JPS60153880A - エピタキシャルガスの消火および不燃化用薬剤 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はわ〕未消火薬剤の改良に関し、更に詳しくは特
にエピタキシャルガスの消火および不燃化に対して著効
を発揮するところの経済的な消火薬剤を提供するもので
ある。

従来一般に用いられているｊ６”Ｊ未消火薬剤には、重
炭酸アルカリ金属塩や燐酸アンモニウム塩、硫酸アンモ
ニウム塩を主剤としたものが多く、木材等の一般火災に
対して大きな消火効力を発揮するものであることは知ら
れている。

ところが近年電子機器の発達に伴い半導体の製造がさか
んとなるに至り、とくにシラン（５ｉｌ１４）やトリク
ロルシラン（５ｉＨｃ１３）　、あるいはジクロルシラ
ン（Ｓｉ）ｌｚｃｈ　）等の：【ビタキシャルガスの消
費量が急速に増大してきた。

これらのガスはその分子構造中に水素を含み、低酸素濃
度雰囲気においても自然発火してしまうという特異な性
質をもつためにその取扱いには厳重を要し、扱いを誤る
と発火し、しかも一般の消火薬剤を散布して一時的に消
火させてもただちに再発火するという恐るべき危険性を
内在している。

したがってこのようなガスの火災に対して従来の消火薬
剤を用いても結局効果がなく、これらのガス火災に対す
る有効な消火薬剤の出現が熱望されていたところである
。

本発明は従来のかかる期待に応えるものであって、具体
的には消火薬剤の主剤および／または助剤に対し、酸化
銅または塩化銅等の還元剤の一定量を添加したことを特
徴とするものである。

以下本発明の具体的な内容を図示の実施例をもとに説明
すると、 消火剤の主剤として、重炭酸ナトリウム、重炭酸カリウ
ム、燐酸アンモニウム、硫酸アンモニウムのうら一種ま
たは二種以上を選定し、これを１４４μ以下の粒径に微
粉砕したものを用いる。

消火剤の助剤としては、上記主剤に対して微細無水硅酸
（ホワイトカーボン）を３重量％およびシリコーンオイ
ル１重量％をそれぞれ添加した後、従来と同様の方法に
より加熱攪拌して主剤に流動性をイ；ｊす、する。

また還元剤としては、酸化銅あるいは塩化銅等の添加が
有効である。酸化銅や塩化銅等の還元剤はこれを粉末消
火薬剤に添加して使用した場合において、消火後に残留
するエピタキシャルガスと反応してこれを不燃安定化さ
せる。

この場合の反応方程式を示せばつぎのようになる。コニ
ピタキシャルガスの一１列としてシラン（Ｓｉ１１４）
を用いた場合において、 燃　焼　：　ＳｉＨ４→Ｓｉ＋２Ｈ２ 空気中の酸素　Ｓｉ　＋　２１１２　＋’２０２−５ｉ
０２　＋　２８２０ 不燃安定化：　５ｉｌ１４→Ｓｌ　＋　２１１２Ｓｉ＋
２１１２＋還元剤「Ｃｕ（Ｌ　＝Ｃｕ−１−２Ｈ２０Ｌ
Ｃｕｃ１２＝Ｃｕ＋２１１ｃｌ Ｈｃｌ　＋粉末消火薬剤Ｎａ１ｌＣＯ３”Ｎａｃｌ　＋
　ＣＯ２＋　Ｈ２０ （含有水素を水にして不燃安定化をはかる）還元剤の添
加量についてみれば、実験の結果では上記主剤に助剤を
添加した粉末消火薬剤に対して３重量％以下の場合には
エピタキシャルガスの消火後における不燃安定性に乏し
いために多量の消火薬剤散布を必要とするので不経済と
なる。逆に３０％以上の添加量とした場合においては速
消性が失われるために同じく多量の消火薬剤散布を必要
として不経済となる。

このような傾向からみて消火薬剤に対する還元剤の好ま
しい添加量は３〜３０％の範囲であることが必要である
。

実１険例 わ）未消火薬剤の９・ンプルとして′ノぎのものを用、
ｃカ、　しノご。

■　重炭酸す１−リウムを□主剤とした消火薬剤■　重
炭酸カリウムを主剤とした消火薬剤■　ｔＡ　Ｎ−ｊ’
ン七コニウム下剤とした消火薬剤（以北従来品） ■　上記■に対して還元剤を５．０重量％添加品■　上
記■に対して還元剤を２５．０重量％添加品■　上記■
に対して還元剤を５．０重量％添加品■　上記■にり・
１して還元剤を２５．０重量％添加品■　燐酸アンモニ
ウム７０重量％と硫酸アンモニウム３０市量％との混合
品を主剤とし、これに還元剤を３．０重量％添加品 ■　■の主剤に対し還元剤３０．０重量％添加品消火試
験器として第１図に示した構成のものを使用した。

第１図の試験器は透明な、しかも密封されたガラス製燃
焼容器１．と、ガラス容器の上方に位置するザンプル供
給容器２．と、ガラス製燃焼容器１．内に通ずるパイプ
５．を通じ゛ζエピタキシャルガスを供給するエピタキ
シャルガスボンベ４．と、排気バイブロ、とガラス製燃
焼容器１．内に通ずるパイプ７゜を通じて送風する送風
器８．とがら構成されている。

上記の消火試験器を使用しでガラスＭ燃焼容器１、内が
酸欠とならないように送風機８．により送風し、ガラス
容器内がら排気バイブロ、を通じて排気する。エピタキ
シャルガスボンベ４．内の収容ガスとしてはシランガス
（ＳｉＨ４）を用い、これを定量パイプ５．を通じてガ
ラス製燃焼容器１．内に送り込んで送風機８．からの空
気と接触させる。空気と接触したエピタキシャルガスは
自然発火して炎上する。

一方ザンプル供給容器２．内には予め用意された粉末消
火薬剤を収容しておき、これをコック３．を調整しなが
らガラスＭ燃焼容器１．内に一定量供給し、ガラス製燃
焼容器１．内において燃焼するシランガスの消火の程度
および消火後における再発火の有無について各種サンプ
ル毎に実験を繰り返して効果を判定したところ、っぎの
試験結果を１Ｍた。

ジー　ン　プルの種類　：消火の：消火後回：有無　：
燃の有無 ■（重炭酸ナトリウム主剤）・　自　：　有■（重炭酸
カリウム主剤　）：　イ１　：　自■（リン酸アンモニ
ウノ・主剤：　イ１１　有■（■−Ｉ−還元剤５．０％
）　［自　１　無■（■十還元剤２５．０％）　：　有
　１　無■（■橿−還元剤５．０％）　：　自　ｉ　無
■（■十還元剤２５．０％）　：　有　：　無［−燐酸
アンモニウム７０％：　□ ■Ｈ硫酸アンモニウム３０％□・　有　：　無り還元剤
３．０％　゛ ［燐酸アンモニウム７０％ ■Ｈ硫酸アンモニウム３０％ｉ　自　・　無し還元剤　
３０％　□ 上記の実験結果からめても明らかであるように、シラン
、あるいは］・リリフ１ルシラン等の如きエピタキシャ
ルガスに対しては従来の重炭酸ナトリウムや燐酸アンモ
ニウム等を主剤とした消火薬剤ではほとんど効果がなく
、これらの消火薬剤に対して３〜３０蓋量％の還元剤を
添加することによりはじめて自然発火の消火と、消火後
におりる確実な不燃安定化をはかり得ることが明らかと
なった。

しかるに本発明によれば従来の粉末消火薬剤に還元剤を
添加するだけでよいのでエピタキシャルガス専用の防災
処理剤を準備する場合に比較してきわめて経済的な粉末
消火薬剤を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はエピタキシャルガスの消火実験に使用するため
の消火試験器の概略図である。 ■・・・・・・ガラス製燃焼容器 ２・・・・・・サンプル供給容器 ４・・・・・・エピタキシャルガスボンベ６・・・・・
・排気パイプ ８・・・・・・送　風　機

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （Ｊ、）　消火薬剤の主剤および／または助剤に対し、
   酸化銅または塩化銅等の還元剤を添加したことを特徴と
   する粉末消火薬剤。 （２）　特許請求の範囲第１項に記載のものにおいて、
   消火薬剤の主剤としこ重炭酸アルカリ金属塩または＃ｉ
   酸アンモニウム塩、硫酸アンモニウム塩またはこれらの
   混合塩のうら一種または二種以上を用いたものであると
   ころの粉末消火薬剤。