JPS60162770A - 金属溶融装置 - Google Patents
金属溶融装置Info
- Publication number
- JPS60162770A JPS60162770A JP1783584A JP1783584A JPS60162770A JP S60162770 A JPS60162770 A JP S60162770A JP 1783584 A JP1783584 A JP 1783584A JP 1783584 A JP1783584 A JP 1783584A JP S60162770 A JPS60162770 A JP S60162770A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crucible
- heating means
- wall thickness
- heating
- metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明はるつぼで金属を溶′融する金属溶融装置に関
す′る。
す′る。
従来、常温固体状の物質を加熱して蒸発させ′、被蒸着
材−ヒに蒸着して薄膜を形成する真空蒸着においては、
特公昭５４−９５９２号公報に示されているように常温
固体状の物質を入れたるつぼの外側に加熱手段を配置す
る構成であった。即ち、第１図ＶＣおいて、（１）は噴
出孔（ｌａ）が設けられするつぼで、常温固体状の金ｘ
部材が収容される。１２１ Ｆｉ電源、（３）はる・つ
ぼＩｌ＋會囲繞したフィラメントからなる加熱手段で、
るつぼＴｌｌ ｔ 囲繞する工うに配置さねている。な
セ、加熱手段（３）としては、ジュール加熱によるもの
、あるいは加速させた電子をるつぼｉｌｌ Ｋ衝突させ
て、電子の運動エネルギー１に熱に変換させるもの等が
採用されている。
材−ヒに蒸着して薄膜を形成する真空蒸着においては、
特公昭５４−９５９２号公報に示されているように常温
固体状の物質を入れたるつぼの外側に加熱手段を配置す
る構成であった。即ち、第１図ＶＣおいて、（１）は噴
出孔（ｌａ）が設けられするつぼで、常温固体状の金ｘ
部材が収容される。１２１ Ｆｉ電源、（３）はる・つ
ぼＩｌ＋會囲繞したフィラメントからなる加熱手段で、
るつぼＴｌｌ ｔ 囲繞する工うに配置さねている。な
セ、加熱手段（３）としては、ジュール加熱によるもの
、あるいは加速させた電子をるつぼｉｌｌ Ｋ衝突させ
て、電子の運動エネルギー１に熱に変換させるもの等が
採用されている。
上記構成にＬると、加熱手段の外周部から放出される熱
量はるつぼの加熱には寄与しないので、熱損失が大きい
という欠点があった。
量はるつぼの加熱には寄与しないので、熱損失が大きい
という欠点があった。
この発明はるつぼで加熱手段を囲繞１７、加熱手段側の
肉厚を薄くし、反対側の肉ＩｌＩを厚くすることによっ
て、加熱手段から発生する熱量ケ効率工〈利用できる金
属溶融装置ｆ′ｆ提供する。
肉厚を薄くし、反対側の肉ＩｌＩを厚くすることによっ
て、加熱手段から発生する熱量ケ効率工〈利用できる金
属溶融装置ｆ′ｆ提供する。
以下、図について説明する。第２図Ｋｉ（いて、（４）
はフィラメントからなる加熱手段、ｌｌ＋ｌｔｌ加熱手
段（４）を囲繞し友るつぼで、金属蒸気の噴出孔（５ａ
）が設けられている。（６）は電源で、加熱手段（４１
とるつぼ（６１との間に接続さｈている。
はフィラメントからなる加熱手段、ｌｌ＋ｌｔｌ加熱手
段（４）を囲繞し友るつぼで、金属蒸気の噴出孔（５ａ
）が設けられている。（６）は電源で、加熱手段（４１
とるつぼ（６１との間に接続さｈている。
次Ｋ１１Ｊ作を説明する。第２図において、加熱手段１
４１でるつぼ（５１を加熱すると、加熱手段（４）から
発生し７を熱１ｇ１Ｌはそのほとんどがるつぼ１６１の
加熱に寄与する。そして、るつぼ（５１の加熱手段ｊ４
１ＶＣ近い側から外周部に向って温度が低くなる。なお
、第２図はるつぼ（５；の内部が分かれているが、底部
あるいは側面が両回部に通じていても効果は同じである
。
４１でるつぼ（５１を加熱すると、加熱手段（４）から
発生し７を熱１ｇ１Ｌはそのほとんどがるつぼ１６１の
加熱に寄与する。そして、るつぼ（５１の加熱手段ｊ４
１ＶＣ近い側から外周部に向って温度が低くなる。なお
、第２図はるつぼ（５；の内部が分かれているが、底部
あるいは側面が両回部に通じていても効果は同じである
。
上記実施例において、るつぼ（５１は複数個に分割して
も同様の効果が期待される。
も同様の効果が期待される。
この発＃ＪＫよると、加熱手段をるつぼで囲繞し、るつ
ぼの加熱手段側の肉厚を薄くするこ゛とによって、るつ
ぼ内に収容された常温固体状の物質會より高温に加熱す
ることができ、また、るつぼの加熱手段と反対側の肉厚
全厚くすることによって、るつは外壁面の温度をより低
くすることができるので、熱損失？低減できる。
ぼの加熱手段側の肉厚を薄くするこ゛とによって、るつ
ぼ内に収容された常温固体状の物質會より高温に加熱す
ることができ、また、るつぼの加熱手段と反対側の肉厚
全厚くすることによって、るつは外壁面の温度をより低
くすることができるので、熱損失？低減できる。
第１図は従来の金ｇｍ融装置の構成図、第２図はこの発
明の一実施例會示す構成図である。 図Ｖｃ右いて、（４）は加熱手段、１ｆｉｌ Ｉｒｉる
つぼである＠代理人 大岩増雄
明の一実施例會示す構成図である。 図Ｖｃ右いて、（４）は加熱手段、１ｆｉｌ Ｉｒｉる
つぼである＠代理人 大岩増雄
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （凰） 金属を溶融させる加熱手段を囲繞し上記加熱手
段側の肉厚を薄くし、反対側の肉厚を厚くしたるつぼを
備えた金属溶融装置。 （２） るつぼは複数個で構成さねていることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の金属溶融装置０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1783584A JPS60162770A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 金属溶融装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1783584A JPS60162770A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 金属溶融装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60162770A true JPS60162770A (ja) | 1985-08-24 |
Family
ID=11954748
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1783584A Pending JPS60162770A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | 金属溶融装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60162770A (ja) |
-
1984
- 1984-02-01 JP JP1783584A patent/JPS60162770A/ja active Pending
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