JPS60156751U - 半導体ウエハ用収納治具 - Google Patents
半導体ウエハ用収納治具Info
- Publication number
- JPS60156751U JPS60156751U JP4292284U JP4292284U JPS60156751U JP S60156751 U JPS60156751 U JP S60156751U JP 4292284 U JP4292284 U JP 4292284U JP 4292284 U JP4292284 U JP 4292284U JP S60156751 U JPS60156751 U JP S60156751U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage jig
- semiconductor wafers
- semiconductor wafer
- wafer storage
- jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来のキャリアの斜視図、第２図は本考案の一
実施例の斜視図、第３図はその側面図である。 １．２，３，４・・・・・・キャリアの側壁先端部の角
部、５．６．７．８・・・・・・テフロン加工された側
壁先端部。
実施例の斜視図、第３図はその側面図である。 １．２，３，４・・・・・・キャリアの側壁先端部の角
部、５．６．７．８・・・・・・テフロン加工された側
壁先端部。
Claims (1)
- ・ 半導体ウェハ収納治具の側壁先端部の角部に弾力性
材料が設けられていることを特徴とする半導体ウェハ用
収納治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4292284U JPS60156751U (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | 半導体ウエハ用収納治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4292284U JPS60156751U (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | 半導体ウエハ用収納治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60156751U true JPS60156751U (ja) | 1985-10-18 |
Family
ID=30554109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4292284U Pending JPS60156751U (ja) | 1984-03-26 | 1984-03-26 | 半導体ウエハ用収納治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60156751U (ja) |
-
1984
- 1984-03-26 JP JP4292284U patent/JPS60156751U/ja active Pending
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