JPS6016436A - ワイヤボンデイング装置 - Google Patents
ワイヤボンデイング装置Info
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- JPS6016436A JPS6016436A JP59126776A JP12677684A JPS6016436A JP S6016436 A JPS6016436 A JP S6016436A JP 59126776 A JP59126776 A JP 59126776A JP 12677684 A JP12677684 A JP 12677684A JP S6016436 A JPS6016436 A JP S6016436A
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- H01L2924/01—Chemical elements
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- H01L2924/01—Chemical elements
- H01L2924/01082—Lead [Pb]
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はワイヤボンディング装置に関する。
（従来技術）
半導体集積回路（ＩＣ）や大規模集積回路（ＬＳＩ）を
製造する場合には、第１図に示すように半導体ペレット
Ｓを取付けたリードフレームＬを加工台Ｔ上に位置決め
した後、ワイヤＷを保持するツール（図示せず）をリー
ドフレームＬ及び半導体ペレットＳに対しご相対的舎こ
変位させることにより、ワイヤＷをリードフレームＬに
設けたリードポストＬＰと半導体ペレット８のバットＳ
Ｐとにそれぞれ導いＣボンディングするこトニより配線
を行っている。
製造する場合には、第１図に示すように半導体ペレット
Ｓを取付けたリードフレームＬを加工台Ｔ上に位置決め
した後、ワイヤＷを保持するツール（図示せず）をリー
ドフレームＬ及び半導体ペレットＳに対しご相対的舎こ
変位させることにより、ワイヤＷをリードフレームＬに
設けたリードポストＬＰと半導体ペレット８のバットＳ
Ｐとにそれぞれ導いＣボンディングするこトニより配線
を行っている。
一般にボンディングのために加工台Ｔに位置決めされた
リードフレームＬ及びベレット８の実際のボンディング
点は、予め定めらイｔた正規のボッディング点よりずれ
ている。そこでボンディング時には、例えば特開昭５１
−４１９６０号公報に示す様に、４点補正方法をこより
ボンディング点の位置補正が行われ′Ｃいる。この補正
方法は、リードポストの２定点を予め定めＣおき、この
２定点の実際の位置ずれを検出することによりリードポ
ストの各点の実際のボンディング位置を算出する方法で
、リードフレーム上のリードポストの相対的な位置のバ
ラツキはないものとしＣいる。
リードフレームＬ及びベレット８の実際のボンディング
点は、予め定めらイｔた正規のボッディング点よりずれ
ている。そこでボンディング時には、例えば特開昭５１
−４１９６０号公報に示す様に、４点補正方法をこより
ボンディング点の位置補正が行われ′Ｃいる。この補正
方法は、リードポストの２定点を予め定めＣおき、この
２定点の実際の位置ずれを検出することによりリードポ
ストの各点の実際のボンディング位置を算出する方法で
、リードフレーム上のリードポストの相対的な位置のバ
ラツキはないものとしＣいる。
さＣ１前記リードポストの相対的な位置のバラツキは、
リードのピン数（リードポスト数）が少ないＩＣではあ
まり生じないが、リードのピン数の多いＩＣでは大きく
なる。このため多ピンリードフレームのＩＣは全自動で
ボンディングを行えなかった。
リードのピン数（リードポスト数）が少ないＩＣではあ
まり生じないが、リードのピン数の多いＩＣでは大きく
なる。このため多ピンリードフレームのＩＣは全自動で
ボンディングを行えなかった。
（発明の目的）
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、多
ピンリードフレームでもリードポストの位置ずれを自動
的に修正しＣ自動的にボンディングを行うことができる
ワイヤボンディング装置を提供することを目的さする。
ピンリードフレームでもリードポストの位置ずれを自動
的に修正しＣ自動的にボンディングを行うことができる
ワイヤボンディング装置を提供することを目的さする。
（発明の実施例）
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第２図は本発明の方法に用いる補正値検出装置のブロッ
ク図である。タイミング回路１０は例えば８ＭＨｚの基
準信号を発信する発振ｌ路１１とこの発振回路１１のパ
ルスで一定の水平信号及び垂直信号を出力する同期パル
ス発生回路１２とよりなり、同期パルス発生回路Ｊ２の
出力は偏向回路１３を通しＣテレビカメラ１４に入力さ
れる。
ク図である。タイミング回路１０は例えば８ＭＨｚの基
準信号を発信する発振ｌ路１１とこの発振回路１１のパ
ルスで一定の水平信号及び垂直信号を出力する同期パル
ス発生回路１２とよりなり、同期パルス発生回路Ｊ２の
出力は偏向回路１３を通しＣテレビカメラ１４に入力さ
れる。
このよう壷こテレビカメラ１４の水平及び垂直偏向出力
はタイミング回路１０１こよつ０作られるので、゛画面
は完全にタイミング回路ｌＯの信号をこ同期する。テレ
ビカメラ１４はリードフレームＬ及びリードフレームを
こ取付けられたベレットＳを撮像する。このテレビカメ
ラ１４の出力は増幅器１５を通して２値化回路１６に供
給され、この２値化回路１６で被写体の明の部分、即ち
リードポストの部分は「１」に、暗の部分、即ちリード
ポストの周りの部分は「０」のようにデジタル化される
。
はタイミング回路１０１こよつ０作られるので、゛画面
は完全にタイミング回路ｌＯの信号をこ同期する。テレ
ビカメラ１４はリードフレームＬ及びリードフレームを
こ取付けられたベレットＳを撮像する。このテレビカメ
ラ１４の出力は増幅器１５を通して２値化回路１６に供
給され、この２値化回路１６で被写体の明の部分、即ち
リードポストの部分は「１」に、暗の部分、即ちリード
ポストの周りの部分は「０」のようにデジタル化される
。
２値化されたデジタル信号はテレビモニター１７に画像
としＣ写し出される。
としＣ写し出される。
一方、タイミング回路１０より出力された水平及び垂直
信号は検出範囲作成回路２０に入力され、この回路２０
により一定の大きさの四角形状の検出範囲信号２０ａが
作成される。この検出範囲信号２０ａの検出範囲は予め
コンピュータ２１に入力されたボンディングデータ信号
により出力される正規のボンディング点上にボンディン
グ待合こ作成され、モニター１７に四角形状の画像とし
Ｃ写し出される。
信号は検出範囲作成回路２０に入力され、この回路２０
により一定の大きさの四角形状の検出範囲信号２０ａが
作成される。この検出範囲信号２０ａの検出範囲は予め
コンピュータ２１に入力されたボンディングデータ信号
により出力される正規のボンディング点上にボンディン
グ待合こ作成され、モニター１７に四角形状の画像とし
Ｃ写し出される。
今、第３図（ａ）に示す様に縦■）方向に延びた一本の
リードポストにボンディングされるとする。２点鎖線で
示した位置１をボンディング時におけるリードポストの
正規の位置とし、正規のボンディング点をＡとする。実
線で示した位置…を実際のリードポストの位置とすると
、点Ａ１にボンディングしなければならないので、ＡＡ
、間のずれ量を検出してボンディング点の位置ずれ補正
を行う必要がある。この場合、リードポスト上の定点Ａ
、にボンディングするのが理想的であるが、必ずしも定
点Ａ、にボンディングする必要はなく、第４図の如く胴
線の範囲内にボンデイン、欠点が（るように位置ずれを
補正すればよく、リードポストＬＰの長手方向には充分
な裕度を有する。
リードポストにボンディングされるとする。２点鎖線で
示した位置１をボンディング時におけるリードポストの
正規の位置とし、正規のボンディング点をＡとする。実
線で示した位置…を実際のリードポストの位置とすると
、点Ａ１にボンディングしなければならないので、ＡＡ
、間のずれ量を検出してボンディング点の位置ずれ補正
を行う必要がある。この場合、リードポスト上の定点Ａ
、にボンディングするのが理想的であるが、必ずしも定
点Ａ、にボンディングする必要はなく、第４図の如く胴
線の範囲内にボンデイン、欠点が（るように位置ずれを
補正すればよく、リードポストＬＰの長手方向には充分
な裕度を有する。
再び第３図（ａ）に戻って説明すると、前記第２図で説
明したようにテレビカメラ１４でリードフレームＬを撮
像し、その映像を２値化回路１６で２値化した時、位置
…に位置する実際のリードポストＬＰは山に映る。一方
、検出範囲作成回路２０により作成される縦の幅ｙ１横
の幅Ｘの四角形の検出範囲Ｂの中心点は予め入力されて
いるマイクロコンピュータ２１のボンディングデータ信
号によりボンディングされる正規のボンディング黒人に
移動し、この正規のボンディング点Ａを中心として検出
範囲Ｂが作成される。 “ 第３図（６）は正規のボンディング点Ａより右側をこリ
ードポストＬＰがずれた場合を、同図（Ｃｈｉｄ）は横
長のリードポストにおける場合で、（Ｃ）は点Ａより上
側にずれた場合を、（ｄ）は点Ａより下側にずれた場合
を示す。
明したようにテレビカメラ１４でリードフレームＬを撮
像し、その映像を２値化回路１６で２値化した時、位置
…に位置する実際のリードポストＬＰは山に映る。一方
、検出範囲作成回路２０により作成される縦の幅ｙ１横
の幅Ｘの四角形の検出範囲Ｂの中心点は予め入力されて
いるマイクロコンピュータ２１のボンディングデータ信
号によりボンディングされる正規のボンディング黒人に
移動し、この正規のボンディング点Ａを中心として検出
範囲Ｂが作成される。 “ 第３図（６）は正規のボンディング点Ａより右側をこリ
ードポストＬＰがずれた場合を、同図（Ｃｈｉｄ）は横
長のリードポストにおける場合で、（Ｃ）は点Ａより上
側にずれた場合を、（ｄ）は点Ａより下側にずれた場合
を示す。
また上記検出範囲Ｂの設定は次のように行う。
検出範囲Ｂ内がすべてリードポストＬＰ内である時をボ
ンディング可能な状態と判断し、この時の検出範囲の中
心Ａをボンディング点とする為、検出範囲は可能な限り
大きい方がボンディング点がリードの中心に近くなるの
でよい。例えば第５図（ａ）の場合はＸ方向をできるた
け大きく、同図（ｂ）の場合はＹ方向をできるだけ大き
くする。また一つの検出範囲をすべ“Ｃのリードポスト
に対して使用する時は同図（Ｃ）に示す様な各リードポ
スト上の最適な検出範囲Ｂ１〜Ｂ６のうち、Ｘｌ Ｙ方
向とも最小の検出範囲を設定する。勿論、各リードポス
トごとに検出範囲を設定する場合は各リードポストごと
に最適な検出範囲を設定する。
ンディング可能な状態と判断し、この時の検出範囲の中
心Ａをボンディング点とする為、検出範囲は可能な限り
大きい方がボンディング点がリードの中心に近くなるの
でよい。例えば第５図（ａ）の場合はＸ方向をできるた
け大きく、同図（ｂ）の場合はＹ方向をできるだけ大き
くする。また一つの検出範囲をすべ“Ｃのリードポスト
に対して使用する時は同図（Ｃ）に示す様な各リードポ
スト上の最適な検出範囲Ｂ１〜Ｂ６のうち、Ｘｌ Ｙ方
向とも最小の検出範囲を設定する。勿論、各リードポス
トごとに検出範囲を設定する場合は各リードポストごと
に最適な検出範囲を設定する。
再び第２図、第３図に戻って説明すると、２値化された
実際のリードポス［、Ｐの白い部分と検出範囲Ｂとは第
２図に示す様にＡ、ＮＤ回路２２により両者の重なりＣ
のΔＸいΔｙ、が検出される。
実際のリードポス［、Ｐの白い部分と検出範囲Ｂとは第
２図に示す様にＡ、ＮＤ回路２２により両者の重なりＣ
のΔＸいΔｙ、が検出される。
このＡＮＤ回路２２の出力はマイクロコンピュータ２１
に入力され、Ｘ１Ｙ方向に引算することにより移動量Δ
ｘ ＝ ｘ−ΔＸＩＮΔｙ＝ｙ−Δｙ、がそれぞれめら
れる。またリードポスト１．Ｐの白い部分と検出範囲Ｂ
の位置によってリードポストのずれの方向が算出される
。検出範囲Ｂの位置はテレビモニタ１７上に、ぢいて固
定であるので、リードポストＬＰが検出範囲の方向へ△
Ｘ１ Δｙだけ移動するようにマイクロコンピュータ２
１より加工台′ｒ（第１図参照）を駆動する加工台駆動
機構２３に出力する。この移動量△Ｘ、△ｙに相当する
パルス数によって予め定められたボンディング点の座標
をマイクロコンピュータによって補正する。このように
して各ボンディング点についてボンディングの毎に補正
を行いボンディングする。
に入力され、Ｘ１Ｙ方向に引算することにより移動量Δ
ｘ ＝ ｘ−ΔＸＩＮΔｙ＝ｙ−Δｙ、がそれぞれめら
れる。またリードポスト１．Ｐの白い部分と検出範囲Ｂ
の位置によってリードポストのずれの方向が算出される
。検出範囲Ｂの位置はテレビモニタ１７上に、ぢいて固
定であるので、リードポストＬＰが検出範囲の方向へ△
Ｘ１ Δｙだけ移動するようにマイクロコンピュータ２
１より加工台′ｒ（第１図参照）を駆動する加工台駆動
機構２３に出力する。この移動量△Ｘ、△ｙに相当する
パルス数によって予め定められたボンディング点の座標
をマイクロコンピュータによって補正する。このように
して各ボンディング点についてボンディングの毎に補正
を行いボンディングする。
なお、上記実施例においてはリードが白く映る場合につ
いて説明したが、黒く映る場合も同様に行える。また検
出範囲Ｂについても同様である。
いて説明したが、黒く映る場合も同様に行える。また検
出範囲Ｂについても同様である。
また上記実施例ではリード側のリードポストのずれを検
出する場合について説明したが、ベレットτＩｌｌのバ
ットのずれを検出する場合も同様に行える。
出する場合について説明したが、ベレットτＩｌｌのバ
ットのずれを検出する場合も同様に行える。
（発明の効果）
以上の説明から明らかな如く、本発明（どなるワイヤボ
ンディング装置によれば、正規のボンディング点に設定
された検出範囲と実際のボンディング位置とを比較しＣ
ずれ量を算出し、これにより実際のボンディング位置に
ツールを導いてボンディングするので、リードポストの
ＸＹ方向のバラツキが自動的に修正さｎｌまた多ピンリ
ードフレームにも全自動ワイヤボンディングが可能であ
る。
ンディング装置によれば、正規のボンディング点に設定
された検出範囲と実際のボンディング位置とを比較しＣ
ずれ量を算出し、これにより実際のボンディング位置に
ツールを導いてボンディングするので、リードポストの
ＸＹ方向のバラツキが自動的に修正さｎｌまた多ピンリ
ードフレームにも全自動ワイヤボンディングが可能であ
る。
第１図は加工台に位置決めされた半導体のボンディング
状態を示す概略平面図、第２図は本発明になる装置に用
いる補正値検出装置の一災施例を示すブロック図、第３
図１ａ）（ｂ）（Ｃ）ｌｄ）はそれぞれ補正値検出状態
を説明するための説明図、第４図はボンディング範囲を
示すリードポストの説明図、第５図（ａ）ｌｂＨｃ）は
検出範囲を設定する方法を示す説明図である。 １０・・・タイミング回路、１４・・・テレビカメラ、
１６・・・２値化回路、１７・・・モニタ、２０・・・
検出範囲作成回路、２２・・・Ａ Ｎ Ｄ ＩＩｊｌ路
、Ｓ・・・半導体ペレット、ＳＰ・・・バット、Ｌ・・
・リードフレーム、 ＬＰ・・・リードポスト、Ｔ・・
・加工台、 Ｗ・・・ワイヤ。 第３ （０） （Ｃ） Ｉｆ） 第４図 第 （ｂ） （ｄ）
状態を示す概略平面図、第２図は本発明になる装置に用
いる補正値検出装置の一災施例を示すブロック図、第３
図１ａ）（ｂ）（Ｃ）ｌｄ）はそれぞれ補正値検出状態
を説明するための説明図、第４図はボンディング範囲を
示すリードポストの説明図、第５図（ａ）ｌｂＨｃ）は
検出範囲を設定する方法を示す説明図である。 １０・・・タイミング回路、１４・・・テレビカメラ、
１６・・・２値化回路、１７・・・モニタ、２０・・・
検出範囲作成回路、２２・・・Ａ Ｎ Ｄ ＩＩｊｌ路
、Ｓ・・・半導体ペレット、ＳＰ・・・バット、Ｌ・・
・リードフレーム、 ＬＰ・・・リードポスト、Ｔ・・
・加工台、 Ｗ・・・ワイヤ。 第３ （０） （Ｃ） Ｉｆ） 第４図 第 （ｂ） （ｄ）
Claims (1)
- 半導体ペレットを取付けたリードフレームを加工台上に
配置し、ワイヤを保持するツールを前記リードフレーム
及び半導体ペレットに対して相対的に変位させることに
より前記ワイヤを前記リードフレームに設けたリードポ
ストと前記半導体ペレット上のバットとにそれぞれ導い
Ｃボンディングするワイヤボンディング装置においＣ１
一定のパルスを出力するタイミング回路と、このタイミ
ング回路の出力によつＣ偏向され前記リードフレームを
撮像するテレビカメラと、このテレビカメラの出力を２
値化する２値化回路と、前記タイミング回路の出力によ
つ′Ｃ一定の大きさの検出範囲を作成する検出範囲作成
回路と、予めボンディングデータ信号が入力されＣおり
前記検出範囲作成回路により作成された検出範囲を前記
ボンディングデータ信号により正規のボンディング点上
台こ前記リードポストの２値化映像に対応しＣ出力する
マイクロコンピュータと、前記リードポストの映像と前
記検出範囲の映像とを写し出すモニターとを備え、前記
リードポストの映像と前記検出範囲の映像とを一致させ
るよう−こリードポストを移動させ、この移動量により
正規のボンディング点を補正し、この補正さｎ、たボン
ディング点にツールを導くことによりワイヤボンディン
グを行うことを特徴とするワイヤボンディング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59126776A JPS6016436A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | ワイヤボンデイング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59126776A JPS6016436A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | ワイヤボンデイング装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP54077874A Division JPS603777B2 (ja) | 1979-06-20 | 1979-06-20 | ワイヤボンデイング方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6016436A true JPS6016436A (ja) | 1985-01-28 |
| JPS6359248B2 JPS6359248B2 (ja) | 1988-11-18 |
Family
ID=14943646
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59126776A Granted JPS6016436A (ja) | 1984-06-20 | 1984-06-20 | ワイヤボンデイング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6016436A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62182445U (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-19 |
-
1984
- 1984-06-20 JP JP59126776A patent/JPS6016436A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62182445U (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-19 | ||
| JPH0348519Y2 (ja) * | 1986-05-09 | 1991-10-16 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6359248B2 (ja) | 1988-11-18 |
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