JPS60168072A - 載物台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔１支術分野］ 本発明は、載物台に係り、史に詳しくは、謂わゆるｌＩ
′Ｉ交２軸移動型の載物台に関する。

［背ｊ；（技術］ 直交するＸ−Ｙ軸方向の夫々に移動調整ＩＩｆ能に構成
された載物台は、顕微鏡や投影検査機等の検査体の位置
決め、或いは、各種工作機械の加工物の位置決め等、広
範に利用されている。

このような載物台にあっては、従来、山型案内レール利
用の謂わゆる３枚毛ね構造とされるものがあったが、構
成部品の加工粕漬が高い割には横振れを上のに防１１で
きないＡ・、総合的に観て粕漬の良好なものではなかっ
た。また、移動の際の摺動抵抗が過大であり操作性に劣
り、更に、組立てや分解の困難性を伴なうものであった
。しかも、大型で高重量化し易く、スペース効率も低い
等、種々の問題点があった。

そこで、このようなＡｉｌわゆる３枚重ね構造の載物台
の問題点を解消するものとして、基台の上にテーブルを
転がり手段を介して目、山移動Ｉ桂能とした、ａｊ７わ
ゆる２枚重ね構造の載物台が既に本出願人により提案さ
れている（特開昭５８−１０６５１４号）。この既提案
装置により、前述した種々の問題点が解消されたが、使
用目的によっては、公お次のような不都合を生しさせる
ことがあった。

即ち、（Ｖ基台］二に転がり手段等を介して載置された
テーブルをばね等の付勢手段により所定方向に（＝ｊ勢
させながら、この付勢手段に抗してＸＹ軸方向から力を
加え、内者の力の釣合いにより基台」−の前記テーブル
を所定位置に位置決めしようとするものであるため、移
動手段に大きな負荷が加わらざるを得なかった。そのた
め、テーブルの移動調整に際して微弱な力により高精庶
な微調整を行なうことが困難であり、しかも、前記負荷
がテーブルの移動位置（ストローク）毎に変動してしま
フものであった。■ばね等を介在させるため、スペース
効率の向上が不十分である。■テーブルの１端而側の略
中央位置にばね等の付勢手段が横！、ＩＪる構造である
ため、テーブルの例えば中央部等に透視部を設けること
が困難である。そのため、載物台を光学機器等に採用し
てテーブルの中央に光路を設けることができなかった。

〔発明の目的］ 本発明の目的は、微弱な力にはり高粕漬な微調整を行な
うことができ、スペース効率に優れ、テーブル中央部等
に光路を確保することも容易な載物台を提供することに
ある。

［発明の構成］ そのため、本発明は、少なくともｌ　Ｍｉの直交側面を
有するテーブルを基台の−Ｌに全方向に移動＋＋）能に
保持するとともに、前記テーブルの直交側面に当接する
係合部を備えた移動手段を前記直交側面に対応して基台
上に設けて前記テーブルを位置規制し、ｒｉＦｊ記テー
ブルの各直交側面側とこれに対応する移動手段側との夫
々に空間を隔てて分離して設けられ当該直交側面と当該
移動手段の係合都合される結合手段を用いることにより
常時結合することとし、これにより、ばね等の伺勢手段
により前記移動手段に前記直交側ＩＩ′＋１を押４＝１
けることなく前記結合手段によりテーブルと移動手段と
を結合することをＩＩ）能にし１１．つ前記移動１１段
により１）１１記直交側面を軽快に案内することをもｎ
ｆ能にして微弱な力により高精瓜な微調整を行なうこと
ができるようにし、また、テーブルのト端面にばね等を
配置させなくとも済むようにする等してスペース効−４
＜を向トさせ、更に、テーブル中央部をばね！′９か横
切るものでないためテーブル中央部等に透視部を設ける
等して光路を確保することも容易なものと１．て、ｌｊ
ｕ記１」的を達成しようとするものである。

［実施例の説明Ｊ 以ト、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

朋記本体１２のト部フレーム１２Ｂの先端にはシ１降台
２１がＨ降ｕｌ能に取付けられ、この昇降台２１１−に
は載物台２２が同定されている。また、＋ｉｉｊ記シ１
隆台２１は、ト部フレーム１２Ｂに設けられた昇降グイ
ヤル２３により昇降駆動されるようになっており、この
昇降タイヤル２３よる昇降台２１の−１−駆動により載
物台２２上に載置された図小しない検査体＠　ｒｔｉ＋
記対物レンズ鏡筒１４の焦点位置に合わせること、いわ
ゆるピント合わせができるよ）になっている。

第２，３図には前記載物台２２が拡大して／Ｒされいる
。これらの図において、載物台２２は、シ１降台２１−
ヒに固定された基台３１と、テーブル３２とを有し、−
（−面を１・、滑に加にされた基台３１の」−にはテー
ブル３２が全方向に移動可能に保持されている。

テーブル３２は全体として１枚板状の所定の広さのカラ
ス板等の透明板より形成され、即ち、その全域が透光部
とされ、一方、前記基台３１の−Ｆ一端面におけるチル
プル３２との接触範囲内には低摩擦手段としての四弗化
エチレン被膜等の低摩擦体の薄１摸３５が形成され、テ
ーブル３２は基台３ｌ−１ｘを極めて滑らかに滑動され
るようになっている。

また、基台３１の例えば中央部には透光部３７が穿設さ
れ、透光部３７により基台３１とテーブル３２とのトー
者が光透過されるようになってｌ、）る。別言すれば、
前記基台３１およびテーブル３２を貫通する光路が確保
されている。

テーブル３２の側端面には、少なくとも２辺が１１いに
直交する直交側面４１が設けられており、これＩう直交
側面４１の夫々には、直交側面４１の方向に沿って所定
ｒ＃４１隔だけ隔てた２個所において係合部としての回
転ローラ４２か当接されている。

組の回転ローラ４２は夫々直交側面４１に対応して設け
られた位置規制部材４３に回転自在に支持され、位置規
制部材４３には２本のガイドボスト４４が水１１．方向
に固定されており、これらカイトボスト４４は前記基台
３１に設けられた案内ブロック４５に摺動自在に支承さ
れている。案内ソロ、、　７４５の中央部にはマイクロ
メータの調整機構（＋ｆｉ’ｉわゆるマイクロメータヘ
ット）からなる移動手段４６が取付けられ、この移動手
段４６の先端は前記位置規制部材４３の背面に固定され
、ｔｉｌｔ記先端の進退動とともに位置規制部材４３が
同１１′を進退するようになっている。これら移動手段
４６は共にその先端側の移動量をエンコーダにより検知
する検知手段が内蔵されＩｔつ前記移動量を大小するテ
ジタル表不装置等の表ボ部４７を有している。

１ｉＩｊ記位置規制部材４３（移動手段４６側）および
テーブル３２（直交側面４１側）の夫々には磁力作用体
としての永久磁石５１および５２が夫々取＋１けられて
おり、これら両永久磁イｉ５１および５２により、直交
側面４１と、係合部としての回転ローラ４２と、を磁力
作用により力、ｌ／）に結合させる結合子段５３か構成
されている。なお、ここにおいて、両水久磁石５１．５
２は１リノ転ローラ４２の介在により１１ｉいに直接接
触はしないよう離隔して配置されている。即ち、両磁石
５１わよび５２は空１！１を隔てて分離している。また
、両永久磁イー１りｌおよび５２は他の磁力の大きさを
有するものと交換＋４丁能であり、しかも、その取付位
置も調整ＩＩ）能となっており、従って、両永久磁イ、
５１および５２相隼間に作用する吸引力の大きさが調整
ＩＩｆ能に構成されている。

次に、本実施例の作用につき説明する。

テーブル３２の」−面に検査体（図ボせず）を載置し、
必要により固定し、昇鋒タイヤル２３よる検査体″９の
」ニド動によりピント合わせを行なった後、これを任益
の方向に移動する隙は、移動手段４６を操作してその先
端を進退動させる。

この先端に取付けられた位置規制部材４３と直交側面４
１とは！Ｌいに結合手段５３により常時不＋＋ｊ分的に
結合されており、ｔｉη記先端の進退動とともにテーブ
ル３２はＸ軸方向或いはＹ軸方向に治って進退動するこ
ととなる。このとき、他方のｆ４交側血４１はその位置
規制部材４３の回転ローラ４２によりＹ軸方自戒いはＸ
軸方向の何れかに案内される。案内側の直交側面４１に
あっても結合り段５３により位置規制部材４３と常時不
ｕｆ分的に結合されている。

このようにして移動手段４６を操作するわけであるが、
移動手段４６は々４いに直交するＸ−Ｙ軸の夫々に設け
であるため、夫々の移動手段４６を選択的に用いること
により、テーブル３２を基台３１１、の（ｘｙ座標上の
）任愈の位置に移動することかできる。

このような本実施例によれば次のような効果がある。

直交側面４１と、これに対応する移動手段４６の保合部
としての回転ローラ４２と、を結合手段５３をＪｌ（′
、いて磁力作用により左いに結合させるものであり、例
えは、ばね′、９・の４４勢手段により直交側面４１を
回転ローラ４２側に押付けるものではないため、移動手
段４６の調整の際に移動手段４６に大きな負荷が加わる
ことがない。従って、微弱な力により高精度な微調整を
行なうことができる。すなわち、操作性に優れている。

また、案内側については、１・１４水久磁イ、５１およ
び５２か空１１１■を隔てて位置規ｒ＋ｉｆ部材４３お
よびデ゛−プル３２の夫々に分離して配設され、別盲゛
すれは、内水久イＧイ１５１および５２が直接接触しな
（゛構成であるため、案内側の直交側面４１を軽く案内
することができ、この点からも微弱な力により高精度な
微調整を行なうことができる。なお、もし、両永久磁石
５１および５２がカーいに直接接触する構成であるとき
には、案内側の直交側面４１と位置規制部材４３とが必
要以上の力で強１．！ｉｌに磁力接！１してしまい、円
滑な案内が望めないものとなる。

また、基台３１とテーブル３２とは低摩擦手段としての
ｔｉＪ＋、　ＩＩＱ　３５を介してカいに接触され、し
がｔ旨Ｔ　−〕’　ｋ　３２はその中央部がカラス３９
＝　（７）　１　Ｍ板状の透明板３３より形成されてな
る軽量なものであるため、テーブル３２は基台３１−１
−を極めて円滑に移動自在とされており、この点からも
チルプル３２の微調整が容易である。

史に、総カラス製等のテーブル３２は、高精１ルなｌ’
　４ｊ　Ｉ−１’　ｌ口１とすることが加ｒ−１−容易
である等、加１１−からも高精１＆化が実現し易い。

史にまた、テーブル３２を基台３１上がう着脱すること
か１）ム中であり、例えば、複数のテーブル３２を川、
ｕニジ、１つのテーブル３２を基台３１上に保４Ｉｌさ
ゼて検査を行っている間に、取外し状態にある他のテー
ブル３２」−にＩＣ部品等の細かい検査体を配列載置さ
せておき、テーブル３２ご゛と交換することができる。

従って、多数検査を効率良く行うことができるとともに
、テーブル上への検査体の載置作業も容易となる。

また、両水久磁イー＋５１および５２相ｌｌ−に作用す
る（ｅ力の大きさを、磁石５１および５２を交換したり
両者間の距離を調整する等して、容易に調整することが
でき、実用上極めて便宜で・西る。

また、テーブル３２のト端面倒にばね等の比較的容積を
占る構造体を配置するものでなく、基台３１の１．にテ
ーブル３２を弔に載置させたものであるため、構造が簡
単で、スペース効率に優れている。しかも、チーツル３
２および、＋、（台３１の中央部にこれらを貫通する光
路を確保することができる。

更にまた、テーブル３２にばね等の力を加えるものでな
いため、テーブル３２を極めて軽量、薄型としてもテー
ブル３２に歪みを生ゼさせたりすることかなく、強度的
にも信頼できる。

また、保合部として回転ローラ４２を用いたので１回転
ローラ４２による直交側面４１の案内が円滑である。し
かも、１つの直交側面４１に対して所定間隔を隔てて回
転ローラ４２が２個所に配置１ｖ１されるため、回転゛
ローラ４２による直交側面４１の案内は極めて安定して
いる。

次に、ｊｉｉｊ記以外の実施例につき説明するが前記実
施例と回−若しくは近似する部分は回−・符号を〕１１
い説すノを省略若しくは簡略にする。

第４，５図には前記以外の実施例が小され、これらの図
において、テーブル６１は、透明なガラス４１Ｍ　’：
９’の透明板６２と、この周縁を保持する枠体６３と、
かう構成され、枠体６３の内周縁が透光部６４とされ、
枠体６３のト端面にも低摩擦手段としての薄膜６５が形
成されている。また、テーブル６１（枠体６３）の２つ
の直交側面６６のうちの・方には回転ローラ４２がＪ９
ｉ　′１ＩＪＬ　ｆｌｉｔ隔を隔てて２個＋９ｉに設け
られるが、他方の直交側面６６においでは回転ローラ４
２はただ１個所にのみ設けられている。

このような実施例によっても前記第２，３図に小された
実施例と略同様の作用、効果を奏することができる。

なお、実施にあたり、保合部は前記回転ローラ４２では
なく、重なる点接触する凸部等とする乙とにより一層構
造を簡易なものとしてもよい。

また、低摩擦手段は薄膜３５．６５に限らず、例えば、
Ｃ１なる金属表面が研磨されたものであってもよいし、
潤滑油類の薄膜やベアリング構造等であってもよい。ま
た、低摩擦手段は必ずしも必要不ｕ（欠ではない。

更に、永久磁石５１．５２の伺れか一方を単なる磁性体
としてもよく、この場合、金属材の前記枠体６３そのも
のが磁性体であればこれを結合手段の一部を構成するも
のとしてもよい。また、移動手段４６の表示部４７は移
動手段４６とは別個に設けられていてもよい。更に、移
動手段４６はバーニア目盛等を備えたものであってもよ
い。

［発明の効果］ 上述のように本発明によれば、微弱な力により高精度な
微調整を行なうことができ、スペース効率に優れ、テー
ブル中央部等に光路を確保することも容易な載物台を提
供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る載物台の第１実施例をボす１・面
図、第２図は第１図のＩＩ　−ＩＩ線に従う矢視断面図
、第３図は第２実施例を示す平面図、第４図は第３図の
ＩＶ　−ＩＶ線に従う矢視断面図である。 １２・・・本体、２２・・・載物台、３１・・・基台、
３２．６１・・・テーブル、３５．６５・・・低摩擦手
段としての薄膜、３７．６４・・・透光部、４１．６６
・・・直交側面、４２・・・係合部としての回転ローラ
、４３・・・位置規制部材、４６・・・移動手段、５１
．５２・・・ｆａ力力作棒体しての永久磁石、５３・・
・結合手段。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）基台の−Ｌに全方向に移動ＩＩｆ能に保持される
   とともに少なくとも１組の直交側面を４１するテーブル
   と、ｒ：Ｆｉ記テーブルの直交側面に対応してノ＾台−
   １に設けられるとともに前記テーブルの直交側面に当接
   する係合部を備えこの係合部を当接側面と白文する方向
   に位置規制しつつ移動させる移動手段と、前記テーブル
   の各直交側面側とこれに対応する移動手段側との夫々に
   空間を隔てて分離して設けられ当該直交側面と当該移動
   手段の係合部とを磁力作用によりカーいに結合させる結
   合ｒ段と、を有することを特徴とする載物台。 （２、特許請求の範囲ｔ！Ｓ１項において、前記テーブ
   ルおよび）、（台の夫々にはこれら両者を）（に光透過
   させる透光部が設けられていることを特徴とする載物台
   。 （３）特許請求の範囲第１項または第２項において、！
   ｊす記テーブルは低斤擦手段を介して前記基台上に保持
   されていることを特徴とする載物台。 （４）特ｊｉ’　請求の範囲第１ダ１乃１・第３ダ１の
   何れかにおいて、直交側面側の夫々配置された２つの移
   動ｒ：段のうち、一方の移動手段の保合部は当該当接側
   面方向に所定間隔を階てて２個所に配置されるとともに
   、他方の移動手段の係合は１個所に配；ｌゝ°１されて
   いることを特徴とする・１夕物台。 （！ｊ）特１：１請求の範囲第１項乃至第４項のいずれ
   かにおいて、前記結合手段は、前記移動手段側およびテ
   ーブルの直交側面側の夫々に取付けられたｆａ力１１川
   体であることを特徴とする載物台。 （６）特１ｔ１請求の範囲第５項において、前記磁力ｆ
   １川休は磁力調整ｏｆ能であることを特徴とする載゛物
   台。