の1.にテ
ーブル32を弔に載置させたものであるため、構造が簡
単で、スペース効率に優れている。しかも、チーツル3
2および、+、(台31の中央部にこれらを貫通する光
路を確保することができる。
更にまた、テーブル32にばね等の力を加えるものでな
いため、テーブル32を極めて軽量、薄型としてもテー
ブル32に歪みを生ゼさせたりすることかなく、強度的
にも信頼できる。
また、保合部として回転ローラ42を用いたので1回転
ローラ42による直交側面41の案内が円滑である。し
かも、1つの直交側面41に対して所定間隔を隔てて回
転ローラ42が2個所に配置1v1されるため、回転゛
ローラ42による直交側面41の案内は極めて安定して
いる。
次に、jiij記以外の実施例につき説明するが前記実
施例と回−若しくは近似する部分は回−・符号を〕11
い説すノを省略若しくは簡略にする。
第4,5図には前記以外の実施例が小され、これらの図
において、テーブル61は、透明なガラス41M ’:
9’の透明板62と、この周縁を保持する枠体63と、
かう構成され、枠体63の内周縁が透光部64とされ、
枠体63のト端面にも低摩擦手段としての薄膜65が形
成されている。また、テーブル61(枠体63)の2つ
の直交側面66のうちの・方には回転ローラ42がJ9
i ′1IJL flit隔を隔てて2個+9iに設け
られるが、他方の直交側面66においでは回転ローラ4
2はただ1個所にのみ設けられている。
このような実施例によっても前記第2,3図に小された
実施例と略同様の作用、効果を奏することができる。
なお、実施にあたり、保合部は前記回転ローラ42では
なく、重なる点接触する凸部等とする乙とにより一層構
造を簡易なものとしてもよい。
また、低摩擦手段は薄膜35.65に限らず、例えば、
C1なる金属表面が研磨されたものであってもよいし、
潤滑油類の薄膜やベアリング構造等であってもよい。ま
た、低摩擦手段は必ずしも必要不u(欠ではない。
更に、永久磁石51.52の伺れか一方を単なる磁性体
としてもよく、この場合、金属材の前記枠体63そのも
のが磁性体であればこれを結合手段の一部を構成するも
のとしてもよい。また、移動手段46の表示部47は移
動手段46とは別個に設けられていてもよい。更に、移
動手段46はバーニア目盛等を備えたものであってもよ
い。
[発明の効果] 上述のように本発明によれば、微弱な力により高精度な
微調整を行なうことができ、スペース効率に優れ、テー
ブル中央部等に光路を確保することも容易な載物台を提
供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る載物台の第1実施例をボす1・面
図、第2図は第1図のII −II線に従う矢視断面図
、第3図は第2実施例を示す平面図、第4図は第3図の
IV −IV線に従う矢視断面図である。 12・・・本体、22・・・載物台、31・・・基台、
32.61・・・テーブル、35.65・・・低摩擦手
段としての薄膜、37.64・・・透光部、41.66
・・・直交側面、42・・・係合部としての回転ローラ
、43・・・位置規制部材、46・・・移動手段、51
.52・・・fa力力作棒体しての永久磁石、53・・
・結合手段。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)基台の−Lに全方向に移動IIf能に保持される
    とともに少なくとも1組の直交側面を41するテーブル
    と、r:Fi記テーブルの直交側面に対応してノ^台−
    1に設けられるとともに前記テーブルの直交側面に当接
    する係合部を備えこの係合部を当接側面と白文する方向
    に位置規制しつつ移動させる移動手段と、前記テーブル
    の各直交側面側とこれに対応する移動手段側との夫々に
    空間を隔てて分離して設けられ当該直交側面と当該移動
    手段の係合部とを磁力作用によりカーいに結合させる結
    合r段と、を有することを特徴とする載物台。 (2、特許請求の範囲t!S1項において、前記テーブ
    ルおよび)、(台の夫々にはこれら両者を)(に光透過
    させる透光部が設けられていることを特徴とする載物台
    。 (3)特許請求の範囲第1項または第2項において、!
    jす記テーブルは低斤擦手段を介して前記基台上に保持
    されていることを特徴とする載物台。 (4)特ji’ 請求の範囲第1ダ1乃1・第3ダ1の
    何れかにおいて、直交側面側の夫々配置された2つの移
    動r:段のうち、一方の移動手段の保合部は当該当接側
    面方向に所定間隔を階てて2個所に配置されるとともに
    、他方の移動手段の係合は1個所に配;lゝ°1されて
    いることを特徴とする・1夕物台。 (!j)特1:1請求の範囲第1項乃至第4項のいずれ
    かにおいて、前記結合手段は、前記移動手段側およびテ
    ーブルの直交側面側の夫々に取付けられたfa力11川
    体であることを特徴とする載物台。 (6)特1t1請求の範囲第5項において、前記磁力f
    1川休は磁力調整of能であることを特徴とする載゛物
    台。
JP2387584A 1984-02-10 1984-02-10 載物台 Granted JPS60168072A (ja)

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JP2387584A JPS60168072A (ja) 1984-02-10 1984-02-10 載物台

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JP2387584A JPS60168072A (ja) 1984-02-10 1984-02-10 載物台

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JPS60168072A true JPS60168072A (ja) 1985-08-31
JPH0372957B2 JPH0372957B2 (ja) 1991-11-20

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JP (1) JPS60168072A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0248894U (ja) * 1988-09-30 1990-04-04
JPH045328U (ja) * 1990-04-27 1992-01-17
JP2011235971A (ja) * 2010-04-30 2011-11-24 Hirata Corp 移動装置および移動方法

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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JP2011235971A (ja) * 2010-04-30 2011-11-24 Hirata Corp 移動装置および移動方法

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