JPS60156042A - 光シヤツタ - Google Patents
光シヤツタInfo
- Publication number
- JPS60156042A JPS60156042A JP1268284A JP1268284A JPS60156042A JP S60156042 A JPS60156042 A JP S60156042A JP 1268284 A JP1268284 A JP 1268284A JP 1268284 A JP1268284 A JP 1268284A JP S60156042 A JPS60156042 A JP S60156042A
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- Japan
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- electrodes
- comb
- electrode
- transparent
- shaped
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
- G02F1/055—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect the active material being a ceramic
- G02F1/0551—Constructional details
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、電気光学的効果を有する素子にて構成され
る光シャッタに関する。
る光シャッタに関する。
たとえば１．Ｐ Ｌ Ｚ Ｔのような強誘電性透明セラ
ミックスからなる電気光学的効果を有する素子は光シャ
ッタに利用されている。一般に、光シャッタは、たとえ
ば第１図に示すように、互いに偏光方向が直交する偏光
子１と検光子２との間に、電気光学的効果を有する素子
であるＰＬ’ＺＴからなる強誘電性透明セラミックス３
が配置され、この透明セラミックス３の表面に１対のく
し形電極４・５が形成される。これらのくし形電極４・
５に駆動電源６にて駆動電圧を印加したとき光Ｐを通過
させる機能を有している。
ミックスからなる電気光学的効果を有する素子は光シャ
ッタに利用されている。一般に、光シャッタは、たとえ
ば第１図に示すように、互いに偏光方向が直交する偏光
子１と検光子２との間に、電気光学的効果を有する素子
であるＰＬ’ＺＴからなる強誘電性透明セラミックス３
が配置され、この透明セラミックス３の表面に１対のく
し形電極４・５が形成される。これらのくし形電極４・
５に駆動電源６にて駆動電圧を印加したとき光Ｐを通過
させる機能を有している。
このように構成された光シャッタにおいて、透明セラミ
ックス３の表面に形成されている電極４・５にはＡＱ、
Ｃｒ’（＄１層）−’Ａｕ（第２層）などの不透明な金
属が使用されている。したがって、透明セラミックス３
の光透過率は電極４・５以外の部分、つまり電極４・５
の間のギャップの面積に左右されることになる。もし光
透過率を上げようとすれば、電極４・５のそれぞれの幅
を狭くし、電極４・５開のギャップを広げればよいこと
になる。しかしなが呟このように電極４・５のギャップ
を広げると駆動電圧を高くしなけれぽなら、ず、装置の
高電圧化、大型化につながり、使用上の安全対策も必要
となる。
ックス３の表面に形成されている電極４・５にはＡＱ、
Ｃｒ’（＄１層）−’Ａｕ（第２層）などの不透明な金
属が使用されている。したがって、透明セラミックス３
の光透過率は電極４・５以外の部分、つまり電極４・５
の間のギャップの面積に左右されることになる。もし光
透過率を上げようとすれば、電極４・５のそれぞれの幅
を狭くし、電極４・５開のギャップを広げればよいこと
になる。しかしなが呟このように電極４・５のギャップ
を広げると駆動電圧を高くしなけれぽなら、ず、装置の
高電圧化、大型化につながり、使用上の安全対策も必要
となる。
このような背景から、電極４・５の拐質として透明なも
のを用いることが考えられる。透明電極にはたとえばＩ
ｎ２Ｏ３−８ｎＯ２系（ＩＴｏ系）などがある。しかし
、この種の透明電極は酸化物系であるため、抵抗値が、
たとえばＩＴＯ系の透明電極の場合であれば数１０〜数
１００Ω／口というように大きい。一方、透明セラミッ
クス３はＰＬＺＴのような強誘電性のものであるため誘
電率が大きく、たとえば２インチφウェハーの場合には
数万〜数１０万ＰＦというように、本質的に大容量であ
る。このように大容量という性質を有する透明セラミッ
クス３と抵抗値が高いという性質を有する透明電極とを
用いると、ＣＲ時定数が大とくなり、駆動電圧を印加し
たと鰺に瞬時に動作せず、シャッタの応答性が悪くなる
という欠点が見られる。
のを用いることが考えられる。透明電極にはたとえばＩ
ｎ２Ｏ３−８ｎＯ２系（ＩＴｏ系）などがある。しかし
、この種の透明電極は酸化物系であるため、抵抗値が、
たとえばＩＴＯ系の透明電極の場合であれば数１０〜数
１００Ω／口というように大きい。一方、透明セラミッ
クス３はＰＬＺＴのような強誘電性のものであるため誘
電率が大きく、たとえば２インチφウェハーの場合には
数万〜数１０万ＰＦというように、本質的に大容量であ
る。このように大容量という性質を有する透明セラミッ
クス３と抵抗値が高いという性質を有する透明電極とを
用いると、ＣＲ時定数が大とくなり、駆動電圧を印加し
たと鰺に瞬時に動作せず、シャッタの応答性が悪くなる
という欠点が見られる。
したがって、この発明は電気光学的効果を有する素子の
電極として透明電極を用いたと外に発生する応答性の低
下を改善した光シャッタを提供することを目的とする。
電極として透明電極を用いたと外に発生する応答性の低
下を改善した光シャッタを提供することを目的とする。
すなわち、この発明の要旨とするところは、電気光学効
果を有する素子の片面または両面に１月のくし形電極が
形成されている光シャッタでありて、前記電極の各くし
歯部電極を透明電極で形成するとともに、各くし歯部電
極分を連結する給電部電極を透明電極よりも低抵抗材料
で形成したことを特徴とする光シャッタである。
果を有する素子の片面または両面に１月のくし形電極が
形成されている光シャッタでありて、前記電極の各くし
歯部電極を透明電極で形成するとともに、各くし歯部電
極分を連結する給電部電極を透明電極よりも低抵抗材料
で形成したことを特徴とする光シャッタである。
この発明の実施態様を図面で示せば第２図、第３図のよ
うな例がある。
うな例がある。
第２図の例では、ＰＬＺＴのような電気光学的効果を有
する円板形の素子１３の片面に、１対のくし形電極１４
・１５が形成される。これらのくし形電極１４・１５は
、それぞれくし南部電極１４ａ・・・・ＩＳａ・・・と
、くし歯部電極１４ａ・・・・１５８・・・の基端部電
極どうしを連結する給電部電極１４Ｉ）・１５１）とか
らな１）、前記くし歯部電極１４ａ・・・・１５ａ・・
・はＩＴＯ系の透明電極で形成され、前記給電部電極１
４ｂ・１５１）は透明電極よりも低抵抗の金属材料で形
成される。１６・１６ （は各給電部電極１４ｂ・１５
ｂに連結されたり一ド線である。
する円板形の素子１３の片面に、１対のくし形電極１４
・１５が形成される。これらのくし形電極１４・１５は
、それぞれくし南部電極１４ａ・・・・ＩＳａ・・・と
、くし歯部電極１４ａ・・・・１５８・・・の基端部電
極どうしを連結する給電部電極１４Ｉ）・１５１）とか
らな１）、前記くし歯部電極１４ａ・・・・１５ａ・・
・はＩＴＯ系の透明電極で形成され、前記給電部電極１
４ｂ・１５１）は透明電極よりも低抵抗の金属材料で形
成される。１６・１６ （は各給電部電極１４ｂ・１５
ｂに連結されたり一ド線である。
第３図の例では、ＰＬＺＴのような電気光学的効果を有
する正方形の素子２３の片面に、１対のくし形電極２４
・２５が形成される。これらのくし形電極２４・２５は
、それぞれくし歯部電極２４ａ・・・・２５ａ・・・と
、くし歯部電極２４ａ・・・・２５ Ｅｌ・・・の基端
部電極どうしを連結する給電部電極２４１）・２５１）
とからなり、前記くし歯部電極２４ａ・・・・２５ａ・
・・はＩＴ○系の透明電極で形成され、前記給電部電極
２４ｂ・２５ｂは透明電極よりも低抵抗の金属祠料で形
成される。２６・２６は各給電部電極２４ｂ・２５ｂに
連結されたリード線である。
する正方形の素子２３の片面に、１対のくし形電極２４
・２５が形成される。これらのくし形電極２４・２５は
、それぞれくし歯部電極２４ａ・・・・２５ａ・・・と
、くし歯部電極２４ａ・・・・２５ Ｅｌ・・・の基端
部電極どうしを連結する給電部電極２４１）・２５１）
とからなり、前記くし歯部電極２４ａ・・・・２５ａ・
・・はＩＴ○系の透明電極で形成され、前記給電部電極
２４ｂ・２５ｂは透明電極よりも低抵抗の金属祠料で形
成される。２６・２６は各給電部電極２４ｂ・２５ｂに
連結されたリード線である。
なお、第２図、第３図に示した構成例において、いずれ
も電気光学的効果を有する素子の片面に電極を形成した
が、両面に形成してもよい。
も電気光学的効果を有する素子の片面に電極を形成した
が、両面に形成してもよい。
また、電極に電圧を印加する位置は、特に限定されない
が、低抵抗の給電部電極に電圧を印加することが好まし
い。もちろん、図示した状態で隣接するくし歯部電極は
異なる電位配置であり、対をなしている。
が、低抵抗の給電部電極に電圧を印加することが好まし
い。もちろん、図示した状態で隣接するくし歯部電極は
異なる電位配置であり、対をなしている。
以下この発明にかかる光シャヤッタを具体的実施例に基
づいて説明する。
づいて説明する。
透明セラミックスおよび電極は、第２図の構成例に従っ
て構成され、透明セラミックスは、Ｐｂに対するＬａの
置換量が９原子％、Ｚｒ／Ｔｉの比が６５／３５のＰＬ
Ｚ’！’系透明セラミックスを用いた。この透明セラミ
ックスの厚さは３００μ＋１１、電極間のギャップは１
００μｍ】】とし、電極幅を１０〜１００μｍで種々変
更したところ、第１表に示すような結果が得られる。た
だし、誘電率はＰＬＺＴおよび偏光板の光損失を含んで
いない値である。
て構成され、透明セラミックスは、Ｐｂに対するＬａの
置換量が９原子％、Ｚｒ／Ｔｉの比が６５／３５のＰＬ
Ｚ’！’系透明セラミックスを用いた。この透明セラミ
ックスの厚さは３００μ＋１１、電極間のギャップは１
００μｍ】】とし、電極幅を１０〜１００μｍで種々変
更したところ、第１表に示すような結果が得られる。た
だし、誘電率はＰＬＺＴおよび偏光板の光損失を含んで
いない値である。
第１表から明らかなように、たとえば電極幅を１００μ
ｍとしたとき、くし歯部電極を金属電極で形成したもの
では透過率４６％であるのに対して、くし歯電極を透明
電極で形成すると５２％になり、金属電極の透過率変化
は１３％も増大することになる。
ｍとしたとき、くし歯部電極を金属電極で形成したもの
では透過率４６％であるのに対して、くし歯電極を透明
電極で形成すると５２％になり、金属電極の透過率変化
は１３％も増大することになる。
ここで、各くし歯部電極の隣りどうしの間の容量は、電
極ギャップ、電極幅、透明セラミックスの厚さなどによ
って変るが、せいぜい１００ＯＰＦ以下であり、シャッ
タが大寸法になっても大きな変化はない。これに対して
給電部電極は各くし歯部電極に流れる電流が合流して流
れるため、とくに給電元近くでは電圧降下が問題になる
。そしてこの給電刊近からみたシャッタの容量は数百〜
数１０万ＰＦになり寸法が大きくなる程大容量になる。
極ギャップ、電極幅、透明セラミックスの厚さなどによ
って変るが、せいぜい１００ＯＰＦ以下であり、シャッ
タが大寸法になっても大きな変化はない。これに対して
給電部電極は各くし歯部電極に流れる電流が合流して流
れるため、とくに給電元近くでは電圧降下が問題になる
。そしてこの給電刊近からみたシャッタの容量は数百〜
数１０万ＰＦになり寸法が大きくなる程大容量になる。
それゆえ、給電部電極の抵抗値を低くすることによりＣ
Ｒ時定数を小さくでき、シャツタ開閉速度の低下が抑え
られる。
Ｒ時定数を小さくでき、シャツタ開閉速度の低下が抑え
られる。
以上のように、この発明の構成にかかる光シャッタによ
れば、透過率を改善することができるのみならず、電圧
印加時の応答性を改善することができるという効果を有
する。
れば、透過率を改善することができるのみならず、電圧
印加時の応答性を改善することができるという効果を有
する。
第１図は光シャッタの一例を示す概略斜視図、第２図、
第３図は光シャッタの電気光学的効果を有する素子およ
び電極の正面図であり、いずれもこの発明の実施態様を
示す図である。 １３は電気光学的効果を有する素子、１４・１５はくし
形電極、１４ａ・１５ａはくし歯部電極、１４ｂ・１５
ｂは給電部電極、２３は電気光学的効果を有する素子、
２４・２５はくし形電極、２４ａ・２５ａはくし歯部電
極、２４ｂ−２５ｂは給電部電極である。 出願人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士 岡 １）和 秀 で 第１図 ・第２図 ］３ 第３図
第３図は光シャッタの電気光学的効果を有する素子およ
び電極の正面図であり、いずれもこの発明の実施態様を
示す図である。 １３は電気光学的効果を有する素子、１４・１５はくし
形電極、１４ａ・１５ａはくし歯部電極、１４ｂ・１５
ｂは給電部電極、２３は電気光学的効果を有する素子、
２４・２５はくし形電極、２４ａ・２５ａはくし歯部電
極、２４ｂ−２５ｂは給電部電極である。 出願人 株式会社村田製作所 代 理 人 弁理士 岡 １）和 秀 で 第１図 ・第２図 ］３ 第３図
Claims (1)
- （１）電気光学効果を有する素子の片面または両面に１
対のくし形電極が形成されている光シャッタであって、 前記くし形電極の各くし歯部電極を透明電極で形成する
とともに、各くし歯部電極分を連結する給電部電極を透
明電極よりも低抵抗材料で形成したことを特徴とする光
シャッタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1268284A JPS60156042A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 光シヤツタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1268284A JPS60156042A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 光シヤツタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60156042A true JPS60156042A (ja) | 1985-08-16 |
Family
ID=11812143
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1268284A Pending JPS60156042A (ja) | 1984-01-26 | 1984-01-26 | 光シヤツタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60156042A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2710990A1 (fr) * | 1993-10-04 | 1995-04-14 | Alis | Dispositif de transmission de l'énergie produite par un générateur laser. |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52115198A (en) * | 1976-03-24 | 1977-09-27 | Hitachi Ltd | Liquid crystal matrix panel |
| JPS5464492A (en) * | 1977-10-31 | 1979-05-24 | Sharp Corp | Matrix type liquid crystal display unit |
-
1984
- 1984-01-26 JP JP1268284A patent/JPS60156042A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52115198A (en) * | 1976-03-24 | 1977-09-27 | Hitachi Ltd | Liquid crystal matrix panel |
| JPS5464492A (en) * | 1977-10-31 | 1979-05-24 | Sharp Corp | Matrix type liquid crystal display unit |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2710990A1 (fr) * | 1993-10-04 | 1995-04-14 | Alis | Dispositif de transmission de l'énergie produite par un générateur laser. |
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