JPS60157005A - 接触検知装置 - Google Patents
接触検知装置Info
- Publication number
- JPS60157005A JPS60157005A JP1316384A JP1316384A JPS60157005A JP S60157005 A JPS60157005 A JP S60157005A JP 1316384 A JP1316384 A JP 1316384A JP 1316384 A JP1316384 A JP 1316384A JP S60157005 A JPS60157005 A JP S60157005A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reflection mirror
- light
- probe
- mirror
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はプレス型、モデル等の各部寸法測定、或いは対
象物間の長さ、距離の測定、又は移動体の定寸送り、停
止位置制御等に利用される接触検知センサとして利用さ
れる装置に関する。
象物間の長さ、距離の測定、又は移動体の定寸送り、停
止位置制御等に利用される接触検知センサとして利用さ
れる装置に関する。
従来接触検知センサに、接触圧を直接もしくは電気信号
に変換して検出する諸種なものが提案されているが、検
出精度を更に向上させることが望まれている。
に変換して検出する諸種なものが提案されているが、検
出精度を更に向上させることが望まれている。
本発明はこの点に鑑みて、光学反射鏡に触針を設け、前
記光学反射鏡に光照射する装置を設けると共に、前記光
学反射鏡の反射光の変化を検出する検出装置を設けてな
るものである。
記光学反射鏡に光照射する装置を設けると共に、前記光
学反射鏡の反射光の変化を検出する検出装置を設けてな
るものである。
以下図面の一実施例により本発明を説明する。
第１図に於て、１が反射鏡であり、反射面に接触針２を
設けである。３は反射鏡１に光を照射するレンズ、４が
光を発振するレーザ発振器、５はレーザ発振器４からの
光の一部を屈折させるハーフミラ−１６は反射鏡１から
の反射光を屈折させるハーフミラ−１７及び８は差動増
幅器９に挿入したホットトランジスタで、ハーフミラ−
５の基準光をホットトランジスタ ７に入力し、ハーフ
ミラ−６の反射光をホットトランジスタ ８に入力する
。
設けである。３は反射鏡１に光を照射するレンズ、４が
光を発振するレーザ発振器、５はレーザ発振器４からの
光の一部を屈折させるハーフミラ−１６は反射鏡１から
の反射光を屈折させるハーフミラ−１７及び８は差動増
幅器９に挿入したホットトランジスタで、ハーフミラ−
５の基準光をホットトランジスタ ７に入力し、ハーフ
ミラ−６の反射光をホットトランジスタ ８に入力する
。
１０は差動増幅器９の差電圧を検出する検出器である。
第２図は光を光学ファイバ１１により反射鏡１に導入す
る実施例で、光ファイバ１１の端部を反射鏡１に微小間
隙ｄ （０，１〜０．０Ｉｎ＋ｎ＋程度）で対向し、光
の照射、反射受光を行なう。１２はキャップｄを調整し
固定、維持するヘッド枠体である。光ノアイバ１１の反
射光の変化検出器は第１図のホットトランジスタを用い
た差動増幅器等が適宜用いられる。
る実施例で、光ファイバ１１の端部を反射鏡１に微小間
隙ｄ （０，１〜０．０Ｉｎ＋ｎ＋程度）で対向し、光
の照射、反射受光を行なう。１２はキャップｄを調整し
固定、維持するヘッド枠体である。光ノアイバ１１の反
射光の変化検出器は第１図のホットトランジスタを用い
た差動増幅器等が適宜用いられる。
反射鏡１には、例えばケープラー膜０．０２ｍｍに金メ
ッキ（蒸着）したものを用いた。実験によれば反射鏡と
ファイバ端とのギャップをｄ ＝ ０．１ｍｍとし、触
針２に０．１ｍｇを加圧したとき、光学的出力として約
５Ｖの信号を検出できた。即ち触針２が物体に当って圧
力が加わると反射鏡１が変形もしくは変位するので、こ
れにより光反射波に変化を生じ、この変化を差動増幅器
等により検出すれば高感度で接触検知ができることにな
る。前記実験例では０．１ｍｇの接触圧で５■の信号が
検知でき非常に感度が良かった。通常ミラー歪の検出精
度は波長のオーダで検出することができ、検出精度が極
めて高く得られる。
ッキ（蒸着）したものを用いた。実験によれば反射鏡と
ファイバ端とのギャップをｄ ＝ ０．１ｍｍとし、触
針２に０．１ｍｇを加圧したとき、光学的出力として約
５Ｖの信号を検出できた。即ち触針２が物体に当って圧
力が加わると反射鏡１が変形もしくは変位するので、こ
れにより光反射波に変化を生じ、この変化を差動増幅器
等により検出すれば高感度で接触検知ができることにな
る。前記実験例では０．１ｍｇの接触圧で５■の信号が
検知でき非常に感度が良かった。通常ミラー歪の検出精
度は波長のオーダで検出することができ、検出精度が極
めて高く得られる。
第１図は本発明の一実施例構成図、第２図は他の実施例
の一部分図である。 １・・・・・・・・・反射鏡 ３・・・・・・・・・レンズ ４・・・・・・・・・レーザ発振器 ５．６・・・・・・・・・ハーフミラ−７，８・・・・
・・・・・ホットトランジスタ９・・・・・・・・・差
動増幅器 １０・・・・・・・・・検出器 １１・・・・・・・・・光ファイバ 特 許 出 願 人
の一部分図である。 １・・・・・・・・・反射鏡 ３・・・・・・・・・レンズ ４・・・・・・・・・レーザ発振器 ５．６・・・・・・・・・ハーフミラ−７，８・・・・
・・・・・ホットトランジスタ９・・・・・・・・・差
動増幅器 １０・・・・・・・・・検出器 １１・・・・・・・・・光ファイバ 特 許 出 願 人
Claims (2)
- （１）光学反射鏡に触針を設け、前記光学反射鏡に光照
射する装置を設けると共に、前記光学反射鏡の反射光の
変化を検出する検出装置を設けてなる接触検知装置。 - （２）光ファイバの光照射する装置を設けた特許請求の
範囲第１項に記載の接触検知装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1316384A JPS60157005A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 接触検知装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1316384A JPS60157005A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 接触検知装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60157005A true JPS60157005A (ja) | 1985-08-17 |
Family
ID=11825499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1316384A Pending JPS60157005A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 接触検知装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60157005A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4988686A (en) * | 1988-07-01 | 1991-01-29 | Meiji Seika Kabushiki Kaisha | Cephem compounds and anti-bacterial agent |
-
1984
- 1984-01-26 JP JP1316384A patent/JPS60157005A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4988686A (en) * | 1988-07-01 | 1991-01-29 | Meiji Seika Kabushiki Kaisha | Cephem compounds and anti-bacterial agent |
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